DE19681656C2 - Substratausrichtvorrichtung für einen Substratträger und Substratträger - Google Patents

Description

Fachgebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft Trägervorrichtungen für Substrate, wie beispielsweise Halbleiterwafer, Mikrochipmodule und Flachbildschirme und bezieht sich insbesondere auf eine Ausrichtvorrichtung für Substrate zum Ausrichten der Substrate, während sie sich innerhalb des Trägers angeordnet befinden.

Beschreibung des Standes der Technik

Es besteht ein zunehmender Bedarf an größeren Substraten in der Industrie für Flachbildschirme (flat panel displays - FPD) und für Mikrochipmodule (micro-chip modules - MCM). Substrate waren anfänglich relativ klein, wie beispielsweise Halbleiterwafer von vier, sechs und acht Inches und 300 Millimeter (mm) × 350 mm FPDs. Kleinere Substrate sind für menschliches Bedienperso­ nal relativ einfach zu handhaben. So wurden beispielsweise mehrere kleinere Substrate typischerweise in Substratträgern, angeordnet und zwischen Bearbeitungsstationen von dem menschli­ chen Bedienpersonal getragen. Sogar eine Vielzahl solcher Substrate in einem Träger mit entsprechenden Abmessungen war relativ gut handhabbar. Als aber die Substrate immer größer wurden und die Geometrien der Schaltungsanordnungen aufgrund von Verbesserungen und Fortschritten der Bearbeitungstechnolo­ gien immer kleiner wurden, wurden die Industrien für FPD und MCM dazu herausgefordert, kostengünstige Lösungen für die Handhabung der Substrate zu entwickeln.

Die Abmessungen von Substraten werden fortwährend größer und umfassen gegenwärtig FPDs von 650 mm × 550 mm bis 850 mm × 1050 mm. Die Mehrzahl der Substrate wird aus Glas gefertigt mit Dicken im Bereich von 0.7 mm bis 1.1 mm. Verbesserungen der Prozesstechnologie lassen die Geometrie der auf den Substraten ausgearbeiteten Schaltungsanordnung fortwährend kleiner werden. Auf diese Art und Weise nehmen die Substrate an Größe, Gewicht und Kosten zu, während sie zur gleichen Zeit zunehmend empfind­ licher und anfälliger werden für Beschädigungen aufgrund von Kräften, die von außen wirken und für Verunreinigungen während der Bearbeitung.

Es wird von immer größerer Bedeutung, die Ausbeute der größeren und teureren Substraten zu erhöhen, so daß die Handhabung durch menschliches Bedienpersonal weder eine wünschenswerte noch eine akzeptable Option darstellt.

Es sind bereits Vorgehensweisen für die Handhabung entwickelt worden, um Substrate in einer feststehenden horizontalen Posi­ tion zu halten, während sie auf einem Transportgerät oder einem automatischen Fahrzeug von einer Bearbeitungsstation zu einer anderen transportiert werden. Die Handhabung von Substraten auf diese Weise brachte immer noch Probleme einer geringen Ausbeute aufgrund von Beschädigung und Verunreinigung mit sich. Die Ausgestaltung des Bodenbelages in der Reinraumumgebung wurde zu einem kritischen Faktor, da Veränderungen der Oberfläche des Bodens dazu führten, daß die Substrate auf dem Transportgerät Schwingungen und hohen Beschleunigungskräften ausgesetzt wur­ den. Diese Kräfte neigten dazu, an einem oder mehreren Substra­ ten Risse hervorzurufen und sie dauerhaft zu beschädigen. Darüber hinaus ist auch die auf dem Substrat ausgearbeitete Schaltungsanordnung anfällig für von Spannungsrissen herrühren­ de Beschädigungen, die in den auf die Oberfläche der Substrate aufgebrachten Metallfilmen hervorgerufen werden, wenn sie von hohen Beschleunigungskräften beaufschlagt werden. Auch wenn die Substrate von den hohen Beschleunigungskräften nicht beschädigt wurden, so haben die Bewegungen und Schwingungen ein Verrut­ schen der Substrate in den Trägern hervorgerufen, wodurch verunreinigende Partikel freigesetzt worden sind.

Es ist erwünscht, die Transportgeschwindigkeit und den Durch­ satz der Bearbeitungswerkzeuge zu erhöhen. Die Ausrüstung mit Robotern hat zu einem Anstieg des Durchsatzes geführt, wobei hier die in Trägern aufgenommenen Substrate über Aufnahme- und Anordnungseinheiten von Robotern heraus genommen und eingesetzt werden. Eine solche automatisierte Ausrüstung erfordert aber eine gewisse Form der Ausrichtung der Substrate und zwar entwe­ der von Hand oder über eine bestimmte automatische Einrichtung.

Bekannte Träger haben oftmals sich verjüngende oder geneigte Wände in den Schlitzen des Trägers besessen, die die Substrate innerhalb der Träger grob ausrichten sollten. Solche sich verjüngende Einrichtungen führten aber zu kleinen Spalträumen zwischen den Substraten und den Seitenwänden der Schlitze, so daß die Substrate relativ langsam und mit hoher Genauigkeit heraus genommen und eingesetzt werden mußten, um eine Kollision mit dem Träger oder ein Verschrammen der Seitenwände zu vermei­ den. Infolgedessen hat jeder Transport mehr Zeit in Anspruch genommen, was zu einer beträchtlichen Abnahme des Gesamtdurch­ satzes geführt hat.

Aus der US-2,953,253 ist ein Behälter zum Transport gekrümmter Fahrzeugwindschutzscheiben bekannt. In dem Gehäuse ist ein Träger mit Schlitzen angeordnet, in denen jeweils eine Wind­ schutzscheibe eingebracht werden kann. Mittels eines Hebelme­ chanismus können Klemmbacken in den Schlitzen so bewegt werden, dass sie zum Sichern der Windschutzscheiben diese gegen den Klemmbacken gegenüberliegenden Seitenwände der entsprechenden Schlitze drücken. Zum Entfernen der Windschutzscheiben wird der Hebelmechanismus so betätigt, dass die Klemmbacken zur Freigabe der Windschutzscheiben von diesen wegbewegt werden.

Aus der US-5,064,236 ist ein Vorrichtung zum Transportieren von Tellern für Speisen bekannt. Zum Transport von Tellern werden diese auf einer Basis der Vorrichtung angeordnet und zwischen der Basis und einer Abdeckung gesichert. Die Basis und die Abdeckung sind mittels von vier Stützen so miteinander verbun­ den, dass der Abstand zwischen der Basis und der Abdeckung variiert werden kann, um eine unterschiedliche Anzahl von Tellern zu transportieren. Ferner sichern die vier Stützen die Teller gegen ein seitliches Verrutschen.

Aus der US-3,682,083 ist ein Gestell zur Bearbeitung fotografi­ scher Platten bekannt, bei dem zwischen zwei parallel angeord­ neten Endplatten senkrecht zu diesen Walzen drehbar befestigt sind. Die Walzen weisen in radialer Richtung Nuten auf, die zur Aufnahme von Endbereichen von fotografischen Platten dienen. Ferner sind die Walzen in einer Richtung parallel zu den End­ platten bewegbar, wobei Federn so mit den Walzen zusammenwir­ ken, dass diese zum Sichern von fotografischen Platten in einer Richtung aufeinanderzu vorgespannt sind.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine wirksame und verbesserte Einrich­ tung für die Abstützung und die geführte Aufnahme der Substrate während des Transports zur Verfügung zu stellen, um Beschädi­ gungen und Verunreinigungen zu verringern, wodurch die Ausbeu­ ten vergrößert werden. Darüber hinaus ist es auch wünschens­ wert, die Ausrichtung in einer solchen Weise zu verbessern, daß die Geschwindigkeit für die Abwicklung vergrößert und der Prozeßdurchsatz verbessert werden kann.

Zusammenschau der Erfindung

Hierfür stellt die vorliegende Erfindung eine Substratausricht­ vorrichtung gemäß Anspruch 1 und einen Substratträger gemäß Anspruch 22 bereit.

Vorteilhafte Ausgestaltungen beschreiben die Unteransprüche.

Eine Ausrichtvorrichtung für ein Substrat nach der vorliegenden Erfindung wird an einem Substratträger oder einer Kassette angeordnet und besitzt eine Eingriffsanordnung für den Ein­ griff, die Bewegung und das Halten der Vielzahl von Substraten in einer weitgehend ausgerichteten Stellung, wenn die Ein­ griffsanordnung geschlossen ist, und eine Betätigungsanordnung für die Bewegung der Eingriffsanordnung zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung. Nach einer Ausführungsform besitzt die Eingriffsanordnung vordere und hintere Eingriffsan­ ordnungen zur Anbringung an gegenüberliegenden Ecken des Gehäuses, um so mit gegenüberliegenden Ecken der Substrate in Ein­ griff zu treten. Jede Eingriffsanordnung bzw. Eingriffs­ vorrichtung besitzt vorzugsweise eine Eingriffseinrichtung zum Anliegen bzw. Angrenzen an einem zugehörigen Rand jedes der Substrate, wobei die vordere Vorrichtung zwei Eingriffseinrich­ tungen zum Kontakt mit vorderen Rändern und angrenzenden Sei­ tenrändern aufweist, und die hintere oder rückseitige Eingriffsvorrichtung zwei Eingriffseinrichtungen zum Kontakt mit hinteren Rändern und gegenüberliegenden Seitenrändern der Substrate besitzt. Auf diese Weise grenzt die Eingriffsanord­ nung an allen vier Rändern jedes Substrates an, um dadurch die Substrate in eine weitgehend ausgerichtete Stellung zu bringen und zu halten, wenn sie geschlossen ist.

