DE2626528C2

DE2626528C2 - Vorrichtung zum Einführen und Entnehmen eines Werkstückes in eine bzw. aus einer Druckgas-Transportbahn

Info

Publication number: DE2626528C2
Application number: DE2626528A
Authority: DE
Inventors: William Otto Granite Springs N.Y. Druschel; Bayard Gilbert Patterson N.Y. Gardineer jun.; Stanley Arthur Yorktown Heights N.Y. Manning; Bela Wappingers Falls N.Y. Musits
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1975-06-19
Filing date: 1976-06-14
Publication date: 1983-12-15
Also published as: JPS5510490B2; FR2324548B1; US4014576A; JPS521876A; CA1036191A; FR2324548A1; IT1063967B; DE2626528A1; GB1538312A

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einführen und Entnehmen eines Werkstückes in eine bzw. aus einer mit einem Druckgaslager versehenen Transportbahn, insbesondere für Halbleherplättchen oder dergleichen. Damit können Halbleherplättchen von dem Träger zu der Luftgleitbahn oder von der Luftgleitbahn zu dem Träger durch von der Luftgleitbahn gelieferte Druckluft gefördert werden. Auf Luftgleitbahnen für einen" berührungsfreien Vorschub von flachen Werkstücken, wie sie beispielsweise in der DE-OS 22 13 842 beschrieben sind, wird ein Halbleiterplättchen durch

. Druckluft in einer gewünschten Richtung bi_;wegt und

ίο von dieser getragen. Dabei ist es erwünscht, ein derartiges Halbleiterplättchen in eine derartige Luftgleitbahn oder Transportbahn zu verschiedenen Punkten einzubringen oder an solchen Punkten zu entnehmen. Eine lösbare Verbindung von Energie- und Steuerleitungen bei einer Luftkissenförderbahn ist aus der DE-OS 21 49 060 bekannt

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Werkstükke, insbesondere Halbleiterplättchen ohne menschliche Einwirkung und ohne Berührung mit der Außenluft in die Transportbahn hinein und aus ihr herauszubringen, so daß Beschädigungen und Verunreinigungen der Halbleiterplättchen vermieden werden können, wobei die Halbieherplättchen von der Position, an der sie von der Transportbahn entnommen wurden, nach einer anderen Position der Transported λ oder einem Lagerbereich ohne Verunreinigung gebracht werden können.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst daß ein Träger mit einer Kammer vorgesehen ist die eine als Druckgaslager ausgebildete Grundplatte aufweist, und daß der Träger über eine lösbare Verbindung mit der Transportbahn an das Druckgassystem der Transportbahn wahlweise für eine Bewegung eines Werkstückes vom Träger zur Transportbahn bzw. von der Transportbahn zum Träger anschließbar ist, wobei ein über die Grundplatte zugeführtes Druckgas, bei jeder Bewegung des Werkstückes, dieses trägt

Vorzugsweise ist die Anordnung dabei so getroffen, daß die Grundplatte zwei einander entgegengesetzt gerichtete Gruppen von Düsen aufweist die beim Ankoppeln des Trägers an die gleichartig aufgebaute Transportbahn jeweils für eine Entnahme des Werkstückes aus dem Träger oder für eine Obergabe des Werkstückes an den Träger über die Druckgasleitungen des Trägers mit den die entsprechenden Düsen der Transportbahn speisenden Druckgasleitungen gekoppelt sind.

Wenn also die Druckluft der Transportbahn an der der Träger befestigt ist, mit benutzt wird, so ist es nicht

so mehr erforderlich, daß der Träger eine eigene Druckluftversorgung besitzt, wie dies beispielsweise in der US-Patentschrift 31 74 645 gezeigt ist Daher ist der erfindungsgemäß aufgebaute Träger relativ leicht und kann beispielsweise einfach von einem Ort an der Transportbahn zu einem anderen Ort an der Transportbahn bewegt werden.

Die Erfindung wird nunmehr anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Zeichnungen im einzelnen beschrieben. In den Zeichnungen zeigt

F i g. 1 eine Schnittansicht einer Ausführungsform eines erfindungsgemäß aufgebauten Trägers mit einem Werkstück darin;

Fig.2 eine Qerschnittsansicht des in Fig. 1 dargestellten Trägers längs der Linie 2-2 in Fig. 1;

Fig.3 eine Draufsicht, teilweise im Schnitt zur Darstellung der Träger von F i g. 1 und 2, die an einem Teil einer Transportbahn für berührungsfreien Vorschub von flachen Werkstücken befestigt ist;

F ί g. 4 eine explodierte, perspektivische Ansicht einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäß aufgebauten Trägers;

F i g. 5 schematisch eine perspektivische Ansicht des Trägers gemäß Fi g. 4 sowie eines Teils der Transportbahn, mit der der Träger verbunden ist, so daß das Werkstück zwischen Träger und Transportbahn bewegt werden kann;

F i g. 6 eine Teilschnittansicht eines Teils des in F i g. 4 dargestellten Trägers mit der Eingangsdichtung in Ruhelage;

F i g. 7 eine Teilschnittansicht des Trägers in F i g. 4 mit der Eingangsdichtung in Abdichtposition;

Fig.8 eine Teilschnittansicht des erfindungsgemaß aufgebauten Trägers mit einer weiteren Ausführungsform der Eingangsdichtung in Ruhelage längs der linie 8-8inFig.9;

F i g. S eine Vorderansicht eines Teils des Trägers von F i g. 8 zur Darstellung der Eingangsdichtung in Ruhelage;

Fig. 10 eine Teilschnittansicht eines Trägers ähnlich Fig.8 zur Darstellung "der Eingangsdi^htung in Abdichtposition, längs der Linie 10-10 in. F i g. 11;

Fig. 11 eine Vorderansicht eines Teils des Trägers mit der Eingangsrichtung in Abdichtposition;

Fig. 12 schematisch eine Draufsicht auf den Träger ohne die Abdichtungen gemäß F i g. 8 bis 11;

Fig. 13 eine Teilschnittansicht einer der in Fig. 12 verwendeten Haltevorrichtungen in Halteposition;

Fig. 14 eine Teilschnittansicht einer der Haltevorrichtungen in Ruhelage und

Fig. 15 schematisch eine Darstellung der Druckluftzufuhr von der Luftgleitbahn nach dem Träger der Fig. 12.

F i g. 1 und 2 zeigen einen transportierbaren Träger 10 mit einer Kammer 11, in der ein Werkstück 12, beispielsweise ein Halbleiterplättchen, liegt Der Träger 10 weist in einer seiner Seitenwände eine mit der Kammer 11 in Verbindung stehende Öffnung 14 auf. Das Werkstück 12 kann über diese Öffnung 14 in die Kammer 11 des Trägers 10 eingegeben oder durch diese öffnung herausgenommen werden.

