JP3347528B2 - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JP3347528B2 JP14686895A JP14686895A JP3347528B2 JP 3347528 B2 JP3347528 B2 JP 3347528B2 JP 14686895 A JP14686895 A JP 14686895A JP 14686895 A JP14686895 A JP 14686895A JP 3347528 B2 JP3347528 B2 JP 3347528B2
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク、レチク
ル等の原版を扱う半導体製造装置における、レチクル搬
送等の自動化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子の微細化に伴い、レチ
クルへの異物付着を防止するため、半導体製造装置内の
レチクルを収納するレチクルカセットからレチクルを抜
き出し、露光位置まで人手を介さず自動的に搬送する装
置が開発されている。また、レチクルへの異物付着をな
くすために、オペレータがレチクルの使用回数を管理
し、定期的にレチクルの洗浄、レチクルの異物付着検
査、レチクル上のパターン欠損検査等の検査を行なって
いる。
【０００３】このような作業環境および装置環境におい
て、レチクル洗浄装置、レチクル異物付着検査装置、レ
チクルパターン欠損検査装置等の装置で使用するレチク
ルカセットは、それぞれの装置特有の形状を有し、かつ
統一性がなく、また互換性もない。 このため、レチク
ルをレチクル洗浄装置によって洗浄した後、半導体製造
装置内にレチクルを装着する場合は、レチクル洗浄装置
専用のレチクルカセットから半導体製造装置専用のレチ
クルカセットにレチクルの入換えを行なわなければなら
ない。この入換えは、オペレータが、レチクルが入った
レチクルカセットと、半導体製造装置専用の空のレチク
ルカセットを異物の少ないクリーンルーム内に持ち込
み、そこで行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記作
業によれば、レチクル交換のたびにオペレータがクリー
ンルームに行かなければならないため、使用するレチク
ルの増大にともない、レチクル交換に費やすオペレータ
の作業量も増大するという問題が生じている。また、人
手によりレチクルの移し換えを行なうため、注意して行
なっても異物付着量をある一定量以下にできないという
問題も発生している。
【０００５】作業量の減少および異物付着の減少を目的
として、レチクル移換え装置等が作られているが、この
装置においても、レチクルを入れ換えるべきカセットを
装着するための作業が発生する。また、オペレータがカ
セットを装着するため、オペレータの作業ミスにより、
移し換える必要のないレチクルまで移換え作業を行なっ
てしまい、半導体製造装置上に目的以外のレチクルがセ
ットされてしまう場合もある。これにより、半導体製造
装置の動作停止および誤動作が発生する等の問題も生じ
ている。
【０００６】また、レチクル移換え装置を、クリーンル
ーム内に設置しなければならないため、クリーンルーム
を必要以上に大きくしなければならず、装置や設備のコ
ストアップにもなっている。
【０００７】本発明の目的は、前出従来技術の問題点に
鑑み、半導体製造装置において、レチクル等の原版の移
換え、入換え等の工程をより効率化し、また、異物の付
着を減少させることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、原版を収納する第１のカセットを収納
するカセット収納手段と、前記第１のカセットとは形状
が異なる第２のカセットを搭載するカセット搭載台と、
前記原版を使用する際あるいは前記原版に所定の処理を
行う際に前記原版を保持する原版ステージと、前記原版
を固定する搬送ハンドと前記搬送ハンドの向きを変える
回転駆動部と前記搬送ハンドを水平方向に前進および後
退させる水平駆動部を有し、前記原版ステージと前記カ
セット収納手段間および前記原版ステージと前記カセッ
ト搭載台間で前記原版を搬送する搬送手段と、前記原版
に関する情報を記憶する記憶手段とを備え、前記搬送手
段は、前記記憶手段により記憶された前記原版に関する
情報に基づいて、前記原版ステージ上の前記原版を前記
搬送ハンドに固定し、前記水平駆動部により前記搬送ハ
ンドを後退させてから、前記回転駆動部により前記ハン
