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Die Erfindung betrifft ein Transportsystem mit
einer kassettenartigen Stapelvorrichtung für flache Teile, insbesondere
zum Einsatz in Verbindung mit der Handhabung und/oder Bearbeitung
von Substraten, Teileträgern
und/oder Werkstücken
in Mikrosystemen, gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1.
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Transportsysteme in Form kassettenartiger Stapelvorrichtungen
mit vorgegebener Höhenlage
für die
in der Stapelvorrichtung abzulegenden Teile sind aus der
DE 196 81 656 C2 bekannt,
wobei die Beschickung der Stapelvorrichtung mit den Teilen quer zur
Stapelrichtung erfolgt und wobei die Stapelvorrichtung für die gestapelten,
mit Abstand übereinander
liegenden Teile eine Sicherung durch Verspannung in Querrichtung
vorsieht.
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Der Aufbau eines derartigen Transportbehälters ist
verhältnismäßig aufwendig
und seine Nutzung als Bestandteil eines Transportsystems weitgehend
eingeschränkt.
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Bei einem aus der
US 5,431,600 bekannten Transportsystem
sind als Stapelvorrichtungen Waferkassetten vorgesehen, die für den Transport
in atmosphärisch
geschlossenen Transportboxen, nach Art so genannter SMIF-Boxen,
untergebracht sind. Ferner umfasst dieses Transportsystem Transportwagen, über die
die Transport boxen an eine jeweilige Anschlusseinheit, beispielsweise
an eine Prozesseinheit heranzuführen
und auf diese zu übergeben sind.
Hierzu wird aus einer jeweils auf den Transportwagen aufgesetzten
und eine Waferkassette enthaltenden Transportbox die Waferkassette über eine dem
Transportwagen zugeordnete Hubeinrichtung entnommen und bei an die
Prozesseinheit seitlich angedocktem Transportwagen über eine
Schleuseneinheit aus dem Transportwagen in die Prozesseinheit versetzt,
wobei der durch die Schleuseneinheit gebildete Übergangsbereich über einen
Luftschleier abgeschirmt ist, der von einer der Prozesseinheit zugeordneten
Belüftungseinrichtung
erzeugt wird.
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Die
US
5,984,610 betrifft eine Übergabestation für in SMIF-Boxen aufgenommene
Waferkassetten auf eine zur Übergabestation
in lagefester Zuordnung nachgeordnete Prozesseinheit. Die Übergabestation
weist eine Einhausung auf, die eine Plattform für eine aufzusetzende SMIF-Box
umfasst, deren Gehäuse
durch Anheben der Plattform und des mit dieser verbundenen Teiles
der Einhausung anzuheben ist, so dass die Waferkassette frei in
der Einhausung liegt und über
einen der Übergabestation
zugeordneten Roboterarm seitlich in die nachgeordnete Prozesseinheit
zu verlagern ist. Die Übergabestation ist
zusätzlich
mit einer Belüftungseinrichtung
versehen, die bodenseitig ansaugend einen die Kassette in Richtung
ihrer seitlichen Verlagerung auf die Prozesseinheit begleitenden
Luftstrom erzeugt, so dass auch während der Übergabe gewünschte atmosphärische Bedingungen
gewährleistet
und Verunreinigungen der Wafer vermieden werden können.
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Ferner ist aus der
US 6,082,949 für in SMIF-Bauform gestaltete
Transportboxen von Waferketten eine Öffnungsvorrichtung bekannt, über die vorgeschaltet
zu einer Prozesseinheit eine Transportbox geöffnet wird und die in deren
Waferkassette gestapelten Wafer in den Zugriff einer der Prozesseinheit
zuge ordneten Handhabungseinrichtung gelangen. Die Öffnungsvorrichtung
für die
Transportbox umfasst eine Grundplatte und ein zu dieser hubverstellbares
Deckelteil, auf das, als Plattform, die ein topfartiges Boxenoberteil
und ein von diesem randseitig umschlossenes Boxenunterteil umfassende Transportbox
aufgesetzt werden kann. Der Fläche des
Boxenunterteiles entspricht ein Ausschnitt in der Plattform. In
der Ausgangslage, beim Aufsetzen der Transportbox auf die Plattform
der Öffnungsvorrichtung
ist deren Deckelteil gegen die Grundplatte abgesenkt, so dass das
den Tragboden für
die jeweilige Waferkassette bildende Boxenunterteil, im Ausschnitt
der Plattform liegend, auf der Grundplatte abgestützt ist,
während
das topfartige Boxenoberteil mit seinem Randbereich den Ausschnitt
umschließend auf
der Plattform aufliegt. Wird nun der Deckel mit der Plattform angehoben,
so wird das topfartige Boxenoberteil mitgenommen und gibt damit
die auf der Grundplatte abgestützte
Waferkassette frei.
