JPH03290995A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 防塵のために基板を収納する基板収納容器に関し、 塵の付着を防止し、かつ、機構が簡易で取扱いを容易に
することを目的とし、 一側面が開放された筐体内に基板を収納し、該筐体の一
側面に設けられた開口部を閉じることによって該基板を
固定する基板収納容器において、前記開口部に、収納さ
れた前記基板の該開口部側の周辺部を押圧する第１の押
圧部を設けると共に、前記筐体の該開口部の対向面に、
該基板の該対向面側の周辺部を押圧して、該第１の押圧
部とにより該基板を固定する第２の押圧部を設ける様に
構成する。

〔産業上の利用分野） 本発明は、防塵のために基板を収納する基板収納容器に
関する。

近年、例えば半導体製造のためのレチクル、マスク等の
基板は、−枚毎に容器に収納して必要時に取出すものが
考えられている。このような容器は防塵のために略密閉
状態で収納すると共に、運搬等の際には該容器内で基板
が移動しないようにし、必要時に速やかに取出せること
が要求されている。このため、容器内における基板の固
定手段を改善する必要がある。

〔従来の技術〕

第６図に従来の基板収納容器の構成図を示す。

第６図（Ａ＞は概略断面図であり、第６図（Ｂ）は収納
される基板の概念図である。第６図（Ａ）おいて、一側
面が開放された筐体３０に開口部３１が蝶着される。筐
体３０内の底部には載置台３２ａ、３２ｂが設けられ、
天井部には掛止部材３３及びヒンジ３４が設けられてい
る。このヒンジ３４には２つの押え板３５ａ　（３５ｂ
は図面上奏のため表われず）を可動する可動部材３６が
蝶着されている。そして、掛止部材３３と可動部材３６
ｆｌｌにばね３７が取付けられ、可動部材３６と開口部
３１に設けられた掛止部材３８と間にばね３９が取付け
られる。一方、載置台３２ａ、３２ｂ上には、第６図（
Ｂ）に示すようなパターン領域４０ａが形成されたレチ
クル、マスク等の基板４０が載置される。

このような収納容器は、開口部３１が開口されていると
きは、ばね３９により可動部材３６が開口部３１側に引
かれて押え板３５ａを浮上させる。

そして、例えばハンドリング装置等で載置台３２ａ。

３２ｂ上に基板４０が載置される。そこで、開口部３１
が閉じられると、それと同時にばね３７により基板４０
の周辺部（パターン領域の外側）に押え板３５ａが当接
し、ばね３７．３９により押圧して固定するものである
。この場合の位！１２１係が第６図（Ｂ）の破線で示さ
れる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記のよう（固定は基板４０面上を押え板３５
ａで押圧していることから、該基板４０面上に陣が付着
し易く、当該容器の運搬及び基板の交換等の場合に、付
着した塵が浮遊してパターン領域４０ａに載り、露光転
写等でパターン不良を生じ易い。また、上記収納容器は
機構的に複雑であると共に洗浄し難く、管理面で不便で
あるという問題があった。

そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、塵の
付着を防止し、かつ、機構が簡易で取扱いの容易な基板
収納容器を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題は、一側面が開放された筐体内に基板を収納し
、該筐体の一側面に設けられた開口部を閉じることによ
って該基板を固定する基板収納容器において、前記開口
部に、収納された前記基板の該開口部側の周辺部を押圧
する第１の押圧部を設けると共に、前記筐体の該開口部
の対向面に、該基板の該対向面側の周辺部を押圧して、
該第１の押圧部とにより該基板を固定する第２の押圧部
を設けることにより解決される。

〔作用） 上述のように、筐体内に収納された基板を、開口部に設
けられた第１の押圧部と、該筐体の該開口部対向面に設
けられた第２押圧部により、押圧固定する。押圧固定は
、当該基板の周辺部（エツジ）を、第１及び第２の押圧
部が水平方向に挟持することによりなされる。