Die Eingriffsvorrichtung besitzt eine offene Stellung, um den Zugang zu den Substraten durch eine Bearbeitungsstation zu ermöglichen, in der die Substrate von der Bearbeitungsstation eingesetzt oder heraus genommen werden können, bis die Bearbei­ tung abgeschlossen worden ist. Die Eingriffsvorrichtung wird dann geschlossen, um die Substrate in der ausgerichteten Stel­ lung für einen Transport zu bewegen, auszurichten und ausge­ richtet zu halten. Bei der bevorzugten Ausführungsform sind die Eingriffseinrichtungen Rollen bzw. Walzen oder Drehflächen, die sich drehen, während sie sich mit den Rändern der Substrate in Eingriff befinden. Ein solches Drehen vermeidet ein Verschram­ men bzw. eine Beschädigung der Ränder, was andernfalls zur Erzeugung von verunreinigenden Partikeln führen würde. Darüber hinaus besitzen die Drehflächen nachgiebige Außenflächen oder weisen anderweitig nachgiebige Umhüllungen auf, um zu verhin­ dern, daß Kräfte aus Schwingungen oder Stößen einen negativen Einfluß auf die Substrate ausüben. Die nachgiebigen Drehflächen halten die Substrate somit ausreichend fest, um eine signifi­ kante Bewegung zu verhindern, und schützen die Substrate zu­ gleich gegen Beschleunigungskräfte, harte Bewegungen und Vibrationen während des Transports.

Eine Ausrichtvorrichtung für Substrate nach der vorliegenden Erfindung verringert auch den Bedarf an einer Ausrichtung durch kammförmige Halter oder durch mit Abstand angeordneten Aufnahmefächern, wie sie typischerweise bei gewöhnlichen bekannten Trägern angetroffen wird. So waren beispielsweise die Wände der Schlitze bekannter Träger geneigt ausgebildet, so daß das Substrat an der Schlitzwand mit nur einem kleinen Spaltraum anlag. Solche engen Spalträume bekannter Träger verlangsamten den Durchsatz der Bearbeitungsstationen, da die mit Robotern ausgestatteten Aufnahme- und Anordnungseinheiten die Substrate mit relativ geringen Geschwindigkeiten einzusetzen und heraus­ zunehmen hatten, um eine Kollision und/oder ein Verschrammen der Substrate mit bzw. an den Seitenwänden der kammförmigen Halter zu vermeiden. Bei der Verwendung einer Ausrichtvorrich­ tung für ein Substrat nach der vorliegenden Erfindung sind die Seitenwände der kammförmigen Halter für die Zwecke der Ausrich­ tung nicht erforderlich, wodurch breitere Schlitze und relativ große Spalträume zwischen den Rändern der Substrate und den Wänden der Schlitze ermöglicht werden. Auf diese Weise können die automatischen bzw. mit Robotern ausgerüsteten Aufnahme- und Anordnungseinheiten der Bearbeitungsstation die Substrate mit höheren Geschwindigkeiten einsetzen und herausnehmen, da ein wesentlich kleineres Risiko der Kollision und/oder der Beschä­ digung der Substrate besteht.

Für das Öffnen und das Schließen jeder Eingriffsvorrichtung ist vorzugsweise eine Betätigungsanordnung vorgesehen. Die Betäti­ gungsanordnung besitzt vorzugsweise eine Antriebswelle für den Anschluß an eine Anordnung aus Motor und Getriebe der Bearbei­ tungsstation und ein Mehrgelenksgetriebe zur Betätigung einer Abtriebswelle, die mit der Eingriffsvorrichtung gekoppelt ist. Das Mehrgelenksgetriebe bzw. die mehrteilige Verbindungsein­ richtung besitzt vorzugsweise vier Gelenke und ist vorzugsweise bistabil ausgebildet mit zwei stabilen Betriebsarten bzw. Betriebsstellungen entsprechend der geöffneten und geschlosse­ nen Stellung. Auf diese Weise arretiert das Viergelenksgetriebe die Eingriffsvorrichtung in entweder der offenen oder der geschlossenen Stellung.

Nach der bevorzugten Ausführungsform wird das Mehrgelenksge­ triebe unter Verwendung einer Ausgestaltung nach der Art einer Übertotpunktanordnung ausgeführt, um die bistabilen Verriegelungsstellungen zu erzielen. Das Mehrgelenksgetriebe weist vorzugsweise eine Antriebskurbel auf, die an einem Gehäuse einer Betätigungseinrichtung oder Antriebsgehäuse angelenkt ist. Ein Kopplungselement ist gelenkig zwischen der An­ triebskurbel und einem Kulissenhebel angeordnet, das demgemäß die Abtriebswelle zwischen ersten und zweiten Positionen ent­ sprechend der offenen und geschlossenen Position der Eingriffs­ anordnung bewegt. Die Antriebskurbel ist vorzugsweise an einem Antriebskurbeldrehpunkt zwischen der ersten und zweiten Stel­ lung angelenkt, wodurch demgemäß eine durch das Kopplungsele­ ment definierte Kraftlinie über eine horizontale Bezugslinie, die am Antriebskurbeldrehpunkt einen Mittelpunkt aufweist, hinaus erstreckt wird, um die Übertotpunktanordnung zu erzie­ len. An das Kopplungselement ist eine Zugfeder gekoppelt, um die Einnahme der verriegelten Stellungen zu unterstützen und sie aufrechtzuerhalten. Auf diese Weise werden Kräfte, die an den Substraten zur Anlage kommen und in Drehkräften resultie­ ren, die an den Eingriffsvorrichtungen zur Anlage kommen, daran gehindert, die Vorrichtung aus der verriegelten Stellung heraus zu bewegen. Auf diese Weise werden die Substrate festgelegt und während des Transports geschützt, wenn die Ausrichtvorrichtung für Substrate geschlossen ist.

Nach einer alternativen Ausführungsform besitzt das Gehäuse hintere Anschläge, die an der Rückseite angeordnet sind und zwar für den Eingriff mit den hinteren Rändern der Substrate. Das Gehäuse besitzt darüber hinaus eine gelenkig angeordnete vordere Türe mit vorderen Puffern, die mit den vorderen Rändern in Eingriff kommen, um die Substrate gegen die hinteren An­ schläge zu bewegen und zwar in einer weitgehend ausgerichteten Stellung in der Richtung von vorne nach hinten, wenn die vorde­ re Türe geschlossen ist. Es sind auch zwei Eingriffsanordnungen an jeder Seite des Gehäuses vorgesehen für den Eingriff und die seitliche Bewegung der Substrate in eine weitgehend ausgerich­ tete Stellung in der seitlichen Richtung. Auf diese Weise werden die Substrate in der Richtung von vorne nach hinten unter Verwendung der Anschläge an der Rückseite und den vorde­ ren Puffern ausgerichtet und in ihrer seitlichen Position unter Verwendung der an der Seite angeordneten Eingriffsvorrichtungen. Diese Ausführungsform kann an Trägern verwendet werden, die zur Luft hin offen sind, sie wird aber vorzugsweise an geschlossenen Trägern eingesetzt, um die Substrate in einer reinen Umgebung zu halten, während sie durch einen Raum ohne Reinraumumgebung transportiert werden.

Die an der Seite angeordneten Eingriffsanordnungen besitzen vorzugsweise eine einzelne Rolle bzw. Walze oder Drehteil für den Eingriff mit einer entsprechenden Seite der Substrate. Es ist ein jeder Seite nur eine einzelne Walze erforderlich, um eine seitliche Ausrichtung zu erzielen. Die Walze ist wiederum drehbar angeordnet, um eine Drehung zu ermöglichen, während der sie mit dem Rand des Substrates in Eingriff steht, und zwar ohne zu verschrammen bzw. zu beschädigen. Die Walze besitzt auch eine nachgiebige Außenfläche oder einen nachgiebigen Überzug für die Dämpfung von Schwingungen oder anderer beschä­ digender Kräfte, um dadurch die Substrate zu schützen. Darüber hinaus werden die Rollenanordnungen außermittig angeordnet, um sicherzustellen, daß sich die Substrate nicht in einer gering­ fügig gedrehten Stellung gehalten befinden, wenn die Ausricht­ vorrichtung für Substrate geschlossen ist. Die Betätigungsanordnungen für die an der Seite angeordneten Ein­ griffsvorrichtungen können in einer zu der ersten Ausführungs­ form beschriebenen ähnlichen Weise verwirklicht werden.

Es wird nun ohne weiteres klar geworden sein, daß ein gemäß der vorliegenden Erfindung ausgestalteter Substratträger eine genaue Ausrichtung der Substrate in einer Kassette oder einem Träger sowohl in der Richtung von vorne nach hinten als auch der seitlichen Richtung ermöglicht. Wenn die Ausrichtvorrich­ tung für Substrate geschlossen ist, dann halten die nachgiebi­ gen Eingriffseinrichtungen die Substrate in einer feststehenden oder verriegelten Stellung, so daß sie sich während des Trans­ ports nicht bewegen können. Die Substrate werden auf diese Weise gegen hervorgerufene Beschleunigungskräfte und gegen Schwingungen geschützt, die auf den Träger einwirken. Die Substrate werden auch gegen ein Verrutschen gesichert, um die Bildung von Teilchen zu unterbinden, die möglicherweise das Produkt auf den Substraten verunreinigen könnten. Eine Ausrichtvorrichtung für Substrate nach der vorliegenden Erfindung gestattet auch das Vorhandensein eines beträchtlichen Spaltrau­ mes um die Ränder der Substrate herum. Der vergrößerte Spaltraum ermöglicht es roboterisierten Aufnahme- und Anord­ nungseinheiten, mit größeren Geschwindigkeiten zu arbeiten, wenn sie das Substrat einsetzen und heraus nehmen, wodurch der Durchsatz der Bearbeitungsstationen beträchtlich verbessert wird.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Ein vollständigeres Verständnis der vorliegenden Erfindung ist unter Berücksichtigung der nachfolgenden detaillierten Be­ schreibung der bevorzugten Ausführungsform in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen möglich:

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Substratträgers mit einer Ausrichtvorrichtung für Substrate gemäß ei­ ner Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die die Unterseite des Substratträgers nach Fig. 1 zeigt;

