DE3321853A1 - Haltevorrichtung fuer einen objekttraeger eines mikroskops - Google Patents

Description

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Coulter Electronics, Inc. Hialeah, Florida, US/I

Haltevorrichtung für einen Objektträger eines

Mikroskops

Die Erfindung bezieht sich auf optische Geräte, insbesondere Mt lrp'ORlrrvnfi „

Mikroskope

Mit optischen Mikroskopen werden Objekte auf planaren Oberflächen von Objektträgern aus Glas betrachtet« Solche Mikroskope besitzen eine Vorrichtung, die die objekttragende Oberfläche im wesentlichen parallel zur Brennpunktebene der Op1 ik so festhält, daß der Objektträger entlang der optischen Achime verschoben werden kann«. Um den Objektträger festzuhalten, ist es bekannt, daß eine Vakuum-Haltevorrichtung verwendet v/ird, die den Objektträger zur Registrierung parallel zur Brennpunktsebene eines optischen Mikroskops gegen eine Fläche hält.

Diese Haltevorrichtung ist'dazu geeignet,, Objektträger verschiedener Dicke bzw. mit verschieden dicken Deckplättchen oder keilförmige Objektträger mit der objekttrap;enden Fläche parallel zur Brennpunkts ebene zu hali;en_o

Bei vielen Anwendungen ist es jedoch notwendig, daß eine erwünschte Position (in der Brennpunktsebene) wiederholt erreicht wird. Dies ist insbesondere bei automatisierten Mikros-

kopsystemen notwendig, bei denen wiederholt auf einen bestimmten Ausschnitt des Objektträgers zugegriffen wird. Weiterhin ist es besonders bei automatisierten Systemen nötig, daß der Objektträger so aus seiner Halteposition (während des Betrachtons) gelöst wird, daß eine Entnahme möglich ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Haltevorrichtung für Mikroskopobjektträger zu schaffen, die ein wahlweises Ausrichten und Halten eines Mikroskopobjektträgers ermöglicht, sowie die Lage des Mikroskopobjektträgers so zu steuern, daß eine Entnahme■möglich wird.

Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.

In einer Ausführungsform der Erfindung ragen aus der Anlagefläche für den Objektträger Anschläge hervor, bei einer anderen Ausführungsform können diese Anschläge aus einer Befestigung hervorstehen, die an der Objektiveinheit angebracht ist. Die Anschläge sind so angeordnet, daß der Objektträger, der mit seiner objekttragenden Fläche an der Anlagefläche anliegt, in einer vorherbestimmten Lage fixiert wird. In Ausführungsformen, bei denen die Anschläge aus einer Befestigung an der Objektiveinheit herausragen, können diese zurückziehbar ausgeführt sein. In dieser Ausführungsform wird der Objektträger einmal ausgerichtet, dann fest mit seiner Anlagefläche nekoppelt,und anschließend werden die Anschläge zurückgezogen, so daß die Haltevorrichtung (und der Objektträger) ali; Einheit bewegt werden kann.

Auf der Anlagefläche für den Objektträger sind mehrere Luftauslaß- und Lufteinsaugöffnungen ausgebildet. Im Inneren des T?unpfstücke werden die verschiedenen öffnungen durch Kanäle verbunden, so daß die Luftauslaßöffnungen an eine externe T)ruclclu.rtquelle mit relativ hohem Druck und die Lufteinsaugöffnun^on an eine Vakuumquelle angeschlossen werden können.

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Zumindest eine der Luftauslaßöffnungen irt so gestaltet, daß sie den Luftstrom in Richtung mindestens eines dor Anschläge leitet«, In einer anderen Ausführungsform kann mindestens eins der Luftauslaßöffnungen so gestaltet sein, daß sie den Luftstrom von mindestens einem der Anschläge weg leitet.