ドの向きを前記第１のカセットまたは前記第２のカセッ
トの方向に変え、前記水平駆動部により前記搬送ハンド
を前進させることで、前記原版ステージと前記カセット
収納手段間または前記原版ステージと前記カセット搭載
台間で前記原版を搬送することを特徴としている。ここ
で、前記第２のカセットは複数の原版を収納するとよ
く、前記カセット収納手段は前記第１のカセットを複数
収納するとよい。
【０００９】また、前記装置で使用あるいは処理された
原版が、前記第１のカセットまたは前記第２のカセット
のどちらへ戻ったかをオペレータに知らせる表示手段を
有することを特徴としている。
【００１０】また、搬送手段は、情報として、装置を管
理している上位の演算装置から送られてくる情報を使用
するか、または装置内に記憶されている情報を使用する
かを判断していずれかを使用するものであることを特徴
としている。
【００１１】
【作用】この構成において、カセット収納手段に装着さ
れたカセットから搬出された原版は、搬送手段により装
置内に搬送され処理される。
【００１２】処理された原版は、演算装置により搬送手
段を制御する制御手段に送られてきた原版管理情報と装
置内にすでに存在している原版管理情報のうち、選択し
た原版管理情報により、再度同じ装置で使用するため
に、搬出されたもとのカセットに戻すか、またはカセッ
ト形状の異なる装置にて使用するために、形状の異なる
カセットに戻すかを判断する。
【００１３】判断された原版は、オペレータによって選
択された原版管理情報に従い、それぞれのカセットに戻
される。
【００１４】搬送手段により、原版がカセット搬送手段
上のカセットに戻ると制御手段は原版が、どのカセット
に戻ったかをオペレータに知らせるために、原版の戻っ
たカセットを表示手段によって表示する。
【００１５】したがって、人手および特別な装置を使用
することなく原版の処理が終了した後に、次に使用する
装置を自動で判断し、次に使用する装置に装着できるカ
セットに自動で原版を移し換えることが可能となり、原
版の移し換え時に発生する異物付着を防止することが可
能となる。
【００１６】また、装置内の情報をもとに原版を入れ換
えているため、原版の入換え作業ミス等による装置停止
を防止することが可能となり、かつオペレータの作業量
を減少させるとともに、装置の稼働率およびオペレータ
の作業効率を向上させることが可能となる。
【００１７】
【実施例】
［実施例１］以下、図を用いて本発明の実施例を説明す
る。
【００１８】図１は、本発明の第１の実施例に係る半導
体製造装置のレチクル搬送に係る部分を示す斜視図であ
る。図２は、図１の半導体製造装置内のレチクルの動き
を示す図であり、装置の上から見た様子を示す。
【００１９】図１において、６はレチクル、２はレチク
ルを収納するレチクルカセットである。本装置はレチク
ルカセット２を複数収納することができる。７はカセッ
トライブラリ、３はカセットライブラリ７に付属するカ
セット開閉機構、５はレチクルカセット２とは形状の異
なるカセット４を上蓋４ａと下皿４ｂに開閉するカセッ
ト開閉機構、１２はカセット４を載せることが可能なカ
セット搭載台、９はレチクルをその上に搭載して露光を
行なうためのレチクルステージ、１はカセット２および
カセット４からレチクルを真空吸着して搬出または搬入
するレチクルハンド、８はカセット２の方向、カセット
４の方向、レチクルステージ９の方向等へレチクルハン
ド１の向きを変える回転駆動と、レチクルハンド１を水
平方向へ伸び縮みさせる水平駆動と、レチクルハンド１
を上下させる垂直駆動とが可能なレチクルハンド駆動
部、１１はレチクルハンド駆動部８、カセットライブラ
リ７およびカセット搭載台１２の制御を行なう制御部、
１０はレチクルハンド１の動作状態およびレチクルが搬
入または搬出されたカセットを表示する表示部である。
【００２０】制御部１１は、上位の演算装置２３に接続
されており、上位の演算装置２３には半導体製造装置を
複数台接続することが可能である。また、形状の異なる
カセット４は、レチクル洗浄機で使用しているカセット
と同じ形状をしている。
【００２１】次に、図１および図２を用いて装置の動作
を説明する。半導体製造装置上でレチクルを使用するた
めに、オペレータが半導体製造装置に、レチクル６を収
納したカセット２を装着すると同時に、カセット搭載台
１２上に、レチクル洗浄機で使用している空のカセット
４を装着し、そして制御部１１と表示部１０を操作し、
半導体製造装置にレチクル搬入操作を開始させると、半
導体製造装置は、使用するレチクル管理情報を選択する
