JP3411639B2 - 印刷用スクリーンと基板の位置合わせ方法及び構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリームはんだ等のペ
ーストを基板に印刷するためのスクリーン印刷装置にお
ける印刷用スクリーンと基板との位置合わせ方法及び構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリームはんだ等のペーストを基板に印
刷するためのスクリーン印刷装置は、印刷パターン（抜
穴により形成されたスクリーン印刷のためのパターン）
を有する印刷用スクリーンをスクリーン枠に固定し、そ
の印刷用スクリーンと基板との位置合わせを行った後に
スキージでクリームはんだ等のペーストを印刷用スクリ
ーン上に塗布して基板上にスクリーン印刷を実行するも
のである。

【０００３】前記印刷用スクリーンと基板との位置合わ
せを行う手段としては、本出願人が提案した印刷用スク
リーンと基板の位置合わせ方法及び構造が特開平４−１
５３０７５号で開示されている。

【０００４】上記特開平４−１５３０７５号の従来例に
ついて図６乃至図８で説明する。これらの図において、
印刷用スクリーン１はステンレス等のシートであり、印
刷パターンを有するとともに、ペースト供給側の面には
円形のハーフエッチング部２１が形成され、さらに該ハ
ーフエッチング部２１よりも小径の円形透視孔部２２が
ハーフエッチング部２１の中央部分に同心に形成されて
いる。そして、ハーフエッチング部２１及び円形透視孔
部２２に樹脂、ガラス等の透明部材２３が固定一体化さ
れてスクリーン側位置合わせ部２０が構成されている。
なお、印刷パターンと円形透視孔部２２の位置関係は正
確に規定されている。一方、スクリーン印刷を行う基板
１０の上面には円形等の位置合わせ用マーク（フィデュ
ーシャルマーク）１１が銅箔等で形成されている。前記
円形透視孔部２２に透明部材２３を設けるのは、これが
ないとスクリーン印刷時にペーストを塗布するスキージ
が印刷用スクリーン１上を移動したときにハーフエッチ
ング部２１及び円形透視孔部２２がペーストで埋まって
しまい、基板１０の位置合わせ用マーク１１の上にペー
ストが印刷されることとなり、後工程において、基板１
０の位置合わせマークを認識することが不可能となるか
らである。

【０００５】なお、透明部材２３を設けずにスキージの
可動範囲を円形透視孔部２２にかからないように予め設
定しておくことも考えられるが、基板上のペーストを塗
布できる領域が狭くなってしまう不都合を生じる。

【０００６】スクリーン１の上方には画像処理装置が具
備する撮像装置（ＴＶカメラ：ＣＣＤカメラ等）５が配
置され、スクリーン１や基板側位置合わせ用マーク１１
を照らすためにリング照明器６が設けられている。この
リング照明器６の照射範囲Ｗはスクリーン側位置合わせ
部２０よりも充分大きな領域となるように定められてい
る。

【０００７】なお、図８のように、スクリーン側位置合
わせ部２０はスクリーン枠４１に張られたスクリーン１
の２つの隅部分に位置し、同様に基板側の位置合わせ用
マーク１１も基板１０の２つの隅部分に位置しており、
各位置合わせ部２０の円形透視孔部２２の相互間隔と、
位置合わせ用マーク１１の相互間隔とは等しく設定され
ているものとする。

