CN1852845A - 基片储存盒 - Google Patents

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Abstract

一种基片储存盒，其中，上盖和下盖通过一个铰链相连接，因此可以自如地打开和关闭，基片的上支承件和下支承件从盒盖的内表面伸出。下盖的下支承件对基板的四个角的底面上的两个边缘定位并同时进行支承。当关闭下盖以便储存基片时，在基片的四个角处的顶面上的两个边缘由上盖的上支承件固定。

Description

基片储存盒
技术领域
本发明涉及一种用于储存和携带一个基片(例如用于制造半导体元件或液晶显示器的光掩模或光掩模胚件)的基片储存盒，具体地说，本发明涉及一种用于依次地储存和携带基片的基片储存盒，该盒甚至可以储存和携带具有一个薄膜的光掩模。
相关技术
在一种用来依次地储存和携带基片的常规的基片储存盒中，例如，包括通过铰链连接的一个主体和一个盖体，一个分别装在主体和盖体的内表面上用来固定所储存的物品的固定件，主体和盖体相连接部分的外表面应相互齐平，并且铰链和它的啮合部分设置在一个比连接部分更低的位置上(例如，参照日本已审查的实用新型公开号6-30686)。众所周知，一个储存盒设有一个盒主体，一个盖体，以及一个盖固定带，并通过设置在盒主体和盖体的内面上的对置的销等支承伸出部分、与设置在盒主体上的环绕体，来阻止基片沿上下方向和横向摆动(参照日本未经审查的专利公开号10-142773)。
但是，在日本已审查的实用新型公开号6-30686中所描述的基片储存盒存在以下的问题，当盖体打开时，光掩模或类似物会与主体一起被抬起，因此，污染物将会方便地载留其中并附着在光掩模或类似物上，从而使基片的外观产生缺陷，另一个问题是，由于通过装在支承件内部的圆柱形伸出部分直接按压光掩模的正面和背面来实现光掩模在上，下方向上的支承，从而将使基片受到污染。
在日本未经审查的专利公开号10-142773中所描述的基片储存盒存在以下问题，由于直接按压基片(例如光掩模)的正面和背面，并且使用一个塑料制成的支承伸出部分进行支承，因此，基片将会受到污染，或者支承伸出部分(例如柱)将会发生损坏。
近来，光掩模或类似物品的图形的小型化和高密度导致对其高质量要求的提高，从而导致对光掩模或类似物品的基片储存盒的以下性能提出更高的要求，例如灰尘产生少，防止损坏，防止污染以及便于操作。
如上所述，在常规的基片储存盒内，基片的定位和支承是分别实现的，因此容易产生灰尘，很难保持基片的高质量。
发明简述
根据上述问题，本发明的目的是提供一种用于储存基片(例如光掩模)的廉价基片储存盒，该储存盒自身具有便于清洗，干燥等特性，其中基片储存盒可以在储存和携带过程中防止基片损坏和由于在盒内部产生灰尘而造成的污染，该基片储存盒便于使用并且在基片放入和取出的过程中限制灰尘的产生。
为了解决以上问题，本发明的基片储存盒使用了这样的结构，使得对基片的定位和支承是同时完成的。
本发明提供一种储存有一个具有顶面和底面的基片的储存盒，其形状与基片的形状相符合，该储存盒包括一个上盖和一个下盖，上盖通过一个铰链与下盖相连接，以便自如地打开和关闭下盖，并且在下盖和上盖之间形成一个啮合部分，其中下支承件设置在下盖的多个位置上，每个下支承件都与基片的底面一侧上的一对边缘相接触，而上支承部分设置在上盖的多个位置上，每个上支承件都与基片的顶面一侧上的一对边缘相接触。
本发明提供的基片储存盒，其中，基片和基片储存盒最好是正方形的。
本发明提供的基片储存盒，其中，下支承件和上支承件中的每个支承件最好都包括与一对边缘相接触的一对支承部分。
本发明提供的基片储存盒，其中，在每个下支承件和上支承件中的每一对支承部分最好包括一个与边缘相接触的斜面。