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Zur aufgereihten, gleich beabstandeten, aber
im Abstand veränderlichen
Anordnung von scheibenförmigen
Körpern,
insbesondere Magnetplatten ist es aus der
DE 195 45 881 C2 bekannt,
diese zentral oder randseitig über
eine Führungseinrichtung
abzustützen
und zu erfassen. Die Führungseinrichtung
weist im Grundaufbau eine Führungsstange auf,
längs der
Führungselemente
gegeneinander abstandsbegrenzt verschieblich angeordnet sind. Die Abstandsbegrenzung
erfolgt über
hakenartige, U-förmige
Verbindungsglieder, die mit ihren Stegen in Längsnuten der Führungsstange
laufen und mit ihren Schenkeln in Ringnuten der in den Führungselementen
vorgesehenen Zentralbohrungen für
die Führungsstange
eingreifen. Die Ringnuten sind, in der axialen Erstreckung der Führungsstange,
breiter als die Stege, so dass, bezogen auf den Abstand der Führungselemente
zueinander, eine zusammengefahrene und eine auseinandergezogene
Endstellung einstellbar ist.
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Die Führungselemente sind über einem
Sektor ihres Umfangs mit einer rinnenförmigen Vertiefung versehen,
die eine schlitzartige Aufnahme und Abstützung für einen eingreifenden Bereich
der scheibenförmigen
Körper
bilden kann. Dies bei aufgefädelter
Anordnung der scheibenförmigen
Körper auf
einer Führungsstange
durch Eingriff eines jeweiligen Führungselementes in eine zentrale
Bohrung des jeweiligen scheibenförmigen
Körpers.
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Eine randseitige Abstützung scheibenförmiger Körper insbesondere
größeren Durchmessers
ist über
Führungseinrichtungen
gleichen Aufbaues dadurch möglich,
dass zwei Führungseinrichtungen
bei paralleler Erstreckung zueinander beabstandet angeordnet werden,
derart, dass ein jeweiliger scheibenförmiger Körper von einander entsprechenden Führungselementen
der beiden Führungseinrichtungen über deren
rinnenförmige
Ausnehmungen in zwei einander gegenüber liegenden Sektoren erfasst ist.
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Weiter ist aus der
DE 40 32 863 A1 eine Speichereinrichtung
insbesondere für
mit Bauelementen bestückte
Leiterplatten bekannt, die als Vertikalspeicher zwei gegensinnig
synchron antreibbare, mit Abstand parallel zueinander liegende Zahnriemen
aufweist, deren Zähne
Auflagen für
die Leiterplatten bilden. Über
eine derartige Speichereinrichtung lassen sich die Leiterplatten
als auf entsprechenden Zahnflanken aufliegende, zu speichernde Gegenstände bis
in den Bereich einer Ausgabeebene fördern. In deren Bereich ist
der Speichereinrichtung ein Rollentrieb zugeordnet, der eingefahren
gegen die Leiterplatten als zu speichernde Gegenstände diese
gegenüber
den tragenden Zahnflanken abhebt und quer zur vertikalen Bandförderung
aus dem Speicher ausfährt.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Transportsystem mit einer kassettenartigen Stapelvorrichtung für flache
Teile gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1 dahingehend auszubilden, dass raumsparende Bauweise,
günstige
Transportvoraussetzungen für
die zu transportierenden Teile und flexible Einsatzmöglich keiten
sowie eine besondere Eignung für
den Einsatz in oder in Verbindung mit Reinraumsystemen, insbesondere
Mikrosystemen gegeben sind, wobei die Stapelvorrichtung in sich
auch unabhängig
von den weiteren Systembestandteilen als eine eigenständige Transporteinheit mit
besonders günstigen
Voraussetzungen zur Integration gestaltet sein soll.
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Gemäß der Erfindung wird dies mit
den Merkmalen des Anspruches 1 erreicht, demzufolge die Stapelvorrichtung
eine Trageinrichtung aufweist, die durch Veränderung des Abstandes zwischen
den in Stapelrichtung aufeinander folgenden Auflagen sowohl eine
besonders kompakte Zusammenfassung der Teile, beispielsweise für den Transport
wie auch eine auseinandergezogene Lage der Teile ermöglicht,
beispielsweise für
die Beschickung, die einen besonders günstigen Zugriff ermöglicht.