Fig. 3A und 3B sind Ansichten des Substratträgers nach Fig. 1 von oben, die die Ausrichtvorrichtung für Substrate in ei­ ner offenen bzw. einer geschlossenen Stellung zeigen;

Fig. 4 ist eine Ansicht des Substratträgers nach Fig. 1 von vorne;

Fig. 4A ist eine vergrößerte Ansicht eines Ausschnitts der Fig. 4, der eine Betätigungsanordnung angrenzend an eine Eingriffsvorrichtung der Ausrichtvorrichtung für Substrate nach Fig. 1 zeigt;

Fig. 5 ist eine Explosionsdarstellung der Eingriffsvorrich­ tung nach Fig. 1;

Fig. 6 ist eine Explosionsdarstellung der Betätigungsanord­ nung nach Fig. 1;

Fig. 7A und 7B sind Ansichten von oben auf die Ausrichtanordnung nach Fig. 6 und zwar in offener bzw. geschlossen Stellung dargestellt;

Fig. 8 ist eine Ansicht von oben auf einen geschlossenen Substratträger mit einer Ausrichtvorrichtung für Substrate gemäß einer alternativen Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 9A und 9B sind Ansichten von der Seite auf den Substratträger nach Fig. 8, die die Türe an der Vorderseite in einer offenen bzw. einer geschlossenen Stellung zeigen; und

Fig. 10 ist eine Explosionsansicht auf eine Anordnung mit nur einer Walze, die als die Eingriffsvorrichtung nach Fig. 8 verwendet wird.

Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Kassette oder eines Trägers 100 für Substrate mit einer Ausrichtvorrichtung für Substrate, die gemäß einer Ausführungsform nach der vorlie­ genden Erfindung ausgebildet ist. Der Substratträger 100 ist eine zur Luft offene Einheit für die Aufnahme, die Abstützung und die Ausrichtung einer Vielzahl von Substraten im Abstand relativ zueinander zum Transportieren der Substrate zwischen Bearbeitungsstationen und zur Anlieferung der Substrate an eine Bearbeitungsstation in ausgerichteter Form. Eine Bearbeitungs­ station weist vorzugsweise roboterisierte Aufnahme- und Anord­ nungseinheiten zum Einsetzen und/oder zum Herausnehmen der Substrate in den und aus dem Substratträger 100 auf. Die Substrate sind vorzugsweise Flachbildschirme (FPDs), Halblei­ terwafer, Masken, Mikrochipmodule (MCM) etc.. Der Substratträ­ ger 100 kann in Abhängigkeit vom Typ und der Größe der Substrate, die damit gehandhabt werden sollen, jede zweckmäßige Größe aufweisen. Der Substratträger 100 wird beispielsweise bevorzugt für relativ große Substrate mit einer Abmessung von 650 mm × 550 mm bis 850 mm × 1050 mm oder größer eingesetzt. Die vorliegende Erfindung ist aber nicht auf einen bestimmten Typ oder eine bestimmte Größe des Substrates beschränkt und kann für jeden Typ oder Größe an Substraten eingesetzt werden.

Der Substratträger 100 besitzt eine weitgehend rechtwinklige obere Platte oder Deckelplatte 102, die an einer weiteren weitgehend rechtwinkligen unteren Platte oder Bodenplatte 104 angeordnet wird und zwar unter Verwendung einer Vielzahl von Stützpfosten 106. Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, sind an jeder Seite des Substratträgers 100 drei Stützpfosten 106 angeordnet, wodurch eine offene, kastenförmige Struktur mit einem offenen vorderen Ende 112 und einem offenen hinteren Ende 114 gebildet wird für die Aufnahme und die Abstützung von einem oder mehreren rechtwinkligen Substraten 116.

Für die Zwecke der Darstellung ist nur ein Substrat 116 ge­ zeigt, wobei es aber ohne weiteres klar ist, daß typischerweise eine Vielzahl von Substraten in dem Substratträger 100 als Ladung vorliegen, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. An jedem Stützpfosten 106 ist ein Träger oder kammförmiger Halter 108 mit in Abstand angeordneten Zähnen oder Fächern 110 angeordnet, wobei jedes Fach 110 für die Aufnahme und die Abstützung eines entsprechenden Substrates dient. Die Vielzahl der beabstandeten Fächer 110 ist dazu vorgesehen, eine Vielzahl von Substraten 116 im Abstand relativ zueinander innerhalb des Substratträgers 100 aufzunehmen und abzustützen. Ein optionaler Handgriff 102a ist vorzugsweise an der oberen Platte 102 angeordnet und zwar zur Handhabung des Substratträgers 100 zwischen Fahrzeugen und Bearbeitungsstationen und auch zum Tragen des Substratträgers, wenn er leer ist.

Es ist festzuhalten, daß der Substratträger 100 offen ist und für den Transport der Substrate in einer weitgehenden Reinrau­ mumgebung vorgesehen ist, da eine offene Struktur das Innere nicht gegen Teilchen in der angrenzenden oder umgebenden Luft schützt. Wie es untenstehend noch beschrieben werden wird, kann die vorliegende Erfindung mit einer geschlossenen Trägeranordnung zum Schutz der innen angeordneten Substrate 116 gegen Luft von außen oder Umgebungsluft verwendet werden.

Nachdem eines oder mehrere Substrate 116 in den Substratträger 100 geladen worden sind, ist eine Ausrichtvorrichtung für Substrate mit einer vorderen Eingriffsanordnung 118 und einer hinteren Eingriffsanordnung 122 dazu vorgesehen, mit den Substraten 116 in Eingriff zu kommen und sie zu einer ausge­ richteten Stellung festzulegen. Nach der bevorzugten Ausfüh­ rungsform ist die vordere Eingriffsanordnung 118 zwischen der unteren Platte 104 und der oberen Platte 102 an einer vorderen Ecke des Substratträgers 100 angelenkt vorgesehen, während die hintere Eingriffsanordnung 122 in einer ähnlichen Weise an einer gegenüberliegenden hinteren Ecke des Substratträgers 100 drehbar bzw. angelenkt angeordnet ist. Jede Eingriffsanordnung 118, 122 besitzt eine erste Eingriffseinrichtung 130 und eine zweite Eingriffseinrichtung 132 für den Eingriff mit einem Seitenrand und eines angrenzenden vorderen oder hinteren Randes jedes der Substrate 116. Insbesondere besitzt die vordere Eingriffsanordnung 118 eine erste Eingriffseinrichtung 130 zum Eingriff mit einem Seitenrand 116b und eine zweite Ein­ griffseinrichtung 132 zum Eingriff mit dem vorderen Rand 116a jedes Substrates 116, wohingegen die hintere Eingriffsanordnung 122 eine ähnliche erste Eingriffseinrichtung 130 zum Eingriff mit einem Seitenrand 116c und eine zweite Eingriffseinrichtung 132 zum Eingriff mit einem hinteren Rand 116d jedes Substrates 116 aufweist. Auf diese Weise kommen vier eigenständige Ein­ griffseinrichtungen mit den Substraten 116 in Eingriff, um die Substrate 116 innerhalb des Substratträgers 100 in einer ausge­ richteten Stellung festzulegen.

Die ausgerichtete Stellung ist vorzugsweise eine weitgehend mittige Stellung innerhalb des Substratträgers 100 in beiden seitlichen Richtungen oder in der Richtung von einer Seite zur anderen und der Richtung von vorne nach hinten. Auf diese Weise werden die vorderen und hinteren Ränder 116a, d der Substrate 116 hinsichtlich der vorderen bzw. hinteren Ränder des Substratträgers 100 ausgerichtet, wohingegen die seitlichen Ränder 116b, c der Substrate 116 bezogen auf die jeweiligen Seiten des Substratträgers 100 ausgerichtet werden. Vier eigenständige Eingriffseinrichtungen, die mit den vier Rändern der weitgehend rechtwinkligen Substrate 116 in Eingriff kommen, stellen eine Ausrichtung weitgehend ohne einen signifi­ kanten Grad an Drehung sicher. Bei der bevorzugten Ausführungs­ form liegt eine derartige Ausrichtung im Bereich von zwischen +/-0.5 mm bezüglich sowohl der seitlichen Richtung oder der Richtung von einer Seite zur anderen als auch bezüglich der Richtung von vorne nach hinten. Wie es untenstehend noch weiter beschrieben werden wird, sind die Eingriffseinrichtungen 130, 132 vorzugsweise zylindrische oder rohrförmige Rollen oder Walzen, die so drehbar angelenkt sind, daß sie sich drehen, während sie sich mit den jeweiligen Rändern des Substrates 116 in Eingriff befinden. Diese Drehbewegung reduziert in beträcht­ licher Weise die Menge der verunreinigenden Teilchen, die andernfalls erzeugt werden könnten, wenn ein Kratzen oder Verschrammen des Substrates 116 vorliegen würde.

Jede der Eingriffsanordnungen 118, 122 besitzt darüber hinaus eine obere Stützplatte 134, die an der oberen Platte 102 ange­ lenkt ist, eine untere Stützplatte 136 und zwei Stützpfosten 138 zur Verbindung der oberen und unteren Stützplatten 134, 136 miteinander. Die Eingriffseinrichtungen 130 und 132 sind zwi­ schen der oberen und unteren Stützplatte 134, 136 angeordnet und zwar zum orthogonalen Eingriff mit entsprechenden Rändern der Substrate 116. Wie es untenstehend noch beschrieben werden wird, befindet sich eine untere Betätigungsanordnung 120 an der unteren Seite einer vorderen Ecke der unteren Platte 104 ange­ ordnet, so daß sie der vorderen Eingriffsanordnung 118 gegen­ über liegt und zwar zur Drehung der vorderen Eingriffsanordnung 118 zwischen der offenen und geschlossenen Stellung.