ために、演算装置２３から送られてきたレチクル管理情
報が有るかを確認する。
【００２２】演算装置２３からのレチクル管理情報があ
る場合は、それを制御部１１内に読み込む。演算装置２
３からのレチクル管理情報がない場合は、すでに装置内
に記憶されているレチクル管理情報を制御部１１内に読
み込む。
【００２３】制御部１１は、レチクル管理情報を読み込
むと、カセットライブラリ７を、カセット２をレチクル
ハンド１と同じ高さの位置に移動させ、カセット開閉機
構３によりカセット２の扉を開く。
【００２４】カセット２の扉が開くと、レチクルハンド
１を、カセット２の方向に回転させ、そして前進および
上方向へ駆動させてカセット２内へ挿入し、レチクルハ
ンド１によりカセット２内のレチクル６を真空吸着して
レチクルハンド１に固定する。レチクル６を真空吸着し
て固定すると、レチクルハンド１を後退させるとともに
レチクルステージ９の方向へ回転させ、さらに前進およ
び下方向へ駆動させ、そして後退させることにより、レ
チクルステージ９上にレチクル６を搬送する。これによ
り、レチクル６は、図２におけるカセット２の位置より
矢印１３の方向に移動し、レチクルステージ９上に搬送
されたことになる。
【００２５】レチクルステージ９上にレチクル６が搬送
されると、制御部１１は、レチクル６のレチクル管理情
報内の使用回数データを書き換え、レチクル使用回数を
更新して管理する。使用したレチクル管理情報が、上位
の演算装置２３から送られてきたものである場合は、更
新したレチクル管理情報を演算装置２３に戻す。
【００２６】レチクル６の使用を終了し、レチクル６を
カセット２に回収するため、オペレータが制御部１１と
表示部１０を用いて、半導体製造装置からレチクル６を
搬出する操作を開始させると、制御部１１はレチクル管
理情報内のレチクル使用回数を確認する。
【００２７】レチクル使用回数がレチクル使用限度以内
であれば、制御部１１はレチクルを搬入した動作と逆の
動作を行なうことにより、レチクルステージ９からカセ
ット２へレチクル６を回収し、同時に、カセット２内に
レチクル６が回収されたことを表示部１０に表示する。
この動作は、図２上の矢印１４に相当し、これにより、
レチクルステージ９上からカセット２上にレチクル６が
回収されたことになる。
【００２８】レチクル管理情報内のレチクル使用回数が
レチクル使用限界の使用回数と同じ場合は、制御部１１
はレチクルハンド１を制御し、カセット４側にレチクル
６を回収する。すなわち、レチクルハンド１を、レチク
ルステージ９の方向に回転させ、レチクルハンド９を前
進および上方向へ駆動させ、レチクル６を真空吸着によ
って固定し、そして後退およびカセット４の方向に回転
させる。レチクルハンド１が、カセット４の方向に回転
すると、カセット開閉機構５によりカセット４の上蓋４
ａ、下皿４ｂを開く。カセット４が開状態になると、レ
チクルハンド１を、前進および下方向へ駆動させ、レチ
クル６を下皿４ｂ上に置く。下皿４ｂ上にレチクル６を
置くと、レチクルハンド１を後退させ、開閉機構５によ
りカセット４を閉じる。カセット４の閉動作が完了する
と、レチクル６が、搬出されたカセット２上には戻ら
ず、カセット４上に回収されたことを表示部１０上に表
示する。また、表示部１０には、レチクル６が洗浄の必
要なレチクルであることも表示する。
【００２９】この動作は、図２上の矢印１６に相当し、
これにより、レチクルステージ９からカセット４上にレ
チクル６を回収したことになる。
【００３０】オペレータが、レチクル洗浄機（不図示）
によって、レチクル６を洗浄し、レチクル６を半導体製
造装置に搬入する場合は、レチクル洗浄機から取り出し
たカセット４を、カセット搭載台１２上に置く。また、
同時に、空のカセット２をカセットライブラリ７にセッ
トする。
【００３１】半導体製造装置にこれらのカセットを装着
した後、オペレータが制御部１１と表示部１０を操作
し、半導体製造装置へのレチクル搬入操作を開始する
と、装置で使用するレチクル管理情報を選択するため
に、半導体製造装置は、上位の演算装置２３から送られ
てきたレチクル管理情報が有るかを確認する。
【００３２】演算装置２３からのレチクル管理情報があ
る場合は、演算装置２３からのレチクル管理情報を制御
部１１内に読み込む。演算装置２３からのレチクル管理
情報がない場合は、すでに装置内にあるレチクル管理情
報を制御部１１内に読み込む。
【００３３】レチクル管理情報を読み込むと、制御部１
１は、カセット搭載台１２のカセット開閉駆動部５によ
り、カセット４の上蓋４ａと下皿４ｂを開く。カセット