Die Veränderung
des Abstandes ermöglicht
darüber
hinaus durch Abstützung
der Teile in Stapelrichtung gegeneinander sowie auch gegen zwischenliegende
Bodenteile eine entsprechende Lagesicherung, Abschirmung gegeneinander
und/oder Abdeckung.
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In Verbindung mit einer haubenartigen
Abdeckung für
die Stapelvorrichtung und einem bodenseitigen Abschluss der Stapelvorrichtung
durch ein Deckelteil, das mit der Trageinrichtung verbunden ist, lässt sich
die durch Stapelvorrichtung und haubenartige Abdeckung gebildete
Einheit auch als Transportbehälter
in vorteilhafter Weise nutzen, indem sich ein jeweils gewünschtes
Klima und/oder gewünschte Reinraumbedingungen
schaffen und/oder aufrechterhalten lassen.
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Die Veränderung des Abstandes zwischen den
in Stapelvorrichtung aufeinander folgenden Auflagen für die Teile,
und damit zwischen den Teilen, lässt
sich durch eine Ausgestaltung der Trageinrichtung in besonders vorteilhafter
und einfacher Weise erreichen, bei der die Trageinrichtung aus Gliederketten
mit Traggliedern gebildet ist, die gegeneinander in Erstreckungsrichtung
der Kette verstellbar sind. Bevorzugt sind die Tragglieder hierfür als gegenläufig gekrümmte, insbesondere
S-förmige Doppelhaken ausgebildet,
wobei als Doppelhaken auch entsprechend geformte Profilleisten dienen
können,
so dass sich eine rolladenartige Struktur ergibt, die hohe Eigenstabilität aufweist
und in einfacher Weise auch in Querrichtung, d. h. quer zur Stapel-
und Beschickungsrichtung, abgestützt
werden kann. Insbesondere ergeben sich dadurch auch günstige Beschickungsmöglichkeiten
und Belüftungsmöglichkeiten.
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Transportbehälter dieser Art lassen sich
im Rahmen der Erfindung insbesondere in vorteilhafter Weise mit
Transportwagen nutzen, die Aufnahmeschächte für die Transportbehälter aufweisen,
wobei den Wagen bevorzugt entsprechende Hubwerke zugeordnet sind,
die auch in Verbindung mit der Beschickung von Arbeitsstationen
bei entsprechend angedockten Transportwagen genutzt werden können.
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In vorteilhafter Weise können im
Rahmen der Erfindung die Transportwagen, zur Erzielung entsprechend
niedriger Schwerpunktlagen während
des Transportes, die Transportbehälter zusammen mit ihrer haubenartigen
Abdeckung im jeweiligen Schacht aufnehmen, wobei der Höhenversatz über das
Hubwerk erreicht werden kann. Für
die weitere Nutzung ist insbesondere von Vorteil, dass der Transportbehälter über das
Hubwerk auch in eine aufgesetzte Lage verbracht bzw. aus einer aufgesetzten
Lage entnommen werden kann, in der der Transportbehälter über seine
haubenartige Abdeckung gegen den Transportwagen, insbesondere in Überdeckungslage zum
Aufnahmeschacht gegen den Transportwagen abgestützt werden kann. Hierbei erweist
es sich als zweckmäßig, dem
Aufnahmeschacht einen Deckel zuzuordnen, der in Überdeckung zum Bodenteil des Transportbehälters liegt
und über
den der Zugriff auf die Trageinrichtung der von der haubenarti gen
Abdeckung umschlossenen Stapelvorrichtung möglich ist, so dass bei Verriegelung
der Haube gegenüber
dem Transportwagen in ihrer Lage oberhalb des jeweiligen Aufnahmeschachtes über das
Hubwerk die Stapelvorrichtung in Stapelrichtung verfahren werden kann,
und zwar bei in die Hängelage überführten Traggliedern,
so dass für
etwaige Beschickungsvorgänge
ein Zugriff auf die mit Abstand zueinander liegenden gestapelten
Teile möglich
ist. Insbesondere bildet die Haube bei einer derartigen Lösung eine Verlängerung
des Aufnahmeschachtes nach oben, mit der Folge, dass der Aufnahmeschacht
eine Verlängerung
erfährt,
die bei vergleichsweise geringer Höhe des Aufnahmeschachtes lange
Verstellwege und damit den Zugriff auf alle Teile des Stapels ermöglicht.
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Bei entsprechender Ausgestaltung
des Transportwagens, beispielsweise mit einer umwälzenden
Belüftung
lassen sich durch entsprechende Überströmung der
in der Stapelvorrichtung gelagerten Teile auch Reinraumbedingungen
aufrechterhalten oder schaffen, die in Verbindung mit dem Andocken
des Transportwagens an eine Übernahmestation
bei entsprechender Abschottung der Übergabeöffnung von Vorteil sind.
