DE69208183T2

DE69208183T2 - Halter für eine optische Membranabdeckung

Info

Publication number: DE69208183T2
Application number: DE69208183T
Authority: DE
Inventors: Yung-Tsai Atherton Calif. Yen
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1991-08-26
Filing date: 1992-08-03
Publication date: 1996-12-12
Anticipated expiration: 2012-08-04
Also published as: KR960014053B1; ATE133918T1; KR930005113A; DE69208183D1; JPH05197135A; CA2070257A1; TW215512B; EP0529826A1; US5168993A; CA2070257C; JP2665433B2; EP0529826B1

Description

Hintergrund der Erfindung

Diese Erfindung bezieht sich im allgemeinen auf optische Membranabdeckungen, und spezieller auf einen Halter für solch eine Membranabdeckung.
Membranabdeckungen spielen eine wichtige Rolle bei der Herstellung von Halbleiterplatten, die in intergrierten Halbleiterschaltkreisen verwendet werden. Wie vielleicht am besten im US-Patent Nummer 4,131,363 von Shea et al. beschrieben, umfaßt eine optische Membranabdeckung eine dünne transparente Membran, die über einen starren Rahmen gespannt ist. Die Membranabdeckung wird direkt auf einer Fotomaske plaziert, so daß die Membran etwas entfernt von der Maske positioniert ist. Somit sind Staub und kleinere Partikel, die auf die Membran der Membranabdeckung fallen, während des fotolithografischen Prozesses außerhalb des Fokus und werden deswegen in der Silikonplatte nicht reproduziert
Zur Herstellung einer Membranabdeckung wird zuerst eine sehr dünne Membran, normalerweise in der Größenordnung von 0,5 bis 3,0 Mikrometer, auf einem Substrat geformt. Die Membran wird dann entfernt und auf dem Rahmen montiert, auf dem sie verkauft wird. Die Rahmen können viele verschiedene Formen haben, abhängig von der fotolithografischen Ausrüstung, mit der die Membranabdeckung letztendlich benutzt werden soll. Nachdem die Herstellung vollendet ist, findet ein ausführlicher Inspektionsprozeß statt. Während dieses Inspektionsprozesses wird die Membranabdeckung manuell gehandhabt und auf verschiedenen Arten von Inspektionsgeräten montiert. Nachdem die Inspektion abgeschlossen ist, wird die Membranabdeckung in einer Verpackung, wie sie in meinem US-Patent Nummer 4,470,508 beschrieben ist, verpackt. Diese Verpackung beinhaltet Schultern, um die Membranabdeckung sicher in ihrer Position zu halten und hat typischerweise einen ausgesetzten Kleber oder ein doppelseitiges Klebeband, um alle Verunreinigungen zu sammeln, die in der Luft im Inneren der Verpackung umherfliegen könnten. Wenn die Membranabdeckung benutzt werden soll, wird sie manuell aus der Verpackung entfernt und direkt auf die Fotomaske mit der sie benutzt werden soll, montiert.
Andere haben versucht, die mit diesen älteren Verpackungssystemen verbundenen Probleme zu lösen. Die europäische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 0 420 122 A1 bei E. I. DuPont De Nemours and Company zeigt als nächsten Stand der Technik ein Verpackungs- und Handhabungssystem, aber dieses System scheint die Membranabdeckung während der Verschiffung nicht sicher in ihrer Position zu halten. Somit wird die Möglichkeit, daß die Membranabdeckung angerempelt wird, erhöht, mit der begleitenden Verursachung von Einzelteilen. Außerdem erlaubt das Du-Pont-System nicht notwendigerweise, den Halter in exakt der gleichen Position immer wieder auf der Membranabdeckung anzubringen, wie es in einem Massenherstellungsbetrieb, der auch Teil eines hochautomatisierten Montagebetriebes sein kann, wünschenswert ist, einschließlich der Handhabung durch Personen mit begrenzter Geschicklichkeit und begrenzten Training.
