CN113264286A - 光罩保护盒及光罩传送设备 - Google Patents
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Abstract
本公开是关于一种光罩保护盒及光罩传送设备，光罩保护盒包括盒体，盒体内设置有容置空间，盒体的侧部设置有连通容置空间和外部的开口，光罩通过所述开口放置在所述容置空间内；盒盖，盒盖可拆卸地安装于盒体的侧部，以封闭开口。开口设置于盒体的侧部，当拆下盒盖时，盒体外的微粒等污染物不会从上方掉落至光罩或者容置空间内，有效拦截微粒等污染物，避免发生污染的现象。同时，开口位于盒体的侧部，与光罩传送设备的入口对应，使得光罩可以由侧面的开口直接进入至设备内，避免出现气流扰动的现象，保证承载台上的微粒不会被带入至设备内部。
Description
技术领域
本公开涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种光罩保护盒及光罩传送设备。
背景技术
半导体制造工艺中，光刻是重要步骤之一。主要是利用光蚀刻技术，将光罩(Mask)上的图案复制到晶圆上，而光罩的洁净度是保证光刻质量的重要因素。
光罩在传送过程中，通常夹设在光罩保护盒内，防止光罩被外界的灰尘、微粒等污染。当光罩保护盒置于承载台时，光罩保护盒被上、下拆分后，裸露出光罩。此时，夹取光罩进入设备内部，完成光罩的传送工序。
当夹取光罩进入至设备内部时，若承载台上有灰尘或微粒等污染物，灰尘或微粒被因气流扰动，进而被带入至设备内部，污染设备内部和光罩。轻则导致设备故障，降低生产效能，重则造成晶圆缺陷，影响产品良率。
发明内容
本公开提供了一种光罩保护盒及其光罩传送设备。
根据本公开实施例的第一方面，提供了一种光罩保护盒，所述光罩保护盒包括：
盒体，所述盒体内设置有容置空间，所述盒体的侧部设置有连通所述容置空间和外部的开口，光罩通过所述开口放置在所述容置空间内；
盒盖，所述盒盖可拆卸连接地安装于所述盒体的侧部，以封闭所述开口。
在一些实施例中，所述盒体包括安装部和盒本体，所述安装部固定于所述盒本体，所述盒盖通过所述安装部与所述盒本体可拆卸连接。
在一些实施例中，所述安装部包括两个凸体结构，两个所述凸体结构分设于所述开口的两侧；所述盒盖卡设于两个所述凸体结构之间。
在一些实施例中，所述凸体结构设置有插接槽，所述插接槽沿所述凸体结构延伸方向，贯穿所述凸体结构；其中，所述盒盖的边沿设置于所述插接槽内。
在一些实施例中，所述盒盖为一体结构，所述盒盖包括盖本体，以及与所述插接槽配合的插接体；
所述盖本体通过所述插接体能够沿着所述插接槽滑动，以打开或封闭所述开口。
在一些实施例中，所述安装部为框体结构，所述盒盖嵌入至所述框体结构内，以封闭所述开口。
在一些实施例中，所述光罩保护盒还包括设置于所述盒体的侧部的密封结构，且位于所述盒体和所述盒盖之间；其中，所述密封结构沿所述开口的周向方向设置。
在一些实施例中，所述开口在所述盒体的侧部上的正投影面积大于所述光罩在所述盒体的侧部上的正投影面积。
根据本公开实施例的第二方面，提供了一种光罩传送设备，包括驱动装置，以及如上所述的光罩保护盒，所述驱动装置带动盒盖沿所述光罩保护盒的厚度方向运动，以打开或封闭开口。
在一些实施例中，所述驱动装置包括移动单元，所述移动单元带动所述盒盖相对盒体运动。
在一些实施例中，所述移动单元包括滑槽，以及与所述滑槽滑动连接的移动滑块；
所述移动单元还包括第一驱动部，所述第一驱动部驱动所述移动滑块在所述滑槽内滑动。
在一些实施例中，所述驱动装置还包括吸附单元，所述吸附单元分别与所述盒盖和所述移动滑块连接。
在一些实施例中，所述吸附单元的一端与负压产生装置连通，所述吸附单元的另一端与盒盖连接；
所述负压产生装置用于在所述吸附单元与所述盒盖连接的表面形成负压，使所述盒盖吸附于所述吸附单元的另一端。
在一些实施例中，所述吸附单元包括连接杆，所述连接杆内设置有气流通路。
在一些实施例中，所述光罩传送设备还包括第二驱动部和驱动臂，所述第二驱动部驱动所述驱动臂在初始位置和容置空间之间运动，以传送光罩。