４が開くと、レチクルハンド１をカセット４の方向へ回
転させ、その後、前進および上方向へ駆動させ、レチク
ル６を真空吸着して固定する。
【００３４】レチクル６を真空吸着して固定すると、レ
チクルハンド１を後退およびレチクルステージ９方向へ
回転させ、さらに前進および下方向へ駆動させ、そして
後退させることにより、レチクルステージ９上にレチク
ル６を搬送する。
【００３５】この動作により、レチクル６は、図２にお
けるカセット４の位置より矢印１５の方向に移動し、レ
チクルステージ９に搬送されたことになる。
【００３６】レチクルステージ９上にレチクル６が搬送
されると、制御部１１は、レチクル６のレチクル管理情
報内の従来の使用回数データを消去して、新規にレチク
ル使用回数を管理する。使用したレチクル管理情報が、
演算装置２３から送られてきたものである場合は、更新
したレチクル管理情報を演算装置２３に戻す。
【００３７】レチクル６の使用を終了し、レチクル６を
カセットに回収するため、オペレータは制御部１１と表
示部１０を用いて、半導体製造装置からレチクル６を搬
出する操作を開始させると、制御部１１は、レチクル管
理情報内のレチクル使用回数を確認する。
【００３８】レチクル使用回数が、レチクル使用限度以
内であれば、制御部１１はレチクルを搬入した動作と逆
の動作を行なうことによりレチクルステージ９からカセ
ット２へレチクル６を回収し、カセット２にレチクル６
が回収されたことを表示部１０に表示する。この動作
は、図２上の矢印１４に相当し、これにより、レチクル
ステージ９上からカセット２上にレチクル６が回収され
たことになる。
【００３９】［実施例２］図３は、本発明の第２の実施
例に係る半導体製造装置のレチクル搬送に係る部分を示
す斜視図である。本実施例と第１の実施例との異なる点
は、図１の形状の異なるカセット４が、複数枚レチクル
６を収納できるカセット１９にかわったところであり、
カセット４、カセット搭載台１２およびカセット開閉駆
動部５にかわり、複数枚レチクル６が収納できるカセッ
ト１９、カセット１９が収まるカセット上カバー１７お
よびカセットカバー開閉機構１８を有し、カセットカバ
ー開閉機構１８はカセット１９が載せられているカセッ
ト台２０と、カセット上カバー１７の開閉を行なうこと
である。カセット台２０上に載せられたカセット１９
は、エレベータ機構２２と搭載台２１によって、Ｚ方向
すなわち上下方向に移動する。カセット１９は、レチク
ル異物検査装置等で使用しているカセットと同じ形状を
している。
【００４０】次に、図３を用いて装置の動作について説
明する。半導体製造装置上でレチクルを使用するため
に、オペレータは使用するレチクル６をレチクル異物検
査装置（不図示）で異物の付着について検査を行なう。
検査を終了したレチクル６はカセット１９に収まり、カ
セット１９はカセット台２０およびカセット上カバー１
７内に保持される。
【００４１】オペレータは、カセット台２０およびカセ
ット上カバー１７によって保持されたカセット１９を半
導体製造装置に装着すると同時に、カセットライブラリ
７に、半導体製造装置で標準カセットとして使用してい
る空のカセット２を装着し、そして制御部１１と表示部
１０を操作し、半導体製造装置にレチクル搬入操作を開
始させると、半導体製造装置は、使用するレチクル管理
情報を選択するために、演算装置２３から送られてきた
レチクル管理情報があるかを確認する。
【００４２】演算装置２３からのレチクル管理情報があ
る場合は、それを制御部１１内に読み込む。演算装置２
３からのレチクル管理情報がない場合は、すでに装置内
に記憶されているレチクル管理情報を制御部１１内に読
み込む。
【００４３】制御部１１は、レチクル管理情報を読み込
むと、カセットカバー開閉機構１８を、カセット上カバ
ー１７とカセット台２０とに分離し、カセット１９が分
離および下降可能な状態になる。
【００４４】カセット１９が、分離および下降可能な状
態になると、エレベータ機構２２は搭載台２１を下降さ
せ、オペレータが選択したカセット１９内のレチクル６
が入っている位置と、レチクルハンド１の位置が同じ高
さになるまで搭載台２１を移動させる。
【００４５】エレベータ機構２２が、搭載台２１をレチ
クルハンド１と同じ高さに移動すると、レチクルハンド
１はカセット１９の方向に回転させ、そして前進および
上方向へ駆動させてカセット２内へ挿入し、レチクルハ
ンド１によりカセット２内のレチクル６を真空吸着して
レチクルハンド１に固定する。レチクル６を真空吸着し
て固定すると、レチクルハンド１を後退させるとともに
