DE3025829A1

DE3025829A1 - Schutzvorrichtung zum schuetzen einer projektionsmaske fuer einen projektor

Info

Publication number: DE3025829A1
Application number: DE19803025829
Authority: DE
Inventors: Theodore Watkin
Original assignee: Perkin Elmer Corp
Current assignee: Applied Biosystems Inc
Priority date: 1979-08-03
Filing date: 1980-07-08
Publication date: 1981-02-19
Also published as: JPH0124297B2; US4248508A; JPS5624335A

Description

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Schutzvorrichtung zum Schützen einer Projektionsmaske für einen Projektor sowie eine Kassette zum Schützen einer Projektionsmaske.

Das in weitem Umfang erfolgreich angewandte Verfahren zum Herstellen integrierter Schaltungen besteht darin, dass ein optisches System und eine Glasmaske verwandt werden. Auf einer Oberfläche der Glasmaske ist das Schaltungsmusters aufgebracht. Die Maske wird in den Projektor eingesetzt. Das optische Projektionssystem des Projektors projiziert ein Bild der Maske auf die Oberfläche eines Siliciumplättchens, das in geeigneter Weise, beispielsweise dadurch vorbereitet ist, dass eine Fotolackschicht aufgebracht' ist. Beispiele für derartige Geräte sind die Maskenausrichtungs- und -belichtungssysteme, die beispielsweise unter der Bezeichnung "Micralign" von Perkin-Elmer Corporation, Norwalk, Connecticut, USA,hergestellt werden.

Es muss sehr sorgfältig darauf geachtet werden, dass die Maske so sauber wie möglich gehalten wird. Bereits ein einziges Staubteilchen kann erhebliche Schwierigkeiten zur Folge haben. Es versteht sich, dass der Staub von der Maske leicht aufgenommen werden kann, während diese aufbewahrt oder zwischen der Ablage und dem Projektor hin- und hertransportiert wird. Durch die Erfindung soll daher eine Vorrichtung geliefert werden, die eine Maske während der Ablage und während des Transportes zum und vom Projektionstisch des Projektors in einer sauberen Umgebung hält. Dabei soll der vollständige Arbeitsvorgang der Entnahme der Maske von einer Kassette und das Wiedereinlegen der Maske sowie das Evakuieren oder Unterdrucksetzen des Kassettenträgers automatisch erfolgen.

Durch die Erfindung wird eine Schutzvorrichtung zum Schützen einer Projektionsmaske ausserhalb eines Projektors geliefert.

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Die erfindungsgemässe Vorrichtung umfasst einen Maskenträger in Form eines hohlen Rahmens sowie eine Einrichtung zum wahlweisen Befestigen einer Maske im Rahmen. Zwei Abdeckteile können mit den gegenüberliegenden Seiten des Rahmens des Trägers im wesentlichen gasdicht in Eingriff gebracht werden, so dass sich eine Kassette ergibt, die die Maske in sich einschliesst. Bei einem Ausführungsbeispiel ist ein Gaskanal durch wenigstens einen Abdeckteil begrenzt, um Gas zwischen dem Äusseren und dem inneren der Kassette zu übertragen. Im Gaskanal ist ein gewöhnlich geschlossenes Ventil enthalten. Es sind Einrichtungen am Projektor zur Aufnahme der Kassette und zum Öffnen des Ventiles vorgesehen. Der Projektor weist gleichfalls eine Einrichtung auf, die Gas durch das offene Ventil strömen lässt. Der Kassettenauf nahmeteil des Projektors umfasst eine Einrichtung zum Erfassen der Abdeckteile und zum Lösen der Abdeckteile aus der Ineingriffnähme mit dem Rahmen des Trägers. Weitere Einrichtungen sind dazu vorgesehen, den Träger und die darin enthaltene Maske zu einer Projektionsstelle vorzubewegen und zurückzuführen, wobei die die Abdeckteile erfassende Einrichtung die Abdeckteile am Träger zur Entnahme aus dem Projektor wieder anordnen kann.

Ein besonders bevorzugter Gedanke der Erfindung besteht in einer Vorrichtung zum Ablegen oder Aufbewahren einer Projektionsmaske, wie sie beispielsweise zum Drucken integrierter Schaltungsmuster auf Siliciumplättchen verwandt wird. Eine spezielle Kassettenpackung erlaubt es, die Maske in einer sauberen dicht abgeschlossenen Umgebung aufzubewahren. Eine Zuliefereinrichtung transportiert die dicht abgeschlossene Kassette in einen optischen Projektor, in dem die Kassette geöffnet wird und die Maske zum Projektionstisch vorbewegt wird. Nach der Projektion wird die Maske zurückgeführt und automatisch dicht in der Kassette eingeschlossen. Die Kassette kann evakuiert oder auch mit einem sauberen Gas gefüllt sein. Die dicht in die Kassette eingeschlossene Maske kann dann aufbewahrt werden, bis sie wieder verwandt werden soll.

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Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben:

Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemässen Projektionsmaskenkassette .

