KR100330480B1 - 웨이퍼 돌출 방지 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 SMIF 시스템에서 캐리어를 SMIF를 이용하여 로딩/언로딩 시킬 때 웨이퍼가 캐리어 밖으로 돌출되어 파손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 돌출 방지장치에 관한 것으로, 웨이퍼의 돌출을 방지하기 위한 리테이너, 리테이너 후면에 설치되며, 그의 하부에 링이 마련된 리테이너 지지대, 탄성수단을 통해 커버에 피봇운동 가능하게 설치된 한 쌍의 프레임, 한 쌍의 프레임 사이에 수평하게 마련되며, 그의 단면이 타원형인 회전축을 포함하며, 리테이너 지지대는 한 쌍의 회전축에 연결되어, 회전축의 회전운동에 의해 전진운동과 상승운동을 하여, 상기 리테이너가 웨이퍼쪽으로 이동하여, 웨이퍼의 돌출을 방지할 수 있다.

Description

웨이퍼 돌출 방지장치{DEVICE FOR RETAINING WAFERS}

본 발명은 웨이퍼 이송공정에 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface, 이하, SMIF라 한다) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SMIF 시스템에서 캐리어를 SMIF를 이용하여 로딩/언로딩 시킬 때 웨이퍼가 캐리어 밖으로 돌출되어 파손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 돌출 방지장치에 관한 것이다.

SMIF는 Standard Mechanical Interface의 약자로써, 좁은 공간의 청정실등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용되며, 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드, SMIF 파드 내에 장착되어 웨이퍼가 캐리어로부터 돌출되어 파손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 돌출 방지장치등을 포함한다.

도 1 및 도 2는 종래 SMIF 파드의 사시도 및 종래 웨이퍼 돌출 방지장치의 구성 및 작동을 설명하기 위한 도면이다.

도 1에 도시한 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 12), 파드 도어(12)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(14) 및 캐리어(14)를 보호하기 위한 커버(16)를 포함한다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 종래 SMIF 파드(10) 내에는 캐리어(14) 내에 정렬된 웨이퍼가 돌출되어 파손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 돌출 방지장치가 마련된다. 웨이퍼 돌출 방지장치는 웨이퍼 캠(20), 웨이퍼 캠(20)에 의해 회전운동하는 로드(22) 및 로드(22)에 부착되어 로드(22)의 회전운동에 따라 선택적으로 캐리어(14) 내의 웨이퍼 쪽으로 이동하여 웨이퍼가 캐리어(14)로부터 돌출되어 파손되는 것을 방지하는 웨이퍼 리테이너(24)를 포함한다. 상술한 로드(22)의 상단은 캐리어의 25번 슬롯, 즉 캐리어(14)에 정렬된 웨이퍼중 최상단의 웨이퍼가 위치하는 높이와 일치하도록 형성되어 있다.

상술한 구성에 의해, 웨이퍼를 소정 장소로 이송하기 위해 SMIF를 이용하여운반하는 경우, 운반 과정에서의 진동등에 의해 캐리어(14) 내에 정렬된 웨이퍼가 돌출되려고 하여도 웨이퍼 돌출방지 장치의 웨이퍼 리테이너(24)에 의해 그의 돌출이 방지되므로, 안전하게 원하는 장소로 이송시킬 수 있다.

그러나, 이러한 웨이퍼 돌출방지 장치의 로드 상단은 캐리어의 25번 슬롯, 즉 캐리어에 정렬된 웨이퍼중 최상단의 웨이퍼와 정렬되도록 형성되어 있으므로, 25번 슬롯의 웨이퍼가 SMIF 로드에 걸려서 파손되고, 이로 인한 생산성 저하가 초래된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 웨이퍼를 파손시키는 일 없이 웨이퍼의 돌출을 방지할 수 있는 웨이퍼 돌출 방지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 웨이퍼 돌출 방지 장치는 웨이퍼의 돌출을 방지하기 위한 리테이너, 리테이너 후면에 설치되며, 그의 하부에 링이 마련된 리테이너 지지대, 탄성수단을 통해 상기 커버에 피봇운동 가능하게 설치된 한 쌍의 프레임, 한 쌍의 프레임 사이에 수평하게 마련되며, 그의 단면이 타원형인 회전축을 포함하며, 리테이너 지지대는 상기 한 쌍의 회전축에 연결되어, 회전축의 회전운동에 의해 전진운동과 상승운동을 하여, 상기 리테이너가 웨이퍼쪽으로 이동할 수 있도록 구성된다.

