JPH03270049A

JPH03270049A - 基板収納容器

Info

Publication number: JPH03270049A
Application number: JP2069135A
Authority: JP
Inventors: Ryuji Maeda; 龍治前田; Takayoshi Matsuyama; 松山　隆義
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-03-19
Filing date: 1990-03-19
Publication date: 1991-12-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕半導体装置の製造に使用するレチクルやマスク等の基板
を収容する容器に関し、容器内に侵入した被着した塵埃の洗浄を容易かつ洗浄度
の改善を目的とし、所定の基板を水平に収容し該基板の出し入れ口が一側に
開口する本体と、該本体に軸支され該開口を開閉する振
動可能な蓋体と、非操作時の該蓋体が該開口を閉じる付
勢手段と、該蓋体が該開口を閉じたとき該収容基板を該
本体内で固定させる固定手段とを具え、該本体の上面および底面には該収容基板に対向する透孔
と、該透孔を塞ぐ板部材と、該本体の側方より挿入させ
た該板部材の端部が嵌合する嵌合溝とが設られてなるこ
とを特徴とし、さらに、前記板部材がガラス板であることを特徴とし構
成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は半導体装置の製造に使用するレチクルやマスク
等（基板）を収容する容器に関する。

レチクルやマスク等を収容する基板収納容器は、レチク
ルやマスク等を１枚ずつ収容し、容器棚の所定箇所に収
納され、必要とするレチクルやマスク等の所望基板は、
その収容容器を容器棚から取り出し、容器側面の蓋をあ
けて取り出すようになる。

所定の基板を収納し、取り出すための蓋体を具えた基板
収納容器は、防塵のため蓋体を閉じたときにほぼ密閉状
態であり、かつ、収納基板が容器内で動かないように蓋
体の振動に連動する基板押さえを有する。

〔従来の技術〕

第４図は従来の基板収納容器の側断面図であり、基板収
納容器２は角形基板ｌを収容する本体３と、本体３の左
側面の開口を塞ぐ蓋体６と、蓋体６が該開口を閉じるよ
うにする付勢手段（引っ張りコイルばね７他）と、蓋体
６が該開口を閉じたとき基板１を固定させる固定手段（
Ｌ形しバー８他）とを具えてなる。

本体３は上面および左側面に開口する主部４と、ピン９
にて主部４に軸支され振動可能に主部４の上面の開口を
塞ぐ蓋部５からなり、本体３の底面端部には基板１を支
持する複数の突起ＩＯが突出し、蓋体６はピン１１によ
り蓋部５の振動端に軸支される。

蓋部５より一対の突起１２．１３が垂下し、ピン１４に
て中央部突起１２に軸支されたＬ形しバー８は揺動自在
であり、Ｌ形しバー８の長アーム端には、蓋体６を閉じ
たとき基板１を押圧する押子１５が設けられ、Ｌ形しバ
ー８の短アームには、引っ張りコイルはね７と１６の一
端が掛止される。

引っ張りコイルはね７の他端は蓋体６の突起１７に掛止
され、張りコイルばね１６の他端は突起１３に掛止され
る。

一般に、本体３の主部４と蓋部５が樹脂にてなる基板収
納容器２において、蓋部５は主部４に基板１を収納せし
めるとき手操作にて開閉し、収納基板１を使用するため
の出し入れは、蓋体６を開閉し行うことになる。そして
、蓋体６を閉じたとき収容基板工は押子１５にて突起１
０に押され固定される。

〔発明が解決しようとする課題〕

本体３および蓋体６が樹脂にてなる従来の基板収納容器
２等において、容器２の移動および基板ｌを交換すると
き容器２内に侵入し、移動する塵埃等、特に本体３内の
上面および底面に被着した塵埃が収納基板ｌに被着する
と、例えば基板ｌが半導体デバイスのマスクであるとき
、マスクの所要パターンと共に塵埃も転写され、半導体
デバイスの製造歩留まりが低下することになる。