Eine zylindrische Eingangsdichtung 15 mit einer langgestreckten Öffnung 16 versperrt die Öffnung 14 und dichtet damit die Kammer ab. Die Dichtung 15 erstreckt sich durch den Träger Vi und ist in diesem drehbar. Ein Ende der Dichtung IS weist einen Handgriff 17 auf, mit dessen Hilfe die Dichtung 15 gedreht werden kann, so daß die Dichtung 15 von ihrer abdichtenden Position in F i g. 2 in eine Ruheposition gedreht werden kann, bei der die langgestreckte Öffnung ϊ6 auf die Öffnung 14 so ausgerichtet ist, daß die Dichtung 15 die öffnung 14 nicht versperrt

Das Werkstück 12 wird durch eine sternförmige Feder 19 gegen die als Luftlager ausgebildete Grundplatte 18 der Kammer 11 gehalten. Die Feder 19 besteht dabei aus einem geeigneten Kunststoffmaterial, das in Berührung mit dem Werkstück 12 dieses nicht beschädigt.

Die Feder 19 ist an einer Welle 20 befestigt, die zu beiden Seiten aus der Kammer 11 herausragt. Ein Ende der Welle 20 ist mit einer Stange 21 zwischen den Enden der Stange verbunden, während das andere Ende der Welle 20 zwischen den Enden einer Stange 22 mit dieser verbunden ist.

Die Stange 21 liegt mit einem Ende in einer im Träger 10 vorgesehenen Nut IJ, während das andere Ende mit einer auf der Dichtung 15 angebrachten Nocke 24 zusammenwirkt Die Stange 22 liegt mit einem Ende üi

, einer in dem Träger 10 angeordneten Nut 25, während das andere Ende mit einer auf der Dichtung 15 angeordneten Nocke 26 zusammenwirkt Die Stangen

21 und 22 sind daher Nockenläufer.

Wird der Handgriff 17 für eine Drehung der Dichtung in dem Sinne bewegt, daß die Dichtung 15 die Öffnung 14 nicht langer sperrt, da die langgestreckte Öffnung 16 mit der öffnung 14 ausgerichtet ist, dann wirken die

id Nocken 24 und 26 mit den Stangen 21 bzw. 22 in der Weise zusammen, daß die Haltefeder 19 wirkungslos wird. Wenn somit das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 heraus oder in die Kammer 11 des Trägers 10 hirvinbewegt werden kann, weil die öffnung 14 nicht durch die Dichtung 15 versperrt ist, dann liegt die Haltefeder 19 so, daß sie diese Bewegung nicht behindert

Die als Luftlager ausgebildete Grundplatte 18 der Kammer 11 weist eine Anzahl von Herausblasdüsen 27 auf, die in zwei parallelen Reihen angeordnet sind und durch die ein unter Druck stehendes *yas, beispielsweise Luft, in einer Richtung zugeführt werden kann, die das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 heraus befördert Damit fließt das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft in der durch Pfeile 28 angedeuteten Richtung. Das unter Druck stehende Gas oder (Se Druckluft wird den Düsen 27 aus einer Kammer 29 (Fig.2) zugeführt, die mit einer Leitung 30 in Verbindung steht

Die als Luftlager wirkende Grundplatte 18 weist außerdem eine Anzahl von Hineinblasdüsen 32 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft zugeführt wird, die das Werkstück 12 anhebt und in die Kammer 11 in die in F i g. 1 gezeigte Position bringt Das aus den Düsen 32 austretende, unter Druck stehende

Gas hat dabei die durch Pfeile 33 angegebene Richtung. Wie in F i g. 1 gezeigt, liegen die Düsen 32 in

parallelen Reihen auf gegenüberliegenden Seiten der

Düsen 27. Selbstverständlich könnte auch jede andere

geeignete Anordnung benutzt werden, solange das aus dei? Düsen 27 unter Druck ausströmende Gas das Werkstück 12 aus der Kammer 11 herausbefördert und das aus de.i Düsen 32 unter Druck ausströmende Gas das Werkstück 12 in die Kammer 11 hineinbefSrdeit

Die Hineinblasdüsen 32 stehen mit finer zu beiden Seiten der Kammer 29 angeordneten, jedoch nicht gezeigten gleichartigen Kammer in Verbindung, die an einer Druckgasleitung 34 angeschlossen ist Ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft muß daher von der

so Druckgasleitung 34 den Düsen 32 zugeleitet werden.

Wie in F i g. 3 dargestellt, ist der Träger 10 mit der Transportbahn 35 lösbar verbunden. Wenn der Träger 10 mit der Transportbann 35 lösbar verbunden ist, dann wird der Träger 10 durch ein Paar paralleler Schienen 36 und 37 getragen, die mit der Transportbahn 35 verbunden sind.

Wenn der Träger 11 auf den Schienen 36 und 37 aufliegt, dann ist die Druckgasleitung 34 des Trägers 10 in eine trichterförmig erweiterte öffnung 38 einer Druckgasleitung 39 der Transportbahn 35 eingeschoben. In gleicher Weise ist die Dfückgäsleitung 30 des Trägers 10 in eine trichterförmig erweiterte öffnung 40 einer Druckgasleitung 4t der Transportbahn 33 eingeschoben.

Die Druckgaslei ung 39 enthält ein Ventil 42, mit dessen Hilfe das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft der Hineinblasdüsen 43 geregelt werden kann, die das unter Druck

stehende Gas in der durch Pfeile 44 angedeuteten Richtung in der Transportbahn austreten lassen. Dies ist die gleiche Richtung wie die Strömungsrichtung des die Hineinblasdüsen 32 in der Grundplatte 18 des Trägers 10 verlassenden Druckgases, das das Werkstück 12 in die Kammer 11 hineinbewegt.

Das über die Leitung 41 zugeführte unter Druck stehende Gas wird durch ein Ventil 45 geregelt. Das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft wird von der Leitung 41 den Herausblasdüsen 46 in der Transportbahn 35 zugeführt, so daß das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft in Richtung der Pfeile 47 austritt. Dies ist die gleiche Richtung wie die der durch die Leitung 30 nach den Herausblasdüsen 27 in der Grundplatte 18 der Kammer 11 des Trägers 10 abgegebenen Druckluft, wodurch das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 herausbewegt wird.

Wenn somit das Ventil 41 geöffnet ist, dann wird ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft der Transportbahn 35 und dem Träger 10 zugeführt und bewegt damit das Werkstück 12 in den Träger 10 hinein. Wenn dagegen das Ventil 45 geöffnet ist, wird ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft gleichzeitig der Transportbahn 35 und dem Träger 10 zugeführt und bewegt das Werkstück 12 aus der Kammer 11 des Trägers 10 heraus auf die Transportbahn 35.

Die Transportbahn 35 ist oben verschlossen, so daß das Werkstück 12 nicht verunreinigt werden kann.