Fig. 2 zeigt eine auseinandergezogene Ansicht des

Trägers der Maske und der Abdeckteile, die die in Fig. 1 dargestellte Kassette bilden.

Fig. 3 zeigt eine teilweise gebrochene Querschnittsansicht längs der Linie 3-3 in Fig. 2.

Fig. 4 zeigt eine vergrösserte Ansicht einer Einzelheit eines Teils des Trägers mit einer Darstellung der Einrichtung zum Befestigung der Maske.

Fig. 5 ■ zeigt eine perspektivische Ansicht des Maskenauf nahmeteils eines Projektors.

Fig. 6 zeigt eine Draufsicht auf die in Fig. 5 dargestellte Maskenaufnahmeeinrichtung.

Fig. 7 zeigt in einer perspektivischen Ansicht, in welcher Weise eine Maskenkassette durch die Maskenaufnahmeeinrichtung aufgenommen wird.

Fig. 8 zeigt eine Seitenansicht der in den Fig. 5 und dargestellten Einrichtung.

Fig. 9 zeigen in vergrösserten Querschnittsansxchten ^{und 10} Einzelheiten der Betätigung des Ventiles des

Kassettenabdeckteils durch die Aufnahmeeinrichtung.

Fig. 11 zeigt eine vergrcsserte Teilansicht des Mechanismus zum Abnehmen der Abdeckteile.

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Fig· 12 zeigt in einer vergrösserten vertikalen Schnittansicht den Maskenträger in seiner Lage an der Aufnahmeeinrichtung mit an ihrer Stelle befindlichen Abdeckteilen.

Fig. 13 zeigt eine Fig. 12 ähnliche Ansicht mit abgenommenen Abdeckteilen.

Fig. 14 zeigt in einer teilweise gebrochenen perspektivischen Ansicht,wie der Träger ohne die Abdeckteile und die Maske in den Projektor vorbev;egt werden.

Fig. 15 zeigt in einer Seitenansicht weiter die Vorbewegung der Maske in den Projektor.

Fig. 16 zeigt in einer Fig. 15 ähnlichen Ansicht das Zurückziehen der Maske und seines Trägers zur Aufnahmeeinrichtung.

Fig. 17 zeigt eine perspektivische Ansicht des Aufbaues eines abgewandelten Ausführungsbeispiels der Abdeckung für die Maske.

Fig. 18 zeigt eine Stirnansicht von rechts der in Fig. 17 dargestellten abgewandelten Ausführung der Maskenabdeckung.

Fig. 19 zeigt eine vergrösserte Einzelheit längs der Linie 19-19 in Fig. 18.

In der Zeichnung und insbesondere in den Fig. 1 bis 4 ist eine Maskenkassette 10 dargestellt. Die Kassette umfasst einen hohlen rahmenartigen Träger 12, eine Projektionsmaske 14, die im Träger befestigt ist und zwei plattenartige

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Abdeckteile oder Deckplatten 16, 18. Der Träger 12 hat in der in Fig. 3 dargestellten Weise im wesentlichen eine rechteckige Form mit abgerundeten unteren Ecken und einer Abschrägung 20 an der oberen linken Ecke in Fig. 3. Die Oberfläche in Zeichenebene in Fig. 3 begrenzt eine im wesentlichen quadratische Aussparung 22, die sich annähernd über die Hälfte der Stärke des Rahmens erstreckt, wie es in Fig. 12 und 13 dargestellt ist, um eine ringförmige Haltefläche 24 für die Maske 14 zu bilden. Die Haltefläche 24 ist innen von einem etwa rechteckigen Reliefbereich 26 begrenzt, der seinerseits in einem etwa oval geformten Fenster 28 endet, das sich durch den Träger von der gegenüberliegenden Seite erstreckt.

Die Maske 14, die beispielsweise quadratische Abmessungen von 7,62 χ 7,62 cm und eine Stärke von 0,63 cm haben kann,, ist in der Aussparung 22 und an der Fläche 24 angeordnet, wobei ihre Kante an vorstehenden Schultern 30 anliegt, die von der Aussparung 22 nach innen verlaufen. Sie ist in dieser Lage durch drei Zungen 32 festgelegt. Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, befinden sich zwei Zungen auf der linken Seite der Maske und ist eine Zunge auf der rechten Seite der Maske vorgesehen. Die Zungen sind schwenkbar mit Hilfe von Schrauben 34 in Aussparungen 36a, b und c angebracht. Zu jeder Zunge 32 in einer Linie ausgerichtet, verläuft von der Hinterfläche des Trägers 12 in Fig. 3 eine Stellschraube 38 mit Kunststoff spitze, die an der Maske 14 anliegt. Am Träger 12 sind Deckplattenausrichtungslöcher 40 vorgesehen, von denen sich jeweils zwei auf jeder Hauptfläche in Fig. 3 auf beiden Seiten der Maskenöffnung befinden.

