JP3269879B2 - レチクル供給装置 - Google Patents
レチクル供給装置Info
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- JP3269879B2 JP3269879B2 JP13901993A JP13901993A JP3269879B2 JP 3269879 B2 JP3269879 B2 JP 3269879B2 JP 13901993 A JP13901993 A JP 13901993A JP 13901993 A JP13901993 A JP 13901993A JP 3269879 B2 JP3269879 B2 JP 3269879B2
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- Japan
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/7075—Handling workpieces outside exposure position, e.g. SMIF box
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等にレ
チクルやマスク等の基板を自動的に供給するためのレチ
クル供給装置に関するものである。
チクルやマスク等の基板を自動的に供給するためのレチ
クル供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の多様化に伴って半導
体製造装置の汎用化が進み、多種類のレチクルやマスク
等の基板のなかから各露光工程に必要なものを自動的に
選択して迅速に供給するレチクル供給装置が要求されて
いる。
体製造装置の汎用化が進み、多種類のレチクルやマスク
等の基板のなかから各露光工程に必要なものを自動的に
選択して迅速に供給するレチクル供給装置が要求されて
いる。
【０００３】レチクル供給装置は、一般的に、レチクル
やマスク等（以下、「レチクル等」という。）を入れた
カセットを多数収納して待機させる収納棚と、収納棚か
ら所望のカセットを取りだすカセットハンドと、取りだ
されたカセットを開くカセット開閉装置と、開かれたカ
セットからレチクル等を取りだして露光装置へ移送する
レチクルハンドからなり、収納棚は垂直方向に配列され
た多数のスロットを有する。各スロットの位置は、これ
に収納されるレチクル名とともにコンピュータのレチク
ルファイルに記憶され、露光装置から次工程に必要なレ
チクル名がコンピュータに送信されると、コンピュータ
はレチクルファイルによって該レチクル名を検索し、こ
れを収納したスロットを見つけてカセットハンドを駆動
し、該スロットのカセットを取りだしてカセット開閉装
置へ移送する。なお、カセットハンドは、これを駆動す
るロボットとともに、収納棚に沿って垂直方向に往復移
動するエレベータに支持されており、コンピュータの指
令によってまずエレベータが駆動され、カセットハンド
を所定のスロットの高さまで移動させたうえで、前述の
ロボットが駆動され、カセットハンドが前記スロットか
らカセットを取りだす動作を行うように構成されてい
る。
やマスク等（以下、「レチクル等」という。）を入れた
カセットを多数収納して待機させる収納棚と、収納棚か
ら所望のカセットを取りだすカセットハンドと、取りだ
されたカセットを開くカセット開閉装置と、開かれたカ
セットからレチクル等を取りだして露光装置へ移送する
レチクルハンドからなり、収納棚は垂直方向に配列され
た多数のスロットを有する。各スロットの位置は、これ
に収納されるレチクル名とともにコンピュータのレチク
ルファイルに記憶され、露光装置から次工程に必要なレ
チクル名がコンピュータに送信されると、コンピュータ
はレチクルファイルによって該レチクル名を検索し、こ
れを収納したスロットを見つけてカセットハンドを駆動
し、該スロットのカセットを取りだしてカセット開閉装
置へ移送する。なお、カセットハンドは、これを駆動す
るロボットとともに、収納棚に沿って垂直方向に往復移
動するエレベータに支持されており、コンピュータの指
令によってまずエレベータが駆動され、カセットハンド
を所定のスロットの高さまで移動させたうえで、前述の
