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Hintergrund der Erfindung
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Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung für EUV-Strahlung, umfassend: mindestens ein reflektives optisches Element, das einen Grundkörper mit einer EUV-Strahlung reflektierenden Beschichtung aufweist, sowie eine Blende, die von einem zu schützenden Oberflächenbereich des Grundkörpers beabstandet angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Anbringen einer Blende in einer optischen Anordnung für EUV-Strahlung.
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Eine solche optische Anordnung ist in der
DE 102017213181.0 der Anmelderin beschrieben. Bei der optischen Anordnung kann es sich um eine EUV-Lithographieanlage zur Belichtung eines Wafers oder um eine andere optische Anordnung handeln, die EUV-Strahlung verwendet, beispielsweise um ein EUV-Inspektionssystem, z.B. um eine Anordnung zur Vermessung bzw. zur Inspektion von in der EUV-Lithographie verwendeten Masken, Wafern oder dergleichen.
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Die optische Anordnung für die EUV-Lithographie, beispielsweise eine EUV-Lithographieanlage, wird typischerweise in einer Vakuum-Umgebung betrieben, da das in der Umgebung der reflektiven optischen Elemente vorhandene Rest-Gas EUV-Strahlung absorbiert.
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In der Vakuum-Umgebung bildet sich unter dem Einfluss der EUV-Strahlung ein Wasserstoff-Plasma aus, d.h. es wird aktivierter Wasserstoff in Form von Wasserstoff-Ionen und Wasserstoff-Radikalen gebildet. Aufgrund des durch den aktivierten Wasserstoff verursachten Ätzangriffs auf freiliegende, in der Regel unbeschichtete Oberflächen von Materialien bzw. von Komponenten einer solchen optischen Anordnung können sich Ätzprodukte bilden, die in die Vakuum-Umgebung freigesetzt werden. Derartige Ätzprodukte können sich an den Oberflächen der reflektiven optischen Elemente ablagern.
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In der
DE 102017213181.0 wird vorgeschlagen, an mindestens einem Oberflächenbereich eines Grundkörpers eines reflektiven optischen Elements eine Abschirmung anzubringen, die diesen Oberflächenbereich vor der Ätzwirkung eines das reflektive optische Element im Betrieb der optischen Anordnung umgebenden Plasmas schützt. Bei der Abschirmung kann es sich um eine Blende handeln, die von dem zu schützenden Oberflächenbereich durch einen Spalt getrennt ist. Um eine wirksamen Schutz zu gewährleisten, sollte die Blende in einem Abstand von dem zu schützenden Oberflächenbereich angeordnet sein, der weniger als das Doppelte der Debye-Länge des umgebenden Plasmas beträgt.
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Aufgabe der Erfindung
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Aufgabe der Erfindung ist es, eine optische Anordnung für EUV-Strahlung sowie ein Verfahren zum Anbringen einer Blende in einer solchen Anordnung anzugeben, welche einen effektiven Schutz eines Oberflächenbereichs eines optischen Elements vor einem umgebenden Plasma ermöglichen.
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Gegenstand der Erfindung
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Diese Aufgabe wird gelöst durch eine optische Anordnung der eingangs genannten Art, bei der die Blende lösbar an einem Träger befestigt ist, der dauerhaft mit einem mechanischen Bauteil der optischen Anordnung verbunden ist. Durch die lösbare Befestigung der Blende an dem Träger kann die Blende ausgetauscht werden, wenn diese durch das umgebende Plasma oder durch andere Einflüsse degradiert, so dass sichergestellt ist, dass der Oberflächenbereich über die gesamte Lebensdauer der optischen Anordnung geschützt wird.
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Der Träger, an dem die Blende befestigt ist, kann bei der Herstellung der optischen Anordnung oder nachträglich durch in der optischen Anordnung vorhandene Öffnungen in die optische Anordnung eingebracht und dauerhaft mit dem mechanischen Bauteil verbunden werden. Im Gegensatz zu dem optischen Element, welches mit Hilfe eines oder mehrerer Aktuatoren in der optischen Anordnung bewegt, insbesondere verschoben werden kann, ist das mechanische Bauteil in der Regel ortsfest in der optischen Anordnung angebracht, beispielsweise an einem Tragrahmen oder dergleichen. Bei dem mechanischen Bauteil kann es sich beispielsweise um eine Kühleinrichtung, um eine Stützstruktur, insbesondere um einen Teil des Tragrahmens, etc. handeln. Die Blende bzw. der Träger kann insbesondere an einem mechanischen Bauteil eines Projektionsobjektivs einer EUV-Lithographieanlage angebracht werden, ggf. auch ohne die Verwendung eines (Zwischen-)Trägers, d.h. die blende kann ggf. auch direkt lösbar oder dauerhaft mit dem mechanischen Bauteil verbunden werden.