Während die Verwendung meiner patentierten Verpackung sehr effektiv die Verschmutzung der Membranabdeckung während der Verschiffung vermeidet, bleibt eine sehr reale Möglichkeit von Verschmutzung oder Beschädigung der Membranabdeckungs-Membran während Inspektion und Montage auf der Fotomaske, weil die Membranabdeckung während dieser Vorgänge gehandhabt werden muß.
Aus diesem Grunde ist es ein allgemeines Aufgabengebiet der vorliegenden Erfindung, ein System zur Handhabung von Membranabdeckungen zu schaffen, das die Nachteile und Beschränkungen von Stand-der-Technik-Lösungen vermeidet. Im spezielleren hat die Erfindung als Gegenstand das Folgende:
1. ein Handhabungssystem für optische Membranabdeckungen zu schaffen, das die Wahrscheinlichkeit von Verschmutzung oder Beschädigung der Membranabdeckungsmembrane reduziert;
2. einen Halter für eine optische Membranabdeckung zu entwickeln, in dem die Membranabdeckung während der Herstellung bis zum Inspektionsprozeß montiert werden kann und der die direkte Handhabung der Membranabdeckung reduziert;
3. die Bereitstellung eines Membranabdeckungshalters, der die optische Membranabdeckung während Herstellung, Inspektion und Verschiffung hält und zur Erleichterung der Montage der Membranabdeckung auf der Fotomaske verwendet werden kann;
4. Schaffung eines optischen Membranabdeckungshalters, der einfach konstruiert ist und wiederentfernbar eine optische Membranabdeckung hält, so daß die Montage in den Halter und das Entfernen aus dem Halter eine einfache Prozedur ist, die von einem, der wenig Übung oder Geschicklichkeit hat, vorgenommen werden kann;
5. die Entwicklung einer Membranabdeckungshandhabungsvorrichtung mit einer integrierten Konstruktion, die vor der Benutzung mit einer optischen Membranabdeckung leicht gereinigt werden kann;
6. Schaffung einer optischen Membranabdeckungmontagevorrichtung, die nach einer einfachen Reinigungsprozedur wiederverwendbar ist;
7. Schaffung eines Systems zur Handhabung einer optischen Membranabdeckung, das einfach an eine große Auswahl von Formen und Größen von Membranabdeckungen angepaßt werden kann und
8. Schaffung eines Membranabdeckungshandhabungssystems, das die Membranabdeckung während Verpackung und Verschiffung schützt.
In bezug auf die vorliegende Erfindung wird ein Halter für eine aus einem Rahmen und einer Membran bestehende optische Membranabdeckung geschaffen, der die Membranabdeckung während Inspektion, Verschiffung und Montage auf einer Fotomaske wiederentfernbar halten kann, der einen dauerhaft starren planaren Teil mit einem mittig ausgeschnittenen Fenster für die Aufnahme der wiederentfernbaren optischen Membranabdeckung umfaßt, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
die inneren Abmessungen des Fensters sind nur wenig größer als die äußeren Abmessungen der Membranabdeckung, so daß eine Reibpassung zwischen planarem Teil und optischer Membranabdeckung erreichbar ist;
der planare Teil weist eine sich nach innen erstreckende Schulter auf, gegen die die Membranabdeckung angelegt werden kann, wobei sich die Schulter einwärts nicht weiter erstreckt als es der Dicke des Rahmens entspricht;
der planare Teil weist ferner zum flexiblen Halten der Membranabdeckung in ihrer Position einwärts in Richtung des Fensters einen Vorspannabschnitt auf.