An der unteren linken Ecke des Trägers 12 in Fig. 3 befindet sich eine rechteckige Aussparung 42, die von der Kante des Trägers nach innen verläuft. An ihrem unteren Ende ist die Aussparung abgeschrägt, um eine schrägverlaufende Fläche 44 zu bilden. In der Aussparung 42 sind mittels einer Schraube

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zwei Blattfedern 48, 50 angebracht, die durch ein Abstandsstück 52 getrennt sind und durch einen Metallunterlagostreifen 54 hinterlegt sind. Entlang seiner Oberkante begrenzt der Träger 12 einen horizontalen Schlitz 56.

Die Abdeckteile 16, 18 sind im wesentlichen ebene Platten, die so geformt sind, dass sie zum äusseren Umriss des Trägers 12 passen. Von der Innenfläche jeder Abdeckplatte stehen zwei Ausrichtungsstifte 58 vor, wie es in Fig. 13 dargestellt ist, die in die jeweiligen Ausrichtungslöcher 40 im Träger 12 eingreifen. An der Aussenflache des Abdeckteils 18 in Fig. 1 und annähernd in der Mitte ist mit Hilfe von Schrauben ein Block 62 befestigt, der ein Loch 64 aufweist, das vertikal durch den Block 62 gebohrt ist. Ein ähnlicher Block 66 (Fig. 2) mit einem vertikalen Loch 68 ist am Abdeckteil 16 mittels Schrauben 70 angebracht. Aus Fig. 2 ist jedoch ersichtlich, dass sich dieser Block näher an einem Ende des Abdeckteils als der Block 6 2 bezüglich des Abdeckteils 18 befindet. In der Nähe des gegenüberliegenden Endes des Abdeckteils 16 ist mit Hilfe von Schrauben 7 2 ein grösserer Block 74 befestigt.

Wie es in der Querschnittsansicht von Fig. 9 dargestellt ist, begrenzt der Block 74 zwei zueinander senkrecht verlaufende Kanäle. Unter diesen befindet sich ein im wesentlichen vertikal verlaufender zylindrischer Kanal 76, der sich teilweise, durch den Block von dessen unterer Aussenflache aus erstreckt. Mit dem vertikalen Kanal 76 steht ein horizontaler Kanal in Verbindung, der einen relativ grossen mit einem Innengewinde versehenen Teil 78, der von der linken Aussenseite des Blockes aus verläuft, einen etwas kleineren mittleren Teil 80 ohne Gewinde und einen Endabschnitt 82 mit kleinem Durchmesser aufweist. Der Anschluss des mittleren Teils an den Endabschnitt stellt einen Bereich dar, der einen konischen Ventilsitz bildet. Zusätzlich zu den zwei senkrecht zueinander verlaufenden Kanälen, die oben beschrieben wurden, ist ein dritter Kanal 86 vorgesehen (Fig. 12), der unter rechtem Winkel zu dem mittleren Kanalteil 80 verläuft und mit einer öffnung XBi Abdeckteil 16 in Verbindung steht.

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Im horizontalen Kanal, der von den Teilen 78, 80 und 82 gebildet wird, ist ein gewöhnlich geschlossenes, durch eine Feder vorgespanntes Ventil angebracht. Das Ventil umfasst eine Stellschraube 90 und einen Ventilkörper 92 mit etwa kreuzförmigen Querschnitt, der in einem Führungsstift 94 im Endabschnitt 82 des Kanals mündet. Der Ventilkörper 92 trägt einen O-Ring 96, der gewöhnlich durch eine Schraiibendruckfeder dazu gebracht wird, am Ventilsitz 84 anzuliegen.

Die Innenfläche jedes Abdeckteils 16, 18 ist von einer Nut 100 umzogen, wie es in Fig. 13 dargestellt ist, die einen elastischen Abdichtungsstreifen 102 trägt. Wenn die Abdeckteile 16, 18 gegen die gegenüberliegenden Seiten des Trägers 12 gedrückt werden, verformen sich diese Streifen, wie es in Fig. 12 dargestellt ist, um eine Gasdichtung zu bilden.

Im folgenden wird die Aufnahmestation beschrieben.

Im Projektor ist eine Aufnahmestation enthalten, in die die Maskenträgereinrichtung eingesetzt wird. Die Aufnahmestation ist im einzelnen in den Fig. 5, 6 und 8 dargestellt. Sie weist eine Grundrahmenkonstruktion auf, die nicht im einzelnen beschrieben wird, es sei lediglich darauf hingewiesen, dass diese Grundrahmenkonstruktion eine horizontale Grundplatte 104 und zwei im Abstand voneinander und parallel zueinander angeordnete Seitenrahmen 106, 108 umfasst. Mit Hilfe von Stützen 110 sind am Seitenrahmen 106 ein Motor 112 und ein Getriebe 114 angebracht. Vom Getriebe 114 aus erstreckt sich nach innen eine Ausgangswelle 116, die ein Kettenrad trägt. Das Kettenrad 118 treibt eine Kette 120. Die Kette treibt ihrerseits ein Kettenrad 122, das zusammen mit einem Transportkettenrad 126 an einer gemeinsamen Welle 124 angebracht ist. Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, ist das Kettenrad 126 zwischen zwei Trägerverlängerungen 106a, 108a der Seitenrahmen 106, 108 angebracht. Die Welle 124 wird durch diese Träger in geeigneten Lagern gehalten. Eine Transportkette 128 führt um das Transportkettenrad 126 und über ein Mitlauf-

