DE2626527A1

DE2626527A1 - Vorrichtung fuer eine bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von halbleiterplaettchen

Info

Publication number: DE2626527A1
Application number: DE19762626527
Authority: DE
Inventors: Bernd Cruse
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1975-06-19
Filing date: 1976-06-14
Publication date: 1977-01-13
Also published as: FR2314811B1; US4058223A; JPS5856260B2; GB1537887A; FR2314811A1; JPS522285A

Description

heb-E.a

Anmelderin: International Business Machines '

Corporation, Armonk, N.Y. 10504

j Amtliches Aktenzeichen: Neuanmeldung _:

ι - ι

; Aktenzeichen der Anmelderin: FI 974 064 j

Vorrichtung für aine Bearbeitung von Werkstücken, vorzugsweise von Halbleiterplättchen

Bei der Bearbeitung von Werkstücken, insbesondere von Halbleiterplättchen ist es erforderlich, daß diese in einer streng überwachten Umgebung gehalten werden, in der sie nicht verunreinigt werden können.

Solche Plättchen müssen daher, wenn sie sich über eine Transportbahn zwischen verschiedenen Bearbeitungspositionen bewegen, während ihrer Bewegung an verschiedenen Punkten der Transportbahn angehalten und möglicherweise in einer solchen Position, j bei der ein Verabeitungsschritt durchgeführt wird, angehoben oder abgesenkt werden.

Ferner ist es erforderlich, daß das Halbleiterplättchen, wenn es an einer bestimmten Bearbeitungsstation angehalten ist, während dieses Bearbeitungsschrittes in dieser Position festgehalten wird. Die Druckluft der Transportbahn würde dabei das

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Plättchen weiterbewegen, wenn es nicht in der gewünschten Position eindeutig festgehalten würde.

J J2.S ist ferner erforderlich, daß der Druck, durch den das Plättchen in aer gewünschten Position durch Haltevorrichtungen fest- ^! gehalten wird, so genau gesteuert wird, daß das Plättchen beim . Anhalten in der gewünschten Position nicht beschädigt wird. Fer-, ner ist es zwingend erforderlich, daß das Plättchen ohne Beschädigung der Kanten angehalten und daß die zu bearbeitende Oberfläche nicht berührt wird.

Die Bearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung erfüllt alle diese Bedingungen dadurch, daß ein in bezug auf das zu behandelnde Plättchen bewegliches Element benutzt wird. Dieses Element ist vorzugsweise ein Stift, der beispielsweise aus einem, geeigneten elastischen Material, wie z,B, Siliconkautschuk besteht, so daß bei einer Berührung zwischen dem Stift und dem

j Plättchen dieses nicht beschädigt wird,

: Ferner wird dabei das Element so unterstützt, daß das für die

! Betätigung des Elements in bezug auf das Plättchen dienende Medium von der sauberen oder genau überwachten Umgebung isoliert ist, in der sich das Plättchen befindet. Zur gleichen Zeit dient diese Stütze dazu, das Element zu bewegen, so daß dadurch das zu behandelnde Plättchen angehoben, abgesenkt oder angei
halten werden kann.

Die vorliegende Erfindung erreicht dies vorzugsweise dadurch, daß der Stift zusammen mit einer Membran aus einem Stück besteht, an deren vom Stift abgelegenen Seite zur Erzeugung einer Druckdifferenz über der Membrane ein Vakuum oder ein hoher Druck angelegt wird. Wenn man dann noch den Stift außerhalb der Mitte der Membran anbringt, dann ist die Bewegung des Stiftes sowohl winkelig als auch gerade, wodurch der Stift keine gleitende Berührung mit der Kante des Plattchens bekommt, wenn dieses in Eingriff oder außer Eingriff mit dem Stift kommt

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Durch eine genaue Steuerung des an der Membrane angelegten Druckes oder des Vakuums bei einer gleichzeitigen Begrenzung der Bewegung der Membrane beim Anlegen eines Druckes oder eines Vakuums ergreift der Stift das Plättchen mit einer genau bestimmten Kraft. Dadurch ist sichergestellt, daß das Werkstück oder noch allgemeiner der Gegenstand, wenn dieses beispielsweise ein Halblexterplättchen ist, nicht beschädigt wird, wenn es durch den Stift für ein Anhalten, Anheben oder Absenken ergriffen wird. Natürlich benötigt man zum Anheben oder Absenken des Gegenstandes eine Anzahl von Stiften gemäß der Erfindung, die jeweils für sich getrennt betätigt werden können.

