DE2626528A1

DE2626528A1 - Traegervorrichtung fuer den transport von werkstuecken

Info

Publication number: DE2626528A1
Application number: DE19762626528
Authority: DE
Inventors: William Otto Druschel; Jun Bayard Gilbert Gardineer; Stanley Arthur Manning; Bela Musits
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1975-06-19
Filing date: 1976-06-14
Publication date: 1976-12-30
Also published as: IT1063967B; GB1538312A; US4014576A; JPS521876A; DE2626528C2; FR2324548B1; FR2324548A1; CA1036191A; JPS5510490B2

Description

Trägervorrichtung für den Transport von Werkstücken

Die Erfindung betrifft eine neuartige, an einer Luftgleitbahn lösbar befestigte Trägervorrichtung für Werkstücke, insbesondere für Halbleiterplättchen oder dergleichen _r Damit können Halbleiterplättchen von dem Träger nach der Luftgleitbahn oder von der Luftgleitbahn nach dem Träger durch von der Luftgleitbahn gelieferte Druckluft gefördert werden. Auf Luftgleit~Transportbahnen für einen berührungsfreien Vorschub von flachen Werkstücken, wie sie beispielsweise in der deutschen Patentanmeldung P 22 13 842,7 (Aktenzeichen der Anmelderin FI 971 014) beschrieben sind, wird ein Halbleiterplättchen durch Druckluft in einer gewünschten Richtung bewegt und von dieser getragen. Dabei ist es erwünscht, ein derartiges Halbleiterplättchen in eine derartige Luftgleitbahn oder Transportbahn an verschiedenen Punkten einzubringen oder an solchen Punkten zu entnehmen.

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Dabei ist es erforderlich, daß das Halbleiterplättchen ohne menschliche Einwirkung und ohne Berührung mit der Außenluft in

die Transportbahn hinein und aus ihr herausgebracht werden kann,

so daß Beschädigungen und Verunreinigungen des Halbleiterplättchens vermieden werden können. Ferner ist es dringend erwünscht, daß das Halbleiterplättchen entweder von Hand oder automatisch von der Position, an der es von der Transportbahn entnommen^ wurde, nach einer anderen Position der Transportbahn oder einem Lagerbereich ohne Verunreinigung gebracht werden kann.

Durch die vorliegende Erfindung lassen sich diese Forderungen dadurch erfüllen, daß ein transportierbarer Träger geschaffen wird, in dem das Halbleiterplättchen dicht eingeschlossen liegt. Dieser transportierbare Träger verhindert damit eine Verunreinigung oder Beschädigung des darin eingeschlossenen Halbleiterplättchens, so daß das Halbleiterplättchen von Hand oderautomatisch nach einer anderen Position der Transportbahn oder von Hand oder automatisch nach einem Lagerbereich transportiert werden kann.

Für einen Austausch des Halbleiterplättchens zwischen Träger und Transportbahn in beiden Richtungen ist es notwendig, daß das Halbleiterplättchen bewegt werden kann, ohne daß es dabei verunreinigt wird. Mit dem Träger gemäß der Erfindung läßt sich diese Schwierigkeit in zufriedenstellender Weise dadurch lösen, daß man die bei der Luftgleit-Transportbahn verwendete Druckluft dazu benutzt, daß Halbleiterplättchen in den Trägerlinien und aus diesem heraus zu befördern.

Wenn man also die Druckluft der Transportbahn mit benutzt, an der der Träger befestigt ist, so ist es nicht mehr erforderlich, daß der Träger seine eigene Druckluftversorgung besitzt, wie dies beispielsweise in der US-Patentschrift 3 174 645 gezeigt ist. Daher ist der erfindungsgemäß aufgebaute Träger relativ leicht und kann beispielsweise einfach von einem Ort an der Transportbahn nach einem anderen Ort an der Transportbahn be-

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wegt werden·

Die Erfindung wird nunmehr anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen im einzelnen beschrieben. Die unter Schutz zu stellenden Merkmale der Erfindung finden sich in den ebenfalls beigefügten Patentansprüchen.

In den Zeichnungen zeigt;

Fig. 1 eine Schnittansicht einer Ausführungsform eines!

erfindungsgemäß aufgebauten Trägers mit einem Werkstück darin;

Fig, 2 eine Querschnittsansiqht des in FIg, 1 darge

stellten Trägers längs der Linie 2-2 in Fig, 1;

Fig, 3 eine Draufsicht, teilweise im Schnitt zur

Darstellung der Träger von Fig. 1 und 2, die an einem Teil einer Transportbahn für berührungsfreien Vorschub von flachen Werkstücken befestigt ist;

Fig, 4 . eine explodierte, perspektivische Ansicht einer

anderen Ausführungsform des erfindungsgeraäß aufgebauten Trägers;

FIg, 5 schematisch eine perspektivische Ansicht des

Trägers gemäß Fig. 4 sowie eines Teils der Transportbahn_f mit der der Träger verbunden ist, so daß das Werkstück zwischen Träger und Transportbahn bewegt werden kann;

Fig, 6 eine Teilschnittansicht eines Teils des in

Fig, 4 dargestellten Trägers mit der Eingangsdichtung in Ruhelage;

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Fig. 7 eine Teilschnittansicht des Trägers in Fig. 4

mit der Eingangsdichtung in Abdichtposition;

Fig. 8 eine Teilschnittansicht des erfindungsgemäß

aufgebauten Trägers mit einer weiteren Ausführungsform der Eingangsdichtung in Ruhelage

längs der Linie 8-8 in Fig. 9;

, Fig. 9 eine Vorderansicht eines Teils des Trägers von

Fig. 8 zur Darstellung der Eingangdichtung in Ruhelage;

Fig. 10 eine TeilSchnittansicht eines Trägers ähnlich

Fig» 8 zur Darstellung der Eingangsdichtung in Abdichtposition_f längs der Linie 1Q-IO in Fig, 11;

ι s

Fig. 11 eine Vorderansicht eines Teils des Trägers mit

der Eingangsichtung in Abdichtposition;

! Fig. 12 schematisch eine Draufsicht auf den Träger ohne

! die Abdichtungen gemäß Fign, 8 bis 11;

: Fig. 13 eine Teilschnittansieht einer der in Fig. 12

verwendeten Haltevorrichtungen in Halteposition;

Fig. 14 ■ eine Teilschnittansicht einer der Haltevorrichtungen in Ruhelage und

, Fig. 15 schematisch eine Darstellung der Druckluftzu- j

fuhr von der Luftgleit-Transportbahn nach dem ■, Träger der Fig. 12. ' I

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Fign, 1 und 2 zeigen einen transportierbaren Träger 10 mit einer Kammer 11, in der ein Werkstück 12, beispielsweise ein Halbleiterplättchen, liegt. Der Träger 10 weist in einer seiner Seitenwände eine mit der Kammer 11 in Verbindung stehende öffnung 14 auf. Das Werkstück 12 kann über diese öffnung 14 in die Kammer 11 des Trägers 10 eingegeben oder durch diese öffnung herausgenommen werden.