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In der Reinraumtechnologie wird für die Fertigung
zunehmend auf geclusterte Systeme zurückgegriffen, bei denen in den
jeweiligen Clustern, so beispielsweise Arbeits- und Übergabestationen
die jeweils erforderlichen Klimabedingungen geschaffen werden, die
insgesamt für
das Umfeld aber keinen Reinraum bedingen.
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Transporte zu den jeweiligen Systemen, bzw.
zwischen den jeweiligen Systemen machen daher für die zu transportierenden
Teile bei gegebener Empfindlichkeit Schutzmaßnahmen erforderlich, um in
der Transportphase gegebenenfalls bereits gegebene Klimabedingungen
aufrecht zu erhalten und dadurch eine schnellere Übergabe
an das jeweilige System zu ermöglichen.
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Schon unter diesem Aspekt sind raumsparend
bauende Transportbehälter
zweckmäßig. Darüber hinaus
verlangt auch die zunehmende Größe der zu
transportierenden Teile in Form von Substraten, Teileträgern, Paletten
oder Werkstücken,
die Transportbehälter
möglichst
klein zu bauen, um die Handhabung und den Transport bei den teilweise
gegebenen erheblichen Gewichten zu erleichtern, zumal aus Gründen der
Transportökonomie
Transportbehälter mit
einem möglichst
großen
Fassungsvermögen
eingesetzt werden sollen, um die Anzahl der notwendigen Transportvorgänge klein
zu halten.
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Diesen Forderungen ist überlagert,
dass Transportbehälter
die zu transportierenden Teile nicht nur schützen müssen, sondern die zu transportierenden
Teile häufig
auch in einer Weise anliefern sollen, die einen guten Zugriff auf
die einzelnen Teile ermöglicht,
weshalb die Transportbehälter üblicherweise
kassettenartige Magazine als Stapelvorrichtungen für die Teile
aufweisen, in denen die Teile auf zueinander beabstandeten Auflagen
abgelegt sind, und zwar mit einem Abstand zueinander, der über entsprechende,
flache Schaufeln oder Greifer einen Zugriff auf die Teile ermöglicht.
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Weitere Einzelheiten und Merkmale
der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. Ferner wird die Erfindung
nachstehend anhand von Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
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1 bis 8 einen Transportbehälter mit
einer in einer Abdeckung angeordneten Stapelvorrichtung, in der
die gestapelten Teile in ihrer Höhenlage
zueinander veränderlich
sind, wobei die Stapelvorrichtung in 1 in
ihrer zusammengefahrenen Lage und ohne haubenartige Abdeckung veranschau licht
ist; weiter auch Details des Transportbehälters,
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9 bis 17 in Weiterführung der
Darstellung gemäß 1 – 8 des
Transportbehälters
und von Einzelheiten desselben, eine Darstellung insbesondere der
Stapelvorrichtung bei auseinander gefahrener Lage der Teile, so
insbesondere Details der Ausgestaltung der höhenverstellbaren Trageinrichtung
der Stapelvorrichtung,
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18 bis 21 eine aus Transportwagen
und Transportbehälter
gebildete Arbeitseinheit eines Transportsystemes in verschiedenen
Arbeitssituationen und
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22 und 23 eine weitere Ausgestaltung einer
Trageinrichtung mit deren Anordnung in einem Stützgerüst.
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In den 1 bis 17 ist in Verbindung mit Transportbehältern 1 eine
kassettenartige Stapelvorrichtung 4 für Teile 3 in Form
von Flachkörpern,
wie insbesondere Substraten, Teileträgern oder Werkstücken gezeigt,
wobei die 1 und 9 den jeweiligen Transportbehälter 1 ohne
die zugehörige
haubenartige Abdeckung 22 zeigen und somit insbesondere den
kassettenartigen Aufbau der Stapelvorrichtung 4 für die insbesondere
durch Flachkörper
gebildeten Teile 3 zeigen, und zwar in den 1, 5 und 6 bei zusammengefahrener
Stapelvorrichtung 4, und in den 9, 12 und 13 bei auseinander gefahrener
Stapelvorrichtung 4.
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Zur Realisierung des unterschiedlichen,
in Hochrichtung gegebenen Abstandes zwischen den aufeinander folgenden
Auflagen 5 für
die im Stapel übereinander
liegenden Teile 3 weist die Stapelvorrichtung 4 eine
Trageinrichtung 6 auf, die mit zwei Gliederketten 7 arbeitet,
die quer zur Stapelrichtung auf einander ge genüberliegenden Seiten der Teile 3 liegen
und jeweils die den Teilen 3 zugeordneten Auflagen 5 aufweisen.