ロボットが駆動され、カセットハンドが前記スロットか
らカセットを取りだす動作を行うように構成されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、露光装置の汎用化が進
むにつれて、これに用いるレチクル等が多種類となり、
各露光工程に必要なものを迅速に選別して供給するのが
困難になる。すなわち、収納棚の各スロットからカセッ
トを取りだすにはまずエレベータによってカセットハン
ドを垂直方向に移動させなければならず、収納棚のスロ
ットの数が増えると、エレベータによってカセットハン
ドが上下動する距離が長くなり迅速な供給作業を行うこ
とができない。また、収納棚のスロットに新たなカセッ
トを補充する作業も、コンピュータに記憶されたレチク
ル名と新たなカセットのレチクル名を照合する必要があ
るため、多くの人手と時間を必要とする。
の技術によれば、前述のように、露光装置の汎用化が進
むにつれて、これに用いるレチクル等が多種類となり、
各露光工程に必要なものを迅速に選別して供給するのが
困難になる。すなわち、収納棚の各スロットからカセッ
トを取りだすにはまずエレベータによってカセットハン
ドを垂直方向に移動させなければならず、収納棚のスロ
ットの数が増えると、エレベータによってカセットハン
ドが上下動する距離が長くなり迅速な供給作業を行うこ
とができない。また、収納棚のスロットに新たなカセッ
トを補充する作業も、コンピュータに記憶されたレチク
ル名と新たなカセットのレチクル名を照合する必要があ
るため、多くの人手と時間を必要とする。
【０００５】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、収納棚から所定のレチク
ルを取りだして露光装置等へ供給する作業をより迅速に
行うことのできるレチクル供給装置を提供すことを目的
とするものである。
に鑑みてなされたものであり、収納棚から所定のレチク
ルを取りだして露光装置等へ供給する作業をより迅速に
行うことのできるレチクル供給装置を提供すことを目的
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１のレチクル供給装置は、それぞれ所定
のレチクル名のレチクルを入れた複数のレチクル収容容
器を個別に収納自在な複数のスロットを有する収納手段
と、前記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を
搬出する搬出手段と、前記レチクル収容容器の搬出回数
を各前記レチクル名ごとに集計する集計手段と、前記集
計手段により集計された結果に基づいて前記レチクル収
容容器を収納するスロット位置を指定する指定手段と、
前記レチクル収容容器が搬出される度に前記レチクル名
ごとに前記搬出回数および前記指定手段によって指定さ
れた前記スロット位置を示すレチクル使用履歴リストを
作成する手段からなる。
に、本発明の第１のレチクル供給装置は、それぞれ所定
のレチクル名のレチクルを入れた複数のレチクル収容容
器を個別に収納自在な複数のスロットを有する収納手段
と、前記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を
搬出する搬出手段と、前記レチクル収容容器の搬出回数
を各前記レチクル名ごとに集計する集計手段と、前記集
計手段により集計された結果に基づいて前記レチクル収
容容器を収納するスロット位置を指定する指定手段と、
前記レチクル収容容器が搬出される度に前記レチクル名
ごとに前記搬出回数および前記指定手段によって指定さ
れた前記スロット位置を示すレチクル使用履歴リストを
作成する手段からなる。
【０００７】第２のレチクル供給装置は、それぞれ所定
のレチクル名のレチクルを入れた複数のレチクル収容容
器を個別に収納自在な複数のスロットを有する収納手段
と、前記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を
搬出する搬出手段と、前記レチクル収容容器から前記レ
チクルを取り出して前記レチクルを露光装置へ搬送する
ために、前記搬出手段により搬出された前記レチクル収
容容器を開けるレチクル収容容器開閉手段と、前記レチ