Weiter wird in bezug auf die vorliegende Erfindung eine haltermontierte optische Membranabdeckung geschaffen die
eine optische Membranabdeckung umfaßt, beinhaltend eine Membran und einen außenliegenden Rahmen und einen Ausrichtungshalter, der so ausgebildet ist, daß er eine Membranabdeckung während Inspektion, Verschiffung und Montage auf einer Fotomaske wiederentfernbar aufnimmt, in der Form eines dauerhaft starren Teils mit einem mittig ausgeschnittenen Fenster für die wiederentfernbare Aufnahme einer Membranabdeckung, durch folgende Merkmale gekennzeichnet:
die inneren Abmessungen des Fensters sind nur leicht größer als die äußeren Abmessungen des Rahmens, so daß eine Reibpassung zwischen planarem Teil und Rahmen existiert: der planare Teil weist eine sich nach innen erstreckende Schulter auf, gegen die die Membranabdeckung angelegt werden kann, wobei sich die Schulter einwärts nicht weiter erstreckt als es der Dicke des Rahmens entspricht, so daß der planare Teil sich nicht über die Membran ausdehnt, die sich innen zwischen dem Rahmen ausdehnt; der planare Teil weist ferner einwärts in Richtung des Fensters einen federnden Vorspannabschnitt auf, der den Rahmen berührt, um die Membranabdeckung flexibel in ihrer Position zu halten.
Weiter wird in bezug auf die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Benutzung einer optischen Membranabdeckung geschaffen, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
a) Wiederentfernbare Aufnahme der Membranabdeckung in einem Halter durch Auslenkung eines Vorspannabschnittes in den Halter und Drücken der Membranabdeckung mit der Frontseite der Membranabdeckung in den Halter, so daß sich die Rückseite der Membranabdeckung noch außerhalb des Halters befindet.
b) Inspektion der Membranabdeckung durch Halten des Halters.
c) Montage der Membranabdeckung auf einer Fotomaske durch Kleben der Rückseite der Membranabdeckung auf die Fotomaske und Entfernen des Halters durch Abziehen von der Membranabdeckung.
Die vorliegende Erfindung wird anhand eines Beispiels in bezug auf die begleitenden Zeichnungen weiter illustriert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise in zerlegter Anordnung perspektivische Ansicht eines ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, die zeigt, wie der Halter die Membranabdeckung empfängt;
Fig. 2 eine Draufsicht auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 1 wobei die innere Peripherie des Membranabdeckungsrahmens in Durchsicht dargestellt ist;
Fig. 3 eine vergrößerte, geschnittene Seitenteilansicht entlang der Linie 3-3 von Fig. 2., wobei die Membranabdeckung im Schnitt dargestellt ist; diese Ansicht zeigt außerdem in Durchsicht den Finger eines Bedieners, der zum Greifen des Membranabdeckungsrahmens benutzt wird, um die Membranabdeckung vom Halter zu entfernen;
Fig. 4 eine vergrößerte, geschnittene Seitenteilansicht entlang der Linie 4-4 von Fig. 2, wobei der Membranabdeckungsrahmen im Schnitt dargestellt ist;
Fig. 5 eine teilweise Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wobei die innere Peripherie des Membranabdeckungsrahmens in Durchsicht dargestellt ist;
Fig. 6 eine vergrößerte, geschnittene Seitenteilansicht des zweiten Ausführungsbeispiels entlang der Linie 6-6 von Fig. 5; und
Fig. 7 eine Draufsicht auf ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wobei die innere Peripherie des Membranabdeckungsrahmens in Durchsicht dargestellt ist.