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14 und 15 bzw. 16 und 17 veranschaulichen
in vergrößerter Darstellung
mögliche
Ausgestaltungen der Tragglieder 8 einer Gliederkette 7,
und zwar in deren in Hoch- oder Stapelrichtung auseinander gefahrener
Lage (15 und 17) wie auch in deren zusammengefahrener
Lage (14 und 16).
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Die Tragglieder 8 weisen
bevorzugt als Doppelhaken ein S- oder fleischhakenähnliches
Querschnittsprofil auf, wobei die beiden Haken 9 und 10 eines
Doppelhakens entgegengesetzt gekrümmt sind und über einen
dazwischenliegenden Mittelsteg 11 verbunden sind. Aufeinander
folgende Tragglieder 8 weisen gleiche Ausbildung auf, und
in die Haken 9 bzw. 10 eines Traggliedes 8 greifen
in die korrespondierenden, gegenläufig gekrümmten Haken 10' bzw. 9'' der nächstfolgenden Tragglieder 8' bzw. 8'' ein. In Zugrichtung verkrallen
sich die ineinander eingreifenden Haken, so, bezogen auf 15, die Haken 9 und 10' sowie 10 und 9''.
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Zweckmäßigerweise sind erfindungsgemäß die ineinander
eingreifenden Haken 9, 10 aufeinander folgender
Tragglieder 8 so ausgebildet, dass sie sich mit ihrem freien
Schenkel am vom Mittelsteg 11 ausgehenden Schenkel des
nächstfolgenden
Hakens abstützen,
und im zusammengefahrenen Zustand auch gegen dessen Mittelsteg,
wobei zweckmäßigerweise
der Mittelsteg 11 und die gegen diesen anliegenden Stirnflächen der
jeweiligen Haken angepasste, insbesondere quer zur Hubrichtung verlaufende
Anlageflächen
bilden, so dass erfindungsgemäß auch in
Schubrichtung eine Abstützung
zu erreichen ist. Im Rahmen der Erfindung liegt es auch, die Hubhöhe zwischen
aufeinander folgenden Traggliedern 8 auf die jeweiligen
Teile derart abzustimmen, dass sich in Schubrichtung eine tragende
Abstützung der
Teile gegeneinander ergibt.
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14 und 15 bzw. 16 und 17 veranschaulichen
unterschiedliche Ausgestaltungen der Auflagen 5. In den 14 und 15 sind die Auflagen 5 in Verlängerung
des Mittelsteges 11 frei auskragend vorgesehen, in den 16 und 17 sind die Auflagen den Stirnflächen 12 der
in Hubrichtung jeweils oberen, nach außen, d. h. nach der von den
Teilen 3 abgewandten Seite gekrümmten Haken 9 zugeordnet,
so dass die Auflagen 5 im Wesentlichen in die Gliederkette 7 hineinragen
und dadurch in der Wirklinie der hakenförmigen Tragglieder 8,
oder benachbart zu diesen liegen. Bei zur Darstellung gemäß 14 bis 17 umgekehrter Lage der Tragglieder 8,
der Mittelsteg erstreckt sich dann frei gegen die Teile 3,
können
auch die in Stapelrichtung oberen Stirnseiten des Mittelstegs 11 erfindungsgemäße Auflagen 5 bilden.
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Auf den Auflagen 5 stützen sich
in den dargestellten Ausführungsbeispielen
Böden 13 ab,
auf denen die jeweiligen Teile 3 aufliegen. Hierdurch ergibt
sich für
die beiderseits der Teile 3 liegenden und die Auflagen 5 aufweisenden
Gliederketten 7 eine wechselseitige Abstützung, und
auch eine aussteifende Führung.
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Die Gliederketten 7 sind
im Ausführungsbeispiel über ein
Stützgerüst 14 getragen,
das einen kopfseitigen Tragrahmen 15 aufweist, der im Ausführungsbeispiel
als U-förmiger
Rahmen ausgebildet ist und an den Säulen 16 anschließen, die
sich in Hochrichtung benachbart zu den Stirnseiten der Gliederketten 7 längs derselben
erstrecken, wobei die Darstellung gemäß 1 veranschaulicht, dass die Gliederketten 7 bevorzugt
als zwischen den Stirnseiten verlaufende und durchlaufende Profile
ausgebildet sind, die ähnlich
Rolladenprofilen eine geschlossene Seitenwand 17 bilden,
so dass bei seitlich an die Gliederketten 7 nach außen anschließenden Säulen 16 der
Querschnitt zwischen den Gliederketten 7 frei bleibt, und
zwar zum Ein- und Ausfahren der Teile 3 entsprechend der
Pfeilrichtung 18 als Beschickungsrichtung.