クル収容容器の搬出回数を各前記レチクル名ごとに集計
する集計手段と、前記集計手段により集計された結果に
基づき、前記レチクル収容容器開閉手段の位置に対し
て、前記レチクル収容容器を収納するスロット位置を指
定する指定手段からなる。また、前記搬出手段は、指定
された前記スロット位置に前記レチクル収容容器を入れ
かえるように構成されており、前記収納手段は、前記レ
チクル収容容器を入れかえる際に前記レチクル収容容器
を待避させるための待避スロットを有するものとする。
のレチクル名のレチクルを入れた複数のレチクル収容容
器を個別に収納自在な複数のスロットを有する収納手段
と、前記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を
搬出する搬出手段と、前記レチクル収容容器から前記レ
チクルを取り出して前記レチクルを露光装置へ搬送する
ために、前記搬出手段により搬出された前記レチクル収
容容器を開けるレチクル収容容器開閉手段と、前記レチ
クル収容容器の搬出回数を各前記レチクル名ごとに集計
する集計手段と、前記集計手段により集計された結果に
基づき、前記レチクル収容容器開閉手段の位置に対し
て、前記レチクル収容容器を収納するスロット位置を指
定する指定手段からなる。また、前記搬出手段は、指定
された前記スロット位置に前記レチクル収容容器を入れ
かえるように構成されており、前記収納手段は、前記レ
チクル収容容器を入れかえる際に前記レチクル収容容器
を待避させるための待避スロットを有するものとする。
【０００８】
【作用】レチクルを入れたレチクル収容容器はレチクル
名ごとに指定されたスロットへ収納される。露光装置等
からの指令によって所定のレチクル名のレチクル収容容
器が収納手段から搬出されると、その度ごとに、搬出さ
れたレチクル収容容器のレチクル名が記憶され、それま
でに搬出された同レチクル名のレチクル収容容器の数が
集計手段によって集計される。指定手段は、集計手段に
よって集計されたレチクル収容容器の数の多い順に、搬
出手段の操作時間が短くてすむスロット位置を指定す
る。指定されたスロット位置にレチクル収容容器を収納
すれば、搬出手段の操作時間が短くてすむためレチクル
の供給に要する時間を短縮できる。
名ごとに指定されたスロットへ収納される。露光装置等
からの指令によって所定のレチクル名のレチクル収容容
器が収納手段から搬出されると、その度ごとに、搬出さ
れたレチクル収容容器のレチクル名が記憶され、それま
でに搬出された同レチクル名のレチクル収容容器の数が
集計手段によって集計される。指定手段は、集計手段に
よって集計されたレチクル収容容器の数の多い順に、搬
出手段の操作時間が短くてすむスロット位置を指定す
る。指定されたスロット位置にレチクル収容容器を収納
すれば、搬出手段の操作時間が短くてすむためレチクル
の供給に要する時間を短縮できる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１０】図１は一実施例によるレチクル供給装置を
説明するもので、レチクル供給装置は、基板であるレチ
クルを入れたレチクル収容容器であるカセットＡを収納
して待機させる収納手段である収納棚１と、収納棚１か
ら所望のカセットを取りだす搬出手段であるカセットハ
ンド２、取りだされたカセットを開くカセット開閉装置
３、および開かれたカセットからレチクルを取りだして
露光装置４へ移送するレチクルハンド５からなる搬送手
段と、収納棚１は垂直方向に配列された多数のスロット
１１〜４０を有し、各スロット１１〜４０の垂直方向の
位置（以下、「棚位置」という。）はこれに収納された
カセットの基板名であるレチクル名とともにコンピュー
タ６のレチクルファイル７ａ（図２に示す）に記憶され
る。カセットハンド２は、収納棚１に沿って上下動する
エレベータ２ａに支持されており、エレベータ２ａに設
けられたロボット２ｂによって収納棚１からカセットを
取りだしてカセット開閉装置３へ移送する作業を行う。
説明するもので、レチクル供給装置は、基板であるレチ
クルを入れたレチクル収容容器であるカセットＡを収納
して待機させる収納手段である収納棚１と、収納棚１か
ら所望のカセットを取りだす搬出手段であるカセットハ
ンド２、取りだされたカセットを開くカセット開閉装置