An der vorderen Eingriffsanordnung 118 dreht sich die untere Stützplatte 136 um einen Drehpunkt 140 und die obere Stützplat­ te 134 dreht sich um einen Drehpunkt 141, so daß sich die vordere Eingriffsanordnung 118 um eine Drehachse zwischen den Punkten 140 und 141 dreht. Die Drehachse wird einfach als Drehachse 140-141 bezeichnet. An der hinteren Eingriffsanord­ nung 122 dreht sich die untere Stützplatte 136 um einen Drehpunkt 142 (Fig. 3A und 4) und die obere Stützplatte 134 dreht sich um einen Drehpunkt 143, so daß sich die hintere Eingriffs­ anordnung 122 um eine Drehachse 142-143 dreht.

Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht der Unterseite des Substratträgers 100. Wie es dargestellt ist, befindet sich eine vordere Betätigungsanordnung 120 an der gleichen vorderen Ecke des Substratträgers 100 angeordnet, um an die vordere Ein­ griffsanordnung 118 anzugrenzen bzw. mit ihr in Verbindung zu stehen. In ähnlicher Weise ist die hintere Betätigungsanordnung 124 an der gegenüberliegenden hinteren Ecke des Substratträgers 100 angeordnet und zwar um mit der hinteren Eingriffsanordnung 122 in Verbindung zu stehen bzw. an sie anzugrenzen. Es ist festzuhalten, daß die Betätigungsanordnungen 120, 124 auch an anderen Orten, wie beispielsweise der oberen Platte 102 oder an anderen zweckmäßigen Orten angeordnet sein können und zwar zur Verbindung mit bzw. zur Betätigung der Eingriffsanordnungen 118 bzw. 122.

Bei der dargestellten Ausführungsform sind die Betätigungsan­ ordnungen 120, 124 für einen guten Zugang und zum Eingriff mit Antriebseinrichtungen aus Motor und Getriebe (nicht darge­ stellt) an den Bearbeitungsstationen (nicht dargestellt) für eine indirekte Betätigung der Eingriffsanordnungen 118, 122 an der unteren Platte 104 angeordnet. Es heißt dies, daß die Bearbeitungsstation die Eingriffsanordnungen 118, 122 in eine offene Stellung versetzt und zwar zum Einführen oder anderseits Entfernen der Substrate 116 in den und aus dem Substratträger 100 während der Bearbeitung. Die Bearbeitungsstation kann dann die Anordnungen 118, 122 in eine geschlossene Stellung verset­ zen und zwar um damit die Substrate 116 für den Transport in eine ausgerichtete Stellung zu bringen.

Fig. 3A und 3B zeigen Ansichten von oben auf den Substratträ­ ger 100, bei dem die obere Platte 102 entfernt worden ist und sich die Eingriffsanordnungen 118, 122 in ihrer offenen bzw. geschlossenen Stellung befinden. Wenn sich die Eingriffsanord­ nungen 118, 122 in ihrer offenen Stellung befinden, wie es in Fig. 3A dargestellt ist, dann können die Substrate 116 entfernt und andere Substrate in das offene vordere Ende 112 und/oder das offene hintere Ende 114 eingesetzt werden.

Auf diese Weise kann ein roboterisiertes System einer Bearbei­ tungsstation auf jedes Substrate 116 von entweder dem offenen vorderen Ende 112 oder dem offenen hinteren Ende 114 aus zu­ greifen und zwar in Abhängigkeit davon, wie der Substratträger 100 relativ zur Bearbeitungsstation angeordnet ist. Obwohl die kammförmigen Halter 108 die Substrate 116 in einer zu den oberen und unteren Platten 104, 102 des Substratträgers 100 weitgehend parallelen Ebene halten, die sich während des Trans­ ports alle vorzugsweise in horizontalen Stellungen relativ zum Boden befinden, müssen die kammförmigen Halter 108 nicht so ausgebildet sein, daß sie die Substrate 116 in einer weitgehend ausgerichteten Stellung halten. Daher können die Substrate 116 geringfügig zum vorderen Ende 112 oder zum hinteren Ende 114 hin positioniert sein oder sich sogar in einer geringfügig gedrehten Stellung befinden, so daß die seitlichen Ränder 116b und 116c nicht zu den seitlichen Rändern der oberen und unteren Platte 102, 104 ausgerichtet verlaufen. Es ist festzuhalten, daß obwohl sich die Substrate 116 unmittelbar, nachdem die Eingriffsanordnungen 118, 122 geöffnet werden, in der ausge­ richteten Stellung befinden, die Substrate 116 von der Bearbei­ tungsstation in einer weitgehend nicht ausgerichteten Stellung zurückgelassen werden können, nachdem die Bearbeitung abge­ schlossen worden ist. Auf diese Weise muß die Bearbeitungssta­ tion die Substrate 116 nach der Bearbeitung nicht in einer ausgerichteten Stellung zurücklassen, obwohl es für den Zugang durch die Bearbeitungsstation gewünscht ist, die Substrate 116 in einer ausgerichteten Stellung vorliegen zu haben.

Wie es in Fig. 3A dargestellt ist, sind die Eingriffsanordnun­ gen 118 und 122 um die Drehachsen 140-141 bzw. 142-143 in ihre offenen Stellungen gedreht worden. In der offenen Stellung verläuft eine Ausrichtlinie 144, die sich zwischen dem Dreh­ punkt 140 und der Mitte der Eingriffseinrichtung 132 aufspannt, unter einem negativen Drehwinkel von etwa 20-30 Grad zum Sei­ tenrand des Substratträgers 100, während die Eingriffseinrich­ tungen 130, 132 weitgehend parallel dazu ausgerichtet verlaufen. Die Eingriffseinrichtungen 130, 132 befinden sich in der offenen Stellung außerhalb der Grenzen der Substrate 116 angeordnet. Die Eingriffsanordnung 118 wird gedreht, bis die Eingriffseinrichtung 132 und der Drehpunkt 140 entlang einer geschlossenen Linie 146 ausgerichtet verlaufen. Ein Pfeil 148 zeigt eine Drehung von etwa 65 Grad zwischen der offenen Linie 144 und der geschlossenen Linie 146 an, und stellt den Betrag der Drehung der vorderen Eingriffsanordnung 118 zwischen der offenen und geschlossenen Stellung dar. Die hintere Eingriffs­ anordnung 122 wird in ähnlicher Weise um die Drehachse 142-143 herum um etwa 65 Grad zwischen der offenen und geschlossenen Stellung verschwenkt bzw. gedreht.

In Fig. 3B sind die Eingriffsanordnungen 118, 122 in ihre geschlossenen Stellungen gedreht worden. Fig. 3B zeigt deutli­ cher, daß die Eingriffseinrichtung 130 der Eingriffsanordnung 118 mit den Seitenrändern 116b in Eingriff steht, wohingegen sich die Eingriffseinrichtung 132 mit den vorderen Rändern 116a der Substrate 116 in Eingriff befindet. In ähnlicher Weise befinden sich die Eingriffseinrichtungen 130, 132 der hinteren Eingriffsanordnung 122 mit den seitlichen und hinteren Rändern 116c bzw. 116d der Substrate 116 in Eingriff. Wenn die Ein­ griffsanordnungen 118, 122 aus der offenen Stellung zur ge­ schlossenen Stellung verschwenkt werden, kommen die Eingriffseinrichtungen 130 mit den Seitenrändern 116b, 116c der Substrate 116 in Eingriff, um die Seitenränder 116b, 116c relativ zu den seitlichen Rändern des Substratträgers 100 in eine weitgehend ausgerichtete Stellung zu verbringen. Bei der bevorzugten Ausführungsform liegt eine solche Ausrichtung innerhalb von +/-0.5 mm in seitlicher Richtung bzw. der Rich­ tung von einer Seite zur anderen.

Während sich die Eingriffseinrichtungen 130 mit den seitlichen Rändern 116b, c in Eingriff befinden, befinden sich die Ein­ griffseinrichtungen 132 der Eingriffsanordnungen 118, 122 mit den vorderen und hinteren Rändern 116a, d in Eingriff, um die Substrate 116 gleichzeitig in der Richtung von vorne nach hinten auszurichten. Die Substrate 116 befinden sich wiederum innerhalb von 0.5 mm einer erwünschten und vorbestimmten ausgerichteten Stellung innerhalb des Substratträgers 100 ausgerich­ tet. Es ist festzuhalten, daß die gleichzeitige Ausrichtung beider Seiten 116b, 116c und der vorderen und hinteren Ränder 116a, 116d an gegenüberliegenden Ecken der Substrate 116 die Substrate 116 sowohl in seitlicher als auch in der Richtung von vorne nach hinten ausrichtet, und so auch verhindert wird, daß die Substrate in einer irgendwie gearteten gedrehten Stellung verbleiben.

Wie es untenstehend noch näher beschrieben werden wird, weisen die Eingriffseinrichtungen 130, 132 beider Eingriffsanordnungen 118, 122 nachgiebige Umhüllungen auf oder besitzen anderweitig nachgiebige Außenflächen, um dadurch eine bestimmte Flexibili­ tät bereitzustellen, um zu verhindern, daß Kräfte, die am Substratträger 100 anliegen, an den Substraten 116 zur Anlage kommen. Eine solche Ausrichtkraft auf den vier Rändern ist ausreichend, um mit den Substraten 116 in Eingriff zu kommen und sie ohne grobe Kraft, die andernfalls die Substrate 116 beschädigen könnte, in weitgehend ausgerichtete Stellungen zu verbringen. Der bestimmte Betrag an angewandter Ausrichtkraft und die Nachgiebigkeit bzw. Steifigkeit oder Elastizität der Eingriffseinrichtungen 130, 132 werden ausgewählt auf der Basis der jeweiligen Größe, der Art und der Zusammensetzung der einzelnen Substrate, um die es sich handelt. Die Kraft wird von der Bearbeitungsstation aufgebracht und der Spalt an der Rolle wird zugunsten der mechanischen Toleranz vergrößert.