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Der mindestens eine Oberflächenbereich, der von der Blende geschützt wird, befindet sich typischerweise außerhalb eines optisch genutzten Bereichs des optischen Elements, insbesondere außerhalb einer reflektierenden Beschichtung des optischen Elements. An dem Oberflächenbereich liegt in der Regel das Material des Grundkörpers des optischen Elements frei. Die Blende ist typischerweise in einem Abstand von dem optischen Element bzw. von dem Oberflächenbereich angeordnet, der in der Größenordnung von weniger als 5 mm, ggf. von weniger als 0,5 mm liegt. Der Abstand der Blende von dem optischen Element darf nicht zu klein gewählt werden, um den Bewegungsbereich des optischen Elements nicht einzuschränken.
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Im Gegensatz zu einer herkömmlichen Blende, welche den Strahlengang des reflektiven optischen Elements abschattet, ist dies bei der hier beschriebenen Blende nicht der Fall, d.h. die Blende darf den Strahlengang des reflektiven optischen Elements nicht begrenzen. Die Blende kann aber ggf. dazu verwendet werden, die zu schützende Oberfläche vor Streulicht aus der Umgebung des EUV-Strahlengangs zu schützen. Es ist günstig, wenn die Blende einen möglichst großen zu schützenden Oberflächenbereich abdeckt.
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Bei einer Ausführungsform ist der Träger mit dem mechanischen Bauteil über eine stoffschlüssige Verbindung, insbesondere über eine Klebeverbindung, verbunden. Durch eine stoffschlüssige Verbindung, insbesondere in Form einer Klebeverbindung, kann der Träger auf einfache Weise auch nachträglich mit dem mechanischen Bauteil der optischen Anordnung verbunden werden.
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Bei einer weiteren Ausführungsform ist die Blende über eine Schraubverbindung, eine Klemmverbindung oder eine formschlüssige Verbindung lösbar an dem Träger befestigt. Die lösbare Verbindung mit dem Träger kann auch auf andere Weise realisiert werden. Wesentlich ist, dass die lösbare Verbindung auf einfache Weise gelöst werden kann, um die Blende in-situ austauschen zu können, sofern ein solcher Austausch während der Lebensdauer der optischen Anordnung erforderlich ist.
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Bei einer weiteren Ausführungsform weist die Blende eine Dicke zwischen 0,2 mm und 1,0 mm auf. Eine solche dünnwandige Blende hat sich als günstig erwiesen, da der Bauraum in der Nähe des reflektiven optischen Elements begrenzt ist. Die Blende kann beispielsweise durch Fräsen, 3D-Druck, Galvano-Formen, durch (Laser-)Schweißen eines Blechs, ... hergestellt werden. Bei dem Material der Blende kann es sich beispielsweise um Edelstahl, Aluminium, Titan, etc. handeln.
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Bei einer Ausführungsform ist der zu schützende Oberflächenbereich in einem Hohlraum des Grundkörpers des reflektiven optischen Elements gebildet und die Blende ragt zumindest teilweise in den Hohlraum hinein. Bei dem Hohlraum kann es sich insbesondere um eine Durchgangsbohrung in dem optischen Element handeln. Auch ein Oberflächenbereich des Grundkörpers, der in einem solchen Hohlraum angeordnet ist, sollte vor der Ätzwirkung des umgebenden Wasserstoff-Plasmas geschützt werden.
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Bei einer weiteren Ausführungsform umgreift die Blende das mechanische Bauteil an zwei gegenüberliegenden Seiten, zwischen denen der zu schützende Oberflächenbereich des Grundkörpers gebildet ist. In diesem Fall kann der Träger an einer der beiden Seiten des mechanischen Bauteils angebracht sein und wird ebenfalls von der Blende umgriffen. Die Blende kann in diesem Fall beispielsweise über eine rastende bzw. eine federnde Verbindung lösbar an dem Träger befestigt werden und stützt sich an ihrer gegenüberliegenden Seite an dem mechanischen Bauteil ab. Zu diesem Zweck wirkt einer der beiden übergreifenden Abschnitte der Blende mit dem Träger bzw. mit einem beispielsweise elastisch deformierbaren Befestigungselement des Trägers zusammen.