本发明提供的基片储存盒，其中，下盖的下支承件和上盖的上支承件最好是彼此对称地设置，并且具有彼此对称的形状。
本发明提供的基片储存盒，最好还包括一个锁紧件，该锁紧件设置在下盖上的比该盒的厚度方向的中心更靠近下盖侧的位置上，以便将上盖和下盖密封，其中，铰链设置在上盖上的比该盒的厚度方向的中心更靠近上盖侧的位置上。
本发明提供的基片储存盒，其中，在下盖和上盖之间的啮合件最好是从铰链朝锁紧件的方向向下倾斜地延伸，而且下盖的锁紧件这一侧形成一个空间，以便使自动传送臂的指形物从基片的下方插入。
本发明提供的基片储存盒包括一个台阶部分，该台阶部分最好是分别设置在下盖和上盖内的四个角的外表面，该台阶部分可以是从其它部分降下来而成形的。
本发明提供的基片储存盒最好是还包括一个设置在下盖的台阶部分与和下盖的台阶部分相对应的上盖的台阶部分之间的夹紧件，其中，该夹紧件固定并支承该下盖和上盖。
本发明提供的基片储存盒，其中，在下盖和上盖内的凹凸部分最好都是圆形的。
本发明提供的基片储存盒，其中，下盖和上盖最好都是由导电塑料制成的。
本发明提供的基片储存盒，其中，每个下支承件最好是与下盖一起整体成形的，每个上支承件最好是与上盖一起整体成形的。
按照本发明提供的基片储存盒，基片的定位和支承是通过基片四个角处的顶面一侧和底面一侧上的各两个边缘同时实现的，由此，都不是直接地压住基片(例如光掩模)的正面和背面，因此在储存和携带的过程中，由于盒内产生灰尘而导致的基片的损坏或者基片的污染就可以防止。
当打开上盖时，放置基片的下盖不会随上盖而抬起，这样就限制了在放入和取出基片时产生灰尘，并且盒本身具有优良的清洗和干燥等特性。
此外，基片的下支承件和上支承件是分别与下盖和上盖整体成形的，因此增强了下支承件和上支承件的刚性，并且防止了它们损坏。由此防止了因支承件损坏而导致的基片的损坏和污染。下盖上的下支承件与上盖上的上支承件是彼此对称的，所以该储存盒容易成形，从而可提供一种廉价的基片储存盒。
附图简介
图1是本发明的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于打开状态下的情况。
图2是在示于图1的基片储存盒中沿A-A截面截取的一个侧剖面图。
图3是一个透视图，图中示出了在本发明的第一个较佳的实施例中的基片储存盒的上支承件和下支承件。
图4是本发明的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个侧剖面图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况。
图5是本发明的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个侧视图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况。
图6是本发明的基片储存盒的第二个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况，其中，该基片储存盒的四个角中每个角的厚度比该盒的整体厚度要更薄一些。
图7是本发明的基片储存盒的第二个较佳的实施例的一个侧视图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况，其中，该基片储存盒的四个角中每个角的厚度比该盒的整体厚度要更薄一些。
图8是一个平面图，图中示出了图6中的基片储存盒的四个角中的每个角处于由一个夹紧件夹紧着的情况。
图9是一个侧视图，图中示出了图7中的基片储存盒的四个角中的每个角处于由起着盒座作用的该夹紧件夹紧着的情况，以及该基片储存盒被垂直地放置。