Eine zylindrische Eingangsdxchtung 15 mit einer langgestreckten Öffnung 16 versperrt die öffnung 14 und dichtet damit die Kammer ab. Die Dichtung 15 erstreckt sich durch den Träger 10 und ist in diesem drehbar. Ein Ende der Dichtung 15 weist einen Handgriff 17 auf, mit dessen Hilfe die Dichtung 15 gedreht werden kann, so daß die Dichtung 15 von ihrer abdichtenden Position in Fig. 2 in eine Ruheposition gedreht werden kann, bei der die langgestreckte öffnung 16 mit der öffnung 14 ausgerichtet ist, so daß die Dichtung 15 die öffnung 14 nicht versperrt.

Das Werkstück 12 wird durch eine sternförmige Feder 19 gegen die als Luftlager ausgebildete Grundplatte 18 der Kammer 11 gehalten. Die Feder 19 besteht dabei aus einem geeigneten Kunststoffmaterial, das in Eingriff mit dem Werkstück 12 dieses nicht beschädigt.

Die Feder 19 ist an einer Welle 20 befestigt, die zu beiden Seiten aus der Kammer 11 herausragt. Ein.Ende der Welle 20 ist mit einer Stange 21 zwischen den Enden der Stange verbunden, während das andere Ende der Welle 20 zwischen den Enden einer Stange 22 mit dieser verbunden ist.

Die Stange 21 liegt mit einem Ende in einer im Träger 10 vorgesehenen Nut 23, während das andere Ende mit einer auf der Dichtung 15 angebrachten Nocke 24 zusammenwirkt. Die Stange 22 liegt mit einem Ende in einer in dem Träger 10 angeordneten Nut 25, während das andere Ende mit einer auf der Dichtung 15 angeordneten Nocke 26 zusammenwirkt. Die Stangen 21 und 22 sind

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daher Nockenläufer.

Wird der Handgriff 17 für eine Drehung der Dichtung in dem Sinne bewegt, daß die Dichtung 15 die öffnung 14 nicht langer sperrt, da die langgestreckte öffnung 16 mit der öffnung 14 ausgerichtet ist, dann wirken die Nocken 24 und 26 mit den Stangen 21 bzw. 22 in der Weise zusammen, daß die Haltefeder 19 wirkungslos wird. Wenn somit das Werkstück 12 aus der Kammer j 11 des Trägers 10 heraus oder in die Kammer 11 des Trägers 10 ί hineinbewegt werden kann, weil die öffnung 14 nicht durch die ! Dichtung 15 versperrt ist, dann liegt die Haltefeder 19 so, ; daß sie diese Bewegung nicht behindert.

Die als Luftlager ausgebildete Grundplatte 18 der Kammer 11 weist eine Anzahl von Auslaßdüsen 27 auf, die in zwei parallelen Reihen angeordnet sind und durch die ein unter Druck stehendes ι Gas, beispielsweise Luft, in einer Richtung zugeführt werden kann, die das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10

: heraus befördert. Damit fließt das unter Druck stehende Gas !
oder die Druckluft in der durch Pfeile 28 angedeuteten Richtung. Das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft wird den Düsen 27 aus einer Kammer 29 (Fig, 2) zugeführt, die mit einer Leitung 30 in Verbindung steht,

Wenn Druckluft oder ein unter Druck stehendes Gas über die Leitung 30 zugeführt wird, dann wird das Werkstück 12 von der Grundplatte 18 abgehoben und aus der Kammer 11 des Trägers 10 herausgefördert. Dies kann nur dann eintreten, wenn die Leitung 30 an einer Druckgasquelle oder Durckluftleitung angeschlossen ist.

Die als Luftlager wirkende Grundplatte 18 weist außerdem eine Anzahl von Druckgasdüsen 32 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft zugeführt wird, die das Werkstück 12 anhebt und in die Kammer 11 in die in Fig. 1 gezeigte Position bringt. Das aus den Düsen 32 austretende, unter Druck

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stehende Gas hat dabei die durch Pfeile 33 angegebene Richtung,

Wie in Fig, 1 gezeigt_f liegen die Düsen 32 in parallelen Reihen auf gegenüberliegenden Seiten der Düsen 27, Selbstverständlich könnte auch jede andere geeignete Anordnung benutzt werden, solange das aus den Düsen 27 unter Druck auströmende Gas das Werkstück 12 aus der Kammer 11 herausbefördert und das aus den Düsen 32 unter Druck ausströmende Gas das Werkstück 12 in die Kammer 11 hineinbefördert,

ι Die Druckluftdüsen 32 stehen mit einer zu beiden Seiten der Kam-I mer 29 angeordneter jedoch nicht gezeigten gleichartigen Kam- ; mer in Verbindung _f die an einer Druckgasleitung 34 angeschlossen ist. Ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft muß daher von , der Druckgasleitung 34 den Druckgasdüsen 32 zugeleitet werden.

Wie in Fig, 3 dargestellt, ist der Träger 10 mit der Transportbahn 35 lösbar verbunden. Wenn der Träger 10 mit der Transportbahn 35 lösbar verbunden ist, dann wird der Träger 10 durch ein Paar paralleler Schienen 36 und 37 getragen, die mit der Transportbahn 35 verbunden sind.

Wenn der· Träger 11 auf den Schienen 36 und 37 aufliegt, dann ist die Druckgasleitung 34 des Trägers 10 in eine trichterförmig erweiterte öffnung 38 einer Druckgasleitung 39 der Transportbahn 35 eingeschoben. In gleicher Weise ist die Druckgasleitung 30 des Trägers 10 in eine trichterförmig erweiterte öffnung 40 einer Druckgasleitung 41 der Transportbahn 35 eingeschoben.

Die Druckgasleitung 39 enthält ein Ventil 42, mit dessen Hilfe ! das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft der Düsen 43 geregelt werden kann, die das unter Druck ¹ stehende Gas in der durch Pfeile 44 angedeuteten Richtung in der Transportbahn austreten lassen. Dies ist die gleiche Richtung wie die Strömungsrichtung des die Düsen 32 in der Grund-

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platte 18 des Trägers 10 verlassenden Druckgases, das das Werkstück 12 in die Kammer 11 hineinbewegt.

Das über die Leitung 41 zugeführte unter Druck stehende Gas wird durch ein Ventil 45 geregelt. Das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft wird von der Leitung 41 den Düsen 46 in der Transportbahn 35 zugeführt, so daß das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft in Richtung der Pfeile 47 austritt. Dies ist die gleiche Richtung wie die der durch die Leitung 30 nach den Düsen 27 in der Grundplatte 18 der Kammer 11 des Trägers 10 abgegebenen Druckluft, wodurch das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 herausbewegt wird«

Wenn somit das Ventil 41 geöffnet ist, dann wird ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft der Transportbahn 35 und dem Träger 10 zugeführt und bewegt damit das Werkstück 12 in den Träger 10 hinein. Wenn dagegen das Ventil 45 geöffnet ist, wird ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft gleichzeitig der Transportbahn 35 und dem Träger 10 zugeführt und bewegt das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 heraus auf die Transportbahn 35,

Wenn das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 nach der Transportbahn durch öffnen des Ventils 45 herausbewegt wird, dann kann das Werkstück 12 von der Transportbahn 35 nach einer (nicht gezeigten) Haupttransportbahn bewegt werden, mit der die Transportbahn 35 zusammenarbeitet. Dabei sollte darauf verwiesen werden _t daß die Transportbahn 35 oben verschlossen ist, so daß das Werkstück 12 nicht verunreinigt werden kann.