본 발명의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱명확하게 될 것이다.

도 1은 종래 SMIF 파드의 사시도,

도 2는 종래 웨이퍼 돌출 방지장치의 구성 및 작동을 설명하기 위한 도면,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출방지 장치의 배면도,

도 4는 본 발명에 따른 돌출 방지장치의 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

110 : 리테이너 120 : 리테이너 지지대

122 : 링 130 : 프레임

132 : 스프링 140 : 회전축

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 웨이퍼 돌출 방지 장치를 상세하게 설명한다.

도 3 및 도 4는 각각 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출방지 장치의 배면도 및 측면도이다. 또한, 이하의 기재에 있어서, 종래의 도면을 참조하여 설명하며, 종래와 동일한 부품에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 12), 파드 도어(12)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(14) 및 캐리어(14)를 보호하기 위한 커버(16)를 포함한다.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 캐리어(14) 내에 정렬된 웨이퍼가 돌출되어 파손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 돌출 방지장치가 캐리어(14)의 앞부분에 대응하는 커버(16)에 마련된다. 웨이퍼 돌출 방지장치는 웨이퍼의 돌출을 방지하기 위한, 예를들어 사각형의 리테이너(110), 리테이너(110) 후면에 설치되며 그의 하부에 링(122)이 마련된 리테이너 지지대(120), 커버(16)에 피봇운동 가능하게 설치된 한 쌍의 프레임(130), 한 쌍의 프레임(130) 사이에 수평하게 마련되며, 그의 단면이 타원형인 한 쌍의 회전축(140)을 포함한다.

상술한 리테이너 지지대(120)의 설치 길이는 커버(16)가 파드 도어(12)상에 장착될 때, 그의 하부에 위치한 링(122)이 파드 도어(12)에 의해 밀리는 힘을 받도록 적절하게 조정되는 것이 바람직하다.

또한, 상술한 프레임(130)은 탄성수단, 예를들어 스프링에 의해 피봇운동이 가능하도록 커버(16)와 연결되며, 상술한 리테이너 지지대(120)는 한 쌍의 회전축(140)에 연결된다.

이하, 본 발명의 웨이퍼 돌출 방지 장치의 작동에 대하여 설명한다.

우선, 웨이퍼 돌출 방지 장치가 설치된 커버(16)가 파드 도어(12) 상의 웨이퍼가 정렬된 캐리어(14)를 보호하기 위해 파드 도어(12)상에 캐리어(14)를 덮도록 장착되는 경우, 리테이너 지지대(120) 하부의 링(122)은 파드 도어(12) 상부와 접촉하게 된다. 이 때, 링(122)은 파드 도어(12)와의 위치 변위차에 의해 파드 도어(12)로부터 밀리는 힘을 받게 된다. 링(122)이 파드 도어(12)에 의해 밀리면, 리테이너 지지대(120)와 연결된 리테이너(110)가 상승운동을 하게 됨과 동시에, 그와 연결된 회전축(140)의 단면 형상이 타원형이므로, 전진운동을 하게 된다. 즉, 리테이너(110)는 캐리어(14)에 정렬된 웨이퍼를 향해 이동하는 것에 의해, 웨이퍼가 돌출되는 것을 방지할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 바람직한 예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형 실시 할 수 있음을 알 수 있을 것이다.

본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 방지 장치에 의해, 웨이퍼를 손상시키는 일 없이 웨이퍼의 돌출을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼가 정렬되는 캐리어 및 캐리어를 보호하기 위한 커버를 갖는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 웨이퍼 돌출 방지 장치에 있어서,

   웨이퍼의 돌출을 방지하기 위한 리테이너;

   상기 리테이너 후면에 설치되며, 그의 하부에 링이 마련된 리테이너 지지대;

   탄성수단을 통해 상기 커버에 피봇운동 가능하게 설치된 한 쌍의 프레임;

   상기 한 쌍의 프레임 사이에 수평하게 마련되며, 그의 단면이 타원형인 회전축을 포함하며,

   상기 리테이너 지지대는 상기 한 쌍의 회전축에 연결되어, 회전축의 회전운동에 의해 전진운동과 상승운동을 하여, 상기 리테이너가 웨이퍼쪽으로 이동할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 방지 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성수단은 스프링인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 방지 장치.