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Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Anbringen einer Blende in einer optischen Anordnung für EUV-Strahlung, umfassend: Dauerhaftes Verbinden eines Trägers mit einem mechanischen Bauteil der optischen Anordnung, insbesondere durch eine stoffschlüssige Verbindung, sowie lösbares Befestigen der Blende an dem Träger zur Anordnung der Blende beabstandet von einem zu schützenden Oberflächenbereich eines Grundkörpers eines reflektiven optischen Elements, der eine EUV-Strahlung reflektierende Beschichtung aufweist. Wie weiter oben beschrieben wurde, kann durch die Verwendung eines (Zwischen-)Trägers die Blende nachgerüstet werden, d.h. durch bereits vorhandene Öffnungen in die optische Anordnung, beispielsweise in ein Projektionsobjektiv, eingebracht werden. Aufgrund der lösbaren Befestigung kann die Blende erforderlichenfalls ausgetauscht werden.
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Alternativ zu dem hier beschriebenen Verfahren ist es auch möglich, die Blende direkt, d.h. ohne die Verwendung eines (Zwischen-)Trägers, mit dem mechanischen Bauteil dauerhaft zu verbinden. Bei der dauerhaften Verbindung kann es sich ebenfalls um eine stoffschlüssige Verbindung, beispielsweise um eine Klebeverbindung, handeln. Für die dauerhafte Verbindung der Blende mit dem mechanischen Bauteil kann eine Blenden-Montageeinrichtung verwendet werden, welche die Blende während der Klebung fixiert.
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Bei einer Variante wird das Befestigen des Trägers an dem mechanischen Bauteil mit Hilfe einer Träger-Montageeinrichtung durchgeführt. Die Träger-Montageeinrichtung kann beispielsweise in Form einer Stütze bzw. einer Auflage ausgebildet sein, auf welcher der Träger beim stoffschlüssigen Verbinden an seiner Unterseite aufliegt, wenn der Träger an der Unterseite des mechanischen Bauteils befestigt werden soll. Wenn der Träger an der Oberseite des mechanischen Bauteils befestigt wird, kann die Träger-Montageeinrichtung den Träger seitlich klemmend z.B. in der Art einer Schraubzwinge umgreifen. Nach dem Befestigen des Trägers an der Oberseite des mechanischen Bauteils kann die Klemmung aufgehoben werden.
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Bei einer weiteren Ausführungsform weist das mechanische Bauteil eine Öffnung auf, durch welche die Blende für die beabstandete Anordnung von dem zu schützenden Oberflächenbereich zumindest teilweise hindurchgeführt wird. Durch die Öffnung kann die Blende teilweise in den Hohlraum in dem reflektiven optischen Element eingeführt werden, um den Oberflächenbereich des Grundkörpers zu schützen. Die Blende kann hierbei beispielsweise mit einem Ende an einem Träger befestigt werden, der mit einer dem reflektiven optischen Element abgewandten Seite des mechanischen Bauteils verbunden ist. Die Blende ragt in diesem Fall durch die Öffnung in dem mechanischen Bauteil hindurch in den Hohlraum des reflektiven optischen Elements hinein.
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Bei einer weiteren Variante wird die lösbare Befestigung der Blende an dem Träger mit Hilfe einer Blenden-Montageeinrichtung durchgeführt. Die Blenden-Montageeinrichtung dient dazu, die Blende durch mindestens eine in der optischen Anordnung vorhandene Öffnung derart einzubringen, dass diese an dem Träger befestigt werden kann.
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Bei einer Weiterbildung weist die Blenden-Montageeinrichtung einen Stab zur Halterung der Blende auf, der in einer insbesondere verschwenkbaren Hülse drehbar und/oder verschiebbar geführt wird. Die verschwenkbare Hülse kann an einer Handhabungseinrichtung der Blenden-Montageeinrichtung, beispielsweise in Form eines stabartigen Griffs oder dergleichen um eine Drehachse schwenkbar gelagert sein. Mit Hilfe des in der Hülse geführten Stabes kann die Blende praktisch beliebig im Raum angeordnet und orientiert werden, d.h. die Blenden-Montageeinrichtung ermöglicht eine Bewegung der Blende in allen sechs Bewegungsfreiheitsgraden.