Am Ende der Transportbahn 35 ist eine öffnung von im wesentlichen: den gleichen Abmessungen wie die öffnung 14 im Träger 10 vorgesehen _f so daß das Werkstück 12 vom Träger 10 nach der Transportbahn gelangen oder von dort nach dem Träger 10 gefördert werden kann. Diese öffnung ist relativ klein und der konstante Druck der Transportbahn 35 verhindert, daß irgendeine, zur Ver-

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! unreinigung beitragende Luft durch diese öffnung in die Transportbahn 35 eindringen kann, die mit der Öffnung 14 dann in
Verbindung steht, wenn der Träger 10 auf den Führungsschienen

' 36 und 37 aufliegt,

j Der Träger 10 weist eine mit der Dichtung 15 zusammenwirkende
Verriegelung 50 (Fig, 1) auf, die bewirkt, daß der Handgriff
17 so lange nicht bewegt werden kann, bis der Träger 10 auf den Schienen 36 und 37 der Transportbahn 35 aufliegt, die Druckgasleitung 34 in die erweiterte Bohrung 38 der Leitung 39 und
die Druckgaslaitung 30 in die erweiterte Bohrung 40 der Leitung 41 eingeschoben ist.

In dieser Position des Trägers 10 kann die Verriegelung 50 durch einen Betätigungshebel 52 (Fig, 3) auf der Transportbahn 35
gegen die Kraft einer Feder 51 bewegt werden, die die Verriege-. lung in eine Position drängt, in der die Drehung der Dichtung
durch eine abgeflachte Fläche der Verriegelung 50 verhindert
wird, die in einen Schlitz der Dichtung 15 eingreift. Wenn also j der Träger 10 auf den Schienen 36 und 37 liegt und die entspre-I chenden Druckluft- oder Druckgasanschlüsse hergestellt sind, so

daß unter Druck stehendes Gas oder Druckluft nach der Grundplatte

I 18 der Kammer 11 geleitet werden kann, dann wird die Verriegei
lung 50 dadurch unwirksam gemacht, daß ein gebogener Abschnitt I der Verriegelung 50 über den Schlitz der Dichtung 15 übergreift, j so daß die Dichtung 15 rotieren kann. Der Handgriff 17 kann
dann so gedreht werden, daß die Dichtung 15 die öffnung 14
des Trägers 10 in der Weise freigibt, daß die langgestreckte
öffnung 16 in der Dichtung 15 mit der öffnung 14 in dem Träger 10 ausgerichtet ist.

Zum Abdichten der Kammer 11 in dem Träger 10 müssen die Leitungen 30 und 34 ein Filter 53 (Fig. 2) aufweisen. Dies verhindert eine Verunreinigung der Kammer 11, wenn die Leitungen 30 und 34 nicht mit den Druckgasleitungen 41 bzw. 39 verbunden sind. Wenn die Leitungen 30 und 34 mit den Druckgasleitungen 41 bzw. 3S

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verbunden sind, dann kommt eine Dichtung 54 (Fig. 3) in der I Wand der beiden Anschlußstutzen 40 und 38 der Druckgasleitungen 41 und 39 mit den Leitungen 30 und 34 in Eingriff.

Im Betrieb der in Fign, 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform enthält der Träger 10 in der Kammer 11 ein Werkstück 12, das durch die Haltefeder 19 festgehalten wird. Soll das Werkstück 12 im Träger 10 aus der Kammer 11 heraus nach der Transportbahn ; 35 bewegt werden, die ein Teil der Haupttransportbahn ist, an der der Träger angeschlossen ist, dann wird der Träger 10, wie ! in Fig. 3 gezeigt, auf den Schienen 36 und 37 aufgesetzt. In ^! dieser Lage ist die Druckgasleitung 39 mit der Leitung 34 und die Druckgasleitung 41 mit der Leitung 30 verbunden. Außerdem wird die Verriegelung 50 durch den Betätigungshebel 52 unwirksam gemacht,

Demgemäß wird nunmehr die Dichtung 15 mittels des Handgriffes 17 gedreht, so daß die öffnung 14 nicht länger gesperrt ist. . Dann wird das Ventil 45, das beispielsweise über eine Datenverj arbeitungsanlage gesteuert wird, damit das Werkstück 12 zu einem gewünschten Zeitpunkt vom Träger 10 an die Transportbahn 35 abgegeben wird, geöffnet und das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft wird den Düsen 27 in der Grundplatte 18 der Kammer 11 des Trägers 10 und den Düsen 46 auf der Transportbahn zugeführt. Durch dieses unter Druck stehende Gas bewegt sich das Werkstück 12 von der Kammer 11 des Trägers 10 nach der Transportbahn 35 und wird von dort durch das den Düsen 46 und entsprechenden, in der Haupttransportbahn angeordneten Düsen zugeführte, unter Druck stehende Gas, weiter bewegt.

Ist die Bearbeitung des Werkstückes 12, das der Transportbahn 35 zugeführt wurde, beendet, oder soll ein weiteres Werkstück von der Transportbahn 35 in den Träger 10 hineinbewegt werden? dann wird das Ventil 45 gesperrt und das Ventil 42 geöffnet. Dadurch wird aber das Werkstück 12 von der Transportbahn 35 nach der Kammer 11 des Trägers 10 bewegt. Dann wird die Dichtung

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15 mittels des Handgriffes 17 in die Abdichtposition gebracht, wodurch die Öffnung 14 versperrt wird. Dann kann der Träger 10 von Hand oder automatisch von den Schienen 36 und 37 abgenommen und von Hand oder automatisch an einen gewünschten anderen Ort gebracht werden.

In Fign, 4 bis 7 ist ein Träger 60 dargestellt, bei dem die Haltefeder 19 und die drehbare Dichtung 15 nicht benutzt werden. Verwendet man daher den Träger 60 zusammen mit einer Transportbahn 61, an der der Träger 60 lösbar angebracht ist_r benötigt man keine Verriegelungsbetätigung,

Der Träger 60 enthält eine Kammer 62, in der das Werkstück 12 auf einer als Luftlager ausgebildeten Grundplatte 63 angeordnet ist, die die Unterseite der Kammer 62 bildet, Der Träger 60 weist eine Öffnung 64 (Fign, 6 und 7) auf, durch die das Werkstück 12 in die Kammer 62 eingeführt oder aus ihr entnommen werden kann.

Eine Dichtung 65, die aus einem geeigneten elastischen Material_f wie z,B, Gummi besteht, dient zum Verschließen der Öffnung 64, Die Dichtung 65 hat einen Durchlaß 66_f an dessen einem Ende über eine Leitung 67 (vergl. Fig, 4) ein Vakuum angelegt werden kann, während das andere Ende verschlossen ist. Wird an den Durchlaß 66 ein Vakuum angelegt, dann ändert sich die Querschnittsfläche des Durchlasses 66 von einer im wesentlichen kreisförmigen oder elliptischen Form durch Zusammenklappen der Dichtung 65 in eine praktisch waagrechte Form, so daß sich die Dichtung 65 aus ihrer Sperrposition (Fig, 7), in der sie tatsächlich die Öffnung 64 verschließt, in eine Position bewegt, in der die Öffnung 64, wie in Fig, 6 gezeigt, nicht gesperrt ist.