Fig. 4 ist eine Ansicht von vorne auf den Substratträger 100, die in deutlicherer Weise die Stellungen der Eingriffseinrich­ tungen 130, 132 beider Eingriffsanordnungen 118, 122 relativ zu den unterschiedlichen bzw. mehreren Substraten 116 zeigt. Wie es in der rechten unteren Ecke der Fig. 4 dargestellt ist, besteht ein Spalt zwischen den Seitenrändern 116c und der Eingriffseinrichtung 130 der hinteren Eingriffsanordnung 122.

Die kammförmigen Halter 108 besitzen vorzugsweise eine teilwei­ se geneigte Seitenwand 109 zwischen den jeweiligen Fächern 110, an denen sich die Seitenränder 116c in der ausgerichteten Stellung zu der Seitenwand 109 im Abstand befinden. In ähnlicher Weise befindet sich der gegenüberliegende Rand 116b jedes der Substrate 116 von der entsprechenden Wand 109 an der gegen­ überliegenden Seite getrennt angeordnet. Solche Abstände oder Spalträume sind wesentlich größer als die Abstände bei bekann­ ten oder gewöhnlichen Trägern. In der Praxis sind die Spalträu­ me zwischen den Seitenwänden 109 und den Seitenrändern 116b, c bis zu zehn (10) mal größer als die entsprechenden Spalträume nach dem Stand der Technik.

Bekannte Träger wiesen Ausrichtwände auf mit deutlich größeren Neigungen, um einen geringeren Spaltraum zu erreichen, wenn sich die Substrate an den Fächern angeordnet befanden. In der Praxis lagen die geneigten Wände nach dem Stand der Technik an den seitlichen Rändern der Substrate an oder standen mit ihnen anderweitig in Kontakt. Dies führte zu einer groben Ausrichtung der Substrate für die roboterisierte Aufnahme- und Anordnungs­ einheit der Bearbeitungsstation. Eine solche Vorgehensweise bei der Ausrichtung zwang die Robotereinheit aber auch dazu, das Substrat langsamer herauszunehmen und einzusetzen, um eine Kollision und/oder ein Kratzen an bzw. mit den Seitenwänden der Fächer zu vermeiden. Dieser relativ feste Sitz führte dement­ sprechend zu einer Abnahme des Gesamtdurchsatzes der Bearbei­ tungsstation.

Eine Ausrichtung unter Verwendung der Seitenwände ist nicht mehr notwendig bei der Verwendung der Ausrichtvorrichtung für Substrate nach der vorliegenden Erfindung. Die Seitenwände 109 besitzen für eine grobe Ausrichtung eine geringfügige Neigung, sind aber so ausgebildet, daß sie verglichen mit dem Stand Technik zu deutlich größeren Schlitzen und Spalträumen führen. Aufgrund solcher größerer Spalträume können die roboterisierten Aufnahme- und Anordnungseinheiten mit beträchtlich größerer Geschwindigkeit betrieben werden aufgrund eines deutlich nied­ rigeren Risikos der Kollision und/oder des Kratzens an den Seitenwänden 109. Auf diese Weise können die Robotereinheiten deutlich schneller arbeiten und auf diese Weise den Durchsatz der Bearbeitungsstation deutlich erhöhen.

Fig. 4A ist eine vergrößerte Ansicht eines Ausschnittes aus Fig. 4 (Detail A), die detaillierter die vordere Betätigungsan­ ordnung 120 an der unteren Platte 104 angeordnet zeigt und ihre Lage an den unteren Bereich der vorderen Eingriffsanordnungen 118 angrenzend darstellt. Die Betätigungsanordnung 120 besitzt eine Eingangsantriebswelle 152 zum Eingriff mit einer Einheit bestehend aus einem Motor und Getriebe oder dergleichen (nicht dargestellt), um eine Drehung der Ausgangsabtriebswelle 150 zu bewirken. Die Ausgangsabtriebswelle 150 erstreckt sich durch eine Bohrung bzw. ein Loch oder eine Öffnung, die an der unte­ ren Platte 104 vorgesehen ist, um mit der Eingriffsanordnung 118 in Eingriff zu kommen.

Bei der bevorzugten Ausführungsform befindet sich die Ausgangs­ abtriebswelle 150 mit einem entsprechenden Adapter an der Unterseite der unteren Stützplatte 136, die am Drehpunkt 140 aufgehängt ist, in Eingriff. Auf diese Weise dreht die Betäti­ gungsanordnung 120 die vordere Eingriffsanordnung 118 über die Ausgangsabtriebswelle 150.

Die vordere Eingriffsanordnung 118 ist in der geschlossenen Stellung dargestellt, bei der sich die Eingriffseinrichtung 130 mit dem Seitenrand 116b in Eingriff befindet und sich die Eingriffseinrichtung 132 mit dem vorderen Rand 116a des Substrates 116 in Eingriff befindet. Die hintere Betätigungsan­ ordnung 124 ist an der unteren Platte 104 angeordnet, um an der hinteren Eingriffsanordnung 122 in weitgehend der gleichen Art und Weise anzuliegen.

Fig. 5 zeigt eine Explosionsdarstellung der vorderen Eingriffs­ anordnung 118, wobei die hintere Eingriffsanordnung 122 in identischer Weise implementiert ist und daher nicht dargestellt wird. Die Stützpfosten 138 besitzen einander gegenüberliegende Enden, die an der unteren und oberen Stützplatte in 134, 136 angeordnet werden und zwar unter Verwendung von Schrauben, Nieten oder dergleichen 168. Es werden insbesondere Bohrungen 134a, 138a durch die obere bzw. die untere Platte 134, 136 gebohrt, wobei die Schrauben 168 durch die Bohrungen 134a, 136a in die einander gegenüberliegenden Enden der Stützpfosten 138 eingesetzt werden. Die Eingriffseinrichtungen 130, 132 sind vorzugsweise Rollen bzw. Walzen oder Zylinder, die Rollenflä­ chen 160 innerhalb von zylindrischen Rohren bzw. Rollenmänteln 131 aufweisen, die drehbar zwischen den oberen und unteren Stützplatten 134, 136 angeordnet sind und zwar unter Verwendung von Flanschlagern 166. Auf diese Weise werden die Stützpfosten 138 an den oberen und unteren Stützplatten 134, 136 steif angeordnet, um eine steife Struktur zur Verfügung zu stellen, damit sich die zylindrischen Rohre 131 frei an den oberen und unteren Stützplatten 134, 136 drehen können.

Die Rollenrohre bzw. zylindrischen Rohre 131 werden vorzugswei­ se aus einem nachgiebigen Werkstoff, wie beispielsweise TYGON oder dergleichen hergestellt. Alternativ können die Rollenrohre 131 eine nachgiebige Umhüllung aus dem gleichen Werkstoff aufweisen, mit dem die Rollenrohre 131 überzogen werden. Der nachgiebige Werkstoff wird so ausgewählt, daß er eine ausrei­ chende Tragkraft aufweist, um die Kraft für die Ausrichtung aufbringen zu können, ohne die Ränder der Substrate 116 zu beschädigen. Der nachgiebige Werkstoff reduziert auch in erheb­ licher Weise die Bildung von Partikeln während des Eingriffs mit bzw. an einem Rand der Substrate und dämpft die Kräfte, die auf den Substratträger 100 wirken, um die Substrate 116 zu schützen. Ein Bolzen 162 mit einer Schulter, mehrere Achsschei­ ben 164 und ein Flanschlager 166 sind dazu vorgesehen, um die obere Stützplatte 134 schwenkbar an der oberen Platte 102 anzuordnen. Die untere Stützplatte 136 jeder der Eingriffsan­ ordnungen 118 und 122 ist vorzugsweise an der Ausgangsabtriebs­ welle 150 der entsprechenden Betätigungsanordnung 120 und 124 angeordnet und weniger direkt an der Bodenplatte 104.

Fig. 6 zeigt eine Explosionsansicht der vorderen Betätigungsan­ ordnung 120. Die Betätigungsanordnung 124 wird vorzugsweise in einer weitgehend identischen Weise ausgeführt. Die Betätigungs­ anordnungen 120, 124 werden vorzugsweise mit einem Viergelenk­ getriebe ausgebildet mit einer Sprungswerksausbildung mit Kippcharakter, um eine bistabile Betriebsweise zu erhalten. Dies ermöglicht es, daß die Anordnung in entweder der offenen oder der geschlossenen Stellung verriegelt werden kann, wie es untenstehend noch weiter beschrieben werden wird. Die Betäti­ gungsanordnung 120 besitzt ein Antriebsgehäuse 170 und einen Deckel 172 für den Antrieb, der am Antriebsgehäuse 170 unter Verwendung einer Vielzahl von Schrauben, Nieten oder anderer Befestigungselemente 174 festgelegt wird. Das Antriebsgehäuse 170 besitzt eine Bohrung oder eine andere Öffnung 170a, um den Zugang von außen zur Eingangsantriebswelle 152 zu ermöglichen und die Deckelplatte 172 besitzt eine Bohrung oder Öffnung 172a, um den Zugang von außen zur Ausgangsabtriebswelle 150 zu ermöglichen. Es werden zwei oder mehr unverlierbare Schrauben 176 durch die Deckelplatte 172 und das Antriebsgehäuse 170 hindurch geschraubt, um die Betätigungsanordnung 120 an der unteren Platte 104 des Substratträgers 100 festzulegen.