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Bei einer Variante wird während des stoffschlüssigen Verbindens eine Partikel-Auffangeinrichtung zumindest teilweise, insbesondere vollständig, zwischen das optische Element und mindestens ein insbesondere unterhalb des optischen Elements angebrachtes weiteres optisches Element eingebracht. Bei der stoffschlüssigen Verbindung, insbesondere beim Verkleben, werden typischerweise ungewollt Partikel freigesetzt, die zu anderen reflektiven optischen Elementen der optischen Anordnung gelangen und diese kontaminieren können. Dies ist insbesondere bei reflektiven optischen Elementen der Fall, die unterhalb desjenigen optischen Elements angeordnet sind, an dem sich der Träger befindet, der mit dem mechanischen Bauteil z.B. verklebt wird. Nach dem Verbinden wird die Partikel-Auffangeinrichtung typischerweise aus der optischen Anordnung entfernt.
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Bei einer Variante bildet die Partikel-Auffangeinrichtung einen aufklappbaren Schirm, dessen Schirmplane beim stoffschlüssigen Verbinden in einer aufgeklappten Stellung zwischen dem optischen Element und dem weiteren optischen Element angeordnet wird. Wie bei einem herkömmlichen Regenschirm kann auch bei dem Schirm der Partikel-Auffangeinrichtung die Schirmplane von einer geöffneten, aufgeklappten Stellung in eine geschlossene, zugeklappte Stellung bewegt werden, und umgekehrt. Im Gegensatz zu einem Regenschirm ist die Schirmplane in der aufgeklappten Stellung nicht nach unten geneigt, sondern ist z.B. trichterförmig nach oben gekrümmt, um die Partikel aufzufangen und in der Mitte der Schirmplane (im Bereich des stabförmigen Schirmstocks) zu sammeln.
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Bei einer Variante bildet die Partikel-Auffangeinrichtung einen schlauchförmigen Folienbeutel, der beim stoffschlüssigen Verbinden zumindest teilweise zwischen das optische Element und das weitere optische Element eingebracht wird. Die Partikel werden am Boden des Folienbeutels gesammelt. Nach dem Verbinden des Trägers mit dem mechanischen Bauteil wird der Folienbeutel aus der optischen Anordnung entnommen.
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Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.
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Figurenliste
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Ausführungsbeispiele sind in der schematischen Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Es zeigt
- 1a-c schematische Darstellungen der Anbringung einer Blende in einer optischen Anordnung, wobei die Blende teilweise in einen Hohlraum eines reflektiven optischen Elements hineinragt,
- 2a-c schematische Darstellungen analog zu 1a-c, bei denen die Blende ein mechanisches Bauteil umgreift, an dem die Blende über einen (Zwischen-)Träger befestigt wird, sowie
- 3a,b schematische Darstellungen der optischen Anordnung mit zwei Partikel-Auffangeinrichtungen zum Auffangen von Partikeln, die beim stoffschlüssigen Verbinden des (Zwischen-)Trägers mit einem mechanischen Bauteil gebildet werden.
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In der folgenden Beschreibung der Zeichnungen werden für gleiche bzw. funktionsgleiche Bauteile identische Bezugszeichen verwendet.
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In 1a-c ist schematisch eine Detail einer optischen Anordnung 1 in Form einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Lithographie, genauer gesagt in Form eines Wafer-Scanners, zur Herstellung von hochintegrierten Halbleiterbauelementen gezeigt. In 1a-c ist von der optischen Anordnung 1 nur ein plattenförmiges mechanisches Bauteil 2 in Form einer Kühleinrichtung sowie ein konisches Bauteil 3 mit einer durchgehenden Öffnung gezeigt, an dessen Oberseite das plattenförmige Bauteil 2 aufliegt bzw. befestigt ist. In 1a-c ebenfalls zu erkennen ist ein reflektives optisches Element 4, welches einen Grundkörper 5 mit einem Hohlraum 6 in Form einer Durchgangsbohrung aufweist. In dem Hohlraum 6 weist der Grundkörper 5 einen Oberflächenbereich 7 auf, der von einem im Betrieb der optischen Anordnung 1 in der Umgebung des reflektiven optischen Elements 4 vorhandenen Wasserstoff-Plasma geschützt werden sollte. Auf den Grundkörper 5 des reflektiven optischen Elements 4 ist eine reflektierende Beschichtung 8 aufgebracht, die zur Reflexion von EUV-Strahlung ausgebildet ist.