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Jede der Seiten des Tragrahmens 15 ist durch
wenigstens zwei Säulen 16 gebildet,
die über Querstreben 19 verbunden
sind und die gegenüberliegend
zu ihrer Anbindung an den Tragrahmen 15 an Aufnahmeöffnungen 20 eines
Bodenteiles 21 anschließen, das mit den Gliederketten 7 verbunden
ist.
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5 und 6 veranschaulichen, dass
der vorgeschilderte Aufbau gemäß 1 von einer haubenartigen
Abdeckung 22 umschlossen ist, gegenüber der das Bodenteil 21 bei
zusammengefahrener Stapelvorrichtung 4 über eine Verrastung 23 fixiert
ist, wie sie in 8 vergrößert veranschaulicht
ist, wobei der Bolzen 24 der Verrastung 23 in
eine Rastöffnung 25 am
unteren Ende der haubenartigen Abdeckung 22 eingreift.
In dieser Lage des Bodenteiles 21 greifen, wie bereits
in Verbindung mit 1 erläutert, die Säulen 16 mit
ihren unteren Enden in Aufnahmeöffnungen 20 des
Bodenteiles 21 ein, so dass über die haubenartige Abdeckung 22 in
Verbindung mit dem Bodenteil 21 und dem passend in der
haubenartigen Abdeckung 22 geführten Tragrahmen 15 eine
stabile Abstützung
für die
Stapelvorrichtung 4 erreicht ist. Eine Ansicht des Bodenteils 21 von
unten mit den Verrastungen 23 veranschaulicht 3.
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Insbesondere aus den 1 und 5 ist
ersichtlich, dass die haubenartige Abdeckung 22 zu den
in der zusammengefahrenen Lage eine rolladenartige Abschottung (Seitenwand 17)
bildenden Gliederketten 7 beabstandet verläuft, und
zwar zur Bildung von in Hochrichtung verlaufenden Lüftungskanälen, wobei
der anströmseitige
Lüftungskanal 26 im Querschnitt
gegenüber
dem abströmseitigen,
gegenüberliegenden
Lüftungskanal
größer ausgebildet
ist und zur offenen Seite des U-förmigen Tragrahmens 15 ausmündet. In
Verbindung mit in den Profilen der Gliederkette 7 vorgesehenen
Durchströmungsöffnungen 27 lässt sich über die
Lüftungskanäle bei entsprechender
Beaufschlagung eine Querüberströmung der
in der Stapelvorrichtung 4 liegenden Teile 3 er reichen,
wobei im Bodenteil 21 anströmseitig eine Lüftungsklappe 28 und
eine Abströmklappe 29 vorgesehen
sind, die beim Andocken beispielsweise an einen Transportwagen 90 gemäß 18 bis 21 aufgestoßen werden können.
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Ist das Bodenteil 21 durch
Lösen der
Verrastung 23 aus seiner zur Haube 22 fixierten
Lage entfernt, so ergibt sichb gewichtsbedingt ein Strecken der
Gliederketten 7 und dadurch eine Überführung der Stapelvorrichtung 9 aus
der zusammengefahrenen Lage in die auseinander gefahrene Hängelage, die
in den 9, 10, sowie 12 und 13 dargestellt
ist. Um ein entsprechendes Auseinanderfahren der Gliederketten 7 mit
Sicherheit zu erreichen kann benachbart zum Bodenteil 21 ein
Ballastgewicht 30 vorgesehen sein, das auch durch einen
Bestandteil des Bodenteils 21 oder das Bodenteil gebildet
sein kann, das in die anschließend
zum Bodenteil 21 vorgesehenen Tragglieder 8 der
Gliederketten 7 eingreift. Durch die Streckung der Gliederketten 7 in
ihrer Hängelage
mit auseinander gefahrenen Traggliedern 8 ergeben sich
in Stapelrichtung ausreichende Freiräume für die auf den Auflagen 5 abgestützten Teile,
so dass diese über
in Pfeilrichtung 18 ein- und ausfahrbare flache Greifeinrichtungen
bekannter Art erfasst und versetzt werden können.
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Um dies über die gesamte Stapelhöhe zu ermöglichen,
ist die Stapelvorrichtung 4 im Rahmen der Erfindung gegenüber der
Haube 22 höhenverstellbar, wobei
bevorzugt bei lagefester Abstützung
der Haube 22 über
an den Säulen 16 angreifende
Hubelemente die Stapelvorrichtung 4 in die auseinander
gefahrene Hängelage
gegenüber
der Abdeckung 22 versetzt wird, so dass bezogen auf eine
Referenzebene sämtliche
der im Stapel beabstandet übereinander
liegenden Teile 3 bei Verlagerung in die Referenzebene über entsprechende
Beschickungseinrichtungen erfasst werden können.