Am Ende der Transportbahn 35 ist eine öffnung von im wesentlichen den gleichen Abmessungen wie die öffnung 14 im Träger 10 vorgesehen, so daß das Werkstück 12 vom Träger 10 nach der Transportbahn gelangen oder von dort nach dem Träger 10 gefördert werden kann. Diese öffnung ist relativ klein und der konstante Druck der Transportbahn 35 verhindert, daß irgendeine, zur Verunreinigung beitragende Luft durch diese öffnung in die Transportbahn 35 eindringen kann, die mit der öffnung 14 dann in Verbindung steht, wenn der Träger 10 auf den Führungsschienen 36 und 37 aufliegt.

Der Träger 10 weist eine mit der Dichtung 15 zusammenwirkende Verriegelung 50 (Fig. 1) auf, die bewirkt, daß der Handgriff 17 so lange nicht bewegt werden kann, bis der Träger 10 auf den Schienen 36 und 37 der Transportbahn 35 aufliegt die Druckgasleitung 34 in die erweiterte Bohrung 38 der Leitung 39 und die Druckgasleitung 30 in die erweiterte Bohrung 40 der Leitung 41 eingeschoben ist.

In dieser Position des Trägers 10 kann die Verriegelung 50 durch einen Betätigungshebel 52 (F i g. 3) auf der Transportbahn 35 gegen die Kraft einer Feder 51 bewegt werden, die die Verriegelung in eine Position dränjjt in der die Drehung der Dichtung durch eine abgeflachte Fläche der Verriegelung 50 verhindert wird, die in einen Schlitz der Dichtung 15 eingreift Wenn also der Träger 10 auf den Schienen 36 und 37 liegt und die entsprechenden Druckluft- oder Druckgasanschlüsse hergestellt sind, so daß unter Druck stehendes Gas oder .Druckluft nach der Grundplatte 18 der Kammer 11 geleitet werden kann, dann wird die Verriegelung 50 dadurch unwirksam gemacht daß ein gebogener Abschnitt der Verriegelung 50 über den Schlitz der Dichtung 15 übergreift so daß die Dichtung 15 rotieren kann. Der Handgriff 17 kann dann so gedreht werden, daß die Dichtung 15 die Öffnung 14 des Trägers 10 in der Weise freigibt daß die langgestreckte öffnung in der Dichtung 15 mit der öffnung 14 in dem Träger 10 ausgerichtet ist

Zum Abdichten der Kammer U in dem Träger 10 müssen die Leitungen 30 und 34 ein Filter 53 (F i g. 2) aufweisen. Dies verhindert eine Verunreinigung der Kammer 11, wenn die Leitungen 30 und 34 nicht mit den Druckgasleitungen 41 bzw. 39 verbunden sind. Wenn die Leitungen 30 und 34 mit den Druckgasleitungen 41 bzw. 39 verbunden sind, dann kommt eine Dichtung 54 (F i g. 3) in der Wand der beiden Anschlußstutzen 40 und 38 der Druckgasleitungen 41 und 39 mit den Leitungen

ίο 30 und 34 in Eingriff.

Im Betrieb der in Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform enthält der Träger 10 in der Kammer 11 ein Werkstück 12, das durch die Haltefeder 19 festgehalten wird. Soll das Werkstück 12 im Träger 10

is aus der Kammer 11 heraus nach der Transportbahn 35 bewegt werden, die ein Teil der Haupttransportbahn ist, an der der Träger angeschlossen ist, dann wird der Träger 10, wie in F i g. 3 gezeigt, auf den Schienen 36 und 37 aufgesetzt. In dieser Lage ist die Druckgasleitung 39 mit der Leitung 34 und die Druckgasleitung 41 mit der Leitung 30 verbunden. Außerdem wird die Verriegelung 50 durch den Betätigungshebel 52 unwirksam gemacht.

Demgemäß wird nunmehr die Dichtung 15 mittels des

Handgriffes 17 gedreht, so daß die ^Λ"ν.ν^ 14 nicht länger gesperrt ist. Dann wird das Ventil 45. das beispielsweise über eine Datenverarbeitungsanlage geste'»ert wird, damit das Werkstück 12 zu einem gewünschten Zeitpunkt vom Träger 10 an die

Transportbahn 35 abgegeben wird, geöffnet und das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft wird den Herausblasdüsen 27 in der Grundplatte 18 der Kammer 11 des Trägers 10 und den Herausblasdüsen 46 auf der Transportbahn zugeführt. Durch dieses unter Druck

stehende Gas bewegt sich das Werkstück 12 von der Kammer 11 des Trägers 10 zur Transportbahn 35 und wird von dort durch das den Herausblasdüsen 46 und entsprechenden, in der Haupttransportbahn angeordneten Düsen zugeführte, unter Druck stehende Gas, weiter bewegt.

Ist die Bearbeitung des Werkstückes 12, das der Transportbahn 35 zugeführt wurde, beendet, oder soll ein weiteres Werkstück von der Transportbahn 35 in den Träger 10 hineinbewegt werden, dann wird das

Ventil 45 gesperrt und das Ventil 42 geöffnet Dadurch wird aber das Werkstück 12 von der Transportbahn 35 nach der Kammer 11 des Trägers 10 bewegt. Dann wird die Dichtung 15 mittels des Handgriffes 17 in die Abdichtposition gebracht wodurch die Öffnung 14

versperrt wird. Dann kann der Träger 10 von Hand oder

automatisch von den Schienen 36 und 37 abge' Dmmen und an einen gewünschten anderen Ort gebracht werden.

In Fig.4 bis 7 ist ein Träger 60 dargestellt bei dem

die Haltefeder 19 und die drehbare Dichtung 15 nicht benutzt werden. Verwendet man daher den Träger 60 zusammen mit einer Transportbahn 61, an der der Träger 60 lösbar angebracht ist benötigt man keine Verriegelungsbetätigung.

Der Träger 60 enthält eine Kammer 62, in der das Werkstück 12 auf einer als Luftlager ausgebildeten Grundplatte 63 angeordnet ist die die Unterseite der Kammer 62 bildet Der Träger 60 weist eine öffnung 64 (Fig.6 und 7) auf, durch die das Werkstück 12 in die

es Kammer 62 eingeführt oder aus ihr entnommen werden kann.

Eine Dichtung 65, die aus einem geeigneten elastischen Material, wie z. B. Gummi besteht dient zum

Verschließen der öffnung 64. Die Dichtung 65 hat einen Durchlaß 66, an dessen einem Ende über eine Leitung 67 (vergl. Fig.4) ein Vakuum angelegt werden kann, während das andere Ende verschlossen ist. Wird an den Durchlaß 66 ein Vakuum angelegt, dann ändert sich die Querschnittsfläche des Durchlasses 66 von einer im wesentlichen kreisförmigen oder elliptischen Form durch Zusammenklappen der Dichtung 65 in eine praktisch waagrechte Form, so daß sich die Dichtung 65 aus ihrer Sperrposition (F i g. 7), in der sie tatsächlich die Öffnung 64 verschließt, in eine Position bewegt, in der die Öffnung 64, wie in F i g. 6 gezeigt, nicht gesperrt ist.