最佳实施例详述
下面，将参照附图对本发明的较佳实施例进行说明。
图1是本发明的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于打开状态下的情况。图2是在示于图1的基片储存盒中沿A-A截面截取的一个侧剖面图。
如图1和2中所示，基片储存盒1中储存有一个多边形(四边形)的基片7，该基片具有一个顶面7a和一个底面7b，该储存盒具有与基片7相对应的多边形(四边形)的形状。基片储存盒1设有一个下盖3和一个通过铰链与4与下盖3相连接的上盖2，并且还设有一个在下盖3与上盖2之间形成的啮合部分13。
基片7在顶面7a上有四个边缘7c，并且在底面7b上也有四个边缘7c。
储存在本发明的基片储存盒1中的基片7是一种例如用来制造半导体元件或液晶显示元件的光掩模(也称为掩模原版)或者光掩模胚件这样的基片，并且主要是由低热膨胀玻璃或硅玻璃制成具有光屏蔽膜的基片。通常设置有光屏蔽膜或图形的一个主要表面为方形。基片的外形尺寸由标准规定。就本发明的基片7而论，一个具有薄膜的基片可以通过加厚储存盒1而储存于其中。
如上所述，上盖2和下盖3是通过铰链4而互相连接在一起的，以便可以打开和关闭。本发明的铰链4是可以拆卸的。因此，上盖2可以通过将上盖2相对于下盖3打开约270°后再经过铰链4而方便地从下盖3上卸下。基片储存盒1的结构做成可以在上盖2经过铰链4从下盖3上卸下后，再以该角度通过铰链4重新将上盖2方便地安装在下盖3上。这样，当清洗(或其他类似工作)储存盒时，就可以方便地将盖2，3分别进行清洗和干燥。
基片的四个上支承件5中的每个支承件被相应地设置在上盖2的内表面上的四个角中的每个角上。基片的四个下支承件6中的每个支承件被相应地设置在下盖3的内表面上的四个角中的每个角上。每个上支承件5和下支承件6都可以与相应的盖2，3分别地制成，然后与盖接合，然而，为了便于成形以及支承件的强度和精度更高起见，最好将每个上支承件5和下支承件6与相应的盖2，3整体地制成。
基片的每个上支承件5和下支承件6都设有一对支承部分5a和一对支承部分6a，每对支承部分大体上为L形，用来支承基片7的一对边缘7c。每对支承部分5a和6a的相交角为90°(每对支承部分大体上为L形)。支承部分5a的长度不一定与支承部分6a的长度相等。但是，由于基片7(例如光掩模)的主表面大体上为方形，因而支承部分5a和6a的长度最好彼此相等，以便形成在几何方面无制约性的对称形状。应当注意，在支承一个圆形基片7的情况下，应设有与圆形基片7的形状相对应的支承部分5a和6a，由此可以取得与基片7大体上为L形时的相同效果。在图3中，为方便起见，只示出了下支承部分6，但是，上支承部分5具有与下支承部分6基本上相同的结构。
在本发明中，每个用来支承基片7的大体上为L形的支承部分5a和6a具有一个斜面，并且其结构做成可以只与基片7的一侧上的边缘7c相接触。在图1和2中，基片7这样放置在分别处于下盖3的四个角内的支承件6上，使得在基片7的下表面7b上的四个角中的两个边缘7c分别与支承部分6a的两个斜面11相接触，由此基片7就可以由支承部分6a的斜面11定位和支承。也就是说，基片7可以由下支承件6的八个下支承部分6a牢固地支承在基片7的底面7b的四个角中的每个角内两个彼此正交的相邻边缘7c上。
下面，将详细说明本发明中用于基片7的下支承件6。图3是一个透视图，图中示出了在基片储存盒1的下盖3的四个角上的下支承件6的一个实施例。