【０００８】以上の従来例による位置合わせ動作は、基
板側位置合わせ用マーク１１が基板上に重なっているス
クリーン側位置合わせ部２０の円形透視孔部２２から光
学的に透視可能な状態に設定し、円形透視孔部２２及び
円形等の位置合わせ用マーク１１の両者を撮像装置（Ｔ
Ｖカメラ）５で撮像して図７に示すような画像を取り込
んで行う。同図の画像は円形位置合わせ用マーク１１が
明部ａ、円形透視孔部２２を通して見える基板面が暗部
ｂ、その外側はステンレス等のスクリーン１で明部ｃと
なっており、円形透視孔部２２の中心点（基準点）と位
置合わせ用マーク１１の中心点（照準点）とを一致させ
る如く基板１０を移動させることで位置合わせを行う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
におけるスクリーン１側の位置合わせ部２０の構成は、
円形透視孔部２２に嵌まり合う部分とハーフエッチング
部２１に嵌まる部分が一体となった透明部材２３を印刷
用スクリーン１へ接着剤で接着するようにしていたが、
透明部材２３の製作費が高価であるとともに、円形透視
孔部２２と透明部材２３の間に隙間が生じて影ができや
すく（例えば図７のように円形透視孔部２２の輪郭が２
重になったり、その輪郭に沿って影Ｓが生じる等）、撮
像装置５を具備する画像処理装置による画像認識を行う
上で不具合があった。さらに、透明部材２３の印刷用ス
クリーン１への接着が満足に行われている場合でもスク
リーン印刷を繰り返すうちにペースト内の固形成分等で
透明部材２３の表面が傷付き透明部材２３が徐々に不透
明になり、該透明部材２３の交換が必要になる。透明部
材２３の交換においては、透明部材２３が剥がれた場合
を含めて、ハーフエッチング部２１及び円形透視孔部２
２での前の透明部材２３の貼り付けに要した接着剤の残
留部分を除去する作業が必要であり、これに伴い円形透
視孔部２２のエッジに欠け、割れといった損傷を生じる
恐れがある。このような円形透視孔部２２の損傷は、位
置合わせ精度の低下を招くことになってしまう。

【００１０】本発明は、上記の点に鑑み、印刷用スクリ
ーンの位置合わせ部の透視孔部を覆うように粘着面を有
する透明シールを貼り付けることにより、透視孔部の輪
郭を乱さずに撮像画像を安定させることが可能で、透明
シール交換の作業性が良好な印刷用スクリーンと基板の
位置合わせ方法及び構造を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の印刷用スクリーンと基板の位置合わせ方法
は、印刷用スクリーンのペースト供給側の面にハーフエ
ッチング部を設けかつ該ハーフエッチング部より内側に
透視孔部を設けるとともに、片面に粘着面を有する透明
シールを前記透視孔部を覆う如く前記ハーフエッチング
部に前記粘着面にて貼り付けて（粘着して）スクリーン
側位置合わせ部を構成し、基板上に前記印刷用スクリー
ンを重ねた状態で前記透視孔部を通して前記基板側の位
置合わせ用マークを検出し、前記透視孔部の基準点と前
記位置合わせ用マークの照準点とを一致させることを特
徴としている。

【００１２】また、本発明の印刷用スクリーンと基板の
位置合わせ構造は、基板上に位置合わせマークを設ける
とともに、印刷用スクリーンの印刷用ペースト供給側の
面にハーフエッチング部を設けかつ該ハーフエッチング
部より内側に透視孔部を設け、片面に粘着面を有する透
明シールを前記透視孔部を覆う如く前記ハーフエッチン
グ部に前記粘着面にて貼り付けて（粘着して）スクリー
ン側位置合わせ部を構成したものである。

【００１３】また、前記ハーフエッチング部に貼り付け
た前記透明シールに対向させて前記印刷用スクリーンの
裏面に別の透明シールを貼り付けて前記スクリーン側位
置合わせ部を構成するようにしてもよい。

【００１４】なお、前記ハーフエッチング部に貼り付け
た前記透明シールは、前記ハーフエッチング部の深さと
同じ厚さ又は当該深さよりも僅かに厚く形成されている
ことが望ましい。