Ein Lager 178 und ein Flanschlager 180 werden in der Öffnung 170a eingesetzt zur Aufnahme der und zur Ermöglichung eines Schwenkvorgangs oder einer Drehbewegung der Eingangsantriebs­ welle 152. Die Eingangsantriebswelle 152 wird einstückig an einem Ende der unteren Seite einer unteren Antriebskurbel 182 angeordnet. Ein Loch (nicht dargestellt) ist etwa an der Mitte der unteren Antriebskurbel 182 vorgesehen zur gelenkigen Auf­ nahme eines Endes eines Kopplungselementes 184 mit einem Lager 186. Das Kopplungselement 184 wird vorzugsweise zwischen der unteren Antriebskurbel 182 und einer ähnlichen oberen An­ triebskurbel 188 angeordnet und zwar unter Verwendung einer Schraube oder einer Niete 190 oder dergleichen, welche durch eine Bohrung 188a der oberen Antriebskurbel 188, durch das Lager 186 des Kopplungselementes 184 und in die entsprechende Bohrung der unteren Antriebskurbel 182 eingesetzt wird. Eine weitere Bohrung 188b in der oberen Antriebskurbel 188 nimmt eine weitere Schraube oder Niete 190 auf, um an einen Stutzen 182a anzugrenzen, der an der unteren Antriebskurbel 182 ange­ ordnet ist. Auf diese Weise werden die obere und die untere Antriebskurbel 188, 182 an einander fest angeordnet, um eine Antriebskurbelanordnung 189 auszubilden, die es dem Kopplungse­ lement 184 gestattet, um die Mitte des Lagers 186 herum relativ zur Antriebskurbelanordnung 189 zu schwenken.

Das Kopplungselement 184 besitzt einen Verlängerungshebel 184a, der daran einstückig ausgebildet angeordnet ist und zwar um daran ein Ende einer Zugfeder 192 gelenkig bzw. drehbar anzu­ ordnen. Das andere Ende der Zugfeder 192 wird unter Verwendung eines Bolzens 194 mit einer Schulter an dem Antriebsgehäuse 170 drehbar angeordnet. Wie es untenstehend noch deutlicher be­ schrieben werden wird, bringt die Zugfeder 192 auf das Kopp­ lungselement 184 eine Kraft auf, um das Kopplungselement 184 und die Antriebskurbelanordnung 189 in entweder einer offenen oder einer geschlossenen verriegelten Stellung zu halten.

Das andere Ende des Kopplungselementes 184 besitzt eine Öffnung oder eine Bohrung (nicht dargestellt) zur gelenkigen Anordnung eines Endes eines Kulissenhebels bzw. Hebels 196, der eine entsprechende Bohrung 196a besitzt zur Aufnahme eines Paßstif­ tes 198. Auf diese Weise kann sich ein Ende des Kulissenhebels 196 an der Mitte der Bohrung 196a relativ zum Kopplungselement 184 drehen. Der Kulissenhebel 196 besitzt eine Aufnahme 196b, die als eine Klemmverbindung ausgebildet ist, die unter Verwen­ dung einer Klemmschraube 200 festgezogen wird, um die Ausgangs­ abtriebswelle 150 aufzunehmen und innerhalb der Aufnahme 196b zu klemmen.

Ein Ende der Ausgangsabtriebswelle 150 ist an dem Antriebsge­ häuse 170 drehbar angeordnet und zwar unter Verwendung eines Lagers 178 und eines Flanschlagers 180 innerhalb einer entspre­ chenden Öffnung oder Bohrung 170b, wobei sich das andere Ende der Ausgangsabtriebswelle 150 durch die Öffnung 172a hindurch erstreckt, um bis zur Eingriffsanordnung 118 oder 122 zu rei­ chen, wie es vorstehend beschrieben worden ist.

Ein fester Anschlag 202 ist an dem Antriebsgehäuse 170 angeord­ net und zwar unter Verwendung einer Schraube oder Niete 204 oder dergleichen und zwar um mit der Antriebskurbelanordnung 189 in der geschlossenen Stellung in Eingriff zu gelangen, wie es untenstehend nach deutlicher beschrieben werden wird. Die obere Antriebskurbel 128 besitzt auch eine von Hand zu betäti­ gende Antriebswelle 154, die daran einstückig ausgebildet angeordnet ist und sich durch einen Kurbelwellenlagerring 206 hindurch durch eine weitere Bohrung 172 in dem Deckel 172 des Antriebs erstreckt. Die manuelle Antriebswelle 154 verläuft zur Eingangsantriebswelle 152 konzentrisch, die weiter konzentrisch oder in der Bohrung 170a anderweitig zentriert verläuft. Auf diese Weise dreht sich die Antriebskurbelanordnung 189 relativ zur Mitte der Öffnung 170a, der Eingangsantriebswelle 152 und der manuellen Antriebskurbel 154.

Fig. 7A zeigt eine Ansicht von oben auf die zusammengebaute Betätigungsanordnung 120, wobei der Deckel 172 des Antriebs entfernt worden ist und die obere Antriebskurbel 182 zur besse­ ren Darstellung nicht dargestellt ist. Die untere Antriebskur­ bel 182 ist so dargestellt, wie sie in der geschlossenen Stellung gegen den harten Anschlag 202 anliegt. Die untere Antriebskurbel 182 dreht sich um einen Antriebskurbeldrehpunkt 210, der der Mitte der Öffnung 170a und der Mitte der Eingangs­ antriebswelle 152 entspricht. Auf diese Weise dreht sich die Antriebskurbelanordnung 189 relativ zum Antriebskurbeldrehpunkt 210 zwischen der geschlossenen oder in Fig. 7A vollständig im Uhrzeigersinn gedrehten dargestellten Stellung und einer offe­ nen oder in Fig. 7B im Gegenuhrzeigersinn gedrehten dargestell­ ten Stellung.

Eine Kraft oder ein Moment für eine Drehung im Gegenuhrzeiger­ sinn, die oder das entweder auf die Eingangsantriebswelle 152 oder die konzentrische Antriebswelle 154 für die Betätigung von Hand wirkt, verschwenkt die untere Antriebskurbel 182 in eine Richtung im Gegenuhrzeigersinn relativ zum Antriebskurbeldreh­ punkt 210. Ein Drehpunkt 212 des Kopplungselementes, der sich in der Mitte des Lagers 186 befindet, dreht sich demgemäß in der Richtung des Gegenuhrzeigersinnes relativ zum Antriebskur­ beldrehpunkt 210 und läßt daher das Kopplungselement 184 sich in einer weitgehend translativen Weise bewegen, wodurch auf den Kulissenhebel 196 eine Drehkraft im Gegenuhrzeigersinn ausgeübt wird. Eine solche Kraft wird an einem Drehpunkt 214 zwischen dem Kulissenhebel 196 und den Kopplungselement 184 ausgeübt, um demgemäß den Kulissenhebel 196 und die Ausgangsabtriebswelle 150 relativ zur Drehachse 140-142 zu drehen.

Wenn sich die Betätigungsanordnung 120 in der geschlossenen Stellung befindet, wie es in Fig. 7A dargestellt ist, dann läßt die untere Antriebskurbel 182 den Drehpunkt 212 sich an oder unterhalb einer horizontalen Referenzlinie 211 vorbei drehen, die durch den Antriebskurbeldrehpunkt 210 gezogen wird, wodurch ein geringfügig negativer Winkel einer Kraftlinie 218a hervorgerufen wird, die zwischen den Drehpunkt 212 und 214 aufgespannt wird. Auf diese Weise werden Drehkräfte, die im Gegenuhrzeigersinn wirken und an der Ausgangsabtriebswelle 150 anliegen, die von Beschleunigungskräften oder Schwingungskräf­ ten hervorgerufen werden, die an den Substraten 116 anliegen, zu einer im Uhrzeigersinn wirkenden Kraft umgewandelt, die an der unteren Antriebskurbel 182 anliegt, und zwar aufgrund des negativen Winkels der Kraftlinie 218a. Dies wird als Ausbildung mit Kippcharakter (over-center design) bezeichnet. Da die untere Antriebskurbel 182 darüber hinaus gegen den harten Anschlag 202 gedrückt wird und daher an einer weiteren Drehung im Uhrzeigersinn gehindert wird, verhindern solche Drehkräfte, die an der Ausgangsabtriebswelle 150 anliegen, ein Öffnen der Eingriffsanordnungen 118, 122. Auf diese Weise verbleibt die Ausgangsabtriebswelle 150 in der geschlossenen Stellung verrie­ gelt, so daß die Substrate 116 trotz entgegen wirkender Kräfte in einer ausgerichteten Stellung gehalten werden. Die Zugfeder 192 übt auf das Kopplungselement 184 eine Kraft zur Verstärkung und Beibehaltung der unteren Antriebskurbel 182 in weitgehend der geschlossenen Stellung aus.

Fig. 7B ist eine Ansicht auf die Betätigungsanordnung 120 in der offenen Stellung von oben, bei der die Deckelplatte 172 entfernt worden ist. Die Antriebskurbelanordnung 189 ist um etwa 185° in der Richtung im Gegenuhrzeigersinn gedreht worden, so daß sie wieder geringfügig über oder unter die horizontale Referenzlinie 211 hinaus gedreht worden ist. Auch dies ist eine over-center Stellung zur Verriegelung der Anordnung in der offenen Stellung. Das Kopplungselement 184 wird so verschoben bzw. bewegt, daß es den Kulissenhebel 196 um etwa 65° im Ge­ genuhrzeigersinn in seine offene Stellung dreht, die der Dre­ hung der Eingriffsanordnungen 118, 122 um 65° entspricht, wie sie in Fig. 3A, 3B dargestellt ist.

Eine solche Drehung wird selbstverständlich auch auf die Aus­ gangsabtriebswelle 150 übertragen. Die neue Kraftlinie 218b in der offenen Stellung zwischen den Drehpunkten 210 und 214 hindert eine auf die Ausgangsabtriebswelle 150 und den Kulis­ senhebel 196 wirkende Drehkraft daran, die Antriebskurbelanord­ nung 189 in der Richtung im Uhrzeigersinn zu drehen. Eine solche an der Ausgangsabtriebswelle 150 und dem Kulissenhebel 196 anliegende Drehkraft im Uhrzeigersinn neigt dazu, die Antriebskurbel 182, 188 in der Richtung im Gegenuhrzeigersinn zu drehen und zwar aufgrund der Kraftlinie 218b, und verhindert dadurch, daß die vorderen und hinteren Eingriffsanordnungen 118, 122 aufgrund von von außen wirkenden Kräften geschlossen werden. Die Zugfeder 192 übt auf das Kopplungselement 184 eine Kraft auf, um die Anordnung in die offene Stellung zu bringen und dort zu halten, bis sie durch die Antriebswelle 152 oder 154 in die geschlossenen Stellung bewegt wird.