每个用来支承基片7的边缘7c并且由L形中的两个部分所包围的支承部分6a具有一个斜面11。斜面11的角度应该是一个可以用来定位和支承基片7的角度，该角度的范围为15°至75°(相对于下盖的底面3来说)。当斜面11的角度小于15°时，由于角度太小，第二次出现相同的支承位置的机会减少，基片7的支承强度是不够的。当斜面11的角度超过75°时，基片7的尺寸公差的范围就将不够，从而可能引起基片7的损伤。该斜面的角度范围比较好是在30°至60°，以便增加支承件6的机械强度，提高基片7的支承特性和作用在基片7上的力的散布特性，以及提高基片7的尺寸公差的范围。斜面11的角度最好是45°，这样就可以使作用在基片7上的沿上下方向与沿横向的力相等。
如图3所示，在本发明中，为了防止在基片7与基片储存盒1之间由于基片的7的偏斜而造成的接触，以及为了减轻在下支承件6的基片7边缘7c支承部分6a上产生的应力，最好在作为大体上为L形的两侧的两个支承部分6a之间的相交位置设有一个空隙12。图3示出了一个实例，其中，在大体上为L形的两个支承部分6a之间的相交位置附近，通过切去一个柱形树脂而形成空隙12。
此外，在本发明中，两个支承部分6a可以彼此分离并且成90°相交，从而形成一个山形(由两个不平行部分形成)。但是，如上所述的大体上的L形对于改进下支承件6的强度来说是更可取的。应当注意，上支承件5设置在上盖2上与下支承件6相对应的一个位置，其结构基本上与下支承件6相同。
其次，通过关闭上盖2，在基片7的顶面7a上的四个角中的每个角内的两个边缘7c就分别与上支承件5的两个斜面11相接触，从而支承并夹紧基片7。也就是说，与底面7b的一侧相同，基片7在顶面7a的四个角中的每个角中正交并且相邻的两个边缘上由上支承件5的八个支承部分5a支承和固定。
图4是一个侧剖面图，图中示出了上盖2处于关闭状态下的情况。
如图4中所示，基片7以这样的方式被固定，使得在其顶面7a和底面7b中的每个面上的四个角内的边缘7c既定位在上盖2上的上支承件5的支承部分5a中的斜面11上，又定位在下盖3上的下支承件6的支承部分6a中的斜面11上，同时，也就阻止了基片7沿上下方向和横向的移动。基片7不会由于在其运输时所产生的振动而发生移动，因而，基片7也就不会受到损伤，并且由于产生灰尘而引起的基片7的污染也不会发生。
图5是一个侧视图，图中示出了本发明的第一个较佳的实施例中的基片储存盒处于关闭状态下的情况。如图5中所示，在本发明中，铰链4设置在一个比基片储存盒1的厚度方向的中心更高的位置上，用来把上盖2和下盖3锁紧在一起的锁紧件9和10设置在一个比铰链4更低的位置上。因此，在基片储存盒1的上盖2与下盖3之间的啮合件13具有一个从铰链4朝着锁紧件9和10向下倾斜地延伸的倾斜面。
本发明的基片储存盒的结构已如上所述。因此，如图2中所示，当打开基片储存盒1的盖时，下盖3的铰链侧不会被抬起。所以，在本发明中，不会像常规的储存盒中发生的情况那样，发生由于下盖3的铰链侧被抬起而使灰尘卷入的问题，或者由于外来物质附着在基片7上而使基片盒1的外观变差的问题。在图2中所示的较佳的实施例中，上盖2从其处于关闭时的位置打开一个约185°的角度。
此外，在本发明中，除上述在图5中的结构以外，锁紧件9和10还可以设置在一个比基片储存盒1的厚度方向的中心更低的位置上。当打开上盖2时，一个其尺寸大到足以将自动传送臂的一个指状物插入其中的空间7s在基片7的下面形成。因此，当打开上盖2以取出其中的基片7时，自动传送臂的指状物就可以在基片7的下面插入，从而不需要人的帮助就可以将在基片储存盒1中的基片7取出或放入。此外，锁紧件9和10的夹子适合于由自动传送臂来打开和关闭，因而，将在基片储存盒1中的基片7取出和放入的工作可以自动进行，基片储存盒1就可以可靠地输送。
如图6和7中所示，在包括上支承件5和下支承件6的基片储存盒1内的四个角中的每个角的厚度可以比基片储存盒1的整体厚度更薄一些。