【００１５】

【作用】本発明の印刷用スクリーンと基板の位置合わせ
方法及び構造においては、粘着面を有する透明シールを
ハーフエッチング部に貼り付けて（粘着して）スクリー
ン側位置合わせ部を構成し、透視孔部上を前記透明シー
ルで覆うようにしているため、従来例の透視孔部に嵌合
する部分を持つ透明部材を接着剤で固定する構造の場合
に発生した透視孔部の輪郭に影が生じる等の不都合はな
い。また、スクリーン印刷動作により透明シールの外縁
（ハーフエッチング部の外縁）にペーストが付着もしく
は侵入したりしても透視孔部の輪郭が影響を受けること
はなく、従って透視孔部のはっきりとした輪郭が得ら
れ、撮像装置を具備した画像処理装置によって常に正確
な画像認識が可能である。このため、各基板についてス
クリーン側位置合わせ部の透視孔部を通して基板側位置
合わせ用マークを撮像装置（ＴＶカメラ）で撮像し、こ
の撮像による画像信号からスクリーン側透視孔部と基板
側位置合わせ用マークとのずれを画像処理装置で認識
し、位置ずれを補正することができる。そして、基板と
スクリーンの位置合わせ状態を保ったまま印刷を続行で
きる。

【００１６】また、スクリーン印刷の繰り返しに伴い
（スキージによるペースト塗布動作の繰り返しに伴い）
前記透明シールの表面がペースト中の固形成分で傷付い
て前記透明シールの透明度が低下しても、その使用済み
の透明シールを廃棄して新規の透明シールに交換すれば
よく、透明シールが粘着面で印刷用スクリーンに貼り付
けるものであるため、使用済みの透明シールの引き剥が
しが容易で、かつ新規透明シールの貼り付けも容易に行
うことができる。

【００１７】さらに、前記ハーフエッチング部の透明シ
ールに対向して印刷用スクリーンの裏面にも透明シール
を貼り付けてスクリーン側位置合わせ部を構成すること
により、透視孔部の内部や粘着面への異物の付着を防止
できる。

【００１８】さらに、前記透明シールを前記ハーフエッ
チング部の深さと同じ厚さ又は少し厚く形成することに
より、当該透明シールの上面は印刷用スクリーンの上面
と同じ高さかそれ以上になり、スクリーン印刷動作によ
りハーフエッチング部の内側の透視孔部上方にペースト
が付着するのを確実に防止できる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明に係る印刷用スクリーンと基板
の位置合わせ方法及び構造の実施例を図面に従って説明
する。

【００２０】図１乃至図４で本発明の第１実施例を説明
する。これらの図において、印刷パターン（抜穴により
形成されたスクリーン印刷のためのパターン）を有する
ステンレス等の印刷用スクリーン１のペースト供給側の
面にスクリーン１の肉厚の半分程度の深さを有する円形
のハーフエッチング部２１がエッチング処理で形成さ
れ、さらに該ハーフエッチング部２１よりも小径の円形
透視孔部２２がハーフエッチング部２１の中央部分に同
心に形成されている。該ハーフエッチング部２１は、円
形透視孔部２２の周縁部分に位置する円環状平面である
ハーフエッチング面２４を有しており、例えば、印刷用
スクリーン１の厚さＴが０.１〜０.２mmの場合、ハーフ
エッチング部２１の深さＤはスクリーン厚さＴの約半分
の０.０５〜０.１mm程度となっている。

【００２１】透明シール２は前記ハーフエッチング部２
１の深さＤと同じかあるいは大きい厚みｔ（例えば０.
０５〜０.１mm）を有するポリエステル等の透明シート
（フィルム）の片面に透明な粘着剤を塗布した粘着面３
を有するものである。例えば、図４に示すように、片面
が粘着剤を塗布した粘着面３であるポリエステル等の透
明シート（フィルム）を予めハーフエッチング部２１の
形状に合わせて打ち抜いて形成した多数の透明シール２
が、粘着剤の剥がれが良くなるように処理した剥離台紙
２７上に粘着面３を貼り付けた状態で用意されており
（例えば、図４では台紙１枚あたり１８０個）、剥離台
紙２７から１枚毎剥離して使用するようになっている。

【００２２】前記透明シール２は、ハーフエッチング部
２１のハーフエッチング面２４にその粘着面３が貼り付
けられている（粘着されている）。ここで、透明シール
２はハーフエッチング部２１の径よりやや小さい円形で
あり、ハーフエッチング部２１に嵌め込むように貼り付
けられ、これによって透明シール２で円形透視孔部２２
が覆われたスクリーン側位置合わせ部２０が構成されて
いる。

