JP2606934B2

JP2606934B2 - 板状体の把持装置

Info

Publication number: JP2606934B2
Application number: JP1314091A
Authority: JP
Inventors: 盛雄池林; 大亥桶谷; 憲久園山
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1989-12-01
Filing date: 1989-12-01
Publication date: 1997-05-07
Anticipated expiration: 2012-05-07
Also published as: JPH03178792A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、半導体のウエハやガラス基板などにパター
ンを焼付けるために用いられるホトマスクが形成され
た、いわゆるレチクルと称される板状体を把持するため
に好適に用いられる板状体の把持装置に関する。

従来の技術第７図は、典型的な従来技術の把持装置１の斜視図で
ある。この把持装置１は、操作者によって保持される把
持部２に対して、ピン３によってアーム４が揺動変位自
在に取付けられており、そのアーム４の脚部５に取付け
られたクランプヘッド15と、把持部２に取付けられた支
持脚６のクランプヘッド16とによってレチクル７を保持
するように構成されている。

クランプヘッド15,16には、レチクル７に形成された
鍔８が嵌り込むＶ溝9,10がそれぞれ形成されている。把
持部２に一体的に形成される支持脚６と、アーム４との
間には、引張ばね11が取付けられており、この引張ばね
11のばね力によって、支持脚６とアーム４とは相互に近
接する方向にばね付勢されている。

またアーム４の基端部には、押釦12が取付けられてい
る。この押釦12を矢符Ａ方向に押圧変位することによっ
て、アーム４がばね11のばね力に抗して、矢符Ｂ方向に
揺動変位する。これによってクランプヘッド15,16が相
互に離反する方向に変位し、この状態でＶ溝9,10にレチ
クル７の鍔８が嵌り込むように、該把持装置１が配置さ
れる。

前記押釦12への押圧力が解除されると、ばね11のばね
力によって、アーム４が前記矢符Ｂ方向とは反対方向に
揺動変位し、クランプヘッド15,16によってレチクル７
が把持される。

このようにしてレチクル７が保持されると、把持部２
の押釦12近傍の外周面に取付けられている締付けリング
13が締付けられ、アーム４が固定される。これによって
クランプヘッド15,16間の間隔がさらに小さくなり、こ
うしてレチクル７が把持される。

レチクル７は、上述のように把持装置１によって保持
された状態で第８図に示される容器21に着脱される。容
器21は、収納空間22を有する容器本体23と、開閉自在の
蓋24とから構成されている。容器本体23には、レチクル
７の前記鍔８が乗載される一対の架台25,26と、レチク
ル７を、該レチクル７の着脱時には案内し、収納時に
は、がたつきなく保持するための案内壁27,28と、位置
決め用の突起29〜32とが形成されている。

操作者は、前記容器21内に収納されているレチクル７
を、前述のようにして把持装置１で把持して取出し、ま
た洗浄や焼付けなどの工程が終了した後には、レチクル
７を把持装置１で把持して容器21内に収納する。

発明が解決しようとする課題上述のような従来技術の把持装置１では、レチクル７
はクランプヘッド15,16によって２点で支持されるた
め、安定して把持することができない。また、前記洗浄
工程などのレチクル７の取扱い中に、レチクル７が滑り
落ちるおそれがある。さらにまた、アーム４がレチクル
７の中央部付近を覆うため、アーム４に付着している埃
などが落下して付着するおそれがある。

また、レチクル７を確実に把持するためには、締付リ
ング13を回転する必要があり、作業性が悪い。さらにま
た、この締付けリング13の締付け具合が緩いときにはレ
チクル７が落下しやすく、一方、過度に締付け過ぎる
と、レチクル７に歪みが生じたり、破損するおそれがあ
る。したがって、該把持装置１の取扱いには熟練を要す
る。