Die Dichtung 65 kann daher nur dann unwirksam gemacht werden, wenn über die Vakuumleitung 67 am Durchlaß 66 ein Vakuum angelegt ist. Das ist jedoch nur dann möglich, wenn der Träger 60 ' auf einem Tragbügel 68 aufsitzt, der mit Schrauben 68* an der

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Transportbahn angeschraubt ist.

Die Grundplatte 63 der Kammer 62 weist eine Anzahl längs der Mittellängsachse der Grundplatte angeordneter Düsen 69 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft in einer Richtung ausströmen kann, in der das Werkstück 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 hineingefördert wird. Dieses unter Druck stehende Gas oder diese Druckluft wird den Düsen 69 über eine Leitung 70 zugeführt. Wenn daher das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft über die Leitung 70 zugeleitet wird, dann wird das Werkstück 12 durch den überdruck auf Abstand von der Grundplatte 63 gehalten und in die Kammer 62 des Trägers 60 hineinbefördert» Dies ist jedoch nur dann möglich_f wenn die Leitung 70 an einer äußeren Quelle für ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft angeschlossen ist.

Die Grundplatte 63 weist außerdem eine weitere Gruppe von Düsen 72 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft mit einer solchen Richtung zugeführt wird, daß das Werkstück 12 aus der Kammer 62 des Trägers 60 herausgefördert wird, während das Werkstück 12 gleichzeitig einen Abstand von der Grundplatte 63 hält. In Fig, 4 sind die Düsen 72 in zwei parallelen Reihen angeordnet, wobei je eine Reihe auf jeder Seite der Reihe von Düsen 69 und zu dieser Reihe parallel angeordnet ist. Da hier nur eine einzige Reihe von Düsen 69 und zwei Reihen von Düsen 72 vorgesehen sind, kann das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft ständig über die Düsen 69 zugeführt werden, wenn der Träger 60 mit der Transportbahn 61 verbunden ist, da der durch die Düsen 72 erzeugte Druck stärker ist als der durch die Düsen 69 erzeugte Druck und damit das Werkstück 12 aus dem Träger 60 herausbefördert. Jede andere Anordnung kann ebenfalls benutzt werden, vorausgesetzt, daß das aus den Düsen 72 ausströmende Gas das Werkstück 12 aus der Kammer heraus und das von den Düsen 69 zugeführte Gas das Werkstück 12 in die Kammer 72 hineinbefördert.

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Die Düsen 72 sind an einer Leitung 73 angeschlossen, über die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft zugeführt werden kann. Dies ist selbstverständlich nur dann möglich, wenn die Leitung 73 an einer entsprechenden Quelle angeschlossen ist.

Wie in Fig. 4 gezeigt, weist die Grundplatte 63 eine erste Gruppe von Zentrierdüsen auf, die in einem Paar zueinander paralleler Reihen auf der Außenseite jeder der zwei Reihen der Düsen 72 und parallel zu diesen angeordnet sind. Die Zentrierdüsen 75 sind mit der Leitung 70 verbunden, da diese Leitung ständig ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft nach den angeschlossenen ', Düsen 69 liefert. Die Zentrierdüsen stehen daher immer dann unter Druck, wenn dem Träger 60 ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft -zugeführt wird. Die Düsen 75 richten den Gasstrom gegeneinander und unterstützen dabei die Wirkung, durch die das Werkstück 12 in einem Abstand von der Grundplatte 63 gehalten wird.

Die Grundplatte 63 weist eine zweite Gruppe von Zentrierdüsen 77 auf, die in zwei ebenfalls zueinander parallelen Reihen angeordnet sind_f wobei jede der Reihen mit den Düsen 77 außerhalb der Reihen der Düsen 75 liegt und parallel zu diesen verläuft. Die Zentrierdüsen 77 sind in gleicher Weise wie die Zentrierdüsen 75 mit der Leitung 70 verbunden.

Die Zentrierdüsen 75 werden nur dann zum Zentrieren des Werkstücks 12 verwendet, wenn dieses eine vorbestimmte Größe, beispielsweise einen Durchmesser von 57,15 mm aufweist. Die Zentrierdüsen 77 werden nur dann eingesetzt, wenn das Werkstück einen vorherbestimmten größeren Durchmesser von beispielsweise 82,55 mm aufweist. D.h. aber, daß jeweils nur eine der Gruppen von Düsen 75 oder 77 eingesetzt wird.

Es sei darauf hingewiesen, daß der Träger 60 für die Benutzung mit einem Werkstück 12 vorgegebener Größe ausgelegt ist. D.h., daß der Träger 60 entweder ein Werkstück mit einem Durchmesser

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von 57,15 mm oder ein Werkstück mit einem Durchmesser von 82,55

mm verarbeiten kann. Wenn also das Werkstück 12 einen geringeren Durchmesser hat, dann sind die Düsen 77 nicht an der Lei-, tung 70 angeschlossen, obgleich sie an sich in der Grundplatte ; 63 vorgesehen sind. In gleicher Weise sind die Zentrierdüsen dann, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist, ebenfalls nicht an der Leitung 70 angeschlossen, obgleich die Düsen in der Grundplatte 63 vorhanden sind.

Die Grundplatte 63 weist ein erstes Paar Vakuumanschläge 78 auf, die mit dem Werkstück 12 dann zusammenarbeiten, wenn es einen kleineren Durchmesser aufweist. An den Vakuumanschlägen 78 wird über eine Vakuumleitung 79 ein Vakuum angelegt, Wenn also über die Leitung 79 ein Vakuum an den Vakuumanschlägen 78 liegt_f dann wird dadurch die Bewegung des Werkstücks I2_f wenn es durch die Düsen 69 in die Kammer 62 des Trägers 60 hinein-gefördert wird, abgebremst.

Die Grundplatte 63 weist zwei weitere Vakuumanschläge 81 auf, ! die hinter den Vakuumanschlägen 78 in Richtung des Einlaufens des Werkstückes 12 in die Kammer 72 und geringfügig innerhalb der Vakuumanschläge 78 liegen (vergl, Fig, 4), Das zweite Paar von Vakuumanschlägen ist an einer Vakuumleitung 82 angeschlossen, über die ein Vakuum an die Vakuumanschläge 81 angelegt und das Werkstück 12 dann anhält_f wenn das Werkstück 12 eine geringere Größe aufweist.

Wenn die Abmessungen des Werkstückes 12 kleiner sind, dann sind auf der Grundplatte 63 ein Paar Haltestifte 82 angeordnet. Diese Haltestifte weisen jeweils einen Schlitz 85 zur Aufnahme der Kante des Werkstücks 12 auf.