３、および開かれたカセットからレチクルを取りだして
露光装置４へ移送するレチクルハンド５からなる搬送手
段と、収納棚１は垂直方向に配列された多数のスロット
１１〜４０を有し、各スロット１１〜４０の垂直方向の
位置（以下、「棚位置」という。）はこれに収納された
カセットの基板名であるレチクル名とともにコンピュー
タ６のレチクルファイル７ａ（図２に示す）に記憶され
る。カセットハンド２は、収納棚１に沿って上下動する
エレベータ２ａに支持されており、エレベータ２ａに設
けられたロボット２ｂによって収納棚１からカセットを
取りだしてカセット開閉装置３へ移送する作業を行う。
【００１１】露光装置４から次工程に必要なレチクル名
がコンピュータ６に送信されると、コンピュータ６はレ
チクルファイル７ａによって該レチクル名を検索し、こ
れを収納したスロットを見つけてエレベータ２ａを駆動
し、カセットハンド２を該スロットの棚位置へ移動させ
る。次いで、ロボット２ｂによってカセットハンド２を
略水平方向へ移動させ、スロットからカセットを取りだ
してこれをカセット開閉装置３へ移送する。カセット開
閉装置３によってカセットが開かれると、レチクルハン
ド５が駆動され、カセットからレチクルを取りだして露
光装置４へ移動させる。
がコンピュータ６に送信されると、コンピュータ６はレ
チクルファイル７ａによって該レチクル名を検索し、こ
れを収納したスロットを見つけてエレベータ２ａを駆動
し、カセットハンド２を該スロットの棚位置へ移動させ
る。次いで、ロボット２ｂによってカセットハンド２を
略水平方向へ移動させ、スロットからカセットを取りだ
してこれをカセット開閉装置３へ移送する。カセット開
閉装置３によってカセットが開かれると、レチクルハン
ド５が駆動され、カセットからレチクルを取りだして露
光装置４へ移動させる。
【００１２】収納棚１の各スロット１１〜４０はそれぞ
れ収納されたカセットのレチクル名を識別する図示しな
いセンサを有し、コンピュータ６は各センサの出力に基
づいてレチクルファイル７ａを作成し、前述のように、
露光装置４から送信されるレチクル名をレチクルファイ
ル７ａによって検索し、エレベータ２ａおよびロボット
２ｂを駆動する。コンピュータ６は、さらに、図３に示
すように、収納棚１から露光装置４へ供給されたレチク
ルのレチクル名を供給された日時とともに記憶する使用
レチクルリスト８と、これに基づいて各レチクル名ごと
にレチクルの使用回数を計算する集計手段と、これを表
示するレチクル使用履歴リスト９を有し、レチクル使用
履歴リスト９は、レチクルの使用回数の多いレチクル名
を検索し、カセット開閉装置３に近いスロット位置に変
更する指令を発生するように構成されている。すなわ
ち、レチクル使用履歴リスト９には、各レチクル名ごと
にレチクルを収納させるスロットを指令する指定手段で
ある指定スロット欄が設けられており、使用回数の多い
レチクルがレチクル収納容器開閉手段であるカセット開
閉装置３から遠いスロット位置にある場合には、より近
いスロット位置になるように指定スロット欄の指定スロ
ットを変更する。つまり、前記集計手段により集計され
た結果に基づき、前記レチクル収容容器開閉手段の位置
に対して、前記レチクル収容容器を収納するスロット位
置を指定する指定手段を具備する。そして、収納棚１に
新たなカセットが補充されたとき、レチクル使用履歴リ
スト９の指定スロット欄に基づいてコンピュータ６がカ
セットハンド２を駆動し、カセットの入れかえを行う。
れ収納されたカセットのレチクル名を識別する図示しな
いセンサを有し、コンピュータ６は各センサの出力に基
づいてレチクルファイル７ａを作成し、前述のように、
露光装置４から送信されるレチクル名をレチクルファイ
ル７ａによって検索し、エレベータ２ａおよびロボット
２ｂを駆動する。コンピュータ６は、さらに、図３に示
すように、収納棚１から露光装置４へ供給されたレチク
ルのレチクル名を供給された日時とともに記憶する使用
レチクルリスト８と、これに基づいて各レチクル名ごと
にレチクルの使用回数を計算する集計手段と、これを表
示するレチクル使用履歴リスト９を有し、レチクル使用
履歴リスト９は、レチクルの使用回数の多いレチクル名
を検索し、カセット開閉装置３に近いスロット位置に変