Die Erfindung wird nunmehr anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen im einzelnen beschrieben. Die für schutzfähig erachteten Merkmale der Erfindung finden sich in den ebenfalls beigefügten Patentansprüchen,

In den Zeichnungen zeigt;

Fig. 1 eine Querschnittsansicht einer erfindungsgemäß

aufgebauten Vorrichtung vor dem Zusammenbau;

Fig. 2 eine TeilSchnittansicht ähnlich Fig. 1 nach dem

Zusammenbau;

Fign. 3A - 3C Teilschnittansichten weiterer Ausführungsformen der Erfindung, bei welchen der den Gegenstand ergreifende Stift in der Mitte angeordnet ist;

Fig. 4A eine schematische Draufsicht einer Vorrichtung

gemäß der Erfindung mit mehreren Stiften zum Zentrieren des Gegenstandes;

Fig. 4B eine Seitenansicht der Anordnung in Fig. 4A,

wobei zwei Stifte mit dem Gegenstand in Ein-

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griff sind;

Fig. 5A schematisch eine Draufsicht mit mehreren Stiften

gemäß der Erfindung zum Anheben oder Ergreifen ι des Gegenstandes;

Fig. 5B schematisch eine Seitenansicht der in Fig. 5A

gezeigten Vorrichtung;

Fig. 6A schematisch eine Draufsicht der Anordnung

i mehrerer Stifte zum Anheben und Absenken des

Gegenstandes und

Fig. 6B schematisch eine Seitenansicht der in Fig. 6A ;

gezeigten Vorrichtung.

In Fign. 1 una 2 ist eine Kammer 10 mit einer genau überwachten oder sauberen Umgebung dargestellt, beispielsweise eine mit reiner Luft gefüllte Kammer. Die Kammer 10 kann eine Transportbahn enthalten, wie sie beispielsweise in der US-Patentschrift 3 706 475 gezeigt ist, auf welcher sich ein Gegenstand 11, wie z.B. ein Halbleiterplättchen, bewegen kann. Eine Platte 12, die Luftdurchlässe zum Tragen und Bewegen eines Gegenstandes 11 aufweisen kann, bildet die untere Innenwand der Kammer 1O.

Die Platte 12 weist an ihrer Oberseite 15 einen Schlitz 14 auf, der eine Verbindung zwischen der Kammer 10 und einer in der Platte 12 vorgesehenen Kammer 16 bildet. In der unteren Oberfläche 18 der Platte 12 ist eine die Unterseite der Kammer 16 umgebende ringförmige ISiut 17 angeordnet. Die Kammer 16 kann dabei an sich jede beliebige Form aufweisen, d.h. sie kann beispielsweise kreisförmig oder kegelstumpfförmig sein.

Unterhalb der Platte 12 ist eine weitere Platte 19 angeordnet, deren obenliegende Oberfläche 20 dann die untere Oberfläche 18

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der Platte 12 berührt, wenn die Platten 12 und 19, wie in Fig. 2 gezeigt, miteinander verbunden sind. In der oberen Oberfläche 20 eier Platte 19 ist eine mit der ringförmigen Nut 17 der unteren überfläche 18 aer Platte 12 ausgerichtete ringförmige Nut 21 vorgesehen.

Die ringförmige Nut 21 umgibt die Obersaite einer Kammer 22, . die ebenfalls eine geeignete Form auf v/eisen kann, d.h. die Kammer 22 kann beispielsweise kreisförmig oder kegelstumpfförmig sein. Die Kammer 22 ist mit der in der Platte 12 befindlichen Kammer 16 ausgerichtet. Der Querschnitt der Kammer 22 nimmt von der oberen Oberfläche 20 der Platte 19 an nach unten ab, bis dis Kammer 22 in eine in dar Platte 19 vorgesehene Gewindebohrung 23 übergeht, Die Gewindebohrung 23 erstreckt sich nach der unteren Oberfläche 24 der Platte 19,

ι Eine kreisförmige Membran 25 weist eine verdickte Randzone 26 auf, die in die in der Platte 12 angeordnete ringförmige Kut 17 und in die in der Platte 19 angeordnete ringförmige Wut 21 eingelegt werden kann. Dia Membran 25 besteht dabei aus einera federnd nachgiebigen oder elastischen Material, das dann, wenn kein äußerer Druck auf das Material einwirkt, in seine Ruhelage zurückgeht. Ein für die Membran 25 geeignetes Material ist beispielsweise Siliconkautschuk.