レチクルステージ９の方向へ回転させ、さらに前進およ
び下方向へ駆動させ、そして後退させることにより、レ
チクルステージ９上にレチクル６を搬送する。
【００４６】これにより、レチクル６はカセット１２の
位置より、レチクルステージ９上に搬送されたことにな
る。
【００４７】レチクルステージ９上にレチクル６が搬送
されると、制御部１１は、レチクル６のレチクル管理情
報内のデータを書き換え、異物付着検査終了後のレチク
ル使用回数、次に使用される装置等のデータを更新して
管理する。使用したレチクル管理情報が、上位の演算装
置２３から送られてきたものである場合は、更新したレ
チクル管理情報を演算装置２３に戻す。
【００４８】レチクル６の使用を終了し、レチクル６を
カセットに回収するため、オペレータが制御部１１と表
示部１０を用いて、半導体製造装置からレチクル６を搬
出する操作を開始させると、制御部１１はレチクル管理
情報内のレチクル使用回数、次に使用される装置等のデ
ータを確認する。
【００４９】レチクル６の使用に関して、再度、同じ装
置を使用するのであれば、制御部１１はレチクルステー
ジ９からレチクル６を搬入した動作と逆の動作を行な
い、カセット１１にレチクル６を収納し、カセット１１
内にレチクル６が回収されたことを表示部１０に表示す
る。
【００５０】これにより、レチクルステージ９上からカ
セット１１上にレチクル６が回収されたことになる。
【００５１】また、次に使用する装置が異なる場合は、
制御部１１は、レチクルハンド１を制御し、カセット２
にレチクル６を回収する。
【００５２】レチクルハンド１を、レチクルステージ９
の方向に回転させ、そして前進および上方向へ駆動させ
てカセット２内へ挿入し、レチクルハンド１によりカセ
ット２内のレチクル６を真空吸着してレチクルハンド１
に固定し、後退およびカセット２の方向に回転する。
【００５３】レチクルハンド１がカセット２の方向に回
転すると、カセットライブラリ７はカセット開閉機構３
を用いて、カセットを開く。カセットが開くと、レチク
ルハンド１は前進および下方向へ駆動され、レチクル６
をカセット２内に置く。カセット２内にレチクル６を置
くと、レチクルハンド１は後退する。レチクルハンド１
が後退すると、カセットライブラリ７のカセット開閉機
構３は、カセット２を閉じる。カセット２が閉じると、
レチクル６が搬出されたカセット１９には戻らず、カセ
ット２上に回収されたことを表示部１０上に表示する。
また、表示部１０には、レチクル６を他の装置に移動す
る必要があることも表示する。
【００５４】これにより、レチクルステージ９からカセ
ット２上にレチクル６を回収したことになる。
【００５５】オペレータが、他の装置から取り出したレ
チクル６を半導体製造装置に搬入する場合は、他の装置
から取り出したカセット２を、カセットライブラリ７上
に置く。また、同時に、カセット１９を保持したカセッ
ト台２０およびカセット上カバー１７を、搭載台２１上
に搭載する。
【００５６】半導体製造装置にこれらのカセット１９を
装着した後、オペレータが制御部１１と表示部１０を操
作し、半導体製造装置へのレチクル搬入操作を開始する
と、装置で使用するレチクル管理情報を選択するため
に、半導体製造装置は、演算装置２３から送られてきた
レチクル管理情報が有るかを確認する。
【００５７】演算装置２３からのレチクル管理情報があ
る場合は、演算装置２３からのレチクル管理情報を制御
部１１内に読み込む。演算装置２３からのレチクル管理
情報がない場合は、すでに装置内にあるレチクル管理情
報を制御部１１内に読み込む。
【００５８】レチクル管理情報を読み込むと、制御部１
１は、カセットライブラリ７内のカセット２をレチクル
ハンド１と同じ高さの位置に移動させる。カセット２が
この位置に移動すると、カセット開閉駆動部５がカセッ
ト２の扉を開く。 カセット２の扉が開くと、レチクル
ハンド１をカセット２の方向へ回転させ、その後、前進
および上方向へ駆動させ、レチクル６を真空吸着して固
定する。
【００５９】レチクル６を真空吸着して固定すると、レ
チクルハンド１を後退およびレチクルステージ９方向へ
回転させ、さらに前進および下方向へ駆動させ、そして
後退させることにより、レチクルステージ９上にレチク
ル６を搬送する。
【００６０】この動作により、レチクル６は、カセット
２の位置よりレチクルステージ９に搬送されたことにな
る。
【００６１】レチクルステージ９上にレチクル６が搬送
されると、制御部１１はレチクル６のレチクル管理情報
内のデータを書き換え、異物付着検査終了後のレチクル