そこで、基板収納容器の洗浄が必要になるが従来の基板
収納容器２は、洗浄度アップが困難であるという欠点が
あった。

本発明の目的は、基板収納容器内特に収納基板が対向す
る上面と下面との洗浄を容易化し、その洗浄度アップを
可能ならしめることである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の基板収納容器は、その実施例を示す第１図によ
れば、所定の基板１を水平に収容し基板１の出し入れ口
が一側に開口する本体２２と、本体２２に軸支され該開
口を開閉する振動可能な蓋体６と、非操作時の蓋体６が
該開口を閉じる付勢手段（引っ張りコイルばね７、１６
）と、蓋体６が該開口を閉じたとき収容基板ｌを本体２
２内で固定させる固定手段（押子１５）とを具え、本体２２の上面および底面には収容基板１に対向する透
孔２５．２８と、透孔２５．２８を塞ぐ板部材２６゜２
９と、本体２２の側方より挿入させた板部材２６．２９
の端部が嵌合する嵌合溝２７とが設られてなることを特
徴とし、さらに、前記板部材２６．２９がガラス板であることを
特徴とする特〔作用〕上記手段によれば、収納された基板の上面および下面に
対向する透孔を設け、該透孔が取り外し容易な板部材に
て覆われる構成としたことにより、基板収納容器の洗浄
は容易となり、さらに半導体製造技術によって確立され
たガラス洗浄技術を利用するため該板部材をガラス板と
したことにより、容器内の洗浄度が向上される。

その結果、半導体装置の製造に繰り返し利用されるレチ
クルやマスクの収納容器に本発明を適用し、半導体装置
の製造歩留まりが改善されるようになる。

〔実施例〕

以下に、図面を用いて本発明の実施例による基板収納容
器を説明する。

第１図は本発明の一実施例による基板収納容器の側断面
図（イ）と平面図（ロ）、第２図は本発明の他の実施例
による基板収納容器の側断面図、第３図は第１図、−第
２図に示す板部材の一支持方法の説明図である。

前出図と共通部分に同一符号を使用した第１図において
、基板収納容器２１は角形基板１を収容する本体２２と
、本体２２の左側面の開口を塞ぐ蓋体６と、非操作時の
蓋体６が該開口を閉じるようにする付勢手段（引っ張り
コイルはね７他）と、蓋体６が該開口を閉じたとき基板
Ｉを固定させる固定手段（Ｌ形しバー８他）とを具えて
なる。

本体２２は上面および左側面に開口する主部２３と、ピ
ン９にて主部２３に軸支され振動可能に主部２３の上面
の開口を塞ぐ蓋部２４からなり、本体２２の底面端部に
は基板１を支持する複数の突起１０が突出し、蓋体６は
ピン１１により蓋部２４の振動端に軸支される。

蓋部２４の内端部より一対の突起１２．１３が垂下し、
ピン１４にて中央部突起１２に軸支されたＬ形しバー８
は揺動自在であり、Ｌ形しバー８の長アーム端には、蓋
体６を閉じたとき基板１を押圧する押子１５が設けられ
、Ｌ形しバー８の短アームには、引っ張りコイルばね７
とＩ６の一端が掛止される。

本体主部２３には収納基板１の下面に対向する角形透孔
２５があけられており、透孔２５を塞ぐ角形板部材２６
は透孔２５の周囲３方に設けた溝２７に嵌合し支持され
る。

本体蓋部２４には収納基板ｌの上面に対向する角形透孔
２８があけられており、透孔２８を塞ぐ角形板部材２９
は透孔２８の周囲３方（蓋部２４の振動端側を除く３方
）に設けた溝３０に嵌合し支持される。

溝２７および３０は、例えば第３図に示す如く主部２３
または蓋部２４と一体に形成したＬ字形突起３１によっ
て構成し、Ｌ字形突起３１の先端が板部材２６゜２９を
押し付けるようにすることによって、板部材２６、２９
は基板収納容器２１の移動時に抜は落ちないようになる
。

かかる基板収納容器２１において、主部２３と蓋部２４
および蓋体６は樹脂にて形成し、板部材２６．２９は樹
脂や金属およびガラスにて形成するが、半導体製造技術
の一つであるガラス洗浄技術を利用ため、ガラスにて板
部材２６．２９を作成すればその洗浄度は他のものに比
べ確実である。