Detaillierte Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels

In bezug auf Fig. 1 bis 4 ist ein allgemein als 10 bezifferter optischer Membranabdeckungshalter dargestellt, der in bezug auf die vorliegende Erfindung hergestellt ist. Der Halter 10 ist so gestaltet, daß er wiederlösbar eine Membranabdeckung halten kann, wie sie als 12 dargestellt ist. Die Membranabdeckung 12 besteht aus einem äußeren Rahmen 14 und einer Membran 16 (sh. Fig. 1).
Der Halter 10, der hier auch als Planarteil beschrieben worden ist, ist in seiner Konstruktion dauerhaft starr und normalerweise aus einem harten Plastikmaterial wie Delrin oder ABS "Acrylnitril Butadien Styrol". Der Halter 10 ist so gestaltet, daß er die Membranabdeckung mit einem mittig ausgeschnittenen Fenster 18 von außen umgibt. Das Fenster 18 ist durch eine innenseitige Oberfläche 20, die in ihren inneren Abmessungen nur leicht größer ist als die äußeren Abmessungen des Membranabdeckungsrahmen 14, definiert. Der Abstand liegt typischerweise in der Größenordnung von ungefähr 0,005 inch (0,127 Millimeter).
Der Halter 10 schließt außerdem eine sich nach innen erstreckende Schulter 22 ein, gegen die die Oberseite der Membranabdeckung mit der Membran darauf als Gegenlager plaziert wird. Die Tiefe der Schulter in bezug auf die Innenseite 20 ist normalerweise kleiner als die Tiefe des Membranabdeckungsrahmens, so daß die Schulter, wenn der Membranabdeckungsrähmen in Position ist, sich, wie in Fig. 4 dargestellt, über die Oberfläche der Innenseite ausdehnt. Die Schulter 22 dehnt sich im dargestellten Ausführungsbeispiel über eine Entfernung, die, wie in Fig.2 dargestellt, normalerweise kleiner ist als die Dicke des Membranabdeckungsrahmens 14, innenseitig aus. Somit stellt die Schulter eine passende Oberfläche bereit, an der die Membranabdeckung ruht, aber sie dehnt sich nicht soweit nach innen aus, daß sie mit dem Abschnitt der Membran in Kontakt kommt, der sich innerhalb des Membranabdeckungsrahmens ausdehnt.
Der Halter 10 beinhaltet außerdem ein System zum flexiblen Halten des Membranabdeckungsrahmens, so daß er, falls es gewünscht wird, wie in Fig. 3 dargestellt, manuell aus dem Halter entfernt werden kann oder während des Prozesses der Installation der Membranabdeckung auf einer Fotomaske entfernt werden kann. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist das System zum flexiblen Halten der Membranabdeckung in Form eines Vorspannabschnittes realisiert, der ein Paar gegenüberliegende Auslenkungsarme 24 beinhaltet, die durch verlängerte Schlitze 26 im Membranabdeckungshalter abgegrenzt werden. Die Arme 24 dehnen sich in entgegengesetzter Richtung aus und sind wünschenswerterweise entlang einer Seite des Membranabdeckungsrahmens 14 angeordnet. Die Arme 24 beinhalten jeweils einen erhöhten Griffabschnitt 28, der die Membranabdeckung berührt und in Position hält. Somit werden die Arme, wenn die Membranabdeckung in ihrer Position ist, in die Schlitze 26 abgelenkt, weil die verstärkten Griffabschnitte 28 durch die äußere Oberfläche des Membranabdeckungsrahmens 14 auswärts gedrückt werden.
Jeder der Arme 24 weist Löcher 44 auf. Um das Positionieren der Membranabdeckung 12 im Halter 10 zu vereinfachen, kann ein nicht dargestellter Stift in jedes der Löcher 44 eingesetzt werden, damit die Arme 24 vom Fenster 18 weg und zum Schlitz 26 hin gezogen werden können. Dies kann sowohl manuell als auch mittels einer automatisierten Ausrüstung geschehen.
Der Halter beinhaltet außerdem ein Paar gegenüberliegende ausgeschnittene Abschnitte 30, die Lücken auf der innenseitigen Oberfläche 20 formen, so daß die Membranabdeckung 12f die im Halter gehalten ist, durch einen Bediener, der seine Finger wie in Fig. 3 dargestellt benutzt, manuell entfernt werden kann. Wie auch immer, es sollte verstanden sein, daß während normaler Bedienung und Benutzung des Halters solch manuelles Entfernen nicht notwendig sein wird. Es ist vorauszusehen, daß die Membranabdeckung, wenn sie einmal montiert ist, bis zur eigentlichen Montage auf der Fotomaske nicht mehr vom Halter entfernt wird. Die Montage auf der Fotomaske wird normalerweise dadurch möglich sein, daß lediglich der untere Abschnitt der Membranabdeckung direkt auf der Fotomaske plaziert und aufgedrückt wird. Wie es jenen, die mit dem Betrieb und den Kennzeichnungsmerkmalen von Membranabdeckungen vertraut sind, verständlich ist, hat die untere Oberfläche einer Membranabdeckung normalerweise einen Haftbereich, um eine Haftung zu gewährleisten und die Fotomaske somit zu versiegeln.
Die Tiefe der ausgeschnittenen Abschnitte 30 entspricht normalerweise ungefähr der der Schultern 22, wie es am besten in Fig. 3 zu sehen ist, obwohl mit 32 abgerundete Abschnitte zur Erleichterung des manuellen Entfernungprozesses vorgesehen sind.
Der Halter sieht außerdem ein paar von gegenüberliegenden Löchern 34 und 36 vor, die als Führung während der Montage der Membranabdeckung auf der Fotomaske benutzt werden können. Somit ist durch die Benutzung von Ausrichtungsstiften oder anderen ähnlichen Führungen eine prazise Montage möglich, wieder ohne eine Handhabung der eigentlichen Membranabdeckung selbst. Diese Ausrichtungslöcher 34 und 36 können außerdem während der direkt auf die Herstellung folgenden Inspektion der Membranabdeckung benutzt werden. Zwei zusätzliche Löcher 38 sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel für eine zusätzliche Führungskapazität vorgesehen oder erlauben, daß die Membranabdeckung von passenden Trägern aufgehängt ist, während sie sich in ihrem Halter befindet.