Ist ein Werkstück 12 durch die Vakuumanschläge 81 in der Weise angehalten, daß die Kante des Werkstücks 12 in den Schlitzen 85 der Haltestifte 84 liegt, dann wird ein Paar zurückziehbarer Stifte 86 durch Bohrungen 87 in der Grundplatte 63 so lange

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nach oben bewegt, daß der Schlitz 88 eines jeden dieser Stifte 86 das Werkstück 12 ergreift. Jeder dieser zurückziehbaren Stifte ist dabei einstückig mit einer Membrane 89 verbunden, der über die Leitung 87 ein Vakuum zugeleitet werden kann. Die Stifte 86 sind daher mit dem Werkstück 12 nur dann in Eingriff, wenn die Dichtung 65 verschlossen ist, wodurch die Einlaßöffnung 64 der Kammer 62 des Trägers 60 verschlossen ist. Die zurückziehbaren Haltestifte 86 arbeiten so, wie dies in der gleichzeitig eingereichten Patentanmeldung der Anmelderin (Aktenzeichen der Anmelderin FI 974 064) beschrieben ist.

Wie in Fig, 4 gezeigt, werden die Leitungen 64, 70, 73, 79 und 82 von einer Grundplatte 90 getragen, auf der eine mit Bohrungen und öffnungen versehene_f der Verteilung von Druckluft und Vakuum dienende Dichtung 91 angeordnet ist. Die Dichtung 91 wirkt dabei mit den Auslässen der Leitungen 67, 70, 73, 79 und 82 zusammen und Bteuert das Anlegen von Vakuum und unter Druck stehendem Gas oder Druckluft durch eine Zwischenplatte 92, die für eine Verbindung mit den verschiedenen Düsen in der Grundplatte 63 oberhalb der Dichtung 91 und unterhalb der Grundplatte 63 liegt.

Die Grundplatte 63 weist zwischen ihrer Oberfläche und einer Abdeckung 94, die eine offene Unterseite zur Bildung der Kammer

62 des Trägers zwischen der Abdeckung 94 und der Grundplatte

63 aufweist, eine Dichtung 93 an allen Seiten der Grundplatte mit Ausnahme der Seite mit der Einlaßöffnung 64 auf, Eine Dichtung 65 dichtet die Abdeckhaube 94 und die Grundplatte 63 an der Auslaööffnung 64 ab«

Wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist, wie dies beispielsweise durch gestrichtelte Linien in Fig, 5 gezeigt istι dann treten die Haltestifte 84 nicht in Erscheinung, Statt dessen werden Haltestifte 96 benutzt, die genauso aufgebaut sind wie die Haltestifte 84 und mit der Kante des Werkstücks 12 in größerer Entfernung von der Einlaßöffnung 64 als die

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' Haltestifte 84 in Eingriff kommen können.

' Die Haltestifte 96 wirken mit einem ersten Paar von Vakuumanschlägen 97 in der Grundplatte 63 zusammen, welche weiter entfernt angeordnet sind als ein zweites Paar von Vakuumanschlägen

98 in der Grundplatte 63, Die Vakuumanschläge 97 sind mit der Vakuumleitung 79 verbunden und die Vakuumanschläge 98 mit der Vakuumleitung 82. Somit kann jedes der Paare von Vakuumanschlägen 97 und 98 nur dann wirksam werden, wenn an entsprechenden

,. Vakuumleitungen 79 bzw, 72 ein Vakuum anliegt.

Es sei darauf verwiesen, daß die Vakuumanschläge 78 und 81 nur bei einem Werkstück 12 von kleinerem Durchmesser wirksam sind. In gleicher Weise werden die Vakuumanschläge 97 und· 98 nur dann benutzt, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist.

Die Verteilerdichtung 91 ist dabei so aufgebaut, daß sie sich ι für kleinere oder größere Werkstücke 12 eignet. Hat beispielsj weise das Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser, dann kann über die Verteilerdichtung 91 die Vakuumleitung 79 an den Vakuumanschlägen 78 und die Vakuumleitung 82 an den Vakuumanschlägen 81 angeschlossen werden, Hat das Werkstück einen größeren Durchmesser_f dann gestattet die Verteilerdichtung 91 eine Verbindung der Vakuumleitung 79 mit den Vakuumanschlägen 97 und der Vakuumleitung 82 nur mit den Vakuumanschlägen 98, Fig, 4 zeigt eine Verteilerdichtung 91 für Werkstücke 12 von kleinerem Durchmesser.

Der Träger 60 kann mit der Transportbahn 61 lösbar verbunden sein. Ist der Träger 60 mit der Transportbahn 61 lösbar verbunden, dann liegt der Träger 60 auf einer Konsole 68 der Transportbahn 61 auf. Die Transportbahn 61 weist einen Einlaßschlitz

99 auf, über den das Werkstück 12 auf die Transportbahn 60 gegeben oder von ihr entnommen werden kann. Die Zwischenplatte 92 des Trägers 60 weist halbkreisförmige Schlitze 99' auf, die

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über die Köpfe der Schrauben 68' passen, wenn der Träger 60 auf der Konsole 68 der Transportbahn 61 aufliegt.

Liegt der Träger 60 auf der Konsole 68 auf, dann ist die Leitung 73 mit der Leitung 100, die Vakuumleitung 82 mit der Vakuumleitung 101, die Druckgas- oder Druckluftleitung 70 mit der Druckgas- oder Druckluftleitung 102, die Vakuumleitung 67 mit der Vakuumleitung 103 und die Vakuumleitung 79 mit der Vakuumleitung 104 verbunden. Jede der Leitungen 100 bis 104 weist eine innenliegende Dichtung 105 auf, die mit dem äußeren Umfang der dort eingeschobenen Leitung in Eingriff kommt, wenn der Träger 60 auf der Konsole 78 aufliegt. Der Träger 60 ist damit durch die dichte Passung der Leitungen 73, 82, 70, 67 und 79 in den Leitungen 100 bis 104 fest mit der Transportbahn 61 verriegelt.

Die Leitung 100 enthält ein Steuerventil 106, durch das das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft über Düsen 107 in der Transportbahn 61 geregelt werden kann, ' Die über die Düsen .107 zugeführte Druckluft weist die gleiche j Richtung auf wie die aus den Düsen 72 in der Grundplatte 63 des Trägers 60 austretende Druckluft. Die über die Leitung 100 zugeführte Druckluft bewirkt dabei _ξ daß das Werkstück 12 von dem Träger 60 nach der Transportbahn 61 und von der Transportbahn 61 nach der Haupttransportbahn gefördert wird.

Die Vakuumleitung 109 enthält ein Ventil 108, über das das an die Vakuumleitung 82 anlegbare Vakuum gesteuert werden kann. Dies ist dann der Fall, wenn das Werkstück 12 durch das zweite Paar von Vakuumanschlägen 81 oder 98 angehalten werden soll. Das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft durch die Leitung 102 wird durch das Ventil 109 geregelt. Dabei wird das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft von der Leitung 102 den Düsen 110 in der Transportbahn 61 zugeleitet, wobei das unter Druck stehende Gas in der gleichen Richtung ausströmt, wie aus den Düsen 69 in der Grundplatte

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63 des Trägers 60. Durch diese Stromungsrichtung wird das Werkstück 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 hineinbewegt.