Die Dichtung 65 kann daher nur dann unwirksam gemacht werden, wenn über die Vakuumleitung 67 am Durchlaß 66 ein Vakuum angelegt ist. Das ist jedoch nur dann möglich, wenn der Träger 60 auf einem Tragbügel 68 aufsitzt, der mit Schrauben 68' an der Transportbahn angeschraubt ist.

Die Grundplatte 63 der Kammer 62 weist eine Anzahl längs der Mittellängsachse der Grundplatte angeordneter Hineinblasdüsen 69 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft in einer Richtung ausströmen kann, in der das Werkstück 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 hineingefördert wird. Dieses unter Druck stehende Gas oder diese Druckluft wird den Düsen 69 über eine Leitung 70 zugeführt. Wenn daher das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft über die Leitung 70 zugeleitet wird, dann wird das Werkstück 12 durch den Überdruck auf Abstand von der Grundplatte 63 gehalten und in die Kammer 62 des Träge*·* 60 hineinbefördert. Dies ist jedoch nur dann möglich, wenn die Leitung 70 an einer äußeren Quelle für ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft angeschlossen ist.

Die Grundplatte 63 weist außerdem Herausblasdüsen

72 auf, durch die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft mit einer solchen Richtung zugeführt wird, daß das Werkstück Ϊ2 aus der Kammer 62 des Trägers 60 herausgefördert wird, während das Werkstück 12 gleichzeitig einen Abstand von der Grundplatte 63 hält In F i g. 4 sind die Herausblasdüsen 72 in zwei parallelen Reihen angeordnet, wobei je eine Reihe auf jeder Seite der Reihe von Hineinblasdüsen 69 und zu dieser Reihe parallel angeordnet ist Da hier nur eine einzige Reihe von Hineinblasdüsen 69 und zwei Reihen von Herausblasdüsen 72 vorgesehen sind, kann das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft ständig über die Hineinblasdüsen 69 zugeführt werden, wenn der Träger 60 mit der Transportbahn 61 verbunden ist da der durch die Herausblasdüsen 72 erzeugte Druck stärker ist als der durch die Hineinblasdüsen 69 erzeugte Druck und damit das Werkstück 12 aus dem Träger 60 herausbefördert Jede andere Anordnung kann ebenfalls benutzt werden, vorausgesetzt daß das aus den Herausblasdüsen 72 ausströmende Gas das Werkstück 12 aus der Kammer 62 heraus und das Von den Hineinblasdüsen 69 zugeführte Gas das Werkstück 12 in die Kammer 62 hineinbefördert

Die Herausblasdüsen 72 sind an einer Leitung 73 angeschlossen, über die ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft zugeführt werden kann. Dies ist selbstverständlich nur dann möglich, wenn die Leitung

73 an einer entsprechenden Quelle angeschlossen ist Wie in Fi g. 4 gezeigt weist die Grundplatte 63 eine

erste Gruppe von Zentrierdüsen auf, die in einem Paar zueinander paralleler Reihen auf der Außenseite jeder¹ der zwei Reihen der Düsen 72 und parallel zu diesen angeordnet sind. Die Zentrierdüsen 75 sind mit der Leitung 70 verbunden, da diese Leitung ständig ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft nach den angeschlossenen Düsen 69 liefert. Die Zentrierdüsen stehen daher immer dann unter Druck, wenn dem Träger 60 ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft zugeführt wird. Die Düsen 75 richten den Gasstrom gegeneinander und unterstützen dabei die Wirkung, durch die das Werkstück 12 in einem Abstand von der Grundplatte 63 gehalten wird.

to Die Grundplatte 63 weist eine zweite Gruppe von Zentrierdüsen 77 auf, die in zwei ebenfalls zueinander parallelen Reihen angeordnet sind, wobei jede der Reihen mit den Düsen 77 außerhalb der Reihen der Düsen 75 lieg* und parallel zu diesen verläuft Die Zentrierdüsen 77 sind in gleicher Weise wie die Zentrierdüsen 75 mit der Leitung 70 verbunden.

Die Zentrierdüsen 75 werden nur dann zum Zentrieren des Werkstücks 12 verwendet, wenn dieses eine vorbestimmte Größe, beispielsweise einen Durch messer von 57, i 5 mm aufweist Die Zcturicfdüseri 77 werden nur dann eingesetzt, wenn das Werkstück 12 einen vorherbestimmten größeren Durchmesser von beispielsweise 82,55 mm aufweist. Das heißt aber, daß jeweils nur eine der Gruppen von Düsen 75 oder 77 eingesetzt wird.

Es sei darauf hingewiesen, daß der Träger 60 für die Benutzung mit einem Werkstück 12 vorgegebener Größe ausgelegt ist Das heißt daß der Träger 60 entweder ein Werkstück mit einem Durchmesser von 57,15 mm oder ein Werkstück mit einem Durchmesser von 82,55 mm, nachfolgend »kleinerer« bzw. »größerer« Durchmesser genannt, fördern kann. Wenn also das Werkstück 12 einen geringeren Durchmesser hat dann sind die Düsen 77 nicht an der Leitung 70 angeschlossen,

js obgleich sie an sich in der Grundplatte 63 vorgesehen sind. In gleicher Weise sind die Zentrierdüsen dann, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist, ebenfalls nicht an der Leitung 70 angeschlossen, obgleich die Düsen in der Grundplatte 63 vorhanden sind.

Die Grundplatte 63 weist ein erstes Paar Halteanschläge 78 auf, die mit dem Werkstück 12 dann zusammenarbeiten, wenn es einen kleineren Durchmesser aufweist An den Halteanschlägen 78 wird über eine Vakuumleitung 79 ein Vakuum angelegt Wenn also über die Leitung 79 ein Vakuum an den Halteanschlägen 78 liegt dann wird dadurch die Bewegung des Werkstücks 12, wenn es durch die Hineinblasdüsen 69 in die Kammer 62 des Trägers 60 hineingefördert wird,

so abgebremst

Die Grundplatte 63 weist zwei weitere Halteanschläge Sl auf, die hinter den Halteanschlägen 78 in Richtung des Einlaufens des Werkstückes 12 in die Kammer 62 und geringfügig innerhalb der Halteanschläge 78 liegen (vergl. Fi g. 4). Das zweite Paar von Halteanschlägen ist an einer Vakuumleitung 82 angeschlossen, über die ein Vakuum an die Halteanschläge 81 angelegt und das Werkstück 12 dann anhält, wenn das Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser aufweist

§o Wenn das Werkstück einen kleineren Durchmesser hat, dann sind auf der Grundplatte 63 ein Paar Haltestifte 82 angeordnet Diese Haltestifte weisen jeweils einen Schlitz 85 zur Aufnahme der Kante des Werkstücks 12 auf.