Benutzung der Ausführungsbeispiele von Fig. 1 bis 4

Wie vorher erwähnt kann der Halter benutzt werden, um die Membranabdeckung während der Inspektionsprozesse nach der Herstellung zu halten. Um eine Membranabdeckung im Halter zu montieren ist der Halter typischerweise auf einer nichtdargestellten Spannvorrichtung angebracht, die ein paar geneigter Stifte hat, die durch die Löcher 44 in den Armen 24 durchgehen. Wenn der Halter auf der Spannvorrichtung runtergedrückt wird bewirkt die Neigung der Stifte, daß die Arme vom Fenster 18 weggezogen werden und somit Platz für die Membranabdeckung machen. Die Membranabdeckung 12 kann dann lediglich in ihrer Position fallengelassen werden und der Halter kann von der Spannvorrichtung entfernt werden. Dadurch werden die Arme befreit und halten dann die Membranabdeckung.
Alternativ kann, wenn man annimmt, daß die Membranabdeckung schon hergestellt ist und auf einem Herstellungstisch in Position gehalten wird, der Halter einfach mit der Seite, die die Auslenkungsarme 24 hat, auf die Membranabdeckung abgesenkt werden, so daß diese Seite zuerst in Kontakt kommt. Der Membranabdeckungsrahmen 14 wird benutzt, um die Griffabschnitte 28 abwärts in die dazugehörigen Schlitze 26 zu drücken und der Rest des Halters wird lediglich in Position gedrückt. Somit ist die Membranabdeckung 12 entsprechend vom Halter gegriffen ohne das es nötig wäre, daß der Bediener die eigentliche Membranabdeckung 12 selbst handhaben muß.
Mit der eingesetzten Membranabdeckung 12 kann der Bediener lediglich durch Halten an einer Seite oder einer Ecke des Halters 10 die Membranabdeckung aufheben und während des Inspektionsbetriebes handhaben. Falls eine Montage auf einer Inspektionsausrüstung notwendig ist, können die Führungslöcher 34 und 36 zur präzisen Positionierung der Membranabdeckung benutzt werden. Auch die Konfiguration des Halters 10 macht es weitaus leichter, automatische Ausrüstungen oder Roboter zur Handhabung der Membranabdeckung zu benutzen.
Zur Verschiffung des Produktes kann ein modifizierter Container verwendet werden, der im allgemeinen in Übereinstimmung mit meinem US-Patent Nr. 4,470,508 hergestellt wird. Weil sogar die äußere Kante der Membranabdeckungsmembran 16 nicht länger auf einer Oberfläche der Verpakkung ruhen muß ist die Möglichkeit, die Membran zu beschädigen, reduziert.
In der Chipherstellungsanlage wird die Membranabdeckung 12 lediglich durch Greifen des Halters 10 aus der Verpackung entfernt. Der Halter mit der Membran darin kann in konventioneller Lithografiausrüstung durch die Benutzung der Löcher 34 und 36 angeordnet werden oder durch eine manuelle Bedienung in Position montiert werden. Auf jeden Fall ist es nicht notwendig, die Membranabdeckung direkt zu handhaben. Ist die kleberbeschichtete Unterseite des Membranabdeckungsrahmens 14 einmal auf der Fotomaske angebracht, kann der Halter 10 lediglich zurückgezogen werden und die Haftung zwischen Membranabdeckungsrahmen und der Fotomaske bewirkt, daß die Membranabdeckung aus dem Halter entfernt wird. Ein Paar Einschnitte 40 werden normalerweise in der Außenseite des Membranabdeckungsrahmens geformt, um es zu ermöglichen, daß die Membranabdeckung während der Entfernung des Halters auf der Fotomaske in Position gehalten wird. Die Lage der Einschnitte in Berücksichtigung der Tiefe der Schulter 22 ist so, daß die Einschnitte, wenn die Membranabdeckung vom Halter 10 gehalten wird, frei bleiben.