本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：开口设置于盒体的侧部，当拆下盒盖时，盒体外的微粒等污染物不会从上方掉落至光罩或者容置空间内，有效拦截微粒等污染物，避免发生污染的现象。同时，开口位于盒体的侧部，与光罩传送设备的入口对应，使得光罩可以由侧面的开口直接进入至设备内，避免出现气流扰动的现象，保证承载台上的微粒不会被带入至设备内部。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
图1是根据一示例性实施例示出的光罩保护盒的爆炸示意图。
图2是根据一示例性实施例示出的光罩保护盒的截面示意图。
图3是根据一示例性实施例示出的盒体的结构示意图。
图4是根据一示例性实施例示出的安装部与盒盖的爆炸示意图。
图5是根据一示例性实施例示出的安装部与盒盖的爆炸示意图。
图6是根据一示例性实施例示出的安装部与盒盖的爆炸示意图。
图7是根据一示例性实施例示出的安装部与盒盖的爆炸示意图。
图8是根据一示例性实施例示出的盒盖的结构示意图。
图9是根据一示例性实施例示出的光罩传送设备的结构示意图。
图10是根据一示例性实施例示出的光罩传送设备的结构示意图。
附图说明：
光罩保护盒1；
盒体11；容置空间111；侧部112；开口1121；安装部113；凸起结构1131；插接槽1132；限位块1133；镂空区域1134；盒本体114；
盒盖12；光罩13；盖本体121；插接体122；凸台123；
密封结构14；支撑体15；握持部16；
驱动装置2；
移动单元21；滑槽211；移动滑块212；第一驱动部213；吸附单元22；连接杆221；气流通路222；
承载台3；
设备本体4；操作空间41；入口411；
第二驱动部5；
驱动臂6。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
本公开提出了一种光罩保护盒，光罩保护盒包括盒体和盒盖。盒体内设置有容置空间，容置空间用于放置光罩，盒体的侧部设置有连通容置空间和外部的开口。盒盖与盒体的侧部可拆卸连接，盒盖安装于盒体，以封闭开口。开口设置于盒体的侧部，当拆下盒盖时，盒体外的微粒等污染物不会从上方掉落至光罩或者容置空间内，有效拦截微粒等污染物，避免发生污染的现象。同时，开口位于盒体的侧部，与光罩传送设备的入口对应，使得光罩可以由侧面的开口直接进入至设备内，避免出现气流扰动的现象，保证承载台上的微粒不会被带入至设备内部。
在一个示例性实施例中，如图1、图9所示，一种光罩保护盒1，包括盒体11和盒盖12，盒体11与盒盖12可拆卸连接。
盒体11可以采用模内成型的方式形成，盒体11内设置有容置空间111，容置空间111用于放置光罩13，光罩13可以由石英材料制成。在半导体制造工艺中，光罩13用作母版，通过透过光罩原理的作用，将光罩13上的图案复制在晶圆上，完成光刻。光罩13上的图案可以是电路布设图等。
盒体11包括侧部112，盒体11的侧部112设置有连通容置空间111和外部的开口1121；开口1121与光罩13相适配，光罩13可以由开口1121放置在容置空间111内。开口1121设置于盒体11的侧部，当想要取出光罩13时，拆下盒盖12，光罩13由开口1121被移出容置空间111。拆下盒盖12时，盒体11外部的微粒等污染物不会掉落至容置空间111内，有效避免光罩13或者容置空间111被污染，保证光罩13的洁净度。
光罩13被传送之前，盒体11的侧部112会紧贴于光罩传送设备的设备本体4的外侧壁，使得开口1121能够与设备本体4的入口411形成对接。
光罩13被传送过程中，光罩13通过开口1121被移出容置空间111，并由设备本体4的入口411进入至设备本体4的操作空间41内，以完成光罩13的传送工序。光罩保护盒1的盒盖12采用侧开式，有效拦截盒体11外部环境的干扰，避免出现气流扰动的现象，进一步保护光罩13和操作空间41，防止微粒等污染物被带入至操作空间41内，影响光罩13的洁净度，有效提高晶圆的安全性，提升产能。