Das Ventil 111 steuert das Anlegen eines Vakuums über die Vakuumleitung 103. Dieses Vakuum liegt an der Vakuumleitung 67 des Trägers 60 und nimmt die Dichtung 65 in ihre Offenstellung mitf so daß damit die Öffnung 64 nicht gesperrt und die zurückziehbaren Stifte 86 zurückgezogen sind.

In der Leitung 104 liegt ein Ventil 112, das das Anlegen eines Vakuums an die Vakuumleitung 79 des Trägers 60 steuert. Durch dieses Vakuum werden die Vakuumanschläge 78 oder 97 wirksam gemacht, die das Anhalten der Bewegung des Werkstücks 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 unterstützen.

Die Transportbahn 61 weist außerdem eine erste Gruppe von Zentrierdüsen 113 auf. Diese werden immer dann verwendet_f wenn die Düsen 75 in Betrieb sind. Dies ist der Fall, wenn das Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser aufweist. Die Transportbahn 61 weist eine zweite Gruppe von Zentrierdüsen 114 auf, die immer dann benutzt werden_f wenn die Zentrierdüsen 77 des Trägers 60 verwendet werden. Dies ist der Fall_f wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist. Die Düsen 113 und 114

sind mit der Leitung 102 verbunden.

Im Betrieb der in den Fign. 4 bis 7 dargestellten Ausführungsform liegt ein Werkstück 12 in der Kammer 62 des Trägers 60 und wird durch die zurückziehbaren Stifte 86 und die Haltestifte 84 oder 96 in der gewünschten Position gehalten, je nachdem, ob der Träger 60 für ein Werkstück 12 von kleinem oder großem Durchmesser benutzt werden soll. Somit sind die Stifte 96 in der Grundplatte 63 des Trägers 60 nur dann vorgesehen, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist und die Stifte 84 sind dann in der Grundplatte 63 des Trägers 60 vorgesehen, wenn das Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser aufweist,

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Soll das in dem Träger 60 befindliche Werkstück 12 aus der Kammer 62 nach der Transportbahn 61 bewegt werden, dann wird der Träger 60 auf der Konsole 68 aufgesetzt. In dieser Position sind die Leitungen 73, 82, 70, 67 und 69 mit den Leitungen 100 bis 104 verbunden.

In dieser Position wird dann ein Schalter 115 (Fig, 5) durch den Träger 60 betätigt. Der Träger 60 weist einen Schlitz 116 (Fig, 4) mit einer Nockenfläche 117 in der Grundplatte 90 auf und stellt damit sicher, daß zuerst der Träger 60 voll auf die Konsole 68 aufgesetzt sein muß, bevor der Schalter 115 betätigt werden kann. Wird der Schalter 115 betätigt, dann gibt er ein Signal ab, durch das die Ventile 106, 108, 109, 111 und 112 über eine geeignete Steuereinrichtung, wie z,B, eine Datenverarbeitungsanlage geöffnet oder geschlossen werden können. Da ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft den Zentrierdüsen 75 oder 77 zugeführt werden muß, bevor das Werkstück 12 von dem Träger 60 entfernt werden kann, muß zunächst das Ventil 109 geöffnet werden, damit ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft den Düsen 69 in der Grundplatte 63 der Kammer 62 des Trägers 60 zugeführt werden kann, damit entweder den Zentrierdüsen 75 oder den Zentrierdüsen 77 Druckgas oder Druckluft zugeführt werden kann, Durch öffnen des Ventils 109 gelangt Druckgas oder Druckluft außerdem an die Düsen 110 und die Zentrierdtisen 113 oder 114 in der Transportbahn 61,

Durch öffnen des Ventils 106 liefert die Leitung 100 z,B, Druckluft an die Düsen 107 und unterstützt damit die Bewegung des Werkstücks 12 von der Transportbahn 61 nach der Haupttransportbahn, Dabei sind zwei Reihen von Düsen 107 und nur eine einzige Reihe von Düsen 110 vorgesehen, so daß die durch die Düsen 107 austretende Druckluft für eine Bewegung des Werkstückes 12 von der Transportbahn 61 nach der Haupttransportbahn eine größere Kraft ausübt als die durch die Düsen 110 erzeugte Kraft,

' i Wenn daher die Dichtung 65 in ihrer Offenstellung liegt, so daß ι

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die Öffnung 64 nicht gesperrt und die Stifte 36 zurückgezogen sind, dann fördert die aus den Düsen 72 austretende Druckluft das Werkstück 12 von der Kammer 62 des Trägers 60 nach der Transportbahn 61, worauf das Werkstück 12 wiederum durch die aus den Düsen 107 und die entsprechenden Düsen in der Haupttransportbahn austretende Druckluft weiterbefördert wird. Wird die Anwesenheit des Werkstücks 12 in der Haupttransportbahn durch geeignete Mittel festgestellt, dann wird das in der Leitung 100 befindliche Ventil 106 gesperrt, wodurch die an die Düsen 72 und 107 gelieferte Druckluft gesperrt wird. Das in der Leitung 102 befindliche Ventil 109 und das in der Leitung 103 befindliche Ventil 111 werden ebenfalls geschlossen. Durch Schließen des in der Leitung 102 befindlichen Ventils 109 wird die den Düsen 68 und 110 sowie den Zentrierdüsen 75 oder 77 und den Zentrierdüsen 113 oder 114 zugeführte Druckluft abgesperrt. Durch Schließen des in der Vakuumleitung 103 liegenden Ventils 111 geht die Dichtung 65 wieder in ihre, in Fig. 7 dargestellte geschlossene Position zurück und die Stifte 86 gehen in ihre Halteposition über.

Wenn die Bearbeitung des Werkstückes 12, das vom Träger 60 abgegeben wurde, beendet ist oder wenn ein Werkstück 12 von der Transportbahn 61 nach dem Träger 60 bewegt werden soll, dann v/erden das in der Leitung 102 befindliche Ventil 109 und das in der Vakuumleitung 103 angeordnete Ventil 111 geöffnet. Dadurch kann ein Vakuum an die Leitung 67 angelegt v/erden, wodurch gleichzeitig die Stifte 96 zurückgezogen und die Dichtung 65 in ihre in Fig. 6 dargestellte offene Position überführt werden. Das Öffnen des in der Leitung 102 angeordneten Ventils 109 bewirkt, daß die Druckluft den Düsen 69 und 110 sowie den 2entrierdüsen 75 oder 77 und den Zentrierdüsen 113 bzw. 114 zugeleitet wird.

Wenn ein Werkstück 12 von der Transportbahn 61 nach dem Träger 60 bewegt werden soll, werden beispielsweise in der Transportbahn 61 angeordnete Vakuumanschläge unwirksam gemacht und es

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werden entweder Vakuumanschläge 78 für ein Werkstück 12 mit kleinerem Durchmesser oder die Vakuumanschläge 97 für ein Werkstück 12 mit größerem Durchmesser durch öffnen des Ventils 112 in der Leitung 104 und Anlegen eines Vakuums betätigt.