Ein Steuersystem kann wahlweise in der Betriebsart "AUSRICHTEN" arbeiten, in der durch Blasluft aus den Luftauslaßöffnungen, welche mit der Druckluftquelle verbunden sind, und durch Saugluft an den Lufteinsaugöffnungen, welche mit der Vakuumquelle verbunden sind₉ ein Saug-Luftlager gebildet wird_o Mit dieser Anordnung wird durch den Luftstrom zwischen dem Objektträger und seiner Anlagefläche eine nahezu reibungsfreie Kopplung zwischen der objekttragenden Fläche des Objektträgers und der Anlagefläche erzeugte Durch die Saugliift an den Lufteinsaugöffnungen wird die objekttragende Fläche des Objektträgers im Gleichgewicht nahe an der Anlagefläche gehalten» Die Komponente des Luftstroms₉ die auf einen oder mehrere Anschläge zeigt, übt auf den Objektträger eine Kraft parallel zur objekttragenden Fläche in Richtung auf mindestens einen der Anschläge aus. Die Kraft kann beispielsweise durch die Luftreibung am Objektträger entstehen oder direkt durch den Luftstrom gegen eine Kante des Objektträgers hervorgerufen werden oder eine Kombination aus beidem seine Durch diese Kraft komponente läßt sich ein Objektträger, der sich an der Anlagefläche befindet, leicht in die durch die Anschläge definierte Position ausrichten.=

Das Steuersystem kann wahlweise in der Betriebsart "HALTEN" arbeiten, indem es die Lufteinsaugöffnungen mit der Vakuumquelle verbindeto In diesem -Fall wird ohne die Blasluft aus den Lufteinsaugöffnungen durch die ßaugluft an den Lufteinsaugöffnungen atxf den Objektträger, der sich in der Mähe der Anlagefläche befindet, eine Kraft in Richtung Anlagefläche ausgeübt«, Als Folge wird während der Betriebsart "HALTMT" der Objektträger in der ausgerichteten Lage fest gegen die

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Anlagefläche pepreßt. Die Saugluft wird aufrechterhalten, wenn das Steuersystem von der Betriebsart "AUSRICHTEN" in die Betriebsart "HALTEN" schaltet, so daß der Objektträger während der Schaltzeit seine Lage beibehält.

Ebenso kann das Steuersystem wahlweise in der Betriebsart "FREIGABE" arbeiten, während der es die Luftauslaßöffnungen mit der Druckluftquelle verbindet, um so den Objektträger zur Entnahme freizugeben. In der Ausführungsform, die einen zweiten Satz Luftauslaßöffnungen in der Anlagefläche aufweist, welche den Luftstrom von den Anschlägen wegleiten, versorgt das Steuersystem alle Luftauslaßöffnungen bis auf die des zweiten Satzes mit Druckluft und ermöglicht so das Ausrichten wie oben beschrieben. In der Betriebsart "FREIGABE" versorgt das Steuersystem·alle Luftauslaßöffnungen mit Druckluft bis auf diejenigen, die den Luftstrom in Richtung der Anschläge leiten. Hierbei kann das Steuersystem auchdie Lufteinsaugöffnungen mit der Vakuumquelle verbinden. Als Folge wird ein Saug-Luftlager aufgebaut und auf den Objektträger eine Kraft ausgeübt, die von den Anschlägen wegzeigt und so die Entnahme ermöglicht.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen weiter beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Haltevorrichtung;
Fig. 2 eine Draufsicht der Haltevorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 3 eine Ansicht von unten der Haltevorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie 4-4 in Fig. 2 und

Fig. 5 eine Ansicht von unten einer anderen Ausführungsform der Erfindung.

Die Figuren 1 bis 4 zeigen eine Haltevorrichtung 110 zum ■wechselweisen Ausrichten,, Festhalten oder Freigeben eines Objektträgers 120 mit planarer Oberfläche. Die Haltevorrichtung 110 besteht aus einem Rumpfstück 112 mit einer ρlanaren Unterseite, an der der Objektträger 120 anliegt» Die Anlagefläche 114 der Unterseite weist drei Anschläge 116 bis 118 auf₉ welche aus der Anlagefläche 114, an welcher der Objektträger 120 anliegt^ hervorstehen«. Die Anschläge 116 bis 118 sind so auf der Anlagefläche 114 angeordnet, daß ein üblicher 2„54 χ 7<>62 cm (1 χ 3 inch) großer Objektträrer 120 in einer genau definierten Position auf der Anlagefläche 114 gehalten wird«, Bei anderen Ausführungsformen der Erfindung können die Anschläge 116 bis 118 auch aus einer an: Objektiv (oder anderen Teilen) angebrachten Befestigung (nicht gezeigt) herausragen«, Bei dieser Ausführungsform erfolgt das Ausrichten des Objektträgers direkt zur optischen. Achse des Systems=, Demzufolge können Objektträger auf verschiedenen Mikroskopen automatisch in die gleiche Lage zur optischen Achse gebracht werden«.