Fig. 8 zeigt eine Ansicht von oben auf einen Substratträger 300, der gemäß einer alternativen Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist. Der Substratträger 300 ist in einer zum Substratträger 100 ähnlichen Weise ausgebildet mit der Ausnahme, daß er einen Behälter 302 aufweist, um eine Fluidkommunikation zwischen dem Innenbereich des Behälters 302 und der äußeren Umgebungsluft zu verhindern. Der Substratträger 300 schützt auf diese Weise die darin angeordneten Substrate 116 dagegen, der außen befindlichen Umgebungsluft ausgesetzt zu werden und ermöglicht einen Transport zwischen Reinraumumgebun­ gen durch verunreinigte Luft hindurch.

Der Behälter 302 weist im einzelnen Seitenwände 304 und eine Rückwand 306 auf, die an einer Deckelplatte 307 und einer Bodenplatte 309 (Fig. 9A) einstückig angeordnet sind. Eine vordere Türe 308 ist an der Deckelplatte 307 des Behälters 302 gelenkig angeordnet, wobei sich die vordere Türe 308 öffnet und schließt, um durch eine Öffnung 311 (Fig. 9A) an der Vorder­ seite einen Zugang zum Inneren des Behälters 302 zu ermögli­ chen, um Substrate 116 einsetzen oder sie auch herausnehmen zu können. Die Substrate 116 werden im Abstand zueinander einge­ setzt und gehalten und zwar in einer ähnlichen Weise, wie es anhand des Substratträgers 100 erläutert worden ist.

Es sind allerdings hintere Anschläge 310 für die Substrate vorgesehen, um den hinteren Rändern 116d der Substrate 116 gegenüber zu liegen. An der Innenfläche der vorderen Türe 308 sind Türpuffer 312 angeordnet, die mit den vorderen Rändern 116a der Substrate 116 in Eingriff kommen, wenn die vordere Türe 308 geschlossen wird. Auf diese Weise richtet der Eingriff mit dem Türpuffern 312 und den hinteren Anschlägen 310 die Substrate 116 in der Richtung von vorne nach hinten weitgehend aus, wenn die vordere Türe 308 geschlossen wird, wie es in Fig. 8 dargestellt ist. Die hinteren Anschläge 310 und die Türpuffer 312 besitzen vorzugsweise einen nachgiebigen Werkstoff, der den hinteren und vorderen Rändern 116a, bzw. d der Substrate 116 gegenüber liegt und zwar in einer ähnlichen Weise und für ähnliche Zwecke, wie es obenstehend hinsichtlich der Rollenroh­ re 131 erläutert worden ist.

Für eine seitliche Ausrichtung sind Seiteneingriffsanordnungen 314 an den gegenüberliegenden Seiten des Substratträgers 300 vorgesehen. Die Eingriffsanordnungen 314 besitzen jeweils Eingriffseinrichtungen 316, die mit den Seitenrändern 116b, c der Substrate 116 in Eingriff kommen, um die Substrate 116 in eine seitlich ausgerichtete Stellung zu bewegen. In einer ähnlichen Weise, wie es vorstehend hinsichtlich der Eingriffs­ anordnungen 118, 122 beschrieben worden ist, sind die Ein­ griffsanordnungen 314 zwischen den oberen und unteren Platten 307, 309 des Substratträgers 300 zwischen offenen und geschlos­ senen Stellungen schwenkbar angeordnet. In der offenen Stellung kommen die Eingriffseinrichtungen 316 mit den jeweiligen Sei­ tenrändern der Substrate 116 außer Eingriff, um ein Herausneh­ men und ein Einsetzen durch die vordere Öffnung 311 zu ermöglichen.

Die Eingriffsanordnungen 314 werden an Drehpunkten 318 gedreht oder verschwenkt, um die Eingriffseinrichtungen 316 gegen die Seitenränder 116b, c der Substrate 116 für eine seitliche Ausrichtung zu bewegen.

Auch hier wiederum besitzen die Eingriffseinrichtungen 316 vorzugsweise nachgiebige Rollen oder dergleichen, die sich während des Eingriffs zur Vermeidung von Kratzern oder Schram­ men drehen, die andernfalls verunreinigende Partikel erzeugen könnten. Auch befinden sich die Eingriffsanordnungen 314 am Behälter 302 außermittig angeordnet, wobei eine Anordnung in Richtung zur Rückwand 306 und die andere Anordnung in Richtung zur vorderen Türe 308 angeordnet ist. Dies vermeidet eine gedrehte Stellung, wenn die vordere Türe 308 einmal geschlossen worden ist, und führt auf diese Weise zu einer weitgehenden Ausrichtung der Substrate 116 sowohl in der Richtung von vorne nach hinten als auch in seitlicher Richtung.

Fig. 9A und 9B sind Ansichten von der Seite auf den Substrat­ träger 300, wobei die vordere Türe 308 geöffnet bzw. geschlos­ sen ist. Wenn die vordere Türe 308 offen ist, dann werden die Substrate 116 durch das offene vordere Ende 311 herausgenommen und eingesetzt. Die Ausrichtvorrichtungen 314 an der Seite sind angelenkt, um die Eingriffseinrichtungen 316 gegen die Seiten­ ränder 116b, c der Substrate 116 für eine seitliche Ausrichtung zur Anlage kommen zu lassen. Die Eingriffseinrichtungen 316 gestatten es den Substraten 116 trotzdem, sich geringfügig zur Vorderseite oder zur Rückseite des Behälters 302 zu bewegen. Wie es in Fig. 9B dargestellt ist, ist die vordere Türe 308 geschlossen, so daß der Türpuffer 312 mit den vorderen Rändern 116a in Eingriff kommt und die hinteren Anschläge 310 mit den hinteren Rändern 116d der Substrate 116 zum Eingriff gelangen. Wenn die vordere Türe 308 und die Eingriffsanordnungen 314 einmal geschlossen worden sind, dann befinden sich die Substra­ te 116 in einer weitgehend ausgerichteten Stellung und zwar sowohl in der Richtung von vorne nach hinten als auch in seit­ licher Richtung. Es ist festzuhalten, daß die vordere Türe 308 geschlossen werden könnte, nachdem die Eingriffsanordnungen 314 in die geschlossenen Stellungen gedreht worden sind.

Nachdem der Behälter 302 zu einer Bearbeitungsstation transpor­ tiert worden ist, wird die vordere Türe 308 geöffnet und die Ausrichtvorrichtungen 314 an der Seite werden geöffnet und trotzdem verbleiben die darin befindlichen Substrate 116 für den Zugang durch ein Robotersystem oder dergleichen in einer weitgehend ausgerichteten Stellung. Nachdem eines oder mehrere Substrate bearbeitet worden sind, wird eine Wiederausrichtung erzielt, indem die Eingriffsvorrichtungen 314 und die vordere Türe 308 geschlossen werden. Es ist festzuhalten, daß obwohl der Substratträger 300 von geschlossener Bauart ist, eine Ausführungsform mit hinteren Anschlägen, vorderen Puffern und an der Seite angeordneten Eingriffsvorrichtungen auch an einem offenen Träger angewandt werden könnte.

Fig. 10 zeigt eine Explosionsansicht einer Eingriffsanordnung mit nur einer Rolle oder Walze zur Ausbildung der Eingriffsan­ ordnung 314. Die Eingriffsanordnung 314 ist ähnlich der in Fig. 5 dargestellten Anordnungen 118, 122 mit zwei Rollen ausgebil­ det, mit der Ausnahme, daß nur ein einzelner Stützpfosten 334, eine einzelne Rollengleitfläche bzw. -paßfläche 323 und nur eine einzelne rollenförmige bzw. zylindrische Röhre 322 zwi­ schen einer oberen Platte 320 und einer unteren Platte 324 vorgesehen ist.

Auch sind wieder Schrauben oder andere Befestigungseinrichtun­ gen 326 zur Anordnung des Stützpfostens 334 zwischen der oberen und unteren Stützplatten 300, 324 vorgesehen und Flanschlager 328 sind an beiden Enden der Rollenröhre 323 vorgesehen, um eine Drehbewegung der Rollenröhre 323 relativ zur oberen und unteren Stützplatte 320, 324 zu ermöglichen. Auch sind ein Bolzen 330 mit einem Absatz, Scheiben 332 und ein weiteres Flanschlager 328 vorgesehen, um die Eingriffsanordnung 314 am Substratträger 300 drehbar festzulegen.

Es ist nunmehr ohne weiteres klar geworden, daß eine Ausricht­ vorrichtung für Substrate gemäß der vorliegenden Erfindung viele Vorteile gegenüber bekannten Substratträgern aufweist. Die Substrate werden ausgerichtet und verbleiben auch während des Transports in einer ausgerichteten Stellung, um den Einfluß von Beschädigungen und verunreinigender Kräfte zu verringern. Auch ist die ausgerichtete Stellung deutlich genauer als bei der groben Ausrichttechnik nach dem Stand der Technik. Die Ausrichtvorrichtung für Substrate ermöglicht auch deutlich größere Spalträume um die Substrate herum und erhöht somit den Durchsatz der Bearbeitungsstation.

Obwohl das System bzw. die Vorrichtung und die Vorgehensweise nach der vorliegenden Erfindung anhand der bevorzugten Ausfüh­ rungsform beschrieben worden ist, so dient dies nicht zur Beschränkung auf die hierin beschriebene bestimmte Ausführungs­ form, sondern dient ganz im Gegensatz hierzu auch dazu, Alter­ nativen, Veränderungen und gleichwirkende Ausführungsformen mit zu umfassen. Die Erfindung wird daher nur von den beigefügten Ansprüchen beschränkt.