Ist ein Werkstück 12 durch die Halteanschläge 81 in

^! der Weise angehalten, daß die Kante des Werkstücks 12 ' in den Schlitzen 85 der Haltestifte 84 liegt dann wird ein'

Paar zurückziehbarer Stifte 86 durch Bohrungen 87 in

der Grundplatte 63 so lange nach oben bewegt, daß der Schlitz 88 eines jeden dieser Stifte 86 das Werkstück 12 ergreift. Jeder dieser zurückziehbaren Stifte ist dabei einstückig mit einer Membrane 89 verbunden, der über die Leitung 67 ein Vakuum zugeleitet werden kann. Die Stifte 86 sind daher mit dem Werkstück 12 nur dann in Eingriff, wenn die Dichtung 65 verschlossen ist, wodurch die Einlaßöffnimg 64 der Kammer 62 des Trägers 60 verschlossen ist.

Wie in F i g. 4 gezeigt, werden die Leitungen 67, 70, 73,79 und 82 von einer Grundplatte 90 getragen, auf der eine mit Bohrungen und Offnungen versehene, der Verteilung von Druckluft und Vakuum dienende Dichtung 91 angeordnet ist. Die Dichtung 91 wirkt dabei mit den Auslässen der Leitungen 67, 70, 73, 79 und 82 zusammen und steuert das Anlegen von Vakuum und unter Druck stehendem Gas oder Druckluft durch eine Zwischenplatte 92, die für eine Verbindung mit den verschiedenen Düsen in der Grundplatte 63 oberhalb der Dichtung 91 und unterhalb der Grundplatte 63 liegt.

Die Grundplatte 63 weist zwischen ihrer Oberfläche und einer Abdeckung 94, die eine offene Unterseite zur Bildung der Kammer 62 des Trägers zwischen der Abdeckung 94 und der Grundplatte 63 aufweist, eine Dichtung 93 an allen Seiten der Grundplatte mit Ausnahme der Seite mit der Einlaßöffnung 64 auf.

Wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist, wie dies beispielsweise durch gestrichelte Linien in F i g. 5 gezeigt ist, dann treten die Haltestifte 84 nicht in Erscheinung. Statt dessen werden Haltestifte 96 benutzt, die genauso aufgebaut sind wie die Haltestifte 84 und mit der Kante des Werkstücks 12 in größerer Entfernung von der Einlaßöffnung 64 als die Haltestifte 84 in Eingriff kommen können.

Die Haltestifte 96 wirken mit einem ersten Paar von Halteanschlägen 97 in der Grundplatte 63 zusammen, welche weiter entfernt angeordnet sind als ein zweites Paar von Haiteanschiägen 38 in der Grundplatte 63. Die Halteanschläge 97 sind mit der Vakuumleitung 79 verbunden und die Halteanschläge 98 mit der Vakuumleitung 82. Somit kann jedes der Paare von Halteanschlägen 97 und 98 nur dann wirksam werden, wenn an entsprechenden Vakuumleitungen 79 bzw. 82 ein Vakuum anliegt

Es sei darauf verwiesen, daß die Halteanschläge 78 und 81 nur bei einem Werkstück 12 von kleinerem Durchmesser wirksam sind. In gleicher Weise werden die Halteanschläge 97 und 98 nur dann benutzt, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist

Die Verteilerdichtung 91 ist dabei so aufgebaut, daß sie sich für klemere öder größere Werkstücke 12 eignet Hat beispielsweise das Werkstück 12 einen kleineren PurchmessCT, dann.kanri über die Verteilerdichtung 91 die Vakiranüeitung" 79 an den Haiteanschiägen 78 und die; Vakuumleitühg 82 an den Hälteanschlägen 81 angeschlossen; werden. Hat das Werkstück einen größeren' Durchmesser, dann gestattet die Verteilerdichtung 91 eine Verbindung der Vakuumleitung 79 bit den Haiteanschiägen 97 und der Vakuumleitung 82 nur ink: den Hajteatnschläjjen 98. Fig.4 zeigt eine Verteiferdichtung^l für "Werkstücke 12 von kleinerem Durchmesser. ^{;: ;} " ^r ' ~

Der Träger 60 kann mit der Transportbahn 61 lösbar verbünden semrisf der Träger 60 mit der Trarisportbahn 6t lösbar verBunde^ dann liegtder Träger 60 auf einer' Konsole 68 der' Transpbrtbahn 61 auf. Die^; Transportbahn 61weist efneriEmläßschlitz99 auf. über den das Werkstück 12 auf die Transportbahn 6t gegeben oder , von ihr entnommen werden kann. Die Zwischenplatte 92 des Trägers 60 weist halbkreisförmige Schlitze 99' auf, die über die Köpfe der Schrauben 68' passen, wenn der Träger 60 auf der Konsole 68 der Trarisportbahn 61 aufliegt.

Liegt der Träger W) auf der Konsole 68 auf, dann ist die Leitung 73 mit der Leitung 100, die Vakiuimleitung 82 mit der Vakuumleitung 101, die Druckgas- oder Druckluftleitung 70 mit der Druckgas- oder Druckluftleitung 102, die Vakuumleitung 67, mit der Vakuumleitung 103 und die Vakuumleitung 79 mit der Vakuumleitung 104 verbunden. Jede der Leitungen 100 bis 104 weist eine innenliegende Dichtung 105 auf, die mit dem äußeren Umfang der dort eingeschobenen Leitung in Eingriff kommt, wenn der Träger 60 auf der Konsole 58 aufliegt. Der Träger 60 ist damit durch die enge Passung der Leitungen 73,82,70,67 und 79 in den Leitungen 100 bis 104 fest mit der Transportbahn 61 verriegelt.

Die Leitung iöö enthält ein Steuerventil iö6, durch das das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft über Düsen 107 in der Transportbahn 6i geregelt werden kann. Die über die Düsen 107 zugeführte Druckluft weist die gleiche Richtung auf wie die aus den Düsen 72 in der Grur.dplattr ^e? d" Trägers 60 austretende Druckluft. Die über die Leitung 100 zugeführte Druckluft bewirkt dabei, daß das Werkstück 12 von dem Träger 60 zur Transportbahn 61 und von der Transportbahn 61 zur Haupttransportbahn gefördert wird.

Die Vakuumleitung 109 enthält ein Ventil 108, über das das an die Vakuumleitung 82 anlegbarc Vakuum gesteuert werden kann. Dies ist dann der Fall, wenn das Werkstück 12 durch das zweite Paar von Vakuumanschlagen 81 oder 98 angehalten werden soll. Das Einströmen eines unter Druck stehenden Gases oder von Druckluft durch die Leitung 102 wird durch das Ventil 109 geregelt. Dabei wird das unter Druck stehende Gas oder die Druckluft von der Leitung 102 den Hineinblasdüsen 110 in der Transportbahn 61 zugeleitet wobei das unter Druck stehende Gas in der gleichen Richtung ausströmt, wie aus den Hi.ieinblasdüsen 69 in der Grundplatte 63 des Trägers 60. Durch diese Strömungsrichtung wird das Werkstück 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 hineinbewegt

Das Ventil 111 steuert das Anlegen eines Vakkuums über die Vakuumleitung 103. Dieses Vakuum liegt an der Vakuumleitung 67 des Trägers 60 und nimmt die Dichtung 65 in ihre Offenstellung mit, so daß damit die öffnung 64 nicht gesperrt und die zurückziehbaren Stifte 86 zurückgezogen sind.