Die Haltevorrichtung 110 weist Bohrungen 126-128 auf, welche Befestigungsstifte aufnehmen können, die die Haltevorrichtung 110 unverschiebbar mit einem Mikroskopobjekttisch verbinden, so daß die Anlagefläche 114 parallel zur Brennpunktsebene fest ausgerichtet ist» Die mittlere Ausnehmung ist so gestaltet, daß die Objektiveinheit des Mikroskops soweit gesenkt werden kann, daß die Brennpunktsebene mit der Anlagefläche 114 zusammenfällt. In Fig_o 1 kann die Objektiveinheit oberhalb der Haltevorrichtung 110 zum Scharfstellen in Position gebracht werden., Eine andere Möglichkeit wäre,, die Haltevorrichtung 110 umgedreht anzuordnen und die Objektiveinheit unterhalb der Haltevorrichtung 110 zur Scharfeinstellung in Position su bringen»

Die Haltevorrichtung 110 weist eine Luft/Vakuum-Kupplung auf, die die objekttragende Oberfläche eines Objektträgers 120 mit der Anlagefläche 114 der Haltevorrichtung 110 ver-

bindet. Die Kupplung weist sechs Luftauslaßöffnungen 13Oa-13Of zwei Lufteinsaugöffnungen 140a und 140b in der den Objektträger 120 tragenden Anlagefläche 114 des RumpfStückes 112 auf. Die Luftauslaß- und-einsaugöffnungen sind innerhalb des RumpfStückes 112 jeweils durch Verbindungskanäle 150 bzw. 152 verbunden, welche außerhalb jeweils an eine Druckluftquelle 131 mit relativ hohem Druck (z. B. 1,406 Atmosphären) bzw. an eine Vakuumquelle 141 angeschlossen sind.

Bei der dargestellten Ausführungsform sind die Luftauslaßöffnungen 13Oa-13Of und der jeweils anschließende Teil der Verbindungskanäle 150 so gestaltet, daß der Luftstrom aus jeder dieser Öffnungen 13Oa-13Of eine Komponente in Richtung mindestens eines der Anschläge 116-118 aufweist. In Pig. 3 sind die inneren Verbindungskanäle 150 und 152 durch gestrichelte Linien dargestellt.

Wie in Pig. 1 dargestellt, ist die Druckluftquelle 131 mit den Verbindungskanälen 150 im Ruapfstück 112 über eine Druckluftleitung 132, ein Ventil 134 und eine Druckluftleitung 136 verbunden. Die Vakuumquelle 141 ist mit den Verbindungskanälen 152 im Rumpfstück 112 über die Leitung 142, das Ventil 144 und die Leitung 146 verbunden.

Ein Steuersystem 160 ist mit den Ventilen 134 und 144 gekoppelt. Das Steuersystem 160 bestimmt die Betriebsart der Haltevorrichtung 110. Die Wahl der Betriebsart kann von Hand oder automatisch gesteuert werden. Das Steuersystem 160 veranlaßt die Betriebsart "AUSRICHTEIi", indem es die beiden Ventile 134 und 144 öffnet, die Betriebsart "HALTEN", indem es Ventil 134 schließt und Ventil 144 öffnet und die Betriebsart "PREIGABE", indem es die beiden Ventile 134 und 144 schließt, wodurch der Objektträger zur Entnahme freigegeben wird. In der Betriebsart "i'REIGABE" kann Ventil 134 auch geöffnet bleiben, v/ährend Ventil 1Λ4 geschlossen bleibt, oder es bleiben beide Ventile geöffnet.