【００２３】また、スクリーン印刷を施す基板１０の上
面には円形等の位置合わせ用マーク（フィデューシャル
マーク）１１が銅箔等で形成されている。

【００２４】ここで、スクリーン側位置合わせ部２０に
透明シール２を設けるのは、透明シール２が無いとスク
リーン印刷動作によりハーフエッチング部２１及び円形
透視孔部２２がペーストで埋まってしまい、以後の位置
合わせ動作が不可能となるからであり、透明シール２の
上面は印刷用スクリーン１の上面と同じ高さかそれ以上
になっている。なお、透明シール２は印刷用スクリーン
１上面よりも０.０５mm程度突出していてもスクリーン
印刷に差し支えない（スクリーン１上面からの突出量は
０〜０.０５mmの範囲内であることが好ましいと言え
る。）。

【００２５】また、ハーフエッチング部２１にはめ込む
如く円形透視孔部２２周囲のハーフエッチング面２４に
わたって透明シール２を設けたのは、スクリーン印刷時
にペーストが透明シール２とハーフエッチング部２１と
の境界に付着もしくは侵入したりしてもそのペースト位
置が円形透視孔部２２の円形輪郭にはかからないように
して、スクリーン印刷を繰り返しても常時正確な円形透
視孔部２２の輪郭が維持されるようにするためである。

【００２６】なお、従来例の場合と同様にスクリーン側
位置合わせ部２０は図８のようにスクリーン１の２つの
隅部分に位置し、同様に基板側の位置合わせ用マーク１
１も基板１０の２つの隅部分に位置しており、各位置合
わせ部２０の円形透視孔部２２の相互間隔と、位置合わ
せ用マーク１１の相互間隔とは等しく設定されているも
のとする。位置合わせ用マーク１１は、円形に限らない
が、本実施例では円形の場合を図示している。

【００２７】スクリーン１の上方には図３に構成を示す
画像処理装置３０が具備する撮像装置（ＴＶカメラ：Ｃ
ＣＤカメラ等）５が配置され、スクリーン１や基板側位
置合わせ用マーク１１を照らすためにリング照明器６が
設けられている。このリング照明器６の照射範囲Ｗはス
クリーン側位置合わせ部２０よりも充分大きな領域とな
るように定められている。

【００２８】図３に示すように、画像処理装置３０は、
スクリーン側位置合わせ部２０及び基板側位置合わせ用
マーク１１を含む視野内を撮像する撮像装置（ＴＶカメ
ラ）５と、撮像装置（ＴＶカメラ）よりの画像信号（明
暗を表す輝度信号）を多値化処理する画像信号処理部３
１と、多値化処理後の画像情報を記憶する画像メモリ３
２と、画像メモリ３２の画像情報から２箇所に設けられ
た円形透視孔部２２の基準点（例えば中心点）と円形位
置合わせ用マーク１１の照準点（例えば中心点）間のず
れを認識して基板１０が位置決め載置されたＸ−Ｙ−θ
テーブル３５の補正量（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を演算して
Ｘ−Ｙ−θテーブルを補正駆動する演算制御部３３とを
備えている。

【００２９】次にこの第１実施例の場合の位置合わせ動
作について説明する。但し、印刷用スクリーン１は固定
で、基板１０の方がＸ−Ｙ−θテーブル３５に載置され
ていて位置修正自在であるとする。

【００３０】まず、予め基板側位置合わせ用マーク１１
が基板上に重なっているスクリーン側の位置合わせ部２
０の円形透視孔部２２から光学的に透視可能な状態に設
定する。そして、円形透視孔部２２及び円形位置合わせ
用マーク１１の両者を撮像装置（ＴＶカメラ）５で撮像
して画像取り込みを行う。