従って、当該基板は筐体（収納容器）内で摺動すること
なく固定される。この場合、基板の周辺部のみが第１及
び第２の押圧部と接触することとなり、塵の付着が防止
される。また、基板固定のための機構が簡易となり、洗
浄等の運用、管理が容易となる。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例の構成図を示す。第１図にお
いて、基板収納容器１は、一側面が開放された筐体２の
該一側面に開口部３がばね４の付勢により開閉可能に蝶
着される。筐体２の区部には三角柱の支持台５ａ、５ｂ
が設けられる。

一方、開口部３の筐体２内側に、所定長（後述する基板
の一辺の長さ）の板状の第１の押圧部６が設けられてお
り、その表面（基板との当接部分）が円弧状に形成され
る。

また、筺体２内の開口部３の対向面に、−辺が弧状の四
角形状で所定長（基板の一辺の長さ）の柱状の第２の押
圧部７がばね８により設けられる。

この第２の押圧部７は、前記対向面を弧に沿って摺動す
る。

そして、支持台５ａ、５ｂ上に基板１０が載置される。

この基板１０は、例えばレチクル、フォトマスク等の塵
の付着を防止する必要のある基板である。なお、第１図
中、破線部分は開口部３の開放状態を示しており、実線
部分は開口部３が閉じた状態を示している。

なお、筺体２の上面板２ａはビン２ｂ等で上方向に開閉
可能に［着されている。これは、基板１０を収納する際
の作業性を向上させるためである。

このような基板収納容器１は、まず、開口部３が開放、
又は上面板２ａが開放されている状態では、第２の押圧
部７が筐体２面に平行状態で位置する。この状態で、例
えばハンドリング装置で支持台５ａ、５ｂ上に基板１０
を載置し、又は容器内の基板１０を取出す。

支持台５ａ、５ｂ上に基板１０が載置され、上面板２ａ
が閉じられた状態で開口部３を閉じると、基板１０の周
辺部（エツジ）が第１の抑圧部３により押圧される。こ
のとき、基板１０の前記対向面の周辺部が第２の押圧部
７を押し、その押圧力に応じて該第２の押圧部７の弧に
沿って該対向面を回転移動する。すなわち、該周辺部に
は、ばね８の付勢力による反力で作用する第２の押圧部
７からの押圧力と、第１の抑圧部６からの押圧力とが作
用し、基板１０を固定するものである。

このように、基板１０を、両側の周辺部を第１及び第２
の押圧部６，７により押圧していることから、基板収納
容器１内で基板１０が摺動することがなく、かつ、基板
の周辺部のみを接触することからパターン部（第６図（
Ｂ）参照）への塵の付着を防止することができる。また
、機構が、第１及び第２の押圧部６．７で構成されるこ
とから簡易であり、洗浄も容易である。

次に、第２図及び第３図に、本発明の第２の実施例の構
成図を示す。第２図（Ａ）、（Ｂ）。

（Ｃ）は、第１図における第２の押圧部６の取付は機構
を改良したもので、第３図（Ａ）、（Ｂ）は第２図の第
２の押圧部を用いて基板を固定する場合である。第２図
において、筺体２内の開口部３の対向面には、平面上ｒ
ＴＪ字状の凸部１１が該筺体２と一体に形成され（第２
図（Ａ）上面図）、一方、第２の押圧部７の弧の部分に
は該凸部１１が嵌合して摺動する凹部１２が形成される
（第２図ＣＢ）側面図）。そして、凸部１１及び凹部１
２の嵌合した状態が第２図（Ｃ）の上面図にボされる。

また、第３図において、基板１０が支持台５ａ。

５ｂ上に載置され、開口部３が開放状態、又は上面板２
ａが開放状態の場合、第２の押圧部７は平行状態であり
、凹部１２に歌合した凸部１１は、該凹部１２の最上部
分に位置する。そして、上面体２ａが閉じられた状態で
開口部３が閉じられると、第１の押圧部６の押圧によっ
て第２の押圧部７の凹部１２内で凸部１１が摺動し、該
第２の抑圧部７はその弧に沿って回転移動する。このと
き、前述のように、ばね８による反力により基板１０が
押圧固定されるものである。