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Eine diesbezüglich im Rahmen der Erfindung
liegende Möglichkeit
wird bezogen auf einen entsprechend ausgestalteten Transportwagen
anhand der 18 bis 21 erläutert, wobei der mit 40 bezeichnete
Transportwagen einen Grundaufbau aufweist, wie er in der deutschen
Patentanmeldung 102 14 262.9 der Anmelderin beschrieben ist. Es
wird deshalb im Wesentlichen nachfolgend lediglich auf jene Teile
abgehoben, die in Verbindung mit der Beschickung des Transportwagens 40 und
dessen Zusammenwirken mit einer Greifereinrichtung 41 wesentlich
sind, wobei die Greifereinrichtung 41 einer – nicht
näher dargestellten – Übergabestation 42 zugeordnet
ist, die z. B. als Speicher- oder Arbeitseinheit ausgestaltet sein
kann und an die der Transportwagen 40 angedockt wird, wobei
die Greifereinheit 41 über
eine Schleuseneinheit 43 von der Übergabestation 42 auf
den Transportwagen 40 zugreift.
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In 18 ist
der Transportbehälter 1 in
einem den 5 und 6 entsprechenden Zustand
dargestellt, nämlich
bei zusammengefahrener Stapelvorrichtung 4, wobei die Stapelvorrichtung 4 von
der haubenartigen Abdeckung 22 umschlossen ist, und zwar
bei verriegeltem Bodenteil 21. Abweichend von den vorausgehenden
Darstellungen ist die Stapelvorrichtung 4 gegen das Deckelteil 44 der
haubenartigen Abdeckung 22 zusätzlich gemäß der Erfindung federnd abgestützt.
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Der Transportbehälter 1 liegt in der
Darstellung gemäß 1 oberhalb des Transportwagens 40 in
Flucht zu einem Aufnahmeschacht 45 des Transportwagens 40,
der über
einen Deckel 46 abgeschlossen ist. Der Transportwagen 40 umfasst
ein Hubwerk 47, zu dessen Ausgestaltung wiederum auf die
deutsche Patentanmeldung 102 14 262.9 verwiesen wird, wobei das
Hubwerk 47 eine Hubgabel 48 aufweist, die zu den
Säulen 16 des
Transportbehälters 1 korrespondierende
Säulenstützen 49 trägt.
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18 veranschaulicht,
dass die Abdeckung 22 bei verriegeltem Bodenteil 21 gegenüber dem
Bodenteil 21 einen nach unten überstehenden Randbereich aufweist,
der beim Abstellen des Transportbehälters 1 auf dem Deckel 46 gegenüber dem Transportwagen 40 verriegelt
wird, wobei zur Verspannung bevorzugt eine schaltbare Spannvorrichtung 51 vorgesehen
ist, über
die der Transportbehälter 1 zusammen
mit seinem Bodenteil 21 und dem Deckel 46 des
Aufnahmeschachtes 45 verspannt wird, wobei zugleich eine
Auflage für
den Deckel 46 und die haubenartige Abdeckung 22 gebildet
wird.
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Ausgehend von dieser Lage wird das
Hubwerk 48 aus seiner unterhalb der Transferebene 50 gegebenen
Lage gemäß 18 in eine angehobene Lage
verfahren, wobei die haubenartige Abdeckung 22 und der
Deckel 46 von der gemeinsamen Auflage am Transportwagen 40 abgehoben
werden und die Säulenstützen 49 in
die Säulen 16 des
Stützgerüstes 14 eingreifen.
Der Transportbehälter 1 samt
Haube 22 wird in den Aufnahmeschacht 45 abgesenkt,
bis der Dekkel 46 mit den darüber liegenden Teilen auf einer
im Aufnahmeschacht 45 bodenseitig vorgesehenen Stütze 55 zur
Auflage kommt.