Wenn daher das Werkstück 12 von der Transportbahn 61 nach der Kammer 62 des Trägers 60 bewegt wird, dann wird seine Bewegung durch die Vakuumanschläge 78 oder 97 verlangsamt oder angehalten. Anschließend werden durch öffnen des Ventils 108 in der Leitung 101 die Vakuumanschläge 81 oder 98, je nach der Größe des durch den Träger 60 zu transportierenden Werkstücks betätigt. Diese Betätigung kann beispielsweise einen vorbestimmten Zeitabschnitt nach der Betätigung der Vakuumanschläge 78 oder 97 erfolgen oder, wenn eine Vakuumfühlvorrichtung abgefühlt hat, daß das Werkstück 12 an den Vakuumanschlägen 78 oder 97 angekommen ist.

liachdem, durch Öffnen des Ventils 108 in der Leitung 101 ein Vakuum an die Vakuumanschläge 81 oder 98 angelegt wurde und das Vakuum von den Vakuumanschlägen 78 oder 97 durch Schließen des in der Leitung 104 angeordneten Ventils 112 abgesperrt wurde, müssen die zurückziebaren Stifte 56 im Zusammenwirken mit den Laltestiften 84 oder 96, abhängig von der Größe des durch den Träger 60 zu transportierenden Werkstückes 12 nach oben bewegt werden. Dies wird dadurch erreicht, daß das in der Leitung 103 angeordnete Ventil 111 geschlossen wird, so daß das über die Leitung 67 zugeführte Vakuum nicht länger an den Membranen 89 anliegt. Sobald das Vakuum nicht mehr über die Leitung 67 angelegt ist, wird gleichzeitig auch die Dichtung 65 in ihre in Fig. 7 dargestellte geschlossene Position zurückgeführt.

Gleichzeitig mit dem in der Leitung 103 liegenden Ventil 111 wird das in der Leitung 101 angeordnete Ventil 108 geschlossen. Damit wird also das Vakuum von den Vakuumanschlägen 81 oder 98 abgenommen, wenn das über die Leitung 67 angelegte Vakuum abgeschaltet wird, so daß dann die zurückziehbaren Stifte 86 mit

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den Haltestiften 84 oder 96 das Werkstück 12 in einer festen Lage oberhalb der Grundplatte 63 halten.

Wenn das Werkstück 12 zwischen den Stiften 86 und den Stiften 84 oder 96 gehalten ist, dann wird das in der Leitung 102 befindliche Ventil 109 geschlossen. Dadurch wird die den Düsen 69 und den Zentrierdüsen 75 oder 77 im Träger 60 und den Düsen 110 sowie den Zentrierdüsen 113 oder 114 in der Transportbahn zugeführte Druckluft abgestellt.

Ist die Dichtung 65 geschlossen und wird das Werkstück 12 zwischen den zurückziehbaren Stiften 36 und den Haltestiften 84 oder 96 festgehalten, dann liegt das Werkstück 12 im Träger 60 fest, so daß der Träger 60 von Hand oder automatisch von der Konsole 68 abgenommen und nach jedem gewünschten Ort gebracht werden kann, l^ach Abnehmen des Trägers 60 von der Konsole 68 · stellt der Schalter 115 dieses Abnehmen fest und verhindert, daß eines der Ventile 106, 108, 109, 111 und 112 in den Leitungen 100 bis 104 geöffnet wird.

Selbstverständlich ist in jeder der Leitungen 67, 70, 73, 79 und 82 jeweils ein Filter vorgesehen, das eine Verunreinigung der im Träger 60 vorgesehenen Kammer 62 verhindert, wenn die Leitungen 73, 82, 70, 67 und 69 nicht mit den jeweiligen Leitungen 100 bis 104 verbunden sind. Dadurch erhält man eine Abdichtung der Kammer 62.

Ein Kennzeichnungsschxld 119* kann zur Kennzeichnung des Trägers 60 auf einer der Seitenwände der Grundplatte 90 angebracht sein, wie dies Fig. 5 zeigt. Das Kennzeichnungsschild 119' enthält vorzugsweise maschinenlesbare Angaben für den Träger 60, so daß der Träger 60 über eine automatische Steuerung zum gewünschten Zeitpunkt selbsttätig auf die Konsole 68 aufgesetzt werden kann.

In den Fign. 8 bis 15 ist ein Träger 120 dargestellt, der ähn-FI 974 062

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lieh aufgebaut ist wie der Träger 10, nur das die Haltefeder 19 und die drehbare Dichtung 15 nicht verwendet werden. Somit besteht auch hier keine Notwendigkeit, ein Betätigungshebel für eine Verriegelung vorzusehen, wenn die Transportbahn 35 zusammen mit einem Träger 120 benutzt wird.

Der Träger 120 weist eine Kammer 121 auf, die gleichartig aufgebaut ist wie die Kammer 11 und innerhalb der ein Werkstück 12 auf einer Grundplatte 122 liegt. Der Träger 120 weist eine öffnung 123 auf, durch die das Werkstück au der Kammer herausbefördert oder in die Kammer 121 eingebracht werden kann.

Eine Dichtung 124, die aus einem geeigneten elastischen Material, wie z.B. Gummi bestehen kann, wird zum Verschließen der öffnung 123 benutzt. Die Dichtung 124 weist eine durchgehende Bohrung 125 auf, deren eines Ende über eine der Druckluftleitungen 30 und 34 mit Druckluft versorgt werden kann, während das andere Ende verschlossen ist« Wenn Druckluft der durchgehenden Bohrung 125 zugeleitet wird, dann dehnt sich der Querschnitt der Bohrung 125 aus, so daß sich die Dichtung 124 aus ihrer in den Fign, 10 und 11 dargestellten_f die öffnung 123 verschließenden Position in eine zweite Position bewegt (Fign, 8 und 9), in der die öffnung 123, nicht verschlossen ist, ,

Die Dichtung kann daher nur dann wirksam gemacht werden, wenn dem Träger 120 Druckluft zugeführt wird. Dies ist jedoch nur dann der Fall, wenn der Träger 120 auf den Schienen 36 und 37 aer Transportbahn 35 in der gleichen Weise aufliegt wie der Träger 10.

Der Betätigungshebel 52 für aie Verriegelung wird also dann nicht benutzt, wenn anstelle des Trägers 10 der Träger 120 verwendet wird, natürlich sind die Druckluftleitungen 30 und 34 des Trägers 12O die gleichen wie die Druckluftleitungen 30 und 34 des Trägers 10.

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Anstelle der Feder 19 und ihrer Betätigungsvorrichtung wird das Werkstück 12 zwischen einem feststehenden Puffer 126 (Fig. 12) in dem von der Einlaßöffnung 123 abgelegenen Teil der Kammer 121 und durch ein Paar bewegliche Halterungen 127 festgehalten, i die voneinander und von dem Puffer 126 in einem Winkelabstand [ stehen. Der Puffer 126 und die Halterungen 127 bestehen aus einem geeigneten, federnd nachgiebigen oder elastischen Material, ' wie z.B. Gummi. ;

In den Fign, 13 und 14 weist jede der Halterungen 127 eine durchgehende, an einem Ende verschlossene Bohrung 128 auf. Wenn dem offenen Ende einer dieser Bohrungen 128 in jeder der Halterungen 127 Druckluft zugeführt wird, dann bewegt sich die Halterung 127 von ihrer in Fig. 13 dargestellten Position, in der die ■ Halterung 127 am Ende des Werkstücks 12 anliegt, in eine Position_f in der das Werkstück 12 nicht gehalten ist, so daß dieses von der Kammer 121 nach der Transportbahn 35 oder umgekehrt gefördert werden kann.