本発明の目的は、簡単な操作で板状体を確実に保持す
ることができる板状体の把持装置を提供することであ
る。

課題を解決するための手段本発明は、操作者の手元に配置され、操作者が把持し
て板状体を着脱操作する押釦を有する把持部と、板状体の一方の端部が嵌まり込む溝が形成された保持
部材と、板状体に対して近接、離反可能に支持され、かつ板状
体に近接する方向に弾発付勢されて板状体の他方の端部
に当接する可動片と、可動片と協働して板状体の前記他方端部を把持する当
接片と、該可動片と一体支持され、把持部と角変位可能であ
り、一方向に突出する頂部と、頂部に連なり把持部側に
延びる側部と、側部に連なり他方向に突出する操作部と
を有する係合片が形成されるレバーとから成る板状体の
把持装置であって、前記保持部材と可動片とは、少なくとも合計３個設け
られるとともに、前記押釦には、前記係合片の頂部または側部が当接す
る大径部と、大径部より小径であって該大径部と頂部と
の当接を解除する小径部とが該押釦の軸線方向に隣接し
て形成され、前記大径部と頂部とが当接されて保持部材と可動片と
が板状体を挟んだロック状態と、大径部と側部とが当接
されて保持部材と可動片とを離間したロック状態とが押
釦の進退運動によって切換えられることを特徴とする板
状体の把持装置である。

作用本発明に従えば、押釦を有する把持部と、板状体の一
方の端部が嵌まり込む溝を有する保持部材と、板状体の
他方の端部に当接して当接片との間で把持する可動片と
が設けられ、可動片と一体支持されるレバーには、頂部
と側部と操作部とが設けられており、保持部材と可動片
とは、少なくとも合計３個設けられる構成となってい
る。

板状体は、一方の端部が保持部材の溝に嵌まり込み、
他方の端部が可動片とによって挟持される。この挟持
は、可動片が弾発付勢されることによって弾発的に行わ
れる。

把持部は、押釦を有し、またレバーには操作部が設け
られる。板状体を把持した状態では、大径部と頂部とが
当接して、可動片に作用する弾発力によって可動片によ
って板状体を挟持する。この状態は、レバーが押釦によ
ってロックされているので、安定して板状体が把持され
る。このロックを解除するには、押釦を押圧操作しなけ
ればならない。また、板状体を把持装置から離脱するの
は、前記ロックを解除した後、可動片に作用する弾発力
に抗してレバーの操作部を操作することによって簡単に
行え、またこの状態は押釦でロックされる。

実施例第１図は本発明の一実施例の把持装置41の斜視図であ
り、第２図はその側面図であり、第３図はその平面図で
ある。この把持装置41は、大略的に、操作者によって把
持される把持部42と、把持部42に一体的に形成される枠
体43と、この枠体43から垂下して形成され、操作者の手
先側に配置される一対の脚部43a,43bと、枠体43から垂
下して形成され、操作者の手元側に配置される当接片4
6,47と、当接片46,47と対を成し、当接片46,47に近接・
離反変位可能となるように枠体43に取付けられている可
動片48,49とを含んで構成されている。

前記把持部42、枠体43、脚部43a,43b、当接片46,47お
よび可動片48,49は、ステンレスやアルミ合金などの材
料から成り、このため脚部43a,43b、当接片46,47、可動
片48,49のレチクル７の鍔８に当接する部分には、テフ
ロンなどの樹脂材料から成るクランプヘッド51〜56がそ
れぞれ取付けられている。クランプヘッド51と脚部43a
とは保持部材44を構成し、クランプヘッド52と脚部43b
とは保持部材45を構成する。

前記クランプヘッド51,52には、レチクル７の一方の
端部の鍔8aが嵌め込まれるＶ溝57,58が形成されてい
る。また、当接片46,47の枠体43からの長さW1は、前記
保持部材44,45の前記Ｖ溝57,58までの長さW2とほぼ等し
くなるように選ばれ、クランプヘッド53,54は、その底
面53a,54aがレチクル７に対して平行となるように取付
けられている。

第４図は、可動片48,49付近を拡大して示す斜視図で
ある。第１図〜第４図を参照して、可動片48,49は、枠
体43の操作者側において、軸60によって揺動変位自在に
支持され、この可動片48,49は、引張ばね61,62によっ
て、矢符Ｃ方向にばね付勢されている。このばね力によ
って可動片48,49が変位した状態では、クランプヘッド5
5,56の当接面55a,56aと、前記クランプヘッド53,54の前
記底面53a,54aとは、相互に平行となってレチクル７の
他方の端部の鍔8bを挟持する。