【００３１】スクリーン側位置合わせ部２０の上方より
見た画像は図２のように銅箔等の円形位置合わせ用マー
ク１１が明部ａ、円形透視孔部２２を通して見える基板
面が暗部ｂ、その外側は透明シール２を通して見えるス
テンレス等の印刷用スクリーン１のハーフエッチング面
２４で明部ｃとなっている。したがって、撮像装置（Ｔ
Ｖカメラ）５により円形位置合わせ用マーク１１の円形
輪郭と円形透視孔部２２の円形輪郭とを取り込むことが
でき、円形透視孔部２２の中心点（基準点）と円形位置
合わせ用マーク１１の中心点（照準点）とのずれを画像
処理装置３０側で認識でき、認識結果に基づいたＸ−Ｙ
−θテーブルの補正量（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を用いてＸ
−Ｙ−θテーブル３５を作動させて円形透視孔部２２の
中心点と位置合わせ用マーク１１の中心点とを一致させ
る。そして、この状態を保ったまま、スクリーン印刷動
作を行う。

【００３２】なお、撮像装置（ＴＶカメラ）５の下端と
スクリーン上面間の距離Ｐは例えば８０mm程度であるの
に対し、透視孔部２２が形成されたハーフエッチング部
２１と基板上面との距離Ｑは０.４mm以下であり、カメ
ラ光学系の被写界深度よりみて距離Ｑは微小であり、カ
メラ側の焦点距離を変えずに透視孔部２２と位置合わせ
用マーク１１の画像取り込みが可能なことは明らかであ
る。

【００３３】上記位置合わせ動作は順次基板がＸ−Ｙ−
θテーブル上に載置されるたびに繰り返して実行され、
常に位置合わせ状態にてスクリーン印刷動作が実行され
ることになる。

【００３４】スクリーン印刷（ペーストを塗布するスキ
ージが透明シール２を設けた所も含めスクリーン１上を
移動する動作）を繰り返すうちに透明シール２の透明度
が低下した場合、ハーフエッチング部２１から透明シー
ル２を剥離し、新しい透明シール２をハーフエッチング
部２１に貼り付ける。透明シール２の平均的な使用寿命
は、透明シール交換後、スクリーン印刷を１０００回程
度行うことが可能であり、スクリーン印刷装置を連続稼
働しても約１６時間使用可能であり、所定時間稼働する
度に透明シール交換を実施すればよい。また、図４に示
すように、片面が透明な粘着剤を塗布した粘着面３であ
る透明シートを予めハーフエッチング部２１の形状に合
わせて打ち抜いて形成してなる多数の透明シール２を、
剥離台紙２７に粘着面３にて貼り付けた状態で用意する
ことができ、透明シール交換の際に台紙２７から１枚毎
に剥離して使用することができ、透明シール２はスクリ
ーン１のハーフエッチング部２１に粘着されているもの
であるから、古くなった透明シールの引き剥がしが容易
で、新規の透明シールの貼り付け作業も容易である。

【００３５】上記第１実施例によると、スクリーン側位
置合わせ部２０は円形透視孔部２２上を覆うように透明
シール２をハーフエッチング面２４に粘着して貼り付け
た構成であり、透明シール２の粘着面３の粘着剤が円形
透視孔部２２へにじみでる等の問題もないので、円形透
視孔部２２の輪郭に影が生じることはない。従って、撮
像装置５を有する画像処理装置３０による画像認識にお
いて、位置合わせの基準となる円形透視孔部２２のはっ
きりとした円形輪郭が得られ、前記円形透視孔部２２の
中心点（基準点）と基板側の円形位置合わせ用マーク１
１の中心点（照準点）とを一致させる動作を正確に実施
できる。

【００３６】また、スクリーン印刷に伴いペースト中の
固形成分で表面が傷付いて透明シール２の透明度が低下
しても、その使用済みの透明シール２を廃棄して新規の
透明シール２に交換するので、従来例のように透明部材
の洗浄により透明度を回復させる必要も無く、常に安定
した画像認識が可能である。従って、基板と印刷用スク
リーンとの位置合わせを常に正確におこなうことができ
る。

