JP2005311360A - 熱泳動効果によって保護される搬送ポッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクまたは半導体ウエハ2用の本発明の搬送ポッド1は、マスクまたは半導体ウエハ2を受け入れる内部空間4を囲む漏れ防止周辺壁3を備える。熱伝導性の支持手段11が、マスクまたは半導体ウエハ2を保持する。冷却源8に熱的に結合されたコールドプレート7が、粒子による汚染から保護されるべきマスクまたは半導体ウエハ2の主要面6に向かって温度勾配を発生させる。コールドプレート7は、断熱手段7cを含む連結手段7bによって保持される。オンボードのエネルギー源9が、冷却源8に電力を供給する。これにより、マスクまたは半導体ウエハ2の主要面6上への汚染粒子の堆積が大幅に減少する。
【選択図】 図1
Description
内部空間に配置された熱伝導材料製のコールドプレートと、
熱結合手段によってコールドプレートに熱的に結合され、搬送ポッド内の周囲温度よりも低い温度にコールドプレートを維持するように構成された冷却源と、
コールドプレートを漏れ防止周辺壁に対して定位置に保持する連結手段と、
連結手段に設けられ、かつ漏れ防止周辺壁に対してコールドプレートを熱的に絶縁するように構成された断熱手段と、
冷却源に電力を供給するオンボードのエネルギー源とを備え、
コールドプレートは、保護されるべき主要面に面しその近くに配置された作用面を有する。
2 ウエハ
3 漏れ防止周辺壁
3a 周辺部分
3b 第1の主要部分
3c 第2の主要部分
4 内部空洞
5 側部開口構造
6 主要面
7 コールドプレート
7a 熱結合手段
7b 連結手段
7c 断熱手段
8 冷却源
9 オンボードのエネルギー源
10 作用面
11 支持手段
12 ポンプ手段
13 表面層、粒子捕捉手段
30 吸着要素
d 距離
Claims (14)
- マスクまたは半導体ウエハ(2)用の搬送ポッド(1)であって、該搬送ポッド(1)が、搬送されるべきマスクまたは半導体ウエハ(2)を受け入れかつ収納する形状の内部空間(4)を囲む漏れ防止周辺壁(3)を備え、該漏れ防止周辺壁が、マスクまたは半導体ウエハ(2)を挿入するまたは取り出すためのポート(5)と、マスクまたは半導体ウエハ(2)を漏れ防止周辺壁(3)に対して固定した位置に保持する支持手段(11)とを有し、マスクまたは半導体ウエハ(2)が、粒子による汚染から保護されるべき主要面(6)を有し、前記搬送ポッド(1)が、
内部空間(4)に配置された熱伝導材料製のコールドプレート(7)と、
熱結合手段(7a)によってコールドプレート(7)に熱的に結合され、かつ搬送ポッド(1)内の周囲温度よりも低い温度にコールドプレート(7)を維持するように構成された冷却源(8)と、
コールドプレート(7)を漏れ防止周辺壁(3)に対して定位置に保持する連結手段(7b)と、
連結手段(7b)に設けられ、かつ漏れ防止周辺壁(3)に対してコールドプレート(7)を熱的に絶縁するように構成された断熱手段(7c)と、
冷却源(8)に電力を供給するオンボードのエネルギー源(9)とを備え、
コールドプレート(7)が、保護されるべき主要面(6)に面しかつ主要面(6)の近くに配置された作用面(10)を有することを特徴とする搬送ポッド(1)。 - コールドプレート(7)の作用面(10)が、平面であり、かつ保護されるべき主要面(6)の寸法よりも大きい寸法であることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)の作用面(10)が、保護されるべき主要面(6)と実質的に平行であることを特徴とする、請求項2に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)の作用面(10)が、保護されるべき主要面(6)から定められたわずかな距離(d)のところにあり、前記定められた距離(d)が1cm未満、有利には約5mm程度であることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- 支持手段(11)が、マスクまたは半導体ウエハ(2)を周囲温度に維持するために熱伝導性であることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- 冷却源(8)が、コールドプレート(7)と保護されるべき主要面(6)との間で約3℃から10℃の温度勾配を維持することを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)が、定期的に搬送ポッド(1)から出して清浄化できるように移動可能であることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- 搬送ポッド(1)内に約50Paから1000Paの真空を生成しかつ維持するポンプ手段(12)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- ポンプ手段(12)が、複数の個別の熱遷移ポンプセルを備えることを特徴とする、請求項8に記載の搬送ポッド。
- 冷却源(8)が、1つまたは複数のペルチエ要素冷却源を備えることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- 粒子捕捉手段(13)が、コールドプレート(7)の作用面(10)上に設けられることを特徴とする、請求項1に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)が、入射粒子が材料に付着することによりコールドプレート自体が粒子捕捉特性を示す材料から作成されることを特徴とする、請求項11に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)の作用面(10)が、該作用面(10)に粒子捕捉特性を与えるのに適した表面処理を受けていることを特徴とする、請求項11に記載の搬送ポッド。
- コールドプレート(7)の作用面(10)が、コールドプレート(7)に付着した適切な材料の薄い表面層(13)の外面であることを特徴とする、請求項11に記載の搬送ポッド。
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