In der Leitung 104 liegt ein Ventil 112, das das Anlegen eines Vakuums an die Vakuumleitung 79 des Trägers 60 steuert Durch dieses Vakuum werden auch die Halteanschläge 78 oder 97 wirksam gemacht, die das Anhalten der Bewegung des Werkstücks 12 in die Kammer 62 des Trägers 60 unterstützen.

Die Transportbahn 61 weist außerdem eine erste Gruppe von Zentrierdüsen Ü3 ,auf. Diese werden immer dann verwendet wenn die Düsen 75 in Betrieb sind. Dies ist der Fall, wenn das ,Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser aufweist Die Transportbahn 61 weist eine zweite Gruppe von Zentrierdüsen 114 auf, die immer dann benutzt werden, wenn die Zentrierdüsen 77 des Trägers 60 verwendet werden. Dies ist der FaIL wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist Die Düsen 113 und 114 sind mit der Leitung 102 verbunden; : . .-'··" ■-..-..

Im Betrieb der in den Fig.4 bis 7 dargestellten Ausführungsform liegt ein Werkstück 12 in der Kammer 62 des Trägers 60 und wird durch die zurückziehbaren Stifte 86 und die Haltestifte 84 oder 96 in der gewünschten Position gehalten, je nachdem, ob der Träger 60 für ein Werkstück 12 von kleinem oder großem Durchmesser benutzt werden soll. Somit sind die Stifte 96 in der Grundplatte 63 des Trägers 60 nur dann vorgesehen, wenn das Werkstück 12 einen größeren Durchmesser aufweist und die Stifte 84 sind dann in der Grundplatte 63 des Trägers 60 vorgesehen, wenn das Werkstück 12 einen kleineren Durchmesser aufweist.

Soll das in dem Träger 60 befindliche Werkstück 12 aus der Klammer 62 zur Transportbahn 61 bewegt werden, dann wird der Träger 60 auf die Konsole 68 aufgesetzt. In dieser Position sind die Leitungen 73,82, 70,67 und 78 mit den Leitungen 100 bis 104 verbunden. Iw dieser Position wird dann ein Schalter 115(Fi g. 5) durch den Träger 6ü betätigt. Der Träger 60 weist einen Schlitz 116 iFig. 4) mit einer Nockenfläche 117 in der Grundplatte 90 auf und stellt damit sicher, daß zuerst der Träger 60 voll auf die Konsole 68 aufgesetzt sein muß, bevor der Schalter 115 betätigt werden kann. Wird der Schalter 115 betätigt, dann gibt er ein Signal ab, durch das die Ventile 106, 108, 109, 111 und 112 über eine geeignete Steuereinrichtung, wie z. B. eine Datenverarbeitungsanlage geöffnet oder geschlossen werden können. Da ein unter Druck stehendes Gas oder Druckluft den Zentrierdüsen 75 oder 77 zugeführt werden muß, bevcr das Werkstück 12 von dem Träger 60 entfernt werden kann, muß zunächst das Ventil 109 geöffnet werden·. Durch öffnen des Ventils 109 gelangt Druckgas oder Druckluft außerdem an die Düsen 110 und die Zentrierdüsen 113 oder 114 in der Transportbahn 61.

Durch öffnen des Ventils 106 liefert die Leitung 100 z.B. Druckluft an die Herausblasdüsen 107 und unterstützt damit die Bewegung des Werkstücks 12 von der Transportbahn 61 zur Haupttransportbahn. Dabei sind zwei Reihen von Herausblasdüsen 107 und nur eine einzige Reihe von Hineinblasdüsen 110 vorgesehen, so daß die durch die Herausblasdüsen 107 austretende Druckluft für eine Bewegung des Werkstückes 12 von der Transportbahn 61 zur Haupttransportbahn eine größere Kraft ausübt als die durch die Hineinblasdüsen 110 erzeugte Kraft.

Wenn daher die Dichtung 65 in ihrer Offenstellung liegt, so daß die öffnung 64 nicht gesperrt und die Stifte 86 zurückgezogen sind, dann fördert die aus den Herausblasdüsen 72 austretende Druckluft das Werkstück 12 von der Kammer 62 des Trägers 60 zur Transportbahn 61, worauf das Werkstück 12 wiederum durch die aus den Herausblasdüsen 107 und die entsprechenden Düsen in der Haupttransportbahn austretende Druckluft weiterbefördert wird. Wird die Anwesenheit des Werkstücks 12 in der Haupttransportbahn durch geeignete Mittel festgestellt, dann wird das in der Leitung 100 befindliche Ventil Ip6 .gesperrt, wodurch die an die Herausblasdüsen 72 und 107 gelieferte Druckluft gesperrt wird. Das in der Leitung 102 befindliche Ventil 109 und das in der Leitung 103 befindliche Ventil 111 werden ebenfalls geschlossen. Durch Schließen des in der Leitung 102 befindlichen Ventils 109 wird die den Hineinblasdüsen 69 und JlO sowie den Zentrierdüsen 75 oder 77 und «Jen Zentrierdüsen 113 oder 114 zugeführte Druckluft abgesperrt. Durch Schließen des in der Vakuumieitupg , 103 liegenden Ventils 111 geht die Diohtung 65 wieder t, ihre, in F i g. 7 dargestellte geschlossene Position zurück und die Stifte 86 gehen in ihre Halteposition über.

Wenn ein Werkstück 12 von der Transportbahn 61 s nach dem Träger 60 bewegt werden soll, werden beispielsweise in der Transportbahn 61 angeordnete Halteanschläge unwirksam gemach* und es werden entweder Halteanschläge 78 für esn Werkstück 1$ mit kleinerem Durchmesser oder die Halteanschläge 97 für

ίο ein Werkstück 12 mit größerem Durchmesser durch öffnen des Ventils 112 in der Leitung 104 und Anlegen eines Vakuums betätigt. -

Wenn daher das Werkstück 12 von der Transportbahn 61 zur Kammer 62 des Trägers 60 bewegt wird, dann wird seine Bewegung durch die Halteanschläge 78 oder 97 verlangsamt oder angehalten. Anschließend werden durch öffnen des Ventils 108 in der Leitung 101 die Halteanschläge 81 oder 98, je nach der Größe des durch den Träger 60 zu transportierenden Werkstücks oeiäiigi. Diese Betätigung kann beispielsweise einen vorbestimmten Zeitabschnitt nach der Betätigung der Halteanschiäge 78 oder 97 erfolgen oder, wenn eine Vakuumfühlvorrichtung abgefühlt hat, daß das Werkstück 12 an den Halteanschlägen 78 oder 97 angekommen ist.