【００３７】また、透明シール２の粘着面３の粘着剤は
通常の使用においては十分な粘着強度を有しているた
め、スクリーン印刷中に透明シール２がハーフエッチン
グ部２１から剥がれるおそれはなく、透明シール交換時
においては粘着剤がハーフエッチング面２４に残留する
ことなく（ほとんど無視できる）容易に剥がすことがで
きる。また、透明シール２のハーフエッチング部２１へ
の貼り付け作業も特別な熟練を必要とすることなく容易
に行うことができるとともに、従来必要であった残留接
着剤の除去作業が不要である。従って、交換に要する時
間が飛躍的に短縮でき、従来例ではスクリーンに接着し
た透明部材は交換に３０〜４０分必要としたが、透明シ
ール２を用いる第１実施例の場合５分以内で交換可能に
なり、透明シール交換時においても円形透視孔部２２の
エッジに欠け、割れといった損傷を生じる恐れがない。
さらに、透明シール２は製造容易であるとともに安価で
あり、従来例の透明部材のような接着用の接着剤の準備
（調合等）や接着後の乾燥時間も不要で道具もいらず、
作業能率の向上とともにランニングコストを低減でき
る。

【００３８】図５は本発明の第２実施例を示している。
この場合スクリーン側位置合わせ部２０は、第１実施例
と同様に印刷用スクリーン１上面のハーフエッチング部
２１に透明シール２を貼り付けるとともに、印刷用スク
リーン１裏面に円形透視孔部２２開口を塞ぐ如く透明シ
ール１２を前記透明シール２に対向して貼り付けた（粘
着した）構成である（透明シール１２の形状、材質、機
能等は透明シール２と同じでよい。）。この場合、透明
シール１２の粘着面１３を印刷用スクリーン１裏面側の
円形透視孔部２２周囲に粘着することで、円形透視孔部
２２が透明シール２と透明シール１２に挟まれた中空に
なっている。従って、円形透視孔部２２の上下を覆うよ
うに位置する透明シール２，１２の粘着面３，１３への
異物の付着を防ぐことができ、透明シール２の透明度を
保つことができ、信頼性が向上する。なお、円形透視孔
部２２の径が小さいため、円形透視孔部２２において透
明シール２の粘着面３と透明シール１２の粘着面１３が
くっついてしまうことはない。また、基板１０上の円形
等の位置合わせ用マーク１１とスクリーン裏面側の透明
シール１２とが対接するが、位置合わせ用マーク１１の
厚さは数１０μｍ以下であって透明シール１２が突き上
げられたり傷付いたりする問題は生じない。さらに、基
板１０の上面（ペースト印刷面）とスクリーン下面とは
スクリーン印刷時において密着していることが望ましい
が、前記透明シール１２の存在が基板１０とスクリーン
１との密着性を損なう恐れはない（スクリーンがたわむ
ことで基板に密着できる。）但し、透明シール１２の周
囲１０mm以内では印刷パターンを設けない方がよい。な
お、その他の構成及び作用効果は前記第１実施例と同様
である。

【００３９】また、スクリーン側透視孔部及び基板側マ
ークは円形以外の形状、例えば方形等としてもよく、そ
の場合スクリーン側透視孔部の基準点として例えば重心
等を採用でき、同様に基板側のマークの照準点として例
えば重心等を採用できる。

【００４０】さらに、スクリーン側透視孔部及び基板側
マークを円形以外の形状とした場合、それらの形状に対
応させて透明シールの形状も円形以外の形状とすること
ができる。