盒盖12可拆卸连接地安装于盒体11的侧部112，以封闭开口1121。
一个示例中，盒体11的开口1121在侧部112上的投影面积等于容置空间111在侧部112上的投影面积，为光罩13提供足够的空间，便于顺利放置光罩13或者取出光罩13。而盒盖12可以直接安装至开口1121，以封闭开口1121。安装状态下，盒盖12在侧部112上的正投影面积可以略微大于开口1121，以便于盒盖12可以紧密卡入开口1121内，提升盒盖12与盒体11之间连接的可靠性。当需要将光罩13从容置空间111内取出时，拆下盒盖12即可，结构简单，易于操作。
在一个示例性实施例中，如图2、图3所示，一种光罩保护盒1，包括盒体11和盒盖12，盒体11与盒盖12可拆卸连接。盒体11内设置有容置空间111，盒体11的侧部112设置有连通容置空间111和外部的开口1121，光罩13通过开口1121放置在容置空间111内。其中，盒体11包括安装部113和盒本体114，安装部113固定于盒本体114。安装部113可以以粘接的方式固定于盒本体114；或者，安装部113也可以以螺接的方式固定于盒本体114；亦或者，安装部113还可以以注塑成型的方式与盒本体114一体而成。安装部113凸出于侧部112，可以对开口1121形成遮挡，进一步防止微粒进入至容置空间111内。
需要说明的是，安装部113不限于上述方式固定于盒本体114，只要安装部113能够与盒本体114稳定连接即可。且上述容置空间111和上述开口1121设置在盒本体114上，安装部13与盒本体114的外侧壁固定连接，与开口1121位于同一侧。
其中，盒盖12通过安装部113与盒本体114之间形成可拆卸连接。盒盖12可以以卡接的方式设置于安装部113；或者，盒盖12可以以嵌入式的方式设置于安装部113；亦或者，盒盖12以滑动连接的方式设置于安装部113。
一个示例中，如图3、图4所示，盒盖12可以以卡接的方式设置于安装部113。安装部113包括两个凸起结构1131，两个凸起结构1131分设于开口1121的两侧。凸起结构1131可以为矩形形状，每个凸起结构1131均沿盒本体114的厚度方向延伸(参照图3所示的Z轴)，且对称设置于开口1121的左、右两侧，凸起结构1131与盒本体114的边缘区域固定连接。盒盖12卡设于两个凸起结构1131之间，其中，两个凸起结构1131之间的间距可以略小于盒盖12的宽度，使得盒盖12在安装状态下，可以与两个凸起结构1131形成紧密连接，防止盒盖12脱离盒本体114，有效提升了盒盖12与盒本体114之间连接的可靠性。
在此，需要说明的是，上述关于左、右侧等涉及方位的词，均是以图示中所示的方位进行限定，用于解释本示例，并不对本申请构成限制。
另一个示例中，如图3、图5所示，安装部113包括两个凸起结构1131，凸起结构1131的结构以及设置方式在上述示例中均已做详细说明，在此，不再重复赘述。
本示例中的凸起结构1131还设置有插接槽1132，插接槽1132沿凸起结构1131延伸方向(参照图3所示的Z轴)，贯穿凸起结构1131。且插接槽1132还贯穿凸起结构1131的与开口1121相邻的侧壁，以便于盒盖12的边沿能够设置于插接槽1132内。
外力作用下，盒盖12的边沿由插接槽1132的一端插入至插接槽1132内，以封闭开口1121；或者，沿着插接槽1132的延伸方向，盒盖12被拔出插接槽1132，以打开开口1121，实现盒盖12的安装和拆卸。
其中，盒盖12插入至插接槽1132内时，力度可能会无法掌控，若力度过大，盒盖12极易由插接槽1132的另一端滑出该插接槽1132。因此，安装部113还包括设置于盒本体114的限位块1133，限位块1133设置于两个凸起结构1131之间，且位于开口1121的上方。当盒盖12的边沿插入至插接槽1132内时，外力将盒盖12由插接槽1132的一端推至另一端，盒盖12抵接至限位块1133，通过限位块1133阻止盒盖12继续运动，进而避免盒盖12被推出插接槽1132。
需要说明的是，限位块1133的两端可以不延伸至凸起结构1131，也可以延伸至对应的凸起结构1131上，限位块1133的具体长度以需求为准。