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Ist diese Lage erreicht, so wird
die zunächst gegebene
Verriegelung zwischen dem Deckel 46 des Transportwagens 40 und
dem Bodenteil 21 einerseits sowie der haubenartigen Abdeckung 22 andererseits gelöst und es
wird die haubenartige Abdeckung 22 nachfolgend mit der
Stapelvorrichtung 4 in die obere Endlage verbracht, in
der die haubenartige Abdeckung 22 gegen den Transportwagen 40 wiederum verriegelt
wird, so dass anschließend über das
Hubwerk 48 die Stapelvorrichtung 4 unabhängig von
der haubenartigen Abdeckung 22 in Hochrichtung verfahren
werden kann und für
jedes der in der Stapelvorrichtung 4 liegenden Teile 3 eine
Höhenlage
angefahren werden, in der es in der Transferebene 50 liegt und
dadurch über
die Greifereinheit 41 erfasst werden kann, und zwar bei
ausgezogener Hängelage
für die
Auflagen 5 und der durch diese getragenen Teile 3.
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Durch Einfahren des Transportbehälters 1 und
der Stapelvorrichtung 4 aus der Arbeitslage gemäß 21 linksseitig in den Aufnahmeschacht 45 ist
eine Transportposition (21 rechtsseitig)
zu erreichen, in der die Stapelvorrichtung 4 ihre zusammengefahrene
Lage einnimmt, so dass eine Transportposition gegeben ist, wie sie
isoliert für
den Transportbehälter 1 beispielsweise
aus den 4 und 5 ersichtlich ist. Damit
ist es im Rahmen der Erfindung mit Vorteil auch möglich, einerseits
die Aufnahmeschächte 45 für den Transport
zu nutzen und gegebenenfalls über
den Aufnahmeschächten 45, analog
zu 6, weitere Transportbehälter aufzusetzen,
die z. B. bei Erreichen der Übergabestation 42, bzw.
der Andocklage zu dieser zunächst
abgenommen und zwischengelagert werden können, um diese nachfolgend
abzuarbeiten.
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21 veranschaulicht
des Weiteren die spülende
Belüftung
des Transportbehälters 1,
bzw. der in diesem abgelegten Teile 3 über einen dem Transportwagen 40 zugeordneten
Luftkanal 52, der die Luftklappe 28 in seiner
das Bodenteil überschneidenden
Höhenlage
aufstößt und auf
den Lüftungskanal 26 mündet.
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18 zeigt
des Weiteren für
den Transportwagen 40 – der,
wie 21 zeigt, quer zur
Andockrichtung nebeneinander liegende Aufnahmeschächte 45 aufweisen
kann, die jeweils eigenständig
belüftet sind
und eigenständige
Hubwerke aufweisen – eine Ausgestaltung
des Fahrwerks, durch die sich in Verschieberichtung, die der Andockrichtung
entspricht, ein vergrößerter Radstand
dadurch ergibt, dass der zur Andockseite abgelegene Radsatz 53 über eine Schiebeführung ausziehbar
ist, wobei die ausgezogene Lage verriegelbar ist und wobei dem Radsatz 53 bevorzugt
auch die Handhabe 54 zugeordnet ist, so dass für den Fahrbetrieb
ei ne bessere und stabilere Handhabbarkeit ergibt, sich andererseits
aber in der Andocklage eine schmale Bauform des Transportwagens 40 verwirklichen
lässt.
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In den 22 und 23 ist zusammengefahren (22) und auseinander gezogen
(23) eine weitere Ausgestaltungsform
einer Stapelvorrichtung 62 gezeigt, wobei diese ein Stützgerüst 14,
das in Analogie zu den vorausgehenden Ausbildungen ausgestaltet
sein kann, aufweist und in dem die Trageinrichtung 60 liegt.
Die Trageinrichtung 60 ist in ihrer zusammengefahrenen
Lage (22) bei 61 bodenseitig
abgestützt,
und gegebenenfalls gegen diese Bodenlage federnd belastet, wie bei 64 angedeutet. Die
Trageinrichtung 60 ist in ihrem in Stapelrichtung oberen
Teil ferner kolbenartig ausgebildet, Kolben 65, und läuft mit
dem Kolben 65 in einen domartigen Aufsatz 66 des
Stützgerüstes 14 ein,
der als Zylindermantel 67 ausgebildet eine Führung für den Kolben 65 bildet,
so dass der Kolben 65 durch entsprechende Druckbeaufschlagung
in eine obere Lage (23)
verfahren werden kann, in der die Trageinrichtung 60 auseinander
gezogen ist. Die Verstelleinrichtung, wie sie vorstehend symbolisch
angesprochen ist, kann selbstverständlich auch in anderweitiger
Weise ausgebildet sein, so beispielsweise durch einen Magnetsteller
gebildet sein.
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Im Rahmen der Erfindung liegen somit
Lösungen,
bei denen die auseinander gefahrene Lage entweder durch Absenken
des Bodenteiles oder durch Anheben der Trageinrichtung erreicht
wird, wobei im Rahmen der Erfindung auch Mischlösungen möglich sind.