【００４１】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
印刷用スクリーンのペースト供給側の面にハーフエッチ
ング部を設けかつ該ハーフエッチング部より内側に透視
孔部を設けるとともに、片面に粘着面を有する透明シー
ルを前記透視孔部を覆う如く前記ハーフエッチング部に
貼り付けてスクリーン側位置合わせ部を構成し、基板上
に前記印刷用スクリーンを重ねた状態で前記透視孔部を
通して前記基板側の位置合わせ用マークを検出するよう
にしたので以下の効果を得ることができる。 （１） 透視孔部を覆う如く透明シールをハーフエッチ
ング部に粘着しており、スクリーン側位置合わせ部の透
視孔部の輪郭に影等が生じることがなく、撮像装置を具
備する画像処理装置によって基準となる透視孔部のはっ
きりとした輪郭が認識でき、印刷用スクリーンと基板と
の位置合わせを正確に実施できる。また、新規の印刷用
スクリーンによる印刷開始時だけでなく、各基板毎にス
クリーン側位置合わせ部と基板側位置合わせ用マークと
を画像認識して正確に位置合わせが可能になり、印刷動
作の繰り返しによりスクリーン側に位置ずれが生じた場
合でもこの位置ずれを修正できる。 （２） スクリーン印刷に伴い透明シールの透明度が低
下しても、その使用済みの透明シールを廃棄して新規の
透明シールに交換すればよく、洗浄により透明度を回復
させる必要も無く、常に安定した画像認識が可能であ
る。 （３） 透明シールは製造容易であるとともに安価であ
り、粘着後の乾燥時間も不要で貼り付け用の道具もいら
ず、透明シール交換作業は従来例の透明部材の接着構造
の場合に比して大幅な時間短縮と能率の向上ができ、ラ
ンニングコストも低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る印刷用スクリーンと基板の位置合
わせ方法及び構造の第１実施例を示す断面図である。

【図２】第１実施例において撮像装置側よりスクリーン
側位置合わせ部を見た透視図である。

【図３】第１実施例で用いる画像処理装置の１例を示す
ブロック図である。

【図４】第１実施例で用いる透明シールを多数有する剥
離台紙の１例を示す平面図である。

【図５】本発明の第２実施例を示す断面図である。

【図６】印刷用スクリーンと基板の位置合わせ方法及び
構造の従来例を示す断面図である。

【図７】従来例において撮像装置側よりスクリーン側位
置合わせ部を見た透視図である。

【図８】従来例及び各実施例におけるスクリーン側位置
合わせ部の配置例を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 印刷用スクリーン ２，１２ 透明シール ３，１３ 粘着面 ５ 撮像装置（ＴＶカメラ） ６ 照明器 １０ 基板 １１ 位置合わせ用マーク ２１ ハーフエッチング部 ２２ 透視孔部 ２４ ハーフエッチング面 ３０ 画像処理装置 ３５ Ｘ−Ｙ−θテーブル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41F 15/34 B41N 1/24 H05K 3/12 610 B41F 15/08 303 H05K 3/34 505

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 印刷用スクリーンのペースト供給側の面
   にハーフエッチング部を設けかつ該ハーフエッチング部
   より内側に透視孔部を設けるとともに、片面に粘着面を
   有する透明シールを前記透視孔部を覆う如く前記ハーフ
   エッチング部に前記粘着面にて貼り付けてスクリーン側
   位置合わせ部を構成し、基板上に前記印刷用スクリーン
   を重ねた状態で前記透視孔部を通して前記基板側の位置
   合わせ用マークを検出し、前記透視孔部の基準点と前記
   位置合わせ用マークの照準点とを一致させることを特徴
   とする印刷用スクリーンと基板の位置合わせ方法。
2. 【請求項２】 基板上に位置合わせマークを設けるとと
   もに、印刷用スクリーンの印刷用ペースト供給側の面に
   ハーフエッチング部を設けかつ該ハーフエッチング部よ
   り内側に透視孔部を設け、片面に粘着面を有する透明シ
   ールを前記透視孔部を覆う如く前記ハーフエッチング部
   に前記粘着面にて貼り付けてスクリーン側位置合わせ部
   を構成したことを特徴とする印刷用スクリーンと基板の
   位置合わせ構造。
3. 【請求項３】 前記ハーフエッチング部に貼り付けた前
   記透明シールに対向させて前記印刷用スクリーンの裏面
   に別の透明シールを貼り付けて前記スクリーン側位置合
   わせ部を構成してなる請求項２記載の印刷用スクリーン
   と基板の位置合わせ構造。
4. 【請求項４】 前記ハーフエッチング部に貼り付けた前
   記透明シールは、前記ハーフエッチング部の深さと同じ
   厚さ又は当該深さよりも僅かに厚く形成されている請求
   項２記載の印刷用スクリーンと基板の位置合わせ構造。