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kettenrad 130. Die obere Bahn der Kette 123 liegt direkt unter einem Schlitz 131 in der Grundplatte 104, wie es in Fig. 7 dargestellt ist. Das Mitlaufkettenrad 130 ist auf einer Welle 132 in zwei zueinander ausgerichteten Schlitzen 134 in den Seitenrahmen 106, 108 gehalten. Die Welle 132 steht über ein Joch 136 mit einer Schraubenzugfeder 138 in Verbindung, die an einem Träger 140 verankert ist, um die Transportkette unter Spannung zu halten. An der Transportkette 128 ist einenach aussen vorstehende Fahne (Fig. 15, 16) mit einer Länge, die ausreicht, damit sich die Fahne. durch den Schlitz 131 erstreckt, so befestigt, dass sie mit der Transportkette 128 mitläuft.

Von der Grundplatte 104 nach oben verlaufen zwei zueinander ausgerichtete Wellen 144, 146. Auf diesen Wellen sind mittels geeigneter Lager 148 drehbar zwei zylindrische Vorsprünge 150, 152 angebracht. Jeder Vorsprung ist in einem Stück mit einem langgestreckten Hebelarm 154, 156 ausgebildet, von denen jeder einen längeren Teil 154a, 156a, der sich in Fig. nach rechts erstreckt,und einen kürzeren Teil 154b, 156b aufweist, der sich nach links erstreckt. Am äussersten Ende des Armteils 154b ist mittels eines Trägers 158 ein pneumatischer Zylinder 116 befestigt. Die Kolbenstange 162 des Zylinders 160 ist wiederum am Träger 164 am Armteil 156b befestigt.

Es versteht sich, dass eine Betätigung des pneumatischen Zylinders entweder dazu führen wird, dass die Armteile 154b, 156b zusammengezogen werden oder dass sie auseinandergedrückt werden, was dazu führt, dass die Hebelarme 154, 156 sich um ihre jeweiligen Wellen 144, 146 drehen. Ein innerer Begrenzungsanschlag ist mit Hilfe von Schrauben 166, 168 in Zusammenarbeit mit einem mittleren Block 170 vorgesehen. Äussere Begrenzungsanschläge sind durch Schrauben 172, 174 vorgesehen, die in jeweiligen äusseren Blöcken 176, 178 angebracht sind.

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Das äussere Ende des Armteils 156a trägt einen in den Abdeckteil eingreifenden Stift 180. Ein ähnlicher Stift 182 'wird vom Armteil 154a jedoch in einem geringeren Abstand zur Welle 144 getragen. Zusätzlich zum Stift 180 trägt der Armteil 156a auch eine nach oben verlaufende Saugdüse 184. Der Abstand der Stifte 180, 182 und der Düse 184 ist so gewählt, dass sie in die Löcher 64, 68 und den Kanal 76 an den Abdeckteilen 16, 18 jeweils eingreifen, wenn diese am Maskenträger 12 befestigt werden.

Die Saugdüse 184 steht mit einer Unterdruckquelle über eine flexible Unterdruckrohrleitung 186 in Verbindung. Der Aufbau der Saugdüse 184 wird im folgenden in Verbindung mit Fig. 9 näher beschrieben. Es versteht sich, dass die Düse grundsätzlich zylindrisch ist und einen längsverlaufenden Kanal 188 begrenzt. An ihrem oberen Ende mündet die Düse 184 in einem Teil 190 mit kleinerem Durchmesser und in einem sich verjüngenden Teil 192. Unmittelbar unter dem Teil 190 mit geringerem Durchmesser befindet sich eine Ringnut 194, die einen O-Ring 196 trägt.

Hall-Effektschalter 198 (Fig. 11) sind zum Wahrnehmen der Hebelarmstellung vorgesehen. Wie es in den Fig. 14 bis 16 dargestellt ist, bildet eine Maskenklemmrolle 200 einen Teil des Projektors, in dem die Maske benutzt wird.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der erfindungsgemässen Vorrichtung beschrieben.

Es sei angenommen, dass eine Projektionsmaske 14, die in einem Projektor verwandt werden soll, in einer Maskenkassette 10, d.h. im Träger 12 gehalten ist, an dem die Abdeckteile 16 und 18 angebracht sind. Das Innere der Kassette wird evakuiert und das Vakuum wird durch die Dichtungsstreifen 102 aufrechterhalten. Die Arme 154, 156 sind so angeordnet, dass ihre längeren Teile 154a, 156a so eng wie möglich aneinanderliegen. Die Bedienungsperson senkt die Kassette

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in eine Lage zwischen den Armen 154, 156 derart ab, dass der Eingriffsstift 182 in das Loch 64 im Block 62 ar. Abdeckte! 1 18 eintritt und der Stift 180 am Arn 156 in das Loch 68 im Block 66 am Abdeckteil 16 antritt. Gleichzeitig tritt die Saugdüse 184 in den Kanal 76 im Block 74 ein.