そして、基板収納容器２１に対する基板Ｉの収納とその
固定および出し入れは、従来の基板収納容器２と全く同
様に行うことができる。

前出図と共通部分に同一符号を使用した第２図において
、基板収納容器３１は角形基板１を収容する本体３２と
、本体３２の左側面の開口を塞ぐ蓋体６と、非操作時の
蓋体６が該開口を閉じるようにする引っ張りコイルばね
（付勢手段）３３と、蓋体６が該開口を閉じたとき基板
ｌを固定させる固定手段（押子３４他）とを具えてなる
。

本体３２は左側面に開口する断面コ字形であり、底面よ
り突出する複数の突起ｌＯに支持された基板ｌの右端部
が当接する当接部材３３を具え、ピン１１にて本体３２
の左端部に軸支され振動可能な蓋体６には、基板ｌの左
端部を右方向に適当な押圧力で押圧する押子３４を有す
る。

本体３２の上面には収納基板ｌに対向する角形透孔２８
があけられ、本体３２の下面には収納基板ｌに対向する
角形透孔２５があけられており、透孔２８を塞ぐ角形板
部材２９は透孔２８の周囲３方に設けた溝３０に嵌合し
支持され、透孔２５を塞ぐ角形板部材２６は透孔２５の
周囲３方に設けた溝２７に嵌合し支持される。

溝２７および３０は、例えば第３図に示す如く本体３２
と一体に形成したＬ字形突起３１によって構成し、Ｌ字
形突起３１の先端が板部材２６．２９を押し付け、板部
材２６．２９は基板収納容器３１の移動時に抜は落ちな
いようになる。

かかる基板収納容器３１において、本体３２と蓋体６は
樹脂にて形成し、板部材２６．２９は樹脂や金属および
ガラスにて形成するが、半導体製造技術の一つであるガ
ラス洗浄技術を利用するため、ガラスにて板部材２６．
２９を作成すればその洗浄度は他のものに比べ確実であ
る。

そして、基板収納容器２１に対する基板ｌの収納とその
固定および出し入れは、従来の基板収納容器２と全く同
様に行うことかできる。

なお、前記実施例において板部材２６．２９は、蓋体６
の取り付けられた側方より挿着する構成になっている。

しかし、本発明はそのことに限定されず構成可能であり
、任意方向例えば蓋体６と反対方向から板部材２６．２
９を挿着するようにすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、収納基板に対向す
る透孔、該透孔を塞ぎ取り外し容易な板部材を有する構
成としたことによって、基板収納容器の洗浄を容易化し
、さらに半導体製造技術によって確立されたガラス洗浄
技術を利用するため該板部材をガラス板とすることによ
り、その洗浄度が向上される。

その結果、半導体装置の製造に繰り返し利用されるレチ
クルやマスクの収納容器に本発明を適用し、半導体装置
の製造歩留まりが改善された効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による基板収納乞い、７、第
２図は本発明の他の実施例による基板収納容器、第３図は本発明による板部材の一支持方法、第４図は従
来の基板収納容器、である。図中において、ｌは基板、　　　　　６は蓋体、？、　１６．３３は引っ張りコイルはね（付勢手段）、
１５、３４は押子（基板固定手段）、２１．３１　　ま基板収納容器、２２、３２は容器本体、　２５．２８は容器の透孔、２
６．２９　’！透孔を塞ぐ板部材、２７、３０は板部材嵌合溝、を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）所定の基板（１）を水平に収容し該基板（１）の
出し入れ口が一側に開口する本体（２２、３２）と、該
本体（２２、３２）に軸支され該開口を開閉する振動可
能な蓋体（６）と、非操作時の該蓋体（６）が該開口を
閉じる付勢手段（７と１６、３３）と、該蓋体（６）が
該開口を閉じたとき該収容基板（１）を該本体（２２、
３２）内で固定させる固定手段（１５、３４）とを具え
、該本体（２２、３２）の上面および底面には該収容基
板（１）に対向する透孔（２５、２８）と、該透孔（２
５、２８）を塞ぐ板部材（２６、２９）と、該本体（２
２、３２）の側方より挿入させた該板部材（２６、２９
）の端部が嵌合する嵌合溝（２７、３０）とが設られて
なることを特徴とする基板収納容器。
（２）前記板部材（２６、２９）がガラス板であること
を特徴とする前記請求項１記載の基板収納容器。