另需说明的是，上述关于上方等涉及方位的词，均是以图示中所示的方位进行限定，用于解释本示例，并不对本申请构成限制。
另一个示例中，如图3、图6所示，安装部113包括限位块1133和两个凸起结构1131，凸起结构1131的结构和设置方式，以及限位块1133的结构和设置方式在上述示例中均已做详细说明，在此，不再重复赘述。
本示例中的凸起结构1131设置有插接槽1132，插接槽1132的截面形状可以是四边形。其中，四边形可以为平行四边形、矩形、梯形或者菱形等。
下面以插接槽1132的截面形状为平行四边形进行示例性说明。
盒盖12包括盖本体121，以及与插接槽1132配合的插接体122。盒盖12为一体结构，插接体122由盖本体121的边沿处相对盖本体121弯折形成，插接体122的截面形状也为平行四边形，插接体122与插接槽1132装配连接。盖本体121通过插接体122能够沿着插接槽1132滑动，以打开或封闭开口1121。
需要说明的是，当插接槽1132的截面形状为其他形状时，插接体122的处理方式与上述相似，在此，不再详细赘述。
另一个示例中，如图3、图7所示，安装部113为框体结构，框体结构可以包括四个矩形块，四个矩形块依次连接，四个矩形块围合形成镂空区域1134。盒盖12安装至镂空区域1134，使得盒盖12嵌入至框体结构内，以封闭开口1121。
其中，框体结构的镂空区域1134在盒本体114上的正投影面积等于盒盖12在盒本体114上的正投影面积，使得盒盖12与镂空区域1134之间相契合，提升盒盖12与安装部113的连接效果，避免盒盖12脱离镂空区域1134。
在上述任一示例中，如图3、图8所示，为了保证光罩保护盒1整体的平整性，盒盖12的远离开口1121的一侧外壁还设置有凸台123，装配状态下，凸台123的表面平齐于与安装部113的表面。
在一个示例性实施例中，如图2所示，光罩保护盒1包括盒体11、盒盖12和密封结构14，密封结构14设置于盒体11的侧部112，且位于盒体11和盒盖12之间。
其中，盒体11内设置有容置空间111，盒体11的侧部112设置有连通容置空间111和外部的开口1121，密封结构14沿开口1121的周向方向设置。
装配状态下，密封结构14能够填补盒盖12与盒体11之间的间隙，提升光罩保护盒1的密封性，避免微粒等污染物通过开口1121进入至容置空间111内。
其中，密封结构14可以是密封圈，密封圈由弹性橡胶材料制成，使得密封圈具有一定的弹性。当将盒盖12安装至盒体11时，盒盖12挤压密封结构14，使得盒盖12能够顺利装配至盒体11。而盒盖12安装完毕后，自然状态下，密封结构14具有回弹效果，以填满盒盖12与盒体11之间的间隙，保证光罩保护盒1的密封性能。
在一个示例性实施例中，如图2、图9所示，光罩保护盒1包括盒体11、盒盖12和多个支撑体15。
其中，盒体11内设置有容置空间111，盒体11的侧部112设置有连通容置空间111和外部的开口1121。多个支撑体15设置于容置空间111的内底壁，且间隔分布。光罩13放置在多个支撑体15上，用于抬升光罩13的高度。沿光罩保护盒1的厚度方向(参照图2所示的Z轴方向)，光罩13的下表面与容置空间111的内底壁之间具有预设距离，以便于光罩传送设备的驱动臂6可以由开口1121伸入至光罩13的下方，并将光罩13移出容置空间111。
为了保证光罩13能够顺利移出容置空间111，开口1121在盒体11的侧部112上的正投影面积大于光罩13在盒体11的侧部112上的正投影面积，也就是，开口1121的面积大于光罩13对应侧壁的面积。开口1121预留足够的尺寸，才能保证光罩13顺利安装或者移出容置空间111。
本公开还提出了一种光罩传送设备，包括驱动装置和光罩保护盒，驱动装置带动盒盖沿光罩保护盒的厚度方向运动，以打开或封闭开口。通过驱动装置带动盒盖相对盒体运动，实现光罩传送设备的自动化。
在一个示例性实施例中，如图2、图9、图10所示，一种光罩传送设备，包括驱动装置2和光罩保护盒1，光罩保护盒1与驱动装置2连接，驱动装置2能够驱动盒盖12沿光罩保护盒1的厚度方向(参照图9所示的Z轴方向)做往复运动，以便于打开或封闭开口1121。