Wenn die Platten 12 und 19, wie in E'ig. 2 gezeigt, miteinander verbunden sind, dann ist die Tiefe der ringförmigen Nuten 17 und 21 etwas kleiner als die entsprechende Abmessung des verdickten Randes 26, so daß dieser leicht zusammengedrückt wird und eine dichte Abdichtung ohne Verbiegen der Membran 25 bildet. Damit bleibt aber die Membrane 25 dann, wenn die Platten 12 und 19 fest miteinander verbunden sind, im wesentlichen waagrecht.

Die Membrane 25 trägt einen sich nach oben durch die Kammer 16 und den Schlitz 14 in die Kammer 10 hinein erstreckenden Stift

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27. Vorzgusweise bestehen dabei die Membran 25 und der Stift 27 aus einem Stück und aus dem gleichen Material. Der Stift 27 weist eine Schulter oder einen Anschlag 28 und damit einen abgesetzten Abschnitt 29 mit einer flachen Seite 30 auf, der mit dam Gegenstand 11 in Eingriff kommen kann.

Wenn in der Kammer 22 weder ein durch Druckluft von der Quelle 31 verursachter Überdruck noch ein durch die Quelle 32 verursachtes Vakuum besteht, dann befindet sich der Stift 27 in der in Fig. 1 voll ausgezeichneten und in Fig, 2 gestrichtelt eingezeichneten Position. Die Druckluftquelle 31 ist mit der Kammer 22 über ein Ventil 33 und eine Leitung 34 verbunden, die in die Gewindebohrung 23 in der Platte 19 mündet. Die Vakuumquelle 32 ist über ein Ventil 35 ebenfalls mit der Leitung 34 verbunden, so daß damit ein Vakuum an die Kammer 22 angelegt werden kann. Selbstverständlich können die beiden Ventile 33 und 35 durch ein einziges Vierwegeventil ersetzt werden.

Wie aus Fig. 2 zu sehen, bewirkt ein Anlegen des Vakuums durch öffnen des Ventils 35, daß axe Membran 25 nach unten angesaugt wird, wodurch der Stift 27 den Gegenstand freigibt, so daß dieser wiederum innerhalb der Kammer 10 weiterbewegt werden kann. Die Bewegung des Stiftes 27 besteht dabei sowohl aus einer Mickbewegung als auch einer Bewegung nach unten. Die Bewegung der Membran 25 wird durch das Anlegen an die nach unten geneigten Seiten 36 der Kammer 22 begrenzt.

Die Nickbewegung des Stiftes 27 bewirkt, daß der Stift 27 mit der Kante des Gegenstandes in Eingriff oder außer Eingriff kommen kann, ohne auf dem Gegenstand zu gleiten. Somit ergibt sich zwischen dem Stift 27 und dem Gegenstand 11 eine äußerst geringe Reibung.

Wenn der Stift 27 mit seinem verdickten kreisförmigen oder runden Abschnitt 37 an dem gebogenen Abschnitt der Wand 38 des Schlitzes 14 anliegt, dann vermag eina von der Quelle 31 über

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die Leitung 34 für eine Aufwärtsbewegung der Membrane 25 angelegte Druckluft keine Nickbewegung des Stiftes 27, sondern lediglich eine Aufwärtsbewegung hervorzurufen. Damit führt aber der Stift 27, obgleich er außerhalb der Mitte der Membrane 25 angeordnet ist, bei Zufuhr von Druckluft von der Quelle 31 nach der Kammer 22 keine Nickbewegung aus, wobei der Schlitz 14 so ausgestaltet ist, daß er den Stift 27, wie in Fig. 1 zeigt, berührt. Falls erwünscht, könnte der Schlitz 14 auch so ausgelegt sein, daß bei Anlegen eines Druckes auf die Membrane 25 von der Druckluftquelle 31 der Stift 27 zusätzlich zu einer Bewegung in senkrechter Richtung auch noch eine Nickbewegung ausführen könnte.