In der Betriebsart "AUSRICHTEN" wird der Objektträger 120, welcher mit seiner objekttragenden planeren Oberfläche in die Nähe der Anlagefläche 114 gebracht wird, an diese gekoppelt. Hierbei erzeugen Blasluft und Snugluft an den Öffnungen 130a-f bzwo 140a-140b ein Saug-Luftlager«, so daß die objekttragende Oberfläche des Objektträgers im wesentlichen ohne Reibung mit der Anlagefläche 114 gekoppelt wirdo Außerdem wird aufgrund der Richtung des Luftstroms aus den Luftöffnungen 13Oa-13Of auf den Objektträger 120 eine Kraft in Richtung der Anschläge 116-118 ausgeübte Diese Kraft kann zum Beispiel auf den Luftwiderstand, auf die direkte Kraft gegen die Kanten des Objektträgers₉ oder auf beides zurückzuführen seino Aufgrund dieser Kraft bewegt sich der Objektträger 120 auf die Anschläge 116-118 zu, bis er an diesem anliegt und so die gewünschte Position einnimmt_o Typischerweise wird während des Betriebs nach dem Ausrichten das Ventil 134 durch das Steuersystem 160 geschlossen und dadurch die Betriebsart "HALTEN" erreichte

In der Betriebsart "HALTEN" wird ein Objektträger 12O₉ der mit der objekttragenden Fläche an die Oberfläche 114 gebracht wird_? an dieser festgehaltene Hierbei ist das Ventil 134 geschlossen und die Saugluft an den Öffnungen 14Oa und 140b erzeugt eine Kraft- die in Richtung der AnIageflache 114 weist, wodurch der Objektträger 120 ausgerichtet in seiner Position festgehalten wird- Each dem Betrachten des Objekts in der Betriebsart "HALTEN" schließt das Steuersystem 160 das Ventil 144 oder es öffnet das Ventil 134 und schließt das Ventil 144, um auf die Betriebsart "FREIGABE" umzuschalten»

Die Haltevorrichtung 110 kann in Verbindung mit einem Hikrcskopsystem verwendet werden= Im Betrieb kann so ein Cbjökbträger, welcher so in das System eingebracht wird (entweder ?:^to~ mat is ch oder von Hand)₉ daß er in die Nähe der Anlageflache 114 gelangt3 ausgerichtet und in dieser Stellung zum Betrachten des Objekts festgehalten werden,* Dies wird dadurch erreicht daß das Steuersystem 160 in der Betriebsart "AUSRICHTEN" und anschließend in der Betriebsart "HALTEN" arbeitete lach de*

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Betrachten schaltet das Steuersystem 160 in die Betriebsart "FREIGABE" und gibt so den Objektträger 120 zur Entnahme frei. Der Zyklus AUSRICHTM-HALTEN-FREIGABE kann dann für eine gewünschte Anzahl Objektträger 120 beliebig oft wiederholt werden.

In der Betriebsart "FREIGABE" zieht der Saugluftstrom den Objektträger 120 nicht mehr gegen d'ie Anlagefläche 114·, vrodurch dieser losgelassen wird und entommen werden kann. Die Betriebsweise, bei der das Steuersystem 160 in der Betriebsart "FREIGABE" das Ventil 134 öffnet und das Ventil 144 schließt, ist besonders in dem Ausführungsbeispiel von Hutζen, bei dem, umgekehrt wie in Fig. 1, die Objektiv einheit sich unterhalb des Objektträgers befindet und die objekttragende Fläche des Objektträgers seine Unterseite ist· In diesem Fall reicht der Blasluftstrom aus, die Schwerkraft zu kompensieren und den Objektträger 120 von seiner Auflagefläche zu lösen.

Fig. 5 zeigt die Unteransicht einer anderen Ausführungsform 110A der Erfindung. In Fig. 5 sind die den in den Figuren 1 bis 4 entsprechenden Teile mit dem gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Die Haltevorrichtung 110A ist im wesentlichen die gleiche wie die Haltevorrichtung 110, bis auf die Luftauslaßöffnungen 162a-d und den inneren Verbindungskanal 166. Die Luftauslaßöffnungen 162a-d sind so gestaltet, daß sie den Luftstrom in Richtung von mindestens einem der Anschläge 116-118 wegleitet. Der Verbindungskanal 166 wird mit der Druckluftquelle 131 über eine Druckluftleitung (nicht gezeigt) wd ein Ventil 168 (nicht gezeigt) verbunden, wobei das Ventil von dem Steuersystem 162 angesteuert wird. Bei der Betriebsart "AUSRICHTEN" und "HA-LTEiT" ist das Ventil 168 geschlossen und die Funkt Lon ist die gleiche wie oben in Verbindung mit den Figuren 1 bis 4 beschrieben. Bei der Betriebsart "FREI-GABE" ist dac Ventil 168 geöffnet und das Ventil 134 geschlos πen. Das Ventil 144 kann geöffnet oder geschlossen bleiben. In der "normalen" Ausführung (wie zum Beispiel in Fig. 1 ge- :'c·iet) wird zwischen der Anlagefläche 114 und dem Objektträrcr If⁵O ein Saup;-Luftlager aufgebaut, welches in Verbindung