次に、第４図に、本発明の第３の実施例の構成図を示す
。第４図（Ａ＞が開口部の開放状態の場合であり、第４
図（Ｂ）が閉じた状態の場合である。第４図（Ａ）にお
いて、開口部３が開放状態又は上面板２ａが開放状態の
場合、支持台５ａ。

５ｂに載置された基板１０は、その周辺部が第２の押圧
部である例えばコリコンゴム等の弾性摩擦部材７ａと当
接する。そして、上面板２ａが閉じられた状態で開口部
３が閉じられると、第１の抑圧部６の押圧と、第２の押
圧部７ａの押圧及び摩擦力により、基板１０を固定する
ものである。

さらに、第５図に、本発明の第４の実施例の構成図を示
す。第５図（Ａ）が開口部の開放状態の場合であり、第
５図（Ｂ）が閉じた状態の場合である。第５図において
、開口部３には基板１０の２隅の周辺部を押圧する第１
の押圧部５ａ、５ｂ（６ｂ図面上奥のため表われず）が
設けられており、この第１の抑圧部６ａ、６ｂの形状は
、第１図における第２の押圧部６と断面形状が同一であ
る。一方、筺体２の開口部３の対向面に、基板１０の２
隅の周辺部を押圧する第２の押圧部７ｂ１゜７　ｂｚ　
　（７ｂｚは図面上奏のため表われず）が設けられ、第
１の押圧部６ａ、６ｂと対象の形状をなす。なお、第１
及び第２の押圧部５ａ、（６ｂ）。

７ｂ＋　、（７ｂ２）は基板１０の一辺に相当する長さ
で、基板１０を２辺で固定する柱状のものでもよい。

第５図（Ａ）において、開口部３が開放状態の場合、基
板１０は支持台５ａ、５ｂ上に載置された状態となる。

そして、開口部３が閉じられると、基板１０は、第１及
び第２の押圧部６ａ、６ｂ。

７ｔ）＋　、７ｂ２に形成された円弧状を上方にスライ
ドされ、支持台５ａ、５ｂより浮上させて押圧固定され
るものである。

なお、上記第１〜第３の実施例〈第１図〜第４図）にお
ける第１及び第２の押圧部６．７　（７ａ）は柱状であ
る場合を示したが、第５図と同様に、基板１０を４隅の
周辺部で固定するように、それぞれ２個により配設して
もよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、開口部に設けた第１の抑
圧部と筐体に設けた第２の押圧部とで基板を押圧固定す
ることにより、容器内で基板上に塵が付着することを防
止して固定することができ、また、機構が簡易で運用面
、管理面で取扱いを容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の構成図、 第２図は本発明の第２の実施例の概略図、第３図は第２
図における第２の実施例の構成図、第４図は本発明の第
３の実施例の構成図、第５図は本発明の第４の実施例の
構成図、第６図は従来の基板収納容器の構成図である。 図において、 １は基板収納容器、 ２は筐体、 ３は開口部、 ４．８はばね、 ５ａ、５ｂは支持台、 ６ａ、６ｂは第１の押圧部、 ７．７ａ、７ｂ＋　、７１）ｚは第２の押圧部、１０は
基板、 １１は凸部、 １２は凹部 を示す。 第 図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ） オ嗜咎用の＃２の１３区赫りρηＥ＄ｆｆｉ第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　一側面が開放された筐体（２）内に基板（１０）を収
   納し、該筐体（２）の一側面に設けられた開口部（３）
   を閉じることによつて該基板（１０）を固定する基板収
   納容器において、 前記開口部（３）に、収納された前記基板（１０）の該
   開口部（３）側の周辺部を押圧する第１の押圧部（６）
   を設けると共に、前記筐体（２）の該開口部（３）の対
   向面に、該基板（１０）の該対向面側の周辺部を押圧し
   て、該第１の押圧部（６）とにより該基板（１０）を固
   定する第２の押圧部（７）を設けることを特徴とする基
   板収納容器。