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1a,b zeigen zwei Schritte des Anbringens einer Blende 9 in der optischen Anordnung 1 in einem geringen Abstand von dem zu schützenden Oberflächenbereich 7 des Grundkörpers 5, der beispielsweise bei weniger als 5 mm liegen kann. Bei dem in 1a gezeigten Schritt wird ein Träger 10 für die Blende 9 über eine stoffschlüssige Verbindung in Form eine Klebeverbindung mit der Unterseite des plattenförmigen Bauteils 2 verbunden. Das Befestigen des Trägers 10 an dem plattenförmigen Bauteil 2 erfolgt mit Hilfe einer Träger-Montageeinrichtung 11, die einen stabförmigen Abschnitt aufweist, an dessen Oberseite der Träger 10 bei der Befestigung an der Unterseite des plattenförmigen Bauteils 2 aufliegt.
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Wie in 1b zu erkennen ist, wird die Blende 9 an dem Träger 10 mit Hilfe einer Blenden-Montageeinrichtung 12 lösbar befestigt. Die lösbare Befestigung der Blende 9 an dem Träger 10 erfolgt im gezeigten Beispiel über einen Formschluss. Um die Blende 9 mit dem Träger 10 zu verbinden, weist die Blenden-Montageeinrichtung 12 einen Stab 13 zur Halterung der Blende 9 auf, der in einer Hülse 14 drehbar und verschiebbar geführt ist, wie in 1b durch Pfeile angedeutet ist. Die Hülse 14 ist an einer stabartigen Handhabungseinrichtung um eine Drehachse schwenkbar gelagert, so dass die Blende 9 mit Hilfe der Blenden-Montageeinrichtung 12 beliebig im Raum positioniert und ausgerichtet werden kann.
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Wie in 1c zu erkennen ist, wird die Blende 9 an ihrem unteren Ende an dem Träger 10 lösbar befestigt. Die Blende 9 ist durch eine Öffnung 15 des plattenförmigen Bauteils 2 hindurch geführt und ragt in den Hohlraum 6 des Grundkörpers 5 hinein, um den Oberflächenbereich 7 des Grundkörpers 5 zu schützen. Die Blende 9, genauer gesagt der Abschnitt der Blende 9, welcher dem zu schützenden Oberflächenbereich 7 unter Ausbildung eines Spalts gegenüberliegt, weist eine Dicke zwischen ca. 0,2 mm und ca. 1,0 mm auf. Wie weiter oben beschrieben wurde, kann die Blende 9 in der Regel nicht unmittelbar an dem Oberflächenbereich 7 anliegen, um diesen zu schützen, da das reflektive optische Element 4 typischerweise im Betrieb der optischen Anordnung 1 relativ zu dem plattenförmigen Bauteil 2 bzw. relativ zu einem Tragrahmen der optischen Anordnung 1 bewegt werden muss. Der Abstand zwischen der Blende 9 und dem zu schützenden Oberflächenbereich 7 liegt in der Regel bei weniger als ca. 5 mm, insbesondere bei weniger als 0,5 mm.
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2a,b zeigen analog zu 1a,b die Verbindung eines Trägers 10 mit einem mechanischen Bauteil 2 sowie die Befestigung einer Blende 9 an dem Träger 10, die im Gegensatz zu 1a,b zum Schutz eines Oberflächenbereichs 7 eines Grundkörpers 5 eines reflektiven optischen Elements 4 dient, der eine Seitenfläche des Grundkörpers 5 bildet. Das mechanische Bauteil 2 ist in diesem Beispiel L-förmig ausgebildet und weist eine Oberseite auf, an welcher der Träger 10 mit dem L-förmigen Bauteil 2 stoffschlüssig über eine Klebeverbindung verbunden wird. Der Träger 10 wird zu diesem Zweck mit Hilfe einer Träger-Montageeinrichtung 11 auf der Oberseite des L-förmigen Bauteils 2 abgesetzt, die im gezeigten Beispiel eine greiferartige Halteeinrichtung aufweist, die an einer vertikal verlaufenden Stange verschiebbar geführt ist. Die Träger-Montageeinrichtung 11, genauer gesagt die vertikal verlaufende Stange, wird hierbei in einer vertikal verlaufenden Öffnung in einem Trägerbauteil 3 der optischen Anordnung 1 bewegt. Für die Positionierung der Blende 9 in horizontaler Richtung bzw. in einer horizontalen Ebene ist die vertikal verlaufende Stange an einem horizontalen Schlitten verschiebbar geführt.