Ausführungsbeispiel der Fig. 5 und 6

Das Ausführungsbeispiel der Fig. 5 und 6 ist identisch mit den Ausführungsbeispielen der Fig. 1 bis 4, außer daß es anstelle des Griffabschnittes 28 eine im allgemeinen kegelförmige Zacke 42 beinhaltet. Weil alle anderen Abschnitte dieses Auführungsbeispiels die gleichen sind wie im vorherigen Ausführungsbeispiel werden gleiche Bezugsziffern verwendet. Das gezackte Ausführungsbeispiel ist in Fällen, wo die Membranabdeckung fester gegriffen werden muß, hilfreich, und wird bei vielen Anwendungen gegenüber dem der Fig. 1 bis 4 bevorzugt werden. Bei einigen Anwendungen kann es wünschenswert sein, eine oder beide Oberflächen der Zacke und ihrer weiblichen Aufnahme zu beschichten. Solch eine Beschichtung kann ein weiches oder federndes Material wie Silicon sein, oder ein klebendes wie auf Wasser basierendes Acryl.
In den Ausführungsbeispielen der Fig. 5 und 6 wird die Membranabdeckung normalerweise ein paar gebohrte Einschnitte 40 haben, aber die Einschnitte werden tiefer als in Fig. 1 dargestellt positioniert. Besonders aus Fig. 6 ist ersichtlich, daß die Einschnitte in der unteren Hälfte der Membranabdeckung positioniert sind oder in der Hälfte der Membranabdeckung, die im Halter 10 eingerastet ist. Fig. 6 ist zum Zwecke der Illustration vereinfacht worden, um zu zeigen, daß die Membran 16 eine massive Linie ist. Wie auch immer sollte verstanden sein, daß die Membran 16 tatsächlich nur wie in Fig. 3 und 4 dargestellt, eine minimale Dicke hat.

Ausführungsbeispiel von Fig. 7

Das Ausführungsbeispiel von Fig. 7 ist dem von Fig. 1 bis 4 ähnlich, außer daß es so geformt ist, um mit runden Membranabdeckungen benutzt zu werden.
Wie vorher schon erwähnt haben Membranabdeckungen verschiedene Größen und Formen, abhängig von der fotolithografischen Ausrüstung, mit der sie benutzt werden sollen. Fig. 7 beinhaltet eine nach innen gewandte Oberfläche 120, eine sich äußerlich erstreckende Schulter 122, drei im gleichen Abstand angeordnete Arme 124, die durch die Löcher 126 definiert werden, Griffabschnitte 128 und Ausrichtungslöcher 134 und 138. Gegenüberliegende ausgeschnittene Abschnitte mit abgerundeten Bereichen, entsprechend zu den Abschnitten 30 und 32 des Ausführungsbeispiels von Fig. 1 bis 4, können genausogut vorgesehen sein. Löcher 144 sind in jedem der Arme 124 vorgesehen um es zu ermöglichen, daß die Arme durch ein automatisches System wie eine Spannvorrichtung zurückgezogen werden können, wie es später in bezug auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 1 bis 4 beschrieben wird.
Bei einigen Anwendungen kann es wünschenswert sein, kegelförmige Teile (in Fig. 7 nicht dargestellt), die den Teilen 42 des Ausführungsbeispiels von Fig. 5 und 6 entsprechen, an den Stellen, wo die Membranabdeckung mit größerer Haltekraft gegriffen werden muß, vorzusehen.
Die Erfindung kann, falls gewünscht, an andere Umfänge und Größen von Membranabdeckungen angepaßt werden. Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Fabrikation eines Halters für jede einer solchen Membranabdeckung. Es sollte verstanden sein, daß diese und andere Variationen und Modifikationen des dargestellten Ausführungsbeispiels gemacht werden können, ohne den Bereich und den Gedanken der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Diese Variationen und Modifikationen sollen durch die folgenden Ansprüche abgedeckt werden.