图6是本发明的基片储存盒的第二个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况，其中，在包括上支承件5和下支承件6的基片储存盒1内的四个角中的每个角的厚度比该盒的整体厚度更薄一些。图7是图6中的储存盒的一个侧视图。在图6和图7中，与图1，2和5中相同的零件具有相同的标号。
在图6和7中，台阶部分14可以通过在基片储存盒1的上盖2和下盖3中的每个盖的四个角中的每个角的外表面上进行加工，使该处的厚度较薄而形成。借助于在四个角上加工出的较薄的外表面厚度，光掩模7就可以方便地储存在储存盒1中，并且盒1可以被牢固地锁紧。由于四个角包括支承件5和6，所以每个支承件5和6的高度就可以降低，从而支承件5和6改进了其作为支承件的刚度。由于使四个角变薄并设置台阶部分14上，就可以将基片储存盒1在其内侧(靠近支承件5和6处)而不是在下盖3的最外周边上固定，因而由于该装置的这种结构，灰尘产生的不良影响将不会发生。
图8是一个平面图，图中示出了图6中的基片储存盒1的四个角由夹紧件15固定的情况。在本发明中，夹紧件15如图8中所示，固定在基片储存盒1的四个角内形成的上述台阶部分14上，因而可以牢固地锁紧上盖2和下盖3。由于在储存盒1的四个角内的厚度较薄，可以方便地安装和取下夹紧件15。此外，可以将安装后包括夹紧件15的厚度的四个角内的厚度制成在基片储存盒1的整体厚度范围内。因此，夹紧件15将不会在基片储存盒1的储存和运送的过程中产生阻碍。
夹紧件15可以由塑料，橡胶，金属钳或固定带制成。
图9是一个侧视图，图中示出了在图7中的基片储存盒1的四个角中的每个角由起着盒座作用的夹紧件15夹紧的情况，此时基片储存盒1被垂直地放置。如图9所示，通过使用起盒座作用的夹紧件15，本发明的基片储存盒1可以像书一样垂直整齐地放置在掩模储存架(或其他类似物)中。当一个IC标记或其他类似物固定在基片储存盒1的外部时，就可以将在该储存架内的基片储存盒1自动地取出和放入。此外，可以自动地传送基片储存盒1，以及基片7可以自动地取出和放入基片储存盒1。因此，可以减少手工劳动，并由此减少了由于灰尘所引起的质量问题，基片7的质量和生产率都可以提高，从而可以实现高质量掩模的制造，传送和储存。
上盖2，下盖3，支承件5和6的材料中的每一种材料都最好是具有较少的灰尘产生，良好的清洗特性和良好的干燥特性的可重复利用的材料。当基片储存盒1在其运送过程(或其他类似过程)中起电时，光掩模图形就可能由于放电现象而遭到毁坏，或者基片7由于吸收了空气中的灰尘而受到污染。因此，上盖2，下盖3，支承件5和6的材料中的每一种材料都最好是用导电塑料制成。这种导电塑料可以由树脂制成，例如，一种其名称为“BAYON”(由日本吴市化学工业有限公司制造)的产品，或者一种其名称为Novalloy(由日本Daicel聚合物有限公司制造)的产品，该产品具有一种小电阻橡胶颗粒散布在硬树脂中的结构。
一个用来作为在上盖2与下盖3之间的啮合部分13中的密封垫的垫片可以由氟化橡胶制成，例如，一种其名称为Fluoroplas(由日本NICHIAS公司制造)的产品。
在本发明中，凸形的垫片8设置在上盖2的啮合部分13的啮合位置上，与垫片8相对应的下盖3的啮合部分13则制成凹形，因而就可以将该啮合部分牢固地密封。另一个啮合部分可以设置在垫片8的内侧。因此，在锁紧件9和10松开的情况下，即使垫片8的密封特性不再保持，啮合部分仍然部分地重叠，从而阻止了外来物质从外部进入基片储存盒1的内部。因此，在把基片7储存到基片储存盒中以后，不需要像常规的储存盒那样用一条胶带把上盖2和下盖3的啮合部分固定。
在本发明中，当将上盖2放置在下盖3的顶部时，垫片8还可以用来作为一种减震材料。