Claims (22)

1. Substratausrichtvorrichtung für einen Substratträger (100), wobei der Träger (100) ein Gehäuse zur Aufnahme und zur Abstützung einer Vielzahl von Substraten (116) im Abstand zueinander besitzt, mit:
einer Eingriffsvorrichtung zur (118, 122) Anordnung an dem Gehäuse zum Eingriff mit und zur Bewegung der Vielzahl der Substrate (116) in eine innerhalb des Substratträgers (100) in der seitlichen Richtung und der Richtung von vorne nach hinten weitgehend ausgerichtete Stellung sowie zum Halten derselben in dieser, wenn die Eingriffsvorrichtung (118, 122) in eine ge­ schlossene Stellung bewegt wird, und zum Lösen des Eingriffs mit der Vielzahl der Substrate (116), wenn die Eingriffsvor­ richtung (118, 122) zum Einsetzen und zum Herausnehmen der Vielzahl der Substrate (116) in eine offene Stellung bewegt wird, und
einer zur Anordnung an dem Gehäuse und damit zur Bewegung der Eingriffsvorrichtung zwischen den offenen und geschlossenen Stellungen in Wirkverbindung gekoppelten Betätigungsvorrichtung (120, 124).

2. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Eingriffsvorrichtung (118, 122)
eine vordere Eingriffsvorrichtung (118), und
eine hintere Eingriffsvorrichtung (122) umfaßt,
die jeweils zur gelenkigen Anordnung an dem Gehäuse eingerich­ tet sind.

3. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Betätigungsvorrichtung (120, 124) zum gelenkigen Ein­ griff mit der Eingriffsvorrichtung (118, 122) in Wirkverbindung mit der Eingriffsvorrichtung gekoppelt ist.

4. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 2 oder 3, bei der die Betätigungsvorrichtung (120, 124) aufweist:
eine vordere Betätigungsvorrichtung (120) zur Anordnung nahe bei einer vorderen Ecke des Gehäuses zum gelenkigen Ein­ griff mit der vorderen Eingriffseinrichtung (118), und
eine hintere Betätigungsvorrichtung (124) zur Anordnung nahe bei der hinteren Ecke des Gehäuses zum gelenkigen Eingriff mit der hinteren Eingriffsvorrichtung (122).

5. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 4, bei der die vordere und die hintere Betätigungsvorrichtung (120, 124) je­ weils aufweisen:
ein Antriebsgehäuse (170) zur Anordnung an dem Gehäuse des Trägers (100),
eine Antriebswelle (150, 152), die an dem Antriebsgehäuse (170) zum gelenkigen Eingriff mit einer zugehörigen Eingriffs­ vorrichtung (118, 122) angelenkt ist, und
ein mehrgelenkiges Getriebe, das zur Bewegung der entspre­ chenden Eingriffsvorrichtung (118, 122) zwischen den offenen und geschlossenen Stellungen mit der Antriebswelle (150, 152) gekop­ pelt ist.

6. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 5, bei der das Mehrgelenkgetriebe zwei stabile Getriebsstellungen auf­ weist, die den offenen und geschlossenen Stellungen entspre­ chen.

7. Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 6, bei der die vordere und die hintere Eingriffsvorrichtung jeweils aufweisen: erste und zweite Eingriffseinrichtungen (130, 132) zum Eingriff mit angrenzenden Rändern jedes der Vielzahl der Sub­ strate (116), wenn sich die vorderen und hinteren Eingriffsvor­ richtungen (118, 122) in der geschlossenen Stellung befinden.

8. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 7, bei der die ersten und zweiten Eingriffseinrichtungen (130, 132) der vorde­ ren Eingriffsvorrichtung (118) zum Eingriff mit einem vorderen Rand (116a) und einem benachbarten seitlichen Rand (116b) jedes der Vielzahl der Substrate (116) dienen und die ersten und zweiten Eingriffseinrichtungen (130, 132) der hinteren Ein­ griffsvorrichtung (122) zum Eingriff mit einem hinteren Rand (116d) und einem benachbarten seitlichen Rand (116c) jedes der Vielzahl der Substrate (116) dienen, um die Substrate (116) bezüglich des Gehäuses in einer seitlichen Richtung und in einer Richtung von vorne nach hinten in wesentlichen auszurich­ ten, wenn sich die vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) in den geschlossenen Stellungen befinden.

9. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 7 oder 8, bei dem die ersten und zweiten Eingriffseinrichtungen (130, 132) jeweils Walzen aufweisen.

10. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 9, bei der jede der Walzen zylindrische Körper (131) aufweist, die sich bei einem Eingriff mit dem Substraten (116) drehen.

11. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 9 oder 10, bei der jede der Walzen nachgiebige Außenflächen (160) aufweist.

12. Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche 2 bis 11, bei der das Gehäuse des Trägers obere und untere Platten (102, 104) aufweist und die ersten und zweiten Eingriffseinrichtungen (130, 132) der vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) jeweils aufweisen:
gegenüberliegende Enden zum Definieren einer Mittellinie, die senkrecht zu den oberen und unteren Platten (102, 104) des Gehäusen ausgerichtet ist, und zur Erstreckung zwischen diesen, und
obere und untere Stützplatten (134, 136) zur gelenkigen Anordnung an den gegenüberligenden Enden, um eine Drehung um die senkrechten Mittenlinien zu ermöglichen.

13. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 12, bei der die vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) jeweils einen baueinheitlich zwischen den oberen und unteren Stützplat­ ten (134, 136) angeordneten Stützpfosten (138) aufweisen.

14. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 12 oder 13, bei der die vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) jeweils ausgelegt sind, um zwischen den oberen und unteren Platten (102, 104) des Gehäuses an dem Gehäuse gelenkig angeord­ net zu werden.

15. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 14, bei der sich jede der vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) bezüglich einer senkrechten Drehlinie (140-141, 142- 143) drehen, die zwischen den senkrechten Mittenlinien und versetzt zu einer Ebene angeordnet ist, die von den senkrechten Mittenlinien der ersten und zweiten Eingriffseinrichtungen (130, 132) definiert ist.

16. Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 15, bei der das Mehrgelenksgetriebe sowohl in der offenen als auch in der geschlossenen Position als Übertotpunktanord­ nung ausgeführt ist, um die zwei stabilen Betriebsstellungen zu erreichen.

17. Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 16, bei der das Mehrgelenksgetriebe ein Viergelenksgetriebe aufweist, mit:
eine mit dem Antriebsgehäuse (170) angelenkte Antriebskur­ bel (182) mit einer ersten und einer zweiten Stellung, die der offenen und der geschlossenen Stellung entsprechen,
ein Kopplungselement (184), mit einem Ende, das an der Antriebskurbel (182) angelenkt ist, und mit einem zweiten Ende,
einem Kulissenhebel (196) mit einem ersten Ende, das an dem zweiten Ende des Kopplungselementes (184) angelenkt ist, und mit einem zweiten Ende, wobei
die Antriebswelle (130, 132) an dem zweiten Ende des Kulis­ senhebels (196) zum Eingriff mit und zur Bewegung der Ein­ griffsanordnung (118, 122) zwischen den offenen und geschlossenen Stellungen angeordnet ist, wenn die Antriebswelle (130, 132) zwischen der ersten und der zweiten Position gedreht wird.

18. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 17, bei der die Betätigungsvorrichtung (120, 124) eine Zugfeder (192) mit einem Ende, dass an dem Gehäuse angeordnet ist, und mit einem anderen Ende, das an dem Kopplungselement (184) festgelegt ist, zur mechanischen Kraftverstärkung zur Fixierung der ersten und zweiten Stellungen der Antriebskurbel (182) aufweist.

19. Substratausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 18, bei der die Antriebskurbel (182) relativ zu einem Antriebskurbeldrehpunkt (210) zur Erstreckung einer Kraftlinie (218) angelenkt ist, die von dem ersten und dem zweiten Ende des Kopplungselementes (184) über eine horizontale Bezugslinie (211) des Antriebskur­ belpunktes (210) hinaus sowohl in der ersten als auch in der zweiten Stellung definiert ist, um eine Verriegelungsstellung sowohl für die erste als auch für die zweite Position zu errei­ chen.

20. Substratausrichtvorrichtung gemäß einer der Ansprüche 2 bis 19, bei der das Gehäuse hintere Anschläge (310) zum Ein­ griff mit hinteren Rändern (116d) der Vielzahl der Substrate (116) und eine gelenkig angeordnete vordere Tür (308) mit Puffern (312) zum Eingriff mit und zur Ausrichtung von vorderen Rändern (116a) der Vielzahl der Substrate (116) aufweist, wenn die vordere Tür (308) geschlossen ist, so dass die Vielzahl der Substrate (116) bezüglich des Gehäuses in einer Richtung von vorne nach hinten wesentlichen ausgerichtet ist, wenn die vordere Tür (308) geschlossen ist, wobei die vorderen und hinteren Eingriffsvorrichtungen (118, 122) ausgelegt sind, um an gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses zum Eingriff mit jewei­ ligen gegenüberliegenden Seitenrändern (116b, 116c) der Vielzahl der Substrate (116) und zur Bewegung jedes Substrates (116) in eine seitlich ausgerichtete Stellung angeordnet zu werden, wenn die Eingriffsvorrichtungen (118, 122) von der offenen Stellung in die geschlossene Stellung bewegt werden.

21. Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 20, bei der:
die vordere Eingriffsvorrichtung (118) außermittig in Richtung der Rückseite des Gehäuses angeordnet ist, und
die hintere Eingriffsvorrichtung (122) außermittig in Richtung der Vorderseite des Gehäuses angeordnet ist.

22. Substratträger (100) zum Aufnehmen, Tragen und Ausrichten einer Vielzahl von Substraten (116), mit:
einem Gehäuse, und
der Substratausrichtvorrichtung gemäß einem der vorherge­ henden Ansprüche.