Wie es in Fig. 9 dargestellt ist, wird das Vakuum in der Kassette mit Hilfe des normalerweise geschlossenen Ventils aus dem Ventilkörper 92, dem G-Ring 96 und dem Ventilsitz 84 gehalten. Wenn der Block 74 über die Düse 184 absinkt, kommt der Stift 194 mit dem sich verjüngenden Teil 192 an der Düse in Berührung und wird der Stift 194 nach innen gedrückt, wodurch das Ventil in die in Fig. 10 dargestellte Stellung geöffnet wird. Das innere der Kassette steht dann mit dem Düsenkanal 188 in Vorbindung. Nachdem die Maskenkassette in dieser Weise in Stellung gebracht ist, kann die Bedienungsperson den Projektor schliessen, wodurch dieser wieder dicht verschlossen wird und kann die Bedienungsperson das Einlegen der Maske durch einen äusseren Schalter einleiten.

Das Vakuum in der Kassette kann nun über die Unterdruckleitung 186 über ein nicht dargestelltes Innenventil aufgehoben werden. Wenn das Vakuum aufgehoben ist, kann der pneumatische Zylinder 160 betätigt werden, um die kurzen Teile 154b, 156b der Hebelarme zusammenzuziehen und dadurch die langen Teile 154a, 156a zu trennen. Das hat zur Folge, dass die beiden Abdeckteile 16, 18 vom Träger 12 in der in Fig. 14 dargestellten Weise entfernt werden, so dass der Träger auf der Grundplatte direkt über dem Schlitz 131 und der Transportkette 128 stehen bleibt.

Anschliessend wird der Motor 112 betätigt, so dass die Transportkette 128 über das Getriebe 114 und die Kette 120 angetrieben wird, wobei die Drehung der Kettenräder 126, 130 in den Fig. 14 bis 16 im Uhrzeigersinn erfolyt. Die an der

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Transportkette 128 angebrachte Fahne 142 wandert zum Träger 12 und erfasst den Träger 12. Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, erfasst die Fahne 142 zunächst die Blattfeder 50, die sich nach rechts bewegt, wie es in gestrichelten Linien dargestellt ist und die anschliessend die Fahne freigibt, die ihrerseits die Blattfeder 48 erfasst. Wenn die Fahne 142 weiter nach rechts wandert, treibt sie den Träger 12 in Fig. 15 nach rechts, wobei die Abdeckteile 16, 18 zurückgelassen werden. Der Träger und seine Maske werden dadurch in den Projektor vorbewegt, wo er an seiner Stelle mittels der Maskenklemmrolle 200 verriegelt wird, die an der abgeschrägten Ecke 20 in üblicher Weise anliegt.

Wenn die Projektion beendet ist, wird der Arbeitsvorgang umgekehrt. Die Kettenräder 126, 130 drehen sich in Fig. 6 nun entgegen dem Uhrzeigersinn. Die Fahne 142 versetzt die Blattfeder 48 während sie die Feder 50 erfasst und bewegt dadurch den Träger 12 und die Maske nach links, wodurch dieser in die ursprüngliche Lage zwischen den Abdeckteilen 16, 18 zurückgeführt werden. Sie bleiben in dieser Lage, während der pneumatische Zylinder 160 wiederum betätigt wird, um die kürzeren Hebelarmteile 154b, 156b auseinanderzuziehen und dadurch die längeren Armteile 154a, 156a zu schliessen, wodurch die Abdeckteile auf beiden Seiten des Trägers 12 wieder in Stellung gebracht werden, wobei gleichzeitig die Dichtungsstreifen 102 in der in Fig. 12 dargestellten Weise zusammengedrückt werden. Anschliessend wird ein Unterdruck über die Saugdüse 184 angelegt, um das Innere der Anordnung über das offene Ventil zu evakuieren, wie es in Fig. 10 dargestellt ist. Aufgrund des Unterdruckes werden die Abdeckteile dicht und fest am Träger gehalten, ohne dass eine weitere Klemm- oder Verriegelungseinrichtung notwendig ist. Die Kassette 10 kann dann durch die Bedienungsperson herausgenommen werden, wobei das Abnehmen von der Düse 184^J bewirkt, dass das Ventil in seinen gewöhnlichen geschlossenen Zustand zurückkehrt, wodurch der Unterdruck beibehalten wird. Nach der Ent-

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nähme kann die druckdicht verschlossene Kassette abgelegt werden, bis sie wieder verwandt werden soll.