Nachdem durch öffnen des Ventils 108 in der Leitung 101 ein Vakuum an die Halteanschläge 81 oder 98 angelegt wurde und das Vakuum von den Halteanschlägen 78 oder 97 durch Schließen des in der Leitung 104 angeordneten Ventils 112 abgesperrt wurde, müssen die zurückziehbaren Stifte 86 im Zusammenwirken mit den Haltestiften 84 oder 96, abhängig von der Größe des durch den Träger 60 zu transportierenden Werkstückes 12 nach oben bewegt werden. Dies wird dadurch erreicht, daß das in der Leitung 103 angeordnete Ventil 111 geschlossen wird, so daß das über die Leitung 67 zugeführte Vakuum nicht länger an den Membranen 89 anliegt Sobald das Vakuum nicht mehr über die Leitung 67 angelegt ist, wird gleichzeitig auch die Dichtung 65 in ihre in F i g. 7 dargeste'lte geschlossene Position zurückgeführt

Gleichzeitig mit dem in der Leitung 103 liegenden Ventil 111 wird das in der Leitung 101 angeordnete Ventil 108 geschlossea Damit wird also das Vakuum von den Halteanschlägen 81 oder 98 abgenommen, wenn das über die Leitung 67 angelegte Vakuum abgeschaltet wird, so daß dann die zurückziehbaren Stifte 86 mit den Haltestiften 84 oder 96 das Werkstück 12 in einer festen Lage oberhalb der Grundplatte 63

so halten.

Wenn das Werkstück 12 zwischen den Stiften 86 und den Stiften 84 oder 96 gehalten ist, dann wird das in der Leitung 102 befindliche Ventil 109 geschlossen. Dadurch wird die den Hineinblasdüsen 69 und den Zentrierdüsen 75 oder 77 im Träger 60 und den Düsen 110 sowie den Zentrierdüsen 113 oder 114 in der Transportbahn zugeführte Druckluft abgestellt

Ist die Dichtung 65 geschlossen und wird das Werkstück 12 zwischen den zurückziehbaren Stiften 86 und den Haltestiften 84 oder 96 festgehalten, dann liegt das Werkstück 12 im Träger 60 fest, so daß der Träger 60 von Hand, oder automatisch von der Konsole 68 abgenommen und nach jedem gewünschten Ort gebracht werden kann. Nach Abnehmen des Trägers 60

65- von der Konsole 68 stellt der Schalter 115 dieses * ■· Abnehmen fest «nd verhindert, daß eines der Ventile

' 106,108,109,111 und 112 in den Leitungen 100 bis 104 geöffnet wird.

Selbstverständlich ist in jeder der Leitiinjren 67, 70, 73, 79 und 82 jeweils ein Filter vorgesehen, das eine' ' Verunreinigung der im Träger 60 votgesehenen' ^: Kammer 62 verhindert, wenn die Leitungen 73, 82, 70, 67 und 79 nicht mit den jeweiligen Leitungen llOO bis 104 verbunden sind. Dadurch erhält man eiiie Abdichtung der Kammer 62.

Ein Kennzeichnungsschiki 119* kann zur Keürizeichnung des Trägers 60 auf einer der Seitenwände der Grundplane 90 angebracht sein, wie dies Fi g. 5 zeigt Das Kennzeichnungsschild 119' enthält vorzugsweise maschinenlesbare Angaben für den Träger (50, so daß der Träger 60 über eine automatische Steuerung zum gewünschten Zeitpunkt selbsttätig auf die Konsole 68 aufgesetzt werden kann.

In den F i g. 8 bis 15 ist ein Träger 120 dargestellt, der ähnlich aufgebaut ist wie der Träger 10, nur das dia Haltefeder 19 und die drehbare Dichtung 15 nicht verwendet werden. Somit besteht auch hier keine Notwendigkeit, ein Betätigungshebel für eine Verriegelung vorzusehen, wenn die Transportbahn 35 zusammen mit einian Träger 120 benutzt wird.

Der Träger 120 weist eine Kammer 121 auf, die gleichartig aufgebaut ist, wie die Kammer 11 und innerhalb der ein Werkstück 12 auf einer Grundplatte

122 liegt Der Träger 120 weist eine öffnung 123 auf, durch die das Werkstück aus der Kammer herausbefördert oder in die Kammer 121 hineingebracht werden kann.

Eine Dichtung 124, die aus einem geeigneten elastischen Material, wie z. B. Gummi bestehen kann, wird zum Verschließen der öffnung 123 benutzt Die Dichtung 124 weist eine durchgehende Bohrung 125 auf, deren eines Ende über eine der Druckluftleitungen 30 und 34 mit Druckluft versorgt werden kann, während das andere Ende verschlossen ist Wenn Druckluft der durchgehenden Bohrung 125 zugeleitet wird, dann dehnt sich der Querschnitt der Bohrung 125 aus, so daß sich die Dichtung 124 aus ihrer in den Fig. 10 und 11 dargestellten, die öffnung 123 verschließenden Position in eine zweite Position bewegt (F i g. 8 und 9), in der die öffnung 123 nicht verschlossen ist

Die Dichtung kann daher nur dann unwirksam gemacht werden, wenn dem Träger 120 Druckluft zugeführt wird. Dies ist jedoch nur dann der Fall, wenn der Träger 120 auf den Schienen 36 und 37 der Transportbahn 35 in der gleichen Weise aufliegt wie der Träger 10.

Der Betätigungshebel 52 für die Verriegelung wird also dann nicht benutzt wenn anstelle des Trägers 10 der Träger 120 verwendet wird. Natürlich sind die Druckluftleitungen 30 und 34 des Trägeis 120 die gleichen wie die Druckluftleitungen 30 und 34 des Trägers 10.

Anstelle der Feder 19 und ihrer Betätiguii.gsvorrichtung wird das Werkstück 12 zwischen einem feststehenden Puffer 126 (Fig. 12) in dem von der Einlaßöffnung

123 abgelegenen Teil der Kammer 121 und durch ein Paar bewegliche Halterungen 127 festgehalten, die voneinander und Von dem Puffer 126 in einem Winkeläbständ stehen. Der Puffer 126 und die Halterungen 127 bestehen aus einem geeigneten, federnd nachgiebigen oder elastischen Material, wie

z. B.Gummi.

In den F i g. 13 und 14 weist jede der Haltecrungen 127 eine durchgehende, an einem Ende verschlossene Bohrung 128 auf. Wenn dem offenen Ende inner dieser Bohrungen 128 in jeder der Halterungen 12/' Druckluft zugeführt wird, dann bewegt sich die Halterung 127 von ihrer in Fig. 13 dargestellten Position« in der die Halterung 127 am Ende des Werkstücks 12 anliegt in eine Position, m der das Werkstück 12 nicht gehalten ist so daß" dieses von der Kammer 121 nach der Transportbahn 35 oder umgekehrt gefördert werden kann.