更する指令を発生するように構成されている。すなわ
ち、レチクル使用履歴リスト９には、各レチクル名ごと
にレチクルを収納させるスロットを指令する指定手段で
ある指定スロット欄が設けられており、使用回数の多い
レチクルがレチクル収納容器開閉手段であるカセット開
閉装置３から遠いスロット位置にある場合には、より近
いスロット位置になるように指定スロット欄の指定スロ
ットを変更する。つまり、前記集計手段により集計され
た結果に基づき、前記レチクル収容容器開閉手段の位置
に対して、前記レチクル収容容器を収納するスロット位
置を指定する指定手段を具備する。そして、収納棚１に
新たなカセットが補充されたとき、レチクル使用履歴リ
スト９の指定スロット欄に基づいてコンピュータ６がカ
セットハンド２を駆動し、カセットの入れかえを行う。
【００１３】次に、収納棚１に新たなカセットを補充す
る手順を図４に基づいて説明する。
る手順を図４に基づいて説明する。
【００１４】ステップ１において収納棚１の任意のスロ
ットにそれぞれカセットが挿入されると、コンピュータ
６は前述のセンサによって各カセットのレチクル名を識
別し、これに基づいてレチクルファイル７ｂを作成す
る。ステップ２でレチクルファイル７ｂとレチクル使用
履歴リスト９の指定スロット欄を照合し、ステップ３で
レチクルファイル７ｂ内のレチクル名がレチクル使用履
歴リスト９の指定スロット欄にあるか否かを確認したう
えで（ステップ４）、レチクル使用履歴リスト９の指定
スロット欄から指定スロットを検索し（ステップ５）、
これに基づいてエレベータ２ａおよびロボット２ｂを駆
動し、補充されたカセットを指定されたスロットに入れ
かえる（ステップ６）。このとき、指定されたスロット
に前回に補充されたカセットが残っていれば、これを収
納棚１の最下段に設けられた待避スロット４１へ移動さ
せたのち、新たなカセットを挿入する。カセットの入れ
かえの完了と同時に各スロット１１〜４０に収納された
カセットのレチクル名が確認され、レチクルファイル７
ａの再作成が行われ（ステップ７）、以後、露光装置４
から指令がある度に、コンピュータ６がレチクルファイ
ル７ａから必要なレチクルを入れたカセットを検索し、
カセットハンド２を駆動して所定のスロットからカセッ
トを取りだす。
ットにそれぞれカセットが挿入されると、コンピュータ
６は前述のセンサによって各カセットのレチクル名を識
別し、これに基づいてレチクルファイル７ｂを作成す
る。ステップ２でレチクルファイル７ｂとレチクル使用
履歴リスト９の指定スロット欄を照合し、ステップ３で
レチクルファイル７ｂ内のレチクル名がレチクル使用履
歴リスト９の指定スロット欄にあるか否かを確認したう
えで（ステップ４）、レチクル使用履歴リスト９の指定
スロット欄から指定スロットを検索し（ステップ５）、
これに基づいてエレベータ２ａおよびロボット２ｂを駆
動し、補充されたカセットを指定されたスロットに入れ
かえる（ステップ６）。このとき、指定されたスロット
に前回に補充されたカセットが残っていれば、これを収
納棚１の最下段に設けられた待避スロット４１へ移動さ
せたのち、新たなカセットを挿入する。カセットの入れ
かえの完了と同時に各スロット１１〜４０に収納された
カセットのレチクル名が確認され、レチクルファイル７
ａの再作成が行われ（ステップ７）、以後、露光装置４
から指令がある度に、コンピュータ６がレチクルファイ
ル７ａから必要なレチクルを入れたカセットを検索し、
カセットハンド２を駆動して所定のスロットからカセッ
トを取りだす。
【００１５】また、収納棚１からカセットが取りだされ
るごとに、図５に示すような手順でレチクル使用履歴リ
スト９の更新が行われる。露光装置４からレチクル搬入
の指令が発生されると（ステップ８）、コンピュータ６
は指令されたレチクル名のレチクルを入れたカセットを
待機させたスロットをレチクルファイル７ａによって検
索し（ステップ９）、エレベータ２ａとロボット２ｂを
駆動する。カセットハンド２が所望のカセットを取りだ
してカセット開閉装置３へ運び、ここでカセットが開か
れてレチクルハンド５によってレチクルが露光装置４へ
搬入されると（ステップ１０）、使用レチクルリスト８
に使用レチクル名が使用された日時とともに記入され、
同時にレチクル使用履歴リスト９のレチクル使用回数の