In Fig. 17 ist ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, bei dem die Abdeckteile keine Gasdichtung mit dem Träger bilden. Die Abdeckteile stehen über Federn miteinander in Verbindung, so dass sie eine Einheit bilden. Ein Abdeckteil 202 weist zwei im Abstand voneinander angeordnete Vorsprünge 204a, 204b auf, die von seiner Oberkante ausgehen. An diesen VorSprüngen sind zwei im Abstand voneinander angeordnete Träger 206a, 206b angebracht. An den Enden der Träger sind zwei Blattfedern 208a,208b befestigt, die sich davon nach unten erstrecken. Das untere Ende jeder Blattfeder steht mit einem Abdeckteil 210 in Verbindung,
das gewöhnlich parallel zum Abdeckteil 202 und im Abstand davon liegt, wie es in Fig. 18 dargestellt ist. Das untere Ende jeder Feder 208 ist mit dem Abdeckteil 210 über ein
Kugelgelenk verbunden, wie es in Fig. 19 dargestellt ist. Am unteren Ende der Blattfeder 2 08b ist eine Stütze 212
befestigt, die einen vergrösserten Kopf 214 aufweist.
Am Abdeckteil 210 ist ein Block 216 befestigt, der eine Aussparung 218 begrenzt, die den Kopf 214 aufnimmt. Der Kopf wird in der Aussparung über einen Stift 220 gehalten, der durch den Block 216 geht.

Das Abdeckteil 210 trägt gleichfalls einen Block 222 mit
einem vertikalen Loch 224,in das ein Stift eingreift, der vom Hebelarm 154' nach oben verläuft, wie es im Vorhergehenden beschrieben wurde. Ein ähnlicher Block 226 wird durch das Abdeckteil 202 so getragen, dass er mit einem Stift in Eingriff kommt, der vom Hebelarm 256' nach oben verläuft. Die Innenfläche des Abdeckteils 210 trägt gleichfalls zwei im Abstand voneinander angeordnete Stifte 228, die in
geeignete Öffnungen im Maskenträger eingreifen.

Fig. 18 zeigt die Abdeckanordnung in ihrer normalen Lage, in der der Abstand zwischen den Abdeckteilen 202 und 210 etwas

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kleiner als die Stärke des Maskenträgers ist. Wenn die Abdeckteile 202, 210 auf einen Träger gesetzt sind, ergibt sich eine Kassette. Die Abnahme der Abdeckteile im Projektor erfolgt im wesentlichen, in derselben Weise v/ie es im Vorhergehenden beschrieben wurde. Wenn sich die Hebelarme 154' und 156' trennen, werden auch die Abdeckteile 202, gegen die Kraft der Federn 208a, 208b getrennt. Bei der Rückkehr des Maskenträgers schliessen die Hebelarme, so dass die Abdeckteile den Träger wieder erfassen können.

Bei den obigen Ausführungsbeispielen, war die Kassette evakuiert. Es ist jedoch auch möglich, die Maske in einer Druckgasumgebung, beispielsweise in Stickstoff aufzubewahren. Es kann im wesentlichen dieselbe Vorrichtung verwandt werden, obwohl einige Abänderungen an den Abdeckteilen vorgenommen werden müssen, um einen sicheren Verriegelungsmechanismus vorzusehen.

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Leerseite

Claims

PATENTANWÄLTE- I "^A; -PRWNECKER

H. KINKELDi^Y

W. STOCKMAIR K. SCHUMANN

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P 15 14-9-40-dg

THE ΡΕΚΕΏϊ-ΕΙΜΕΒ. COEPOEAOiION Main Avenue

Norwalk, Connecticut 06856

USA

Schutzvorrichtung zum Schützen einer Projektionsmaske für einen Projektor

PATENTANSPRÜCHE

1J Schutzvorrichtung zum Schützen einer Projektionsmaske ür einen Projektor, gekennzeichnet durch einen Maskenträger (12) in Form eines hohlen Rahmens mit einer Einrichtung zum wahlweisen Befestigen einer Maske (14) im Träger (12), ein erstes und ein zweites Abdeckteil (202, 210), die mit den gegenüberliegenden Seiten des Trägerrahmens (12) in Eingriff kommen können, wodurch eine Kassette (10) gebildet wird, die die Maske (14) einschliesst, eine Einrichtung im Projektor zur Aufnahme der Kassette (10), eine Einrichtung, die der Aufnahmeeinrichtung zugeordnet ist und das erste und zweite Abdeckteil (202, 210) erfasst und abnimmt und wieder

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TELEFON (089) 332862 TELEX OE-SS 3BO TELEGRAMME MONAPAT Tf-. "KOPIERER

in eine Ineingriffnähme mit dem Trägerrahmen (12) bringt, und eine Einrichtung zum Transportieren des Trägers (12) 'und der darin enthaltenen Maske (14) zu einer Projektions-⁵-stelle und zum Zurückführen des Trägers (12) und der Maske (14) zur Aufnahmeeinrichtung, so dass die die Abdeckteile (202, 210) erfassende Einrichtung die Abdeckteile (202,

210) wieder am Träger (12) anbringen kann, . um die Kassette aus dem Projektor zu entnehmen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und das zweite Abdeckteil (202, 210) elastische Einrichtungen aufweisen, um die Abdeckteile (202, 210) aufeinanderzu und in eine Ineingriffnahme mit dem Trägerrahmen (12) zu drücken.

3. . Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η -· zeichnet, dass die elastische Einrichtung eine Blattfeder (208b) mit einem ersten und einem zweiten Ende, eine Federbefestigungseinrichtung (206b) an einem Abdeckteil (202), die das erste Federende befestigt,und eine Federeingriff seinrichtung am anderen Abdeckteil (210) aufweist, um flexibel das zweite Federende zu erfassen.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , dass die elastische Einrichtung einen ersten und einen zweiten im Abstand voneinander angeordneten Träger (206a, 206b), die durch das erste Abdeckteil (202) an ihren ersten Enden gehalten sind und im wesentlichen senkrecht zu den Ebenen des ersten und des zweiten Abdeckteils (202, 210) verlaufen, wobei die zweiten Enden der Träger (206a, 206b) sich über die Ebene des zweiten Abdeckteils (210) hinauserstrecken, eine erste und eine zweite im wesentlichen parallele Blattfeder (208a, 208b), deren erste Enden an den zweiten Enden der jeweiligen Träger .,(206a, 206b) befestigt sind und deren zweite Enden das zweite Abdeckteil· (210) überlagern,und eine erste und eine zweite Eingriffseinrichtung am zweiten Abdeckteil (210) aufweist, um flexibel die zweiten Federenden zu erfassen.

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5. Schutzvorrichtung zum Schützen einer Projektionsmaske für einen Projektor, gekennzeichnet durch einen Maskenträger (12) in Form eines hohlen Rahmens mit einer Einrichtung zum wahlweisen Befestigen einer Maske

(14) im Träger (12), ein erstes und ein zweites Abdeckteil (16, 18), die mit den gegenüberliegenden Seiten des Trägerrahmens (12) im wesentlichen gasdicht damit in Eingriff bringbar sind,wodurch sich eine Kassette(10)ergibt, die die Maske (14) einschliesst, einen Gaskanal (78, 80, 82), der von wenigstens einem der Abdeckteile (16, 18) begrenzt wird, um Gas zwischen dem Ä'usseren und dem Inneren der Kassette (10) zu übertragen, ein normalerweise geschlossenes Ventil (90, 92, 94) im Gaskanal (78, 80, 82), eine Einrichtung im Projektor zur Aufnahme der Kassette (10) und zum Öffnen des Ventiles (90, 92, 94), eine Einrichtung zum Durchführen von Gas durch das geöffnete Ventil (90, 92, 94), eine der Aufnahmeeinrichtung zugeordnete Einrichtung zum Erfassen des ersten und des zweiten Abdeckteils (16, 18), die das erste und das zweite Abdeckteil (16, 18) vom Trägerrahmen (12) abnimmt und das erste und das zweite Abdeckteil (16, 18) wieder in Eingriffnähme mit dem Trägerrahmen (12) bringt,und eine Einrichtung zum Transportieren des Trägers (12) und der darin enthaltenen Maske (14) zu einer Projektionsstella und zum Zurückführen des Trägers (12) und der Maske (14) zur Aufnahmeeinrichtung, so dass die die Abdeckteile (16, 18) erfassende Einrichtung die Abdeckteile (16, 18) wieder an den Träger (12) anbringen kann, um die Kassette (10) aus dem Projektor zu entnehmen.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zum Durchführen von Gas eine Vakuumquelle umfasst.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zum Erfassen der Abdeckteile (16, 18) ein erstes und ein zweites im Abstand voneinander angeordnetes HalteelemeriL·, die in einer ersten.

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relativen Lage so angeordnet sind, dass sie jeweils das erste und das zweite Abdeckteil (16, 18) erfassen, wenn die Kassette (10) dazwischen angeordnet ist, eine Einrichtung zum Befestigen jedes Halteteils am jeweiligen Abdeckteil (16, 18) und eine Einrichtung aufweist, die die Halteelemente zwischen Positionen bewegt, die der ersten relativen Lage und einer zweiten relativen Lage entsprechen, in der die Abdeckteile (16, 18) vom Trägerrahmen (12) getrennt sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , dass die Halteelemente einen ersten und einen zweiten Hebelarm (154, 156) aufweisen, von denen jeder um einen Drehpunkt drehbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungseinrichtung eine Einrichtung zum Drehen der Hebelarme (154, 156) im wesentlichen gleichzeitig in entgegengesetzte Drehrichtungen aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , dass die ' Dreheinrichtung ein lineares Betätigungsglied umfasst, das mit beiden Hebelarmen (154, 156) verbunden ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Betiätigungsglied ein pneumatischer Zylinder (160) ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , dass die Befestigungseinrichtung einen Stift an einem Halteelement und einem Abdeckteil und ein Stiftaufnahmeloch umfasst, das von dem anderen Halteelement und dem anderen Abdeckteil begrenzt wird.

13. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 7, dadurch gekennzeichnet , dass das Ventil einen Ventilsitz (84), der im Gaskanal (78, 80, 82) ausgebildet ist, einen hin- und her-

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bewegbaren Ventilstössel (92) im Gaskanal (78, 80, 82), ein Ventilelement (96) , das vom Stössel (92) getragen wird und mit dem Ventilsitz (84) in Eingriff kommen kann, und eine Einrichtung umfasst, die elastisch den Stössel (72) so vorspannt, dass das Ventilelement (96) mit dem Sitz (84) in Eingriff steht.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , dass die Einrichtung zum Öffnen des Ventils eine Düse (184) umfasst, die in den Gaskanal (78, 80, 82) vorbewegbar ist, um den Stössel (92) zu erfassen und gegen die Vorspanneinrichtung zu versetzen.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasdurchlasseinrichtung eine Vakuumquelle umfasst, die mit der Düse (184) verbunden ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 7, dadurch gekennzeichnet , dass die Trägertransporteinrichtung einen Endlosförderer (128), der zwischen der Aufnahmeeinrichtung und der Projektionsstelle verläuft, eine Einrichtung zur Antriebsineingriffnähme des Trägers (12) durch den Förderer

(128) und eine Einrichtung aufweist, die den Förderer (128) und den in Eingriff genommenen Träger (12) umkehrbar antreibt.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet , dass die Einrichtung zur Antriebsineingriffnahme eine vorstehende Fahne (142), die vom Förderer (128) nach aussen vorsteht und damit lauft_;und eine Einrichtung am Träger (12) zur Antriebsineingriffnahme durch die Fahne (142) aufweist.

18. Kassette zum Projizieren einer Projektionsmaske, g ekennzeichnet durch einen Maskenträger (12) in Form eines hohlen Rahmens mit einer Einrichtung zum wahlweisen Befestigen einer Maske (14), durch ein erstes und ein zweites Abdeckteil (16, 18), die mit den gegenüberliegenden Sc5 ten des Trägerrahmens (12) im wesentlichen gasdicht dazu in Eingriff

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bringbar sind, um die Maske (14) dazwischen einzuschliessen, einen Gaskanal (78, 80, 82), der von wenigstens einem der Abdeckteile begrenzt wird, um Gas zwischen dem Äusseren und dem Inneren der Kassette (10) zu übertragen _f und ein normalerweise geschlossenes Ventil (90, 92, 94) im Gaskanal (78, 80, 82) .

19. Kassette nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die gegenüberliegenden Hauptflächen des Rahmens (12) im Abstand voneinander und im wesentlichen in parallelen Ebenen liegen und dass jedes Abdeckteil· (16, 18) eine elastische Dichtung (102) aufweist, die so angeordnet ist, dass sie eine der Hauptflächen erfasst und den hohlen Rahmen (12) umz ieht.

20. Kassette nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Äbdeckteile (16, 18) im wesentlichen ebene Bauteile sind und dass eines der Abdeckteile (18) einen Vorsprung(62) auf seinen Aussenflache trägt, wobei der Vorsprung (62) und das Abdeckteil (18) einen dahin durchgehenden Gaskanal (64) begrenzen, dessen äusserster Teil sich im Vor-* sprung (62) und im Abstand von der Ebene der Aussenflache und parallel dazu befindet.

21. Kassette nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Zwischenteil des Gaskanals durch den Vorsprung (64) begrenzt wird und im wesentlichen senkrecht den Aussenteil schneidet, und dass das Ventil (90, 92, 94) im Zwischenteil angeordnet ist und ein Betätigungselement aufweist, das sich in den äussersten Teil erstreckt, um das Ventil (90, 92, 94) durch einen in den äussersten Teil eingeführten Gegenstand zu öffnen.

22. Verfahren zum Schützen einer Projektionsmaske und zum automatischen Anordnen der Maske in einem Projektor, dadurch gekennzeichnet , dass ein Maskenträger in Form eines hohlen Rahmens vorgesehen wird, dass die Maske im

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Träger befestigt wird, dass ein erstes und ein zweites Abdeckteil am Träger an den gegenüberliegenden Seiten der Maske angebracht wird, dass das Innere des abgedeckten Trägers evakuiert wird, um die Abdeckteile zu befestigen und eine Schutzatmosphäre für die Maske zu liefern, dass der evakuierte abgedeckte Träger im Aufnahmebereich im Projektor angeordnet wird, dass das Vakuum im abgedeckten Träger aufgehoben wird, dass das erste und das zweite Abdeckteil vom Träger getrennt werden,dass der Träger und die Maske zur Belichtungsstelle im Projektor transportiert werden, dass der Träger und die Maske zum Aufnahmebereich zurückgezogen werden, dass das erste und das zweite Abdeckteil wieder am Träger angebracht werden, dass das Innere des abgedeckten Trägers wieder evakuiert wird, und dass der evakuierte abgedeckte Träger vom Aufnahmebereich entnommen wird.

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