在本发明中，用铰链4可将上盖2与下盖3拆卸。另外，锁紧件9和10通过一个部位以上的位置来进行锁紧。但是，该基片储存盒也可以做成这样的结构，例如，锁紧件9和10设置在两个位置上，当上盖2和下盖3啮合时可以通过一个夹子将锁紧件9和10锁紧，并且可以通过按下该夹子而使锁紧件9和10松开。
当打开基片储存盒1(该盒中已经储存有基片7)的上盖2和下盖3时，基片7的图形表面最好是朝下，以避免灰尘从外界落下并附着在图形表面上。本发明的基片储存盒1可以以这种方式制成，使得上盖2和下盖3是对称的(铰链4和锁紧件9和10除外)。这样，基片储存盒1就可以从上盖2和下盖3的两侧打开，这种结构的优点是，在光掩模制造的内部处理(或其他类似处理)中，上盖2和下盖3可以根据需要任选地打开。
在本发明的基片储存盒1中，最好将各个角部和凹凸部分制成圆形，从而使基片储存盒在树脂成型时不会产生气孔问题，灰尘不易集中在储存盒1的各个角部和凹凸部分，并使清洗和干燥更加方便。
本发明的基片储存盒1可以以这样一种方式制成，使得上盖2和下盖3可以与基片支承部分5和6制成一个整体，由此可以提供一个具有高刚度和高质量的廉价的基片储存盒。此外，由于在与基片7直接接触的储存盒部分才使用导电材料，从而防止了基片7受到外来物质的影响。
此外，本发明的基片储存盒1的一个外表面上设有一个条形码标号或者IC标记，因而，可以对每个基片储存盒进行产品管理。
实例1
下面，将对上述较佳实施例的详细实例进行说明。
为了制造一个专门用于六寸(外部尺寸：6×6×0.25(厚度)英寸)光掩模的基片储存盒，需要做出一个用于包括铰链4和锁紧件9和10的储存盒1(外部尺寸：220×230×22(厚度)毫米)的上盖2和下盖3的铸塑模。使用Novalloy(商标名)树脂(日本Daicel聚合物有限公司制造)做出每个具有3毫米树脂厚度的上盖2和下盖3。在上盖2上的与下盖3相啮合处提供一个凸形的啮合部分，该凸形的啮合部分作为垫片8，由弹性聚酯树脂制成，并且在下盖3的相对应的部分处提供一个凹形的啮合部分。铰链4以这样一种方式提供，使得上盖2和下盖3是可分离的。锁紧件9和10在两个位置上提供，因而当上盖2与下盖3相啮合时，它们将由夹子锁紧，并且可以通过按下该夹子而将它们松开。
在每个上盖2和下盖3的内表面上的四个角处，四个支承件5和四个支承件6都分别地与上盖2和下盖3结合成一个整体。每个支承件5和6具有30×30×10(高度)毫米的尺寸，它们都从每个上盖2和下盖3的内表面伸出。每个用于基片边缘7c的L形支承部分5a和6a，具有20×20×20(离开该盖的底面的高度)毫米的尺寸，并在每个支承件5和6的内侧中的每个角处伸出。每个支承件5和6都与每个上盖2和下盖3结合成一个整体。用于基片边缘7c的每个支承部分5a和每个支承部分6a，其中的每个都由成90°相交的L形的两个侧面所包围，都有一个在该两个侧面中的每个侧面处所形成的斜面11，该斜面11与对应盖的内表面所成的角度为45°。柱状的空隙12设置在L形的两个侧面的相交位置处。除铰链4和锁紧件9和10外，上盖2和下盖3沿着上下方向是对称的，从而形成基片储存盒1。
然后，当打开上述的上盖2时，将六寸(外部尺寸：6×6×0.25(厚度)英寸)的光掩模7放置在储存盒1的下盖3上，并使光掩模7的图形表面朝下。在四个角中的每个角内的掩模7的底面7b上的两个边缘7c分别与支承件6的基板边缘7c的支承部分6a的两个斜面11相接触，从而将掩模7牢固地定位和支承。因此，掩模7就通过在底面7b上的四个角中的每个角内垂直地相交的两个相邻边缘支承在支承件6的八个斜面11上。
然后，将上盖2关闭和锁紧，由此在掩模7的顶面7a上的四个角中的每个角内的两个边缘7c就与在上盖2上的支承件5的两个斜面11相接触，从而使掩模7被支承和固定。也就是说，该光掩模也与底面7b一样，通过在顶面7a上的四个角中的每个角内垂直地相交的两个相邻边缘7c也被牢固地支承和固定在八个斜面11上。