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Wie in 2b zu erkennen ist, wird die im Wesentlichen C-förmig ausgebildete Blende 9 mit Hilfe einer Blenden-Montageeinrichtung 12 an dem Träger 10 und zusätzlich an dem L-förmigen Bauteil 2 befestigt. Die Blende 9 liegt hierbei auf einer Auflagefläche auf, die vertikal verschiebbar an einer vertikal verlaufenden Stange der Blenden-Montageeinrichtung 12 angebracht ist, die ansonsten in ihrem Aufbau mit der in 2a gezeigten Träger-Montageeinrichtung 11 übereinstimmt.
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Für die Realisierung der lösbaren Verbindung mit dem Träger 10 ist an dessen Oberseite ein federndes Rastelement angebracht, welches von unten gegen die Unterseite des oberen Schenkels der C-Förmigen Blende 9 drückt. In der in 2c gezeigten Endposition der Blende 9 umgreift die Blende 9 das L-förmige Bauteil 2 an zwei gegenüberliegenden Seiten, genauer gesagt an der Oberseite des horizontal verlaufenden Schenkels und an der Unterseite des vertikal verlaufenden Schenkels. Der zu schützende Oberflächenbereich 7 ist in diesem Fall zwischen den beiden Seiten bzw. dem oberen und dem unteren Schenkel der C-förmigen Blende 9 gebildet, so dass dieser von der Blende 9 ebenfalls umgriffen wird. Am unteren Schenkel der C-förmigen Blende 9 ist ein zusätzlicher, nach oben und in Richtung auf den Grundkörper 5 vorstehender Abschnitt der Blende 9 gebildet, welcher es ermöglicht, den Oberflächenbereich 7 auch an der nicht von dem L-förmigen Bauteil 2 geschützten Unterseite vor dem umgebenden Wasserstoff-Plasma zu schützen.
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3a,b zeigen in zwei Darstellungen analog zu 2a den Schritt des Verklebens des Trägers 10 mit dem L-förmigen mechanischen Bauteil mit Hilfe der Träger-Montageeinrichtung 11. Da während des Verklebens ungewollt Partikel freigesetzt werden, die unter Schwerkraftwirkung zu unterhalb des reflektiven optischen Elements 4 bzw. zu unterhalb des Trägers 10 angebrachten weiteren reflektiven optischen Elementen gelangen können, wird zwischen das reflektive optische Element 4 und das (in 3a,b nicht dargestellte) weitere reflektive optische Element eine Partikel-Auffangeinrichtung 16a,b eingebracht.
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Bei dem in 3a gezeigten Beispiel handelt es sich bei der Partikel-Auffangeinrichtung 16a um einen aufklappbaren Schirm, der unmittelbar vor und während des Verbindens des Trägers 10 mit dem L-förmigen Bauteil 2 unterhalb der Öffnung in dem Trägerbauteil 3 positioniert wird, und zwar in der in 3a dargestellten aufgeklappten Stellung, in welcher dessen Schirmplane 17 trichterförmig nach außen über eine vertikal verlaufende Schirmstange übersteht, um die Partikel aufzufangen.
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Bei dem in 3b gezeigten Beispiel handelt es sich bei der Partikel-Auffangeinrichtung 16b um einen schlauchförmigen Folienbeutel, der den Träger 10 und teilweise auch das L-förmige Bauteil 2 beim Herstellen der Klebeverbindung umgibt. Der Boden des schlauchförmigen Folienbeutels 16b ist hierbei zwischen dem reflektiven optischen Element 4 und dem weiteren, darunter angeordneten reflektiven optischen Element angeordnet und dient zum Sammeln von Partikeln, die beim Herstellen der Klebeverbindung entstehen. Im gezeigten Beispiel weist der Folienbeutel 16b eine seitliche Öffnung auf, welche es ermöglicht, den innerhalb des Folienbeutels 16b befindlichen Träger 10 mit dem L-förmigen Bauteil 2 zu verbinden, welches sich teilweise außerhalb des Trägers 10 befindet.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102017213181 [0002, 0005]