Der Träger 120 weist ein Paar Ausnehmungen 129 auf, die mit den unteren Enden der Halterungen 127 zusammenwirken. Das untere Ende einer jeden Halterung 127 erstreckt sich in die entsprechende Ausnehmung 129 dann, wenn die Halterung 127 das Werkstück 12 gegen den Puffer 126 andrückt. Jede der Ausnehmungen 129 weist einen gekrümmten Boden auf, so daß die Schwingbewegung der Halterung 127 zwischen den Positionen der Fig. 13 und 14 nicht verhindert wird.

Die Kammer 121 weist in ihrer Grundplatte 122 Herausblasdüsen 27 auf, die in gleicher Weise wie die Düsen 27 der Grundplatte 18 der Kammer 11 im Träger 10 mit der Druckluftleitung 30 verbunden sind. In gleicher Weise besitzt die Grundplatte 122 Hineinbiasdüscn 32, die an der Druckluftleitung 34 angeschlossen sind.

Der schematische Anschluß der D^'ckl'iftleitung 30 an die Herausblasdüsen 27 und der Dmckluftleitung 34 an die Hineinblasdüsen 32 ist in Fig. 15 gezeigt Ein Doppelventil 130 verhindert jegliche Verbindung zwischen den D-uckluftleitungen 30 und 34. Dadurch ist sichergestellt, daß die Druckluft nicht den jeweils falschen Düsen 27 oder 32 zugeleitet wird, wenn die Druckluft außerdem der Bohrung 125 in der Dichtung 124 und der Bohrung 128 in jeder der Halterungen 127 zugeleitet wird.

Dem Träger 120 kann so lange keine Druckluft zugeführt werden, solange er nicht auf den Schienen 36 und 37 der Transportbahn 35 in gleicher Weise aufliegt wie der Träger 10. Wenn die Druckluft durch öffnen des Ventils 42 oder 45 zugeführt wird, dann wird die Dichtung 124 unwirksam und die Halterungen 127 legen von dem Werkstück 12 ab, so daß das Werkstück 12 schnell und leicht wegbewegt werden kann oder daß eines tzr Werkstücke 12 dem Träger zugeführt werden kann, wenn die Trägerkammer 121 leer ist

Falls erwünscht könnte der Träger 120 auch ein Paar Puffer 126 aufweben, während die Dichtung 124 und die zurückziehbaren Halterungen 127 durch ein einziges aufblasbares Bauteil ersetzt sind. In dieser Anordnung würden die Hakerungen 127 tatsächlich durch die Dichtung 124 ersetzt, so daß diese so angeordnet wäre, daß sie an der Kante des Werkstücks 12 anliegt und dieses innerhalb der Kammer 121 hält und gleichzeitig die Öffnung 123 verschließt

Die vorliegende Erfindung wurde zwar im Zusammenhang mit einem Werkstück 12, das als Halbleiterplättchen dargestellt ist, beschrieben, doch kann das Werkstück 12 an sich jeder beliebige Gegenstand sein, der durch einen Druckluftstrom oder durch einen Strom eines unter Druck stehenden Gases befördert werden soll. Somit ist es nicht unbedingt notwendig, die Kammer 11 im Träger 10, die Kammer 62 im Träger 60 oder die Kammer 121 im Träger 120 abzudichten, wenn es nicht notwendig ist, innerhalb des Trägers 10,60 oder 120 eine reine Atmosphäre aufrecht zu erhalten.

Falls erwünscht, könnte auch der Träger 10 oder der Träger 120, genauso wie der Träger 60 Zentrierdiisen enthalten. Dazu würde man aber entweder eine dritte Leitung benötigen oder das Doppelventil 130 in F i g. 15

könnte mit den Zentrierdüsen verbunden sein.

Ein Vorteil der beschriebenen Vorrichtung liegt darin, daß um das Werkstück herum eine saubere Atmosphäre aufrecht erhalten wird. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß ein Werkstück einer Transportbahn zugeführt oder von ihr entnommen werden kann, ohne daß eine Verunreinigung eintritt Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß zum Einführen oder Auswerfen eines Werkstückes kerne gesonderte Druckluftquellen erforderlich sind. Ein anderer Vorteil ist darin zu sehen, daß

. das Werkstuck dann, wenn es relativ zum Träger . bewegt werden soll, frei schwebend gehalten wird. Insbesondere ist es von Vorteil, daß ein Halbleiterplättchen bei einer automatischen Transport- oder Fördervorrichtung von Hand eingegeben oder entnommen werden kann, Ohne daß dabei das Plättchen selbst berührt werden muß. Weiterhin ist es von Vorteil, daß der Träger nur eine einzige öffnung als Einlaß- oder Auslaß für das Werkstück aufweist. *

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Einfuhren und Entnehmen eines Werkstückes in eine bzw. aus einer mit einem Druckgaslager versehenen Transportbann, dadurch gekennzeichnet,

daß ein Träger (10; 60; 120) mit einer Kammer (11, 62) vorgesehen ist, die eine als Druckgaslager ausgebildete Grundplatte (18) aufweist, und
daß der Träger (10; 60; 120) über eine lösbare Verbindung mit der Transportbahn (35; 6t) an das Druckgassystem der Transportbahn, wahlweise für eine Bewegung eines Werkstückes (12) vom Träger zur Transportbahitbzw. von der Transportbahn zum Träger, anschließbar ist, wobei ein über die Grundplatte zugeführtes Druckgas dieses Werkstück (12) trägt. ,

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Grundplatte (18) zwei einander entgegengesetzt gerichtete Gruppen von Düsen (27, 32) aufweist» die beim Ankoppeln deslTrägers an die gleichartig aufgebaute Transportbahn (35) jeweils für eine Obergabe des Werksjückes aus dem Träger oder für eine Obergabe des Werkstückes an den Träger über die Druckgasleitungen (34, 30) des Trägers mit den die entsprechenden Düsen (43,46) der Transportbahn (35) speisenden Druckgasleitungen (39,41) gekoppelt sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10; 60; 120) eine durch eine Dichtung (i S; 65; 124) abdichtbare und verschließbare öffnung (14; 64; 123) aufweist

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichiung _(15; 65; 124) nur bei angekoppeltem Träger (10; 50; 120) unwirksam gemacht werden kann.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Träger eine Haltevorrichtung (19; 78,81; 84,96) vorgesehen ist, die das Werkstück (12) dann, wenn es nicht bewegt werden soll, in seiner Lage festhält

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (15; 65; 124) und die Haltevorrichtung (19; 78,81; 84,96) gleichzeitig unwirksam gemacht werden können.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig die Dichtung durch ein Vakuum und die Haltevorrichtung durch das Druckgas unwirksam gemacht werden können, das auch den Transport des Werkstückes aus der Kammer des Trägers zur Transpörtbahn bzw. von der Transportbahn in die Kammer des Trägers bewirkt

8. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung drehbar angeordnet und zwischen einer Abdichtstellung und einer Offenstellung verdrehbar ist

9. Vorrichtung nach Anspruch 5 und 8, dadurch gekennzeichnet,, daß in der Kammer (11) eine Haltefeder (19) vorgesehen ist, die gleichzeitig mit der Drehung der Dichtung (15) betätigbar ist.