对比例1
根据常规的技术，需要做出一个用于六寸光掩模的基片储存盒(225×225×41毫米)，该盒的上盖和下盖由BAYON树脂制成并且能够互相分离。该储存盒设有一个用来定位掩模的外周边的外周边固定部分，以及一个用来固定掩模的由BAYON树脂制成的柱形伸出部分，固定部分和伸出部分分别设置在上盖和下盖内，以便支承掩模。作为与掩模的接触部分的柱形伸出部分的上端用硅树脂覆盖，以便减轻接触时的碰撞。六寸光掩模放置在储存盒上，使光掩模的图形面朝下，然后由上和下柱形部分所固定。接着，上盖和下盖的啮合部分就由胶带密封，并且在四个角内用树脂夹子夹紧。
灰尘产生特性的比较
在相同条件下，对本发明在实例1中的基片储存盒和在对比例1中的常规的基片储存盒在同一条件下进行强制灰尘产生试验，以便比较它们的灰尘产生特性。测量条件：将光掩模分别储存在本发明的基片储存盒和常规的基片储存盒内，然后，使它们振动两小时。在储存每个掩模以前和在储存并振动每个掩模以后，分别通过一个激光反射型GM外来物质测量仪(由日本日立有限公司制造)，对该每个掩模测量在其上的外来物质的尺寸大小(微米)，并比较外来物质增加的数量。测量面积为130×130毫米，平均值可以通过分别对本发明的储存盒和常规的储存盒中的四个掩模进行灰尘产生试验来确定。结果发现，在本发明的储存盒中产生的灰尘的数量是在常规的储存盒中产生的灰尘数量的1/7。

Claims (12)

1.一种储存有一个具有顶面和底面的基片的储存盒，其形状与基片的形状相符合，该储存盒包括
一个下盖；和
一个上盖，该上盖通过一个铰链与下盖相连接，以便打开和关闭下盖，并且在下盖和上盖之间形成一个啮合部分，其中：
下支承件设置在下盖的多个位置上，每个下支承件都与基片的底面一侧上的一对边缘相接触；以及
上支承件设置在上盖的多个位置上，每个上支承件都与基片的顶面一侧上的一对边缘相接触。
2.权利要求1中所述的基片储存盒，其中，基片和基片储存盒的形状为正方形。
3.权利要求2中所述的基片储存盒，其中，下支承件与上支承件中的每个支承件都包括与一对边缘相接触的一对支承部分。
4.权利要求3中所述的基片储存盒，其中，每个下支承件和上支承件的每一对支承部分都包括与该边缘相接触的一个斜面。
5.权利要求1中所述的基片储存盒，其中，下盖的下支承件和上盖的上支承件彼此对称地设置，并且具有彼此对称的形状。
6.权利要求1中所述的基片储存盒，还包括：
一个锁紧件，该锁紧件设置在下盖上的比该盒的厚度方向的中心更靠近下盖侧的位置上，以便将上盖和下盖闭合，其中
铰链设置在上盖上的比该盒厚度方向的中心更靠近上盖侧的位置上。
7.权利要求1中所述的基片储存盒，其中，在下盖和上盖之间的啮合件从铰链朝着锁紧件方向向下倾斜地延伸，在下盖的锁紧件一侧，形成有用于从基片的下方插入自动传送臂的指形物的空间。
8.权利要求2中所述的基片储存盒，其中，一个台阶部分分别设置在下盖和上盖的四个角的外表面，该台阶部分可以是从其它部分降下来而形成的。
9.权利要求8中所述的基片储存盒，还包括一个设置在下盖的台阶部分与和下盖的台阶部分相对应的上盖的台阶部分之间的夹紧件，其中，该夹紧件固定并支承下盖和上盖。
10.权利要求1中所述的基片储存盒，其中，在下盖和上盖内的凹凸部分都是圆形的。
11.权利要求10中所述的基片储存盒，其中，下盖和上盖都是由导电塑料制成的。
12.权利要求1中所述的基片储存盒，其中，每个下支承件都是与下盖一起整体成形的，每个上支承件都是与上盖一起整体成形的。
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