mit einer Kraft (ausgeübt durch den Blar.luftstrom aus den Öffnungen 160a-d), die von den Anschlägen 116-118 wegzeigt, ein kontrolliertes Auswerfen des Objektträgers 120 ermöglicht. Das Ventil 144 kann in der "umgekehrten" Form geschlossen bleiben und der Objektträger 120 wird in ähnlicher Weise ausgeworfen. Das Ventil 144 kann auch geöffnet bleiben, wodurch das Saug-Luftlager während des Auswerfens erzeugt wird«, In der letzteren Form wird die Erschütterung des Objektträgers 120 beim Auswurf gering gehalten*. Nachstehende Tabelle stellt die-Wirkung auf den Objektträger 120 in den verschiedenen Betriebsarten der Haltevorrichtung 110 bzw» 110a für beide oben beschriebene Ausführungsbeispiele dar«,

Tabelle

Wirkung auf den Objektträger

Betriebsart	Ventil	Ventil	Normal-Lage'	E	Umkehr-Lage
	12t	144		8
"AUSRICHTEN"	offen	offen	Objektträger	Objektträger
			wird in die	wird in die
			gewünschte	gewünschte La
			Lage gebracht	ge gebracht
"HALTETT"	ge	offen	Objektträger	Objektträger
	schlos		zum Betrach	zum Betrachten
	sen		ten festge	festgehalten
			halten
"FEEIGABE"	ge	ge	Objektträger	Objektträger
	schlos	schlos	fällt ab	nur seitlich
	sen	sen		frei beweglich
"FREIGABE"	offen	ge	Objektträger	Objektträger
(in Posi		schlos	fällt ab	bleibt .in der
tion)		sen		ausgerichteten
				Lage; krrin an
				gehoben werden«
				Patentanwälte
				Dipl.-Ing. E Eder
			Hpl.-Ing. K. Sß'ileschke
			Mönchen 40, Efc !^tri?.ße3<!

Claims (8)

Patentanwälte lng. E. f.;,;--;· Coulter Electronics, Ire, Hialeah, Florida, USA Haltevorrichtung, für einen Objektträger eines Mikroskops Patentansprüche

1. Haltevorrichtung für einen Objektträger eines Mikroskops, dadurch gekennzeichnet , daß die Haltevorrichtung (110) ein Rumpfstück (112) aufweist, das eine im wesentlichen ebene Anlagefläche (114) für den Objektträger (120) besitztg daß diese Anlagefläche mehrere Anschläge (116, 117_si18) aufweist, die so angeordnet sind, daß ein Objektträger, der in die Nahe der Anlagefläche (114) gebracht wird, an diesem anliegt und sich so in einer vorherbestimmten Lage befindet, daß diese Anlagefläche mehrere zum Ausrichten vorgesehene Luftauslaßöffnungen (i3Oa-13Of) und mehrere Lufteinsaugöffnungen (140a,140b) besitzt, die im Inneren mit Verbindungskanälen (150,152) verbunden sind, daß mindestens eine der Luftauslaßöffnungen so ausgebildet ist, daß der daraus austretende Luftstrom eine Ausrichtkomponente in Richtung mindestens eines der Anschläge besitzt, wodurch der Objektträger ausgerichtet wird«.