Die Aufwärtsbewegung des Stiftes 27 in Verbindung mit der Aufwärtsbewegung der Membrane 25 ist dadurch begrenzt, daß die Membrane 25 sich an die nach oben geneigte Wand 40 der Kammer 16 anlegt. Dadurch wird aber die Aufwärtsbewegung der Membran 25 und damit auch die Aufwärtsbewegung des Stiftes 27 begrenzt.

Falls erwünscht, kann die Membran 25 auch anstelle des Stiftes 27 einen in der Mitte angeordneten Stift 41 (Fign. 3A bis 3C) aufweisen. Der Stift 41 ist ein Zylinder mit konstantem Durchmesser und wird nur zum Anheben und Absenken des Gegenstandes 11 benutzt. Gesonderte Anschläge, wie z.B. Vakuumanschläge, müßten zum Anhalten des Gegenstandes 11 benutzt werden.

Der Stift 41 besteht dabei vorzugsweise mit der Membran 25 aus einem Stück, Da der Stift 41 in der Mitte der Membran 25 angeordnet ist, bewegt sich der Stift 41 nur in einer geraden Linie, Wie in Fign. 3A bis 3C zu sehen, erfolgt eine Bewegung des Stiftes 41 nur in senkrechter Richtung, Die Leitung 34 ist, wie in den Fign. 1 und 2 mit der Druckluftquelle 31 und der Vakuumquelle 32 verbunden.

Wenn durch die Vakuumquelle 32 ein Vakuum an die Kammer 22 in Fig. 3A angelegt wird, dann bewegt sich die Membran 25 nach un-

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ten, so daß der Stift 41 innerhalb des Schlitzes 14 liegt, wodurch der Gegenstand 11 von dem Stift 41 freikommt und der Gegenstand nach der nächsten Bearbeitungsstation, die beispielsweise innerhalb der Kammer 10 liegen kann, weiterbewegt v/erden kann, ohne auf der Oberseite des Stiftes 41 zu reiben. Die Abwärtsbewegung der Membran 25 wird durch die Wand 36 der Kammer 22 in gleicher Weise begrenzt, wie dies in Fign. 1 und 2 dargestellt und in Fig. 3A gezeigt. Der Stift 41 muß dabei so lange in dieser Position bleiben, bis der Gegenstand in der Position angehalten ist, in der er angehoben werden soll.

Ragt der Stift 41, wenn sich die Membran 25 in ihrer in Fig. 3B dargestellten Ruhelage befindet, über die Platte 12 hinaus, dann ergibt eine Aufwärtsbewegung des Stiftes 41 lediglich ein noch höheres Anheben des Gegenstandes 11, Die Aufwärtsbewegung des Stiftes 41 durch die Membran 25, die durch dia von der Druckluftquelle 31 an die Kammer 22 abgegebene Druckluft angehoben wird, ist dadurch begrenzt, daß die Membran 25 sich in der gleichen Weise, wie dies im Zusammenhang mit Fig. 1 und 2 dargestellt und wie in Fig, 3C gezeigt, an die obere Wand 40 der Kammer 16 anlegt.

Wenn man beispielsweise drei Stifte 41 in einen gleichseitigen Dreieck gemäß Fig. 6A anordnet, dann könnte der Gegenstand 11 angehoben werden, wenn das von der Vakuumquelle 32 kommende Vakuum nicht mehr an den drei, mit den drei Stiften 41 verbundenen Membranen 25 angreift. Ein weiteres Anheben der Stifte 41 erfolgt dann, wenn die von der Druckluftquelle 41 gelieferte Druckluft auf die drei, mit den drei Stiften 41 verbundenen Membranen einwirkt.

In gleicher Weise könnte der Gegenstand 11 zunächst dadurch abgesenkt werden, daß man den Druck für die Kammer 22 für jede der Membranen 25 abstellt. Ein weiteres Absenken des Gegenstandes 11 ergibt sich dann, wenn man an der Kammer 22 für jede der Membranen 25 ein Vakuum anlegt. Wie bereits erwähnt, ist es not-

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wendig, die Position des Gegenstandes 11 an dieser Stelle durch geeignete Anschläge festzulegen.