６のレチクル管理情報のレチクル使用回数、次に使用さ
れる装置等のデータを更新して管理する。レチクル管理
情報が、演算装置２３から送られてきたレチクル管理情
報を使用していた場合は、この動作により更新されたレ
チクル管理情報を、演算装置２３に戻す。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１のカセットとは形状が異なる第２のカセットを装着
する手段を備え、搬送手段は、装置内での使用・処理の
ために第１カセットから取り出した使用原版を、装置内
で使用・処理した後、装置が記憶しているその使用原版
に関する情報に基づき、その使用原版を、第１カセット
に戻すかまたは第２カセットに戻すか判断して第１カセ
ットまたは第２カセットに搬送するため、レチクル等の
原版の移換え、入換え等の工程をより効率化し、オペレ
ータの作業ミス等による装置停止、誤動作等を防止する
ことができる。
【００６３】また、異物の少ない半導体製造装置内で原
版の移し換えを行なっているため、原版の移換え時に発
生する異物の付着を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例に係る半導体製造装置
のレチクル搬送に係る部分を示す斜視図である。
【図２】 図１の半導体製造装置のレチクルの動作を示
す平面図である。
【図３】 本発明の第２の実施例に係る半導体製造装置
のレチクル搬送に係る部分を示す斜視図である。
【符号の説明】
１：レチクルハンド、２：カセット、３：カセット開閉
機構、４：形状の異なるカセット、４ａ：異なる形状の
カセットの上蓋、４ｂ：異なる形状のカセットの下皿、
５：カセット開閉駆動部、６：レチクル、７：カセット
ライブラリ、８：レチクルハンド駆動部、９：レチクル
ステージ部、１０：表示部、１１：制御部、１２：カセ
ット搭載台、１３：レチクルをカセットからレチクルス
テージに搬送する搬送経路を示す矢印、１４：レチクル
をレチクルステージからカセットに搬送する搬送経路を
示す矢印、１５：形状の異なるカセットからレチクルス
テージにレチクルを搬送する搬送経路を示す矢印、１
６：レチクルステージから形状の異なるカセットにレチ
クルを搬送する搬送経路を示す矢印、１７：カセット上
カバー、１８：カセットカバー開閉機構、１９：カセッ
ト、２０：カセット台、２１：搭載台、２２：エレベー
タ機構、２３：上位の演算装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/027 B65G 49/07 H01L 21/68

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 原版を収納する第１のカセットを収納す
    るカセット収納手段と、 前記第１のカセットとは形状が異なる第２のカセットを
    搭載するカセット搭載台と、 前記原版を使用する際あるいは前記原版に所定の処理を
    行う際に前記原版を保持する原版ステージと、 前記原版を固定する搬送ハンドと前記搬送ハンドの向き
    を変える回転駆動部と前記搬送ハンドを水平方向に前進
    および後退させる水平駆動部を有し、前記原版ステージ
    と前記カセット収納手段間および前記原版ステージと前
    記カセット搭載台間で前記原版を 搬送する搬送手段と、 前 記原版に関する情報を記憶する記憶手段とを備え、前 記搬送手段は、前記記憶手段により記憶された前記原
    版に関する情報に基づいて、前記原版ステージ上の前記
    原版を前記搬送ハンドに固定し、前記水平駆動部により
    前記搬送ハンドを後退させてから、前記回転駆動部によ
    り前記ハンドの向きを前記第１のカセットまたは前記第
    ２のカセットの方向に変え、前記水平駆動部により前記
    搬送ハンドを前進させることで、前記原版ステージと前
    記カセット収納手段間または前記原版ステージと前記カ
    セット搭載台間で前記原版を搬送することを特徴とする
    半導体製造装置。
  2. 【請求項２】 前記第２のカセットは複数の原版を収納
    することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装
    置。
  3. 【請求項３】 前記カセット収納手段は前記第１のカセ
    ットを複数収納することを特徴とする請求項１または２
    に記載の半導体製造装置。
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