Claims

1. Halter für eine aus einem Rahmen (14) und einer Membran (16) bestehende optische Membranabdeckung, der die Membranabdeckung (12) während Inspektion, Verschiffung und Montage auf einer Fotomaske wiederentfernbar halten kann, und der Rahmen aus einem dauerhaft starren planaren Teil (10) mit einem mittig ausgeschnittenen Fenster (18) für die Aufnahme der wiederentfernbaren optischen Membranabdeckung (12) besteht, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

die inneren Abmessungen des Fensters (18) sind nur wenig größer als die äußeren Abmessungen der Membranabdeckung (12), so daß eine Reibpassung zwischen planarem Teil (10) und optischer Membranabdeckung (12) erreichbar ist:

der planare Teil (10) weist eine sich nach innen erstrekkende Schulter (22) auf, gegen die die Membranabdeckung (12) angelegt werden kann, wobei sich die Schulter (22) einwärts nicht weiter erstreckt als es der Dicke des Rahmens (14) entspricht, der planare Teil (10) weist ferner zum flexiblen Halten der Membranabdeckung (12) in ihrer Position einwärts in Richtung des Fensters (18) einen Vorspannabschnitt (24) auf.

2 Halter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der planare Teil (10) ein Paar gegenüberliegende Aussparungen (30) zum Greifen bei der Entfernung der Membranabdeckung (12) besitzt.

3. Halter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter zur präzisen Montage des Halters und der davon gehaltenen optischen Membranabdeckung (12) mindestens ein Paar gegenüberliegende Ausrichtungslöcher (34, 36) außerhalb des Fensters (18) aufweist.

4. Halter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorspannabschnitt aus einem Paar federnder Arme (24) besteht, die sich im wesentlichen parallel zum Rahmen (14) ausdehnen, um in Kontakt mit dem Rahmen (14) zu sein, aber zum Halten der Membranabdeckung (12) im Halter leicht nach innen eingestellt sind.

5. Halter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die federnden Arme (24) aus einem integrierten Teil des planaren Teils (10) bestehen.

6. Haltermontierte optische Membranabdeckung (12), bestehend aus einer optischen Membranabdeckung (12), beinhaltend eine Membran (16) und einen außenliegenden Rahmen (14) und einen Ausrichtungshalter (10), der so ausgebildet ist, daß er eine Membranabdeckung (12) während Inspektion, Verschiffung und Montage auf einer Fotomaske wiederentfernbar aufnimmt, in der Form eines dauerhaft starren Teils mit einem mittig ausgeschnittenen Fenster (18) für die wiederentfernbare Aufnahme einer Membranabdeckung (12), durch folgende Merkmale gekennzeichnet:

die inneren Abmessungen des Fensters (18) sind nur leicht größer als die äußeren Abmessungen des Rahmens (14), so daß eine Reibpassung zwischen planarem Teil (10) und Rahmen (14) existiert,

der planare Teil (10) weist eine sich nach innen erstrekkende Schulter (22) auf, gegen die die Membranabdeckung (12) angelegt werden kann, wobei sich die Schulter (22) einwärts nicht weiter erstreckt als es der Dicke des Rahmens (14) entspricht, so daß der planare Teil (10) sich nicht über die Membran (16) ausdehnt, die sich innen zwischen dem Rahmen (14) ausdehnt;

der planare Teil (10) weist ferner einwärts in Richtung des Fensters (18) einen federnden Vorspannabschnitt (24) auf, der den Rahmen (14) berührt, um die Membranabdeckung (12) flexibel in ihrer Position zu halten.

7. Halter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorspannabschnitt aus einem Paar federnder Arme (24) besteht, die sich im wesentlichen zum Rahmen (14) erstrekken und diesen berühren, aber leicht nach innen ausgerichtet sind, um die Membranabdeckung (12) im Halter zu halten, wobei die federnden Arme (24) aus einem integrierten Teil des planaren Teils (10) bestehen.

8. Ein Verfahren zur Benutzung einer optischen Membranabdeckung, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

a) Wiederentfernbare Aufnahme der Membranabdeckung in einem Halter durch Auslenkung eines Vorspannabschnittes in den Halter und Drücken der Membranabdeckung mit der Frontseite der Membranabdeckung in den Halter, so daß sich die Rückseite der Membranabdeckung noch außerhalb des Halters befindet.

b) Inspektion der Membranabdeckung durch Halten des Halters.

c) Montage der Membranabdeckung auf einer Fotomaske durch Kleben der Rückseite der Membranabdeckung auf die Fotomaske und Entfernen des Halters durch Abziehen von der Membranabdeckung.