2. !Haltevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die »"Steuerungsmittel für den Objektträger Mittel zum Ausrichten (132,134,136,150) umfassen, die wahlweise eine Druckluftquelle (131) mit relativ hohem Druck mit ausrichtenden Luftauslaßöffnungen (13Oa-13Of) verbinden, daß Saugmittel (142,144,146,152) vorhanden sind, welche wahlweise eine Vakuumquelle (141) mit den Lufteinsaugöffnungen (140a, 140b) verbinden, daß ein Steuersystem (160) vorhanden ist, welches v/ahlweise in der Betriebsart "AUSRICHTEN"" arbeitet, in der es die ausrichtenden Luftauslaßöffnungen und die Saugmittel (142,144,146,152) so ansteuert, daß der Luftstrom aus den Luftauslaßöffnungen eine im wesentlichen reibungsfreie Kopplung zwischen der Anlagefläche (114) und dem Objektträger, der sich in der Nähe dieser Fläche befindet, herstellt und daß die Saugluft an den Lufteinsaugöffnungen eine Kraft auf den Objektträger ausübt, welche den Objektträger im Gleichgewicht in einem bestimmten, konstanten Abstand von der Anlagefläche hält, sowie, daß die Komponente des Luftstroms, die zum Ausrichten des Objektträgers dient, eine Kraft parallel zur Anlagefläche in Richtung auf mindestens einen der Anschläge (116,117,118) auf den Objektträger ausübt, daß das Steuersystem wahlweise in der Betriebsart "HA-LTElT" arbeitet, in der es die Saugmittel (142,144,146,152) ansteuert und die ausrichtenden Luftauslaßöffnungen inaktiv bleiben, so daß die Saugluft an den Lufteinsaugöffnungen eine Kraft auf den Objektträger ausübt, die in Richtung zur Anlagefläche wirkt.

3. Haltevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem in der Betriebsart "FREIGABE" die Ausrichtmittel (132,134,136,150) ansteuert und die Saugmittel (142,144,146,152) inaktiv bleiben, so daß der Luftstrom aus den Luftauslaßöffnungen (130a-13Of) eine Kraft auf den Objektträger ausübt, die von der Anlagefläche weggerichtet ist.

4. Haltevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem (160) in der Betriebsart "FREIGABE"

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die Mittel zum Ausrichten (132,134,136,1.W) und die ,Snupjmi Uc\l (1425,144,146,152) so ansteuert,, daß der Luftstrom aus den Luftauslaßöffnungen (13Oa-13Of) eine im wesentlichen reibunr'sfreie Kopplung zwischen der Anlagefläche (114) und einem Objektträger herstellt j daß die Saugluft an den Lufteinsaug™ öffnungen (14Oa₉140b) eine Kraft auf den Objektträger ausübt, welche diesen im Gleichgewicht in einem bestimmten konstanten Abstand von der Anlagefläche hält und daß die ausrichtende Komponente des Luftstroms eine Kraft parallel zur Anlagefläche in Richtung auf mindestens einen der Anschläg-e (116,117₉118) auf den Objektträger ausübt„

5» Haltevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Rumpfstück (112) zusätzlich Mittel zum Freigeben besitzt, welche aus mindestens einer Freigabe-Luftauslaßöffnung (162a-162d) in der Anlageflache (114) und damit verbundenen inneren Verbindungskanälen (166) bestehen, die so ausgebildet sind, daß der austretende Luftstrom eine Komponente zum Freigeben in Richtung von mindestens einem der Anschläge (116,117₉118) beritzt»

6. Haltevorrichtung nach Anspruch 5»? dadurch gekennzeichnet, daß über die inneren Verbindungskanäle (166) wahlweise die Druckluftquelle (131) mit den Freigabe-Luftauslaßöffnungen (162a-162d) verbunden werden kann und daß das Steuersystem (160) in den Betriebsarten "AUSRICHTEN" und "HALTJM" diene Verbindungskanäle (166) nicht ansteuert und daß das Steuersystem in der Betriebsart "FREIGABE" arbeiten kann, in der es die inneren Verbindungskanäle (166) und die Ssugmittel (142, 144,146,152) aktiviert und die Mittel zum Ausrichten (132, 134,136,150) inaktiv bleiben, so daß der Luftstrom aus den Freigabe-Luftauslaßöffnungen eine im wesentlichen reibungsfreie Kopplung zwischen der Anlagefläche (114) und einen Objektträger herstellt und die Komponente des Luftströme, oio zum Freigeben dient, eine Kraft parallel zur A η lap; of lache ^uT den Objektträger ausübt, die von mindestens einem der -'-nschläge (116,117,118) weggerichtet ist.

7· Haltevorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschläge (116,117,1Ie) auf der Anlagefläche (114) angebracht sind und daraus hervorstehen.

8. Haltevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschläge (116,117,118) aus einem Teil, das am optischen System des Mikroskops befestigt ist, hervorstehen.

Patentanwälte

Dipl.-Ing, E. Eder

Dlpl.-Ing. lO&chieschke

8 Mönchen 40,£fcäabethstrae· 34