Der Träger 120 weist ein Paar Ausnehmungen 129 auf, die mit den unteren Enden der Halterungen 127 zusammenwirken. Das untere Ende einer jeden Halterung 127 erstreckt sich in die entsprechende Ausnehmung 129 dann, wenn die Halterung 127 das Werkstück 12 gegen den Puffer 126 andrückt. Jede der Ausnehmungen 129 weist einen gekrümmten Boden auf, so daß die Schwingbewegung der Halterung 127. zwischen den Positionen der Fign, 13 und 14 nicht verhindert wird.

ι Die Kammer 121 weist in ihrer Grundplatte 122 Düsen 27 auf, die ^! in gleicher Weise wie die Düsen 27 der Grundplatte 18 der Kam- ; mer 11 im Träger 10 mit der Druckluftleitung 30 verbunden sind. !. In gleicher Weise besitzt die Grundplatte 122 Düsen 32, die an der Druckluftleitung 34 angeschlossen sind.

Der schematische Anschluß der Druckluftleitung 30 an die Düsen 27 und der Druckluftleitung 34 an die Düsen 32 ist in Fig. 15

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gezeigt. Ein Doppelventil 130 verhindet jegliche Verbindung zwischen den Druckluftleitungen 30 und 34. Dadurch ist sichergestellt, daß die Druckluft nicht den jeweils falschen Düsen 27 oder 32 zugeleitet wird, wenn die Druckluft außerdem der Bohrung 125 in der Dichtung 124 und der Bohrung 128 in jeder der Halterungen 127 zugeleitet wird.

Dem Träger 120 kann so lange keine Druckluft zugeführt werden, solange er nicht auf den Schienen 36 und 37 der Transportbahn 35 in gleicher Weise aufliegt wie der Träger 10, Wenn die Druckluft durch öffnen des Ventils 42 oder 45 zugeführt wird, dann wird die Dichtung 124 unwirksam und die Halterungen 127 legen von dem Werkstück 12 ab, so daß das Werkstück 12 schnell und leicht wegbewegt werden kann oder daß eines der Werkstücke 12 dem Träger zugeführt werden kann_f wenn die Trägerkammer 121 leer ist.

Falls erwünscht, könnte äer Träger 120 auch ein Paar Puffer aufweisen, während die Dichtung 124 und die zurückziehbaren Halterungen 127 durch ein einziges aufblasbares Bauteil ersetzt sind. In dieser Anordnung würden die Halterungen 127 tatsächlich durch die Dichtung 124 ersetzt, so daß diese so angeordnet wäre, daß sie an der Kante des Werkstücks 12 anliegt und dieses innerhalb der Kammer 121 hält und gleichzeitig die öffnung 123 verschließt.

Die vorliegende Erfindung wurde zwar im Zusammenhang mit einem Werkstück 12, das als Halbleiterplättchen dargestellt ist, beschrieben, doch kann das Werkstück 12 an sich jeder beliebige Gegenstand sein, der durch einen Druckluftstrom oder durch einen Strom eines unter Druck stehenden Gases befördert werden soll. Somit ist es nicht unbedingt notwendig, die Kammer 11 im Träger 10, die Kammer 62 im Träger 60 oder die Kammer 121 im Träger 120 abzudichten, wenn es nicht notwendig ist, innerhalb des Trägers 10, 60 oder 120 eine reine Atmosphäre aufrecht zu erhalten.

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Falls erwünscht, könnte auch der Träger 10 oder der Träger 120, genauso wie der Träger 60 Zentrierdüsen enthalten. Dazu würde man aber entweder eine dritte Leitung benötigen oder das Doppelventil 130 in Fig. 15 könnte mit den Zentrierdüsen verbunden sein«

Ein Vorteil der Erfindung liegt darin, daß um das Werkstück herum eine saubere Atmosphäre aufrecht erhalten wird. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß ein Werkstück einer Transportbahn zugeführt oder von ihr entnommen werden kann, ohne daß eine Verunreinigung eintritt. Ein v/eiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, daß zum Einführen oder Auswerfen eines Werkstückes keine gesonderte Druckluftquellen erforderlich sind. Ein anderer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß das Werkstück dann, wenn es relativ zum Träger bewegt werden soll, frei schwebend gehalten wird. Insbesondere ist es bei der Erfindung von Vorteil, daß ein Halbleiterplättchen bei einer automatischen Transport- oder Fördervorrichtung von Hand eingegeben oder entnommen werden kann, ohne daß dabei das Plättchen selbst berührt werden muß. Weiterhin ist es von Vorteil, daß der Träger nur eine einzige öffnung als Einlaßoder Auslaß für das Werkstück aufweist.

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

Vorrichtung zum Einführen und Entnehmen eines Werkstückes in eine bzw« aus einer mit einem Druckgaslager versehenen Transportbahn,

dadurch gekennzeichnet, daß ein Träger (10; 60; 120) mit einer Kammer (11) vorgesehen ist, welcher lösbar mit
der Transportbahn (35; 61) verbindbar ist und
daß der Träger (10; 60; 120) an das Druckgassystem der
Transportbahn wahlweise für eine Bewegung eines Werkstückes (12) vom Träger nach der Transportbahn bzw« von
der Transportbahn nach dem Träger anschließbar ist,

2, Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger in der Kammer eine als Druckgaslager ausgebildete Grundplatte (18) aufweist, und daß ein über diese Grundplatte zugeführtes Druckgas bei einer Bewegung des
Werkstückes (12) dieses trägt,

3, Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10; 60; 120) eine durch eine Dichtung (15;
•65; 124) abdichtbare und verschließbare Öffnung (14; 64;

123) aufweist,

4, Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (15; 65; 124) nur bei angekoppeltem Träger

(10; 60; 120) unwirksam gemacht werden kann,

5, Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Träger eine Haltevorrichtung (19; 78, 81; 84, 96) vorgesehen ist, die das Werkstück (12) dann, wenn es
nicht bewegt werden soll, in seiner Lage festhält,

6, Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß '· die Dichtung (15; 65; 124) und die Haltevorrichtung (19;

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78, 81; 84, 91> gleichzeitig unwirksam gemacht werden können.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig die Dichtung durch ein Vakuum und die Haltevorrichtung durch das Druckgas unwirksam gemacht werden können, das auch für den Transport des Werkstückes aus der Kammer des Trägers nach der Transportbahn bzw. von der Transportbahn in die Kammer des Trägers wirksam ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (15; 65) drehbar angeordnet und zwischen einer Abdichtstellung und einer Offenstellung verdrehbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Kammer CH) eine Haltefeder (19) vorgesehen ist, die gleichzeitig mit der Drehung der Dichtung (15) betätigbar ist.

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