如图9所示，光罩传送设备还包括承载台3，光罩保护盒1放置在承载台3上。为了提升承载台3与光罩保护盒1之间连接的可靠性，承载台3上设置有夹持爪(图中未示出)，承载台3通过夹持爪夹持住光罩保护盒1，承载台3可以通过夹持爪运送光罩保护盒1至预设位置。
一个示例中，如图9所示，光罩保护盒1的盒体11的上表面设置有握持部16，承载台3通过夹持爪夹持住握持部16，并通过握持部16限制光罩保护盒1的运动，提升光罩保护盒1与承载台3之间连接的稳定性。
当外力作用当施力于光罩保护盒1的盒盖12时，承载台3上的夹持爪对握持部16有限位的作用，光罩保护盒1可以稳定固定在预定位置处，不会发生错位或者移动的现象，保证光罩13的转移顺利进行。
在一个示例性实施例中，如图9、图10所示，光罩传送设备还包括设备本体4，设备本体4与承载台3固定连接，承载台3用于运送光罩保护盒1至预设位置处。
结合图2、图8所示，当安装部113为凸起结构1131时，限位块1133的长度延伸至对应的凸起结构1131上，限位块1133抵接至设备本体4。当转移光罩13时，拆下盒盖12，上方的限位块1133也能够拦截承载台3侧的微粒等污染物。
当安装部113为框体结构时，框体结构抵接至设备本体4，也可以拦截承载台3侧的微粒等污染物，进一步保证光罩13的洁净度。
设备本体4内设置有操作空间41，设备本体4设置有连通外部与操作空间41的入口411。当光罩保护盒1至预设位置处时，入口411与光罩保护盒1的开口1121相对应，以便于光罩13可以直接由入口411进入至操作空间41内。
其中，为了保证操作空间41的洁净度，入口411设置有门体(图中未示出)，当需要移动光罩13于操作空间41内时，开启门体；当光罩13移动完毕时，关闭门体，以隔绝外部环境。
在一个示例性实施例中，如图9、图10所示，驱动装置2包括移动单元21，移动单元21带动盒盖12相对盒体11运动。
移动单元21包括滑槽211和移动滑块212，移动滑块212与滑槽211滑动连接，移动滑块212与吸附单元22连接。移动滑块212可以与盒盖12可拆卸连接，移动滑块212与盒盖12装配状态下，移动滑块212能够带动盒盖12相对盒体11运动。
为了实现光罩传送设备的自动化，移动单元21还包括第一驱动部213，第一驱动部213驱动移动滑块212在滑槽211内滑动。
一个示例中，第一驱动部213可以是驱动电机，移动滑块212套装在驱动电机的驱动轴上，驱动电机的驱动轴运转时，移动滑块212运动，滑槽211用于限制移动滑块212的移动方向，保证移动滑块212沿着预设方向运动。其中，预设方向与光罩保护盒1的厚度方向相同。
另一个示例中，第一驱动部213可以是驱动气缸，驱动气缸的活塞端与移动滑块212固定连接，驱动气缸通过活塞端带动移动滑块212沿着滑槽211移动。
在一个示例性实施例中，如图9、图10所示，驱动装置2还包括吸附单元22。吸附单元22分别与盒盖12和移动滑块212连接。移动滑块212通过吸附单元22带动盒盖12相对盒体11运动。
其中，吸附单元22可以以磁吸的方式与盒盖12连接；或者，吸附单元22可以以负压吸附的方式与盒盖12连接。
一个示例中，吸附单元22的一端与负压产生装置(图中未示出)连通，吸附单元22的另一端与盒盖12连接。
负压产生装置用于在吸附单元22与盒盖12连接的表面形成负压，使盒盖12吸附于吸附单元22的另一端。
其中，吸附单元22包括连接杆221，连接杆221内设置有气流通路222，负压产生装置向气流通路222内通入负压，使得连接杆221吸住盒盖12。
如图9所示，盒体11的开口1121处于封闭状态，当需要移出光罩13时，第一驱动部213向移动滑块212施加向下的牵引力，以驱动移动滑块212沿滑槽211滑动。连接杆221的另一端与盒盖12连接的表面形成负压，使得盒盖12吸附于连接杆221。移动滑块212通过连接杆221带动盒盖12相对盒体11运动，直至打开开口1121，显露出容置空间111。