書きかえと、指定スロットの変更が行われる（ステップ
１１）。例えば、４月１２日の１６時にレチクル名Ｌ２
１６のレチクルが露光装置４へ供給され、レチクル使用
履歴リスト９のレチクル名Ｌ２１６の使用回数が３０か
ら３１へ変更されると、レチクル名Ｌ２１６の指定スロ
ット欄が１６から１７へ、レチクル名Ｌ２１７の指定ス
ロット欄が１７から１６に変更される。このように、レ
チクル使用履歴リスト９は、収納棚１からカセットが取
りだされるごとに搬出された回数に応じて指定スロット
の変更を行うため、次回に収納棚１のスロットにカセッ
トを補充するときにレチクル使用履歴リスト９の指令ス
ロット欄に基づいて前述のようなカセットの入れかえを
行えば、使用回数の多いレチクルほどカセット開閉装置
に近いスロットに待機させることができる。なお、補充
したカセットの入れかえは、前述のようにカセットハン
ドによって自動的に行う替わりに、作業者がレチクル使
用履歴リストを見ながら手作業で行うこともできる。
るごとに、図５に示すような手順でレチクル使用履歴リ
スト９の更新が行われる。露光装置４からレチクル搬入
の指令が発生されると（ステップ８）、コンピュータ６
は指令されたレチクル名のレチクルを入れたカセットを
待機させたスロットをレチクルファイル７ａによって検
索し（ステップ９）、エレベータ２ａとロボット２ｂを
駆動する。カセットハンド２が所望のカセットを取りだ
してカセット開閉装置３へ運び、ここでカセットが開か
れてレチクルハンド５によってレチクルが露光装置４へ
搬入されると（ステップ１０）、使用レチクルリスト８
に使用レチクル名が使用された日時とともに記入され、
同時にレチクル使用履歴リスト９のレチクル使用回数の
書きかえと、指定スロットの変更が行われる（ステップ
１１）。例えば、４月１２日の１６時にレチクル名Ｌ２
１６のレチクルが露光装置４へ供給され、レチクル使用
履歴リスト９のレチクル名Ｌ２１６の使用回数が３０か
ら３１へ変更されると、レチクル名Ｌ２１６の指定スロ
ット欄が１６から１７へ、レチクル名Ｌ２１７の指定ス
ロット欄が１７から１６に変更される。このように、レ
チクル使用履歴リスト９は、収納棚１からカセットが取
りだされるごとに搬出された回数に応じて指定スロット
の変更を行うため、次回に収納棚１のスロットにカセッ
トを補充するときにレチクル使用履歴リスト９の指令ス
ロット欄に基づいて前述のようなカセットの入れかえを
行えば、使用回数の多いレチクルほどカセット開閉装置
に近いスロットに待機させることができる。なお、補充
したカセットの入れかえは、前述のようにカセットハン
ドによって自動的に行う替わりに、作業者がレチクル使
用履歴リストを見ながら手作業で行うこともできる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。
ので、以下に記載するような効果を奏する。
【００１７】収納棚からレチクル等を取りだして露光装
置等へ供給する作業をより迅速に行うことができる。そ
の結果、露光装置等の生産性が向上し、半導体の製造コ
ストを低減できる。
置等へ供給する作業をより迅速に行うことができる。そ
の結果、露光装置等の生産性が向上し、半導体の製造コ
ストを低減できる。
【図１】一実施例を説明する説明図である。
【図２】コンピュータのレチクルファイルを示す図であ
る。
る。
【図３】コンピュータの使用レチクルリストおよびレチ
クル使用履歴リストを示す図である。
クル使用履歴リストを示す図である。
【図４】カセットの入れかえの手順を説明するシーケン
ス図である。
ス図である。
【図５】レチクル使用履歴リストの更新の手順を説明す
るシーケンス図である。
るシーケンス図である。
１ 収納棚 ２ カセットハンド ２ａ エレベータ ２ｂ ロボット ３ カセット開閉装置 ４ 露光装置 ５ レチクルハンド ６ コンピュータ １１〜４０ スロット ７ａ，７ｂ レチクルファイル ８ 使用レチクルリスト ９ レチクル使用履歴リスト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/137 H01L 21/00
Claims (3)
- 【請求項１】 それぞれ所定のレチクル名のレチクルを
入れた複数のレチクル収容容器を個別に収納自在な複数