In den Fign. 4A unu 4B ist eine Anordnung zum Zentrieren des Gegenstandes 11 durch vier Stifte 27 gezeigt, die mit Membranen 25 verbunden sind. In dieser Anordnung kann somit der Gegenstand 11 in jeder der vier, durch die Pfeile 42 bis 45 dargestallten Richtungen gerichtet werden. Wenn sich beispielsweise der Gegenstand 11 in Richtung des Pfeiles 42 bewegt, dann wären an den beiden rschtsliegenuen Stiften 27 weder die Druckluftquelle 31 noch die Vakuumquelle 32 mit den Kammern 22 verbunden, während die beiden linksliegenden Stifte 27 zurückgezogen sein wurden, da an den entsprechenden Membranen 25 das von der Vakuumquelle 32 gelieferte Vakuum angreift, so daß der Gegenstand 11 an den beiaan rechtsliegendan Stiften anliegt.

Wann der Gegenstand 11 bei einer Bewegung in Richtung des Pfeiles 42 axi den beiden rechtsliegenden Stiften 27 angeschlagen hat, wird bei den Membranen 25 der beiden linksliegenden Stifte 27 aas Vakuum weggenommen, so daß diese linksliegenden Stifte 27 in eine Position gehen, in der der Gegenstand 11 an den flachen Seiten 30 der schmäleren Abschnitte 29 der Stifts 27 anliegt. Auf uiese weise wird der Gegenstand 11 zwischen den Abschnitten 29 der vier Stifte 27 zentriert. Ist der Gegenstand so durch die Stifte 27 zentriert und gehalten, dann kann man den Gegenstand 11 durch Anlegen von Druckluft an die vier, mit den vier Stiften 27 verbundenen Membranen 25 anheben.

Nachdem der Gegenstand 11 durch die Stifte 27 in seiner gewünschten Ausrichtung zentriert ist, läßt er sich in jeder der durch die Pfeile 42 bis 45 angezeigten Richtungen bewegen. Wenn daher der Gegenstand 11 in Richtung des Pfeiles 45 bewegt werden soll, dann müssen die beiden untenliegenden Stifte 27 (vergl. Fig. 4A) aus der Bahn des Gegenstandes 11 zurückgezogen werden. Dies wird dadurch erreicht, daß man an die beiden mit den beiden unteren Stiften 27 verbundenen Membranen 25 ein

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Vakuura anlegt. Dann kann der Gegenstand 11 in Richtung des Pfeiles 45 bewegt werden.

Die in aen Fign. 4A und 4B gezeigte Anordnung ermöglicht es also, aen Gegenstand 11 unabhängig von den durch die Pfeile 42 bis 45 angezeigten Richtungen, in die der Gegenstand 11 auf der Transportbahn bewegt v/erden kann, zu zentrieren. Für die anderen aewegungsrichtungen des Gegenstandes 11 müssen natürlich andere Kombinationen von Stiften 27 angehoben oder abgesenkt weraen.

Fign. 5A und 5B zeigt Stifte 46. Jeder der Stifte 46 weist dabei einen Schlitz 47 auf. Jeder der Stifte 46, die vorzugsweise gleiche Winkelabstände voneinander aufweisen_r wäre auf der Membran 25 in gleicher Weise außerhalb der Mitte angeordnet wie der Stift 27. Der Stift 26 besteht dabei vorzugsweise mit der Membran 25, von der er getragen wird, aus einem Stück. Somit führt also jeder der Stifte 46 eine Kombination aus geradliniger Bewegung und Nickbewegung aus.

Es sei darauf verwiesen, daß in diesem Fall die Stifte 46 oberhalb des Gegenstandes 11 angeordnet sind im Gegensatz zu den Stiften 27 und 41, die unterhalb des Gegenstandes 11 liegen. Einer der Stifte 46 könnte daher dazu verwendet werden, den Gegenstand 11 anzuhalten. Dann können die beiden anderen Stifte 46 durch eine Nickbewegung mit dem Umfang des Gegenstandes 11 in Eingriff kommen, wodurch dieser angehoben oder aufgenommen werden kann.