如图10所示，盒体11的开口1121处于打开状态，当光罩13转移完毕后，第一驱动部213向移动滑块212施加向上的牵引力，驱动移动滑块212沿滑槽211滑动。移动滑块212通过连接杆221带动盒盖12相对盒体11运动，封闭开口1121。气流通路222内回压，使得连接杆221与盒盖12分离。
在一个示例性实施例中，如图9、图10所示，光罩传送设备还包括第二驱动部5和驱动臂6，第二驱动部5和驱动臂6连接，第二驱动部5驱动驱动臂6在初始位置和容置空间111之间运动，以传送光罩13。其中，驱动臂6的初始位置可以为操作空间41内的预安装位置。
需要说明的是，光罩传送设备还包括控制单元，上述光罩传送设备均依靠于控制单元实现控制功能。控制单元不限于控制驱动驱动装置2和第二驱动部213运转，光罩传输设备的自动化功能均可以依靠于控制单元。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。
Claims (15)
1.一种光罩保护盒，其特征在于，所述光罩保护盒包括：
盒体，所述盒体内设置有容置空间，所述盒体的侧部设置有连通所述容置空间和外部的开口，光罩通过所述开口放置在所述容置空间内；
盒盖，所述盒盖可拆卸连接地安装于所述盒体的侧部，以封闭所述开口。
2.根据权利要求1所述的光罩保护盒，其特征在于，所述盒体包括安装部和盒本体，所述安装部固定于所述盒本体，所述盒盖通过所述安装部与所述盒本体可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的光罩保护盒，其特征在于，所述安装部包括两个凸体结构，两个所述凸体结构分设于所述开口的两侧；所述盒盖卡设于两个所述凸体结构之间。
4.根据权利要求3所述的光罩保护盒，其特征在于，所述凸体结构设置有插接槽，所述插接槽沿所述凸体结构延伸方向，贯穿所述凸体结构；其中，所述盒盖的边沿设置于所述插接槽内。
5.根据权利要求4所述的光罩保护盒，其特征在于，所述盒盖为一体结构，所述盒盖包括盖本体，以及与所述插接槽配合的插接体；
所述盖本体通过所述插接体能够沿着所述插接槽滑动，以打开或封闭所述开口。
6.根据权利要求2所述的光罩保护盒，其特征在于，所述安装部为框体结构，所述盒盖嵌入至所述框体结构内，以封闭所述开口。
7.根据权利要求1所述的光罩保护盒，其特征在于，所述光罩保护盒还包括设置于所述盒体的侧部的密封结构，且位于所述盒体和所述盒盖之间；其中，所述密封结构沿所述开口的周向方向设置。
8.根据权利要求1所述的光罩保护盒，其特征在于，所述开口在所述盒体的侧部上的正投影面积大于所述光罩在所述盒体的侧部上的正投影面积。
9.一种光罩传送设备，其特征在于，包括驱动装置，以及如权利要求1-8任一项所述的光罩保护盒，所述驱动装置带动盒盖沿所述光罩保护盒的厚度方向运动，以打开或封闭开口。
10.根据权利要求9所述的光罩传送设备，其特征在于，所述驱动装置包括移动单元，所述移动单元带动所述盒盖相对盒体运动。
11.根据权利要求10所述的光罩传送设备，其特征在于，所述移动单元包括滑槽，以及与所述滑槽滑动连接的移动滑块；
所述移动单元还包括第一驱动部，所述第一驱动部驱动所述移动滑块在所述滑槽内滑动。
12.根据权利要求10所述的光罩传送设备，其特征在于，所述驱动装置还包括吸附单元，所述吸附单元分别与所述盒盖和所述移动滑块连接。
13.根据权利要求12所述的光罩传送设备，其特征在于，所述吸附单元的一端与负压产生装置连通，所述吸附单元的另一端与盒盖连接；
所述负压产生装置用于在所述吸附单元与所述盒盖连接的表面形成负压，使所述盒盖吸附于所述吸附单元的另一端。
14.根据权利要求13所述的光罩传送设备，其特征在于，所述吸附单元包括连接杆，所述连接杆内设置有气流通路。
15.根据权利要求9所述的光罩传送设备，其特征在于，所述光罩传送设备还包括第二驱动部和驱动臂，所述第二驱动部驱动所述驱动臂在初始位置和容置空间之间运动，以传送光罩。
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