前記２つの可動片48,49は、軸60によって揺動自在に
支持されるとともに、連結軸63によって連結されてお
り、連動して変位する。この連結軸63は、Ｌ字状に形成
されたレバー64の一方の端部に形成された挿通孔65内を
挿通してレバー64と可動片48,49とを一体的に構成して
いる。レバー64の中央部分は、前記軸60によって揺動自
在に支持されている。また、このレバー64の他方の片
は、係合片66を形成し、これは上方に突出した頂部66a
と、これに連なり前記軸60と反対方向に延びる脚部66b
と、これに連なり下方に延びる操作部66cとから成る。
この頂部66aは、レバー64の揺動変位によって、把持部4
2に形成された遊通孔67内を出入りする。

第５図は、把持部42の遊通孔67の断面図である。把持
部42内には、前記遊通孔67に連通して釦孔71が形成され
ており、この釦孔71には、前記係合片66をロツクする押
釦72が嵌め込まれている。押釦72は、操作者の手指によ
って操作され、一方の開口71aに臨む押圧操作部73と、
この押圧操作部73よりも小径の小径部74と、小径部74よ
りも大径の大径部75とから構成されている。大径部75
は、帽状に形成され、その内部がばね受けになってお
り、ここに圧縮ばね76の一端が当接し、この圧縮ばね76
の他端は釦孔71の他方の開口71bを塞ぐカバー77に当接
している。圧縮ばね76によって、押釦72は矢符Ｄで示さ
れる押圧操作方向とは反対方向にばね付勢されている。

第６図は第５図の切断面線VI−VIから見た断面図であ
り、前記第５図とこの第６図とを参照して、前記レチク
ル７を把持した状態で、押釦72が押圧操作されていない
ときには、第５図（１）および第６図（１）で示される
ように、遊通孔67から釦孔71内に進入した係合片66の頂
部66aは、大径のばね受け部75に当接し、これによって
レバー64は第２図で示されるようにレチクル７を把持し
た状態でロックされる。

これに対して押釦72が矢符Ｄ方向に押込まれると、第
５図（２）および第６図（２）で示されるように、係合
片66の頂部66aは前記ばね受け部75に当接することはな
く、したがってレバー64が遊通孔67に嵌入するまで、係
合片66の頂部66aは釦孔71内に進入することができる。

またこの進入した状態で押釦72の押圧操作を解除する
と、第６図（３）で示されるように、係合片66の側部66
bはばね受け部75に当接し、こうしてレバー64がロック
される。

上述のように構成された把持装置41は、以下のように
して使用される。操作者は、レバー64の操作部66cと把
持部42とを握り、ばね61,62のばね力に抗して、矢符Ｃ
方向とは反対方向に変位して、第６図（３）で示される
ように、係合片66の側部66bがばね受け部75に当接した
状態とする。この状態で、前記第８図で示される容器21
内に収納されているレチクル７の一方の端部の鍔8aを保
持部材44,45のＶ溝57,58に嵌め込む。

その後、当接片46,47をレチクル７の他方の端部の鍔8
bの一方側表面に当接し、この状態で押釦71を押込ん
で、レバー64の係合状態を解除する。これによってレバ
ー64は、ばね61,62のばね力によって矢符Ｃ方向に変位
し、当接片46,47は前記鍔ｂの他方側表面に当接し、こ
うしてレチクル７が固定・把持される。

この状態で押釦71の押圧操作を解除すると、レバー64
の係合片66は第６図（１）で示されるようにばね受け部
75に当接し、レバー64が矢符Ｃ方向とは反対方向へ変位
することが阻止される。こうしてレクチル７が確実に把
持されると、操作者は前記容器21から取り出し、レチク
ル７に他の工程の作業を行う。