Die Stifte 46 werden durch Anlegen eines Vakuums an die damit verbundenen Membranen 25 in gleicher Weise zurückgezogen wie die Stifte 27. Die Freigabe des Vakuums bewirkt, daß die Stifte 46 mit dem Gegenstand 11 in Eingriff kommen. Das Anlegen eines Druckes an die Membran 25 für jeden der Stifte 46 bringt die Stifte 46 mit mehr Kraft in Eingriff mit dem Gegenstand 11, falls dies notwendig ist. Nachdem die Stifte 46 den Gegenstand

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11 ergriffen haben, wird der Gegenstand 11 nur durch die Bewegung einer Stützkonstruktion bewegt, an der die Membranen befestigt sind, wie z.B. durch einen bewegbaren Arm. Wenn daher der Gegenstand 11 angehoben werden soll, dann muß die tragende Konstruktion in bezug auf die Kammer 10 bewegbar sein. Die Stifte 46 könnten auch lediglich dazu eingesetzt werden, den Gegenstand 11 in bezug auf den Boden der Kammer 10 in der Schwebe zu halten, so daß die Stifte 11 und die zugehörigen Membranen 25 nicht an einer bewegbaren Konstruktion befestigt sein müssen. Obgleich die Erfindung anhand der Zeichnungen in der Weise beschrieben wurde, daß die Stifte oberhalb oder unterhalb des Gegenstandes 11 liegen können, so sollte doch klar sein, daß die Stifte jeden beliebigen Winkel in bezug auf den Gegenstand 11 haben können. Beispielsweise könnten die Stifte auch in waagrechter Richtung angreifen.

Der Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung liegt darin, daß eine Beschädigung eines zerbrechlichen Gegenstandes, wie z.B. eines Halbleiterplattchens vermieden wird. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß ein Gegenstand ohne Verunreinigung in einer Kammer _f in der der Gegenstand liegt, bewegt v/erden kann. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß die Vorrichtung relativ billig herzustellen ist und eine außerordentlich hohe Zuverlässigkeit aufweist. Ferner ist es von erheblichem Vorteil, daß an den Kanten des zu behandelnden Gegenstandes kein Reiben erfolgt.

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Claims

PAxLuTAL SPRÜC L E

Vorrichtung zum .anhalten, imhsben, Absenken und Zentrieren von in einem Raum mit kontrollierter Atmosphäre befinülichen VverkStücken,

dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Träger (25) und ein mit dieseia Träger (25) verbundenes Bauteil (27; 41) vorgesehen ist,

daß der Träger mit dem Bauteil aus seiner Ruhelage anhebbar oder absenkbar ist und

aaß das Bauteil (27; 41) in seiner Ruhelage und in seiner angehobenen Lage in Kingriff mit dem zu erfassenden Werkstück ist.

Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Träger eine Membrane (25) dient.

Vorrichtung nach /Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mambrane durch Anlegen eines ünterdrucks bzw. durch Anlegen eines Überdrucks absenkbar oder anhebbar ist.

Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauteil ein mit der Membrane (25) fest verbundener Stift (27; 41) ist.

Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stifte (27) auf der Mambrane (25) außerhalb der Mitte der Membrane angeordnet ist.

Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegung der Membrane durch Anschlagflächen (36, 40) begrenzt ist.

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7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurcn gekennzeichnet, daß zum Absenken aas Stiftes (27; 41) an eier aem Innenraum
angewandten Seite aer rieir.br an ε (25) ein Unterdruck und
zuii niiheubn acr Membran an der asia Innenrauin abgewandten Seite dar i-Iercujrane ein üDereruck anlegbar ist.

o. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, aaß der stift (41) in der iiitte uer Membran? angeordnet ist
und daß der Stift aurch einen an aar X-iembrane angreifenaen Unterdruck bzw. überaruck absenkbar bzvr. anhebbar ist.

Si. Vorrichtung nach Anspruch 7 od*-r o, dadurch gekennzeichnet, daß luehrere an i-ier.ibranen befestigte Stifte (27)
vorgesehen sind, die zum Lrgreifen uer r-alterung und
Zentrierung eines 'werstückes dienen.

BAD

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