のスロットを有する収納手段と、前 記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を搬出
する搬出手段と、 前 記レチクル収容容器の搬出回数を各前記レチクル名ご
とに集計する集計手段と、前記集計手段により 集計された結果に基づいて前記レチ
クル収容容器を収納するスロット位置を指定する指定手
段と、 前記レチクル収容容器が搬出される度に前記レチクル名
ごとに前記搬出回数および前記指定手段によって指定さ
れた前記スロット位置を示すレチクル使用履歴リストを
作成する手段 からなるレチクル供給装置。 - 【請求項２】 それぞれ所定のレチクル名のレチクルを
入れた複数のレチクル収容容器を個別に収納自在な複数
のスロットを有する収納手段と、 前記収納手段に収納された前記レチクル収容容器を搬出
する搬出手段と、 前記レチクル収容容器から前記レチクルを取り出して前
記レチクルを露光装置へ搬送するために、前記搬出手段
により搬出された前記レチクル収容容器を開けるレチク
ル収容容器開閉手段と、 前記レチクル収容容器の搬出回数を各前記レチクル名ご
とに集計する集計手段と、 前記集計手段により集計された結果に基づき、前記レチ
クル収容容器開閉手段の位置に対して、前記レチクル収
容容器を収納するスロット位置を指定する指定手段から
なるレチクル供給装置。 - 【請求項３】 前記搬出手段は、指定された前記スロッ
ト位置に前記レチクル収容容器を入れかえるように構成
されており、 前記収納手段は、前記レチクル収容容器を入れかえる際
に前記レチクル収容容器を待避させるための待避スロッ
トを有することを特徴とする請求項１または２記載のレ
チクル供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901993A JP3269879B2 (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | レチクル供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901993A JP3269879B2 (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | レチクル供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06329218A JPH06329218A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3269879B2 true JP3269879B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=15235585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13901993A Expired - Fee Related JP3269879B2 (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | レチクル供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3269879B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999060625A1 (fr) * | 1998-05-20 | 1999-11-25 | Nikon Corporation | Procede et appareil pour le transport de plaquettes, systeme d'exposition, micro dispositif et banque de reticules |
-
1993
- 1993-05-17 JP JP13901993A patent/JP3269879B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06329218A (ja) | 1994-11-29 |
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