このように本発明に従う把持装置41では、レチクル７
を４点で支持するようにしたので、安定して把持するこ
とができる。また、従来技術の項で述べたように枠体43
がレチクル７上を覆うことはなく、したがってレチクル
７に埃などが付着するおそれがなくなるとともに、洗浄
作業などの作業性を向上することができる。さらにま
た、レチクル７にはクランプヘッド51〜56が当接し、こ
のクランプヘッド51〜56は前述のようにテフロンなどの
樹脂材料から成り、したがってレチクル７を大きい摩擦
力で確実に保持することができ、取り扱い中の脱落など
を防止できる。

また、レチクル７の固定は従来技術の項で述べたよう
な締付けリングではなく、押釦操作によって簡単に行う
ことができ、作業性を格段に向上することができるとと
もに、取り扱い作業が簡単であり、特に熟練を要しな
い。さらにまた、レチクル７に無理な力が加わることは
なく、したがって従来技術の項で述べたようなレチクル
７の損傷を防止することができる。

本実施例では、保持部材44,45と、当接片46,47および
可動片48,49の組とを各２個設けたものについて説明し
たが、保持部材は１個でもよく、または当接片および可
動片を１組としてもよく、保持部材と当接片および可動
片の組との合計を少なくとも３個設け、レチクル７を少
なくとも３点で支持するようにしてもよい。

発明の効果以上のように本発明によれば、板状体の一方の端部を
保持部材の溝に嵌め込み、他方の端部を当接片と可動片
とによって挟持し、これら当接片と保持部材とを少なく
とも合計３個所設けるようにしたので、板状体は少なく
とも３点で安定して把持され、取扱い時の作業性を向上
することができるとともに、脱落などの不所望な事態を
防止することができる。

また、操作者は、先ず保持部材の溝に板状体の一方の
端部を嵌め込んだ後、板状体の他方の端部を、押釦を押
圧操作するだけで、可動片によって板状体を挟持する。
この状態は、押釦でロックされ、板状体が不注意に離脱
することはない。また、板状体を本装置から離脱するの
は、押釦で前記ロックを解除した後、把持部とレバーの
操作部とを、可動片に作用する弾発力に抗して操作する
ことによって簡単に行え、またこの状態は押釦によって
ロックされる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の把持装置41の斜視図、第２
図は把持装置41の側面図、第３図は把持装置41の平面
図、第４図は可動片48,49付近を拡大して示す斜視図、
第５図は遊通孔67の断面図、第６図は第５図の切断面線
VI−VIから見た断面図、第７図は従来技術の把持装置１
の斜視図、第８図はレチクル７とその容器21とを示す斜
視図である。 41……把持装置、42……把持部、43……枠体、44,45…
…保持部材、46,47……当接片、48,49……可動片、51〜
56……クランプヘッド、57,58……Ｖ溝、64……レバ
ー、66……係合片、67……遊通孔、71……釦孔、72……
押釦

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】操作者の手元に配置され、操作者が把持し
て板状体を着脱操作する押釦を有する把持部と、板状体の一方の端部が嵌まり込む溝が形成された保持部
材と、板状体に対して近接、離反可能に支持され、かつ板状体
に近接する方向に弾発付勢されて板状体の他方の端部に
当接する可動片と、可動片と協働して板状体の前記他方端部を把持する当接
片と、該可動片と一体支持され、把持部と角変位可能であり、
一方向に突出する頂部と、頂部に連なり把持部側に延び
る側部と、側部に連なり他方向に突出する操作部とを有
する係合片が形成されるレバーとから成る板状体の把持
装置であって、前記保持部材と可動片とは、少なくとも合計３個設けら
れるとともに、前記押釦には、前記係合片の頂部または側部が当接する
大径部と、大径部より小径であって該大径部と頂部との
当接を解除する小径部とが該押釦の軸線方向に隣接して
形成され、前記大径部と頂部とが当接されて保持部材と可動片とが
板状体を挟んだロック状態と、大径部と側部とが当接さ
れて保持部材と可動片とを離間したロック状態とが押釦
の進退運動によって切換えられることを特徴とする板状
体の把持装置。