KR101338990B1

KR101338990B1 - 기판이송장치

Info

Publication number: KR101338990B1
Application number: KR1020060137105A
Authority: KR
Inventors: 홍경택
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2013-12-09
Also published as: KR20080061912A

Abstract

본 발명은 대형 유리기판상에 형성되는 다수 개의 액정패널을 단위 패널로 출하하여 게이트 및 데이터 PCB를 액정패널에 부착하는 모듈공정으로의 진행과정에 있어서, 집게 로봇 시스템을 적용하여 액정패널을 이송하려는 기판이송장치에 관한 것으로서, 그 구성은 바닥면에 위치하여 베이스(base)를 이루는 본체와; 상기 본체의 양측에 형성되는 지지프레임과; 상기 지지프레임을 서로 연결하여 다수 개가 소정간격으로 배열·고정되는 레일(rail)과; 상기 지지프레임의 사이에 구비되어 기판 적재수단이 놓이는 복수 개의 안착대; 및 상기 레일을 이동하는 적어도 하나의 집게 로봇을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

카세트, 박스, 집게 로봇, 안착대, 레일(rail)

Description

기판이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

도 1은 종래기술에 따른 기판이송장치를 나타내는 도면

도 2는 도 1의 AP 공정단계와 모듈 공정의 중간 과정을 나타내는 도면

도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판이송장치를 나타내는 도면

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치를 나타내는 도면

※※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※※

100, 200: 본체 110a, 210a: 제1지지프레임

110b, 210b: 제2지지프레임 112, 212: 레일

113, 213: 이동장치 114, 214: 로봇 암

115, 215: 로봇 핑거 116, 216: 점착수단

120, 220: 집게 로봇 120a, 220a: 제1안착부

120b, 220b: 제2안착부 130, 230: 카세트

140, 240: 박스 250: 액정패널

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다. 더 상세하게는 대형 유리기판상에 형성되는 다수 개의 액정패널을 단위 패널로 출하하여 게이트 및 데이터 PCB를 액정패널에 부착하는 모듈공정으로의 진행과정에 있어서, 집게 로봇 시스템을 적용하여 액정패널을 이송하려는 것에 관련된다.

최근 들어 디스플레이에 대한 관심이 고조되고 휴대 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)와 관련한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중에서도 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크 탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.

도 1은 이와 같은 액정표시장치의 전체적인 제조과정을 나타내는 흐름도이다. 통상적으로 하판인 박막트랜지스터 어레이기판 및 상판인 컬러필터기판의 제조 단계(S11), 액정 셀 공정단계(S13), 오토 프로브(Auto Probe) 검사단계(S15) 및 LCD모듈 공정단계(S17) 등 크게 4개 부분으로 구분된다.

먼저 상·하판의 제조단계(S11)는 IPS(In-Plain Switching) 모드 방식의 경우 유리기판상에 종횡으로 배열되어 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인, 그 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터, 그리고 그 화소 영역상에 형성된 화소전극 및 공통전극이 구성되는 어레이 기판과, 유리기판상에 형성되는 색상을 구현하는 적(R), 녹(G), 청(B)의 서브 컬러필터와 그 서브컬러필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하기 위한 블랙매트릭스(Black Matrix)로 구성되는 컬러필터기판의 제조 과정을 의미한다.

또한 액정셀 공정(S13)은 배향막 단계, 어레이 기판 및 컬러필터기판의 합착 단계, 그리고 액정층 형성단계를 포함한다. 다시 말해, 배향막 단계는 어레이 기판과 컬러필터기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향 규제력 또는 표면 고정력을 제공하기 위하여 배향막의 러빙(rubbing) 공정을 진행하게 되고, 어레이 기판 및 컬러필터기판의 합착 단계는 두 기판을 세정한 다음, 어레이 기판에 셀 갭을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 산포하고 컬러필터기판의 외곽부에 실링재를 도포한 후, 두 기판에 압력을 가하여 합착하게 되며, 액정 층 형성단계는 낱개로 가공된 액정패널의 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 그 액정주입구를 봉지하여 액정 층을 형성하게 된다. 현재에는 이와 관련해 공정상 블랙매트릭스를 이용하여 셀 갭을 일정하게 유지하는 기술뿐 아니라, 대형 유리기판상에 형성된 다수 개의 액정패널에 액정 층을 형성한 다음, 개별 단위의 액정패널로 출하되는 기술에까지 이르고 있다.

그리고 위의 셀 공정을 마친 액정패널은 외관 및 전기적 불량 검사를 위하여 오토프로브(Auto Probe) 및 오토비젼 검사(Auto Vision Probe)를 수행하게 된다(S15). 예를 들어 컬러필터 돌기, 사선얼룩, 러빙 줄무늬, 핀 홀, 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 또는 합선 등을 검사하는데, 이후에는 대부분 작업자의 눈을 이용하여 직접 검사하는 목시검사도 함께 수행한다.

이후 LCD모듈 공정단계(S17)에서는 게이트 구동부가 구성된 게이트 PCB, 그 리고 데이터 구동부가 구성된 데이터 PCB를 조립하는 단계를 포함하여 액정패널로 빛을 제공하기 위한 백라이트장치 및 상·하부커버의 조립단계 등이 이루어진다.

이때, 오토프로브 단계(S15)에서의 단위 액정패널은 카세트 내부에 적재되어 롤러 컨베이어에 의해 이동하고, LCD모듈 공정단계(S17)로 진행하기에 앞서 별도로 준비되는 또 다른 카세트, 더 정확하게는 로봇이 투입되는 정면부를 제외한 5면이 외부와 서로 폐쇄된 구조로 형성된 박스(box)로 액정패널이 이송된 후 모듈공정이 이루어지게 된다. 물론 여기에서의 액정패널 이송은 이재 로봇에 의하여 이루어지고 있다.

이와 관련해 도 2는 종래의 이재 로봇에 의한 기판이송장치를 나타내는 도면이다. 도면에서 볼 때, 로봇 핸드(11)가 투입되어 있는 좌측이 모듈 공정의 이전 단계를 보여주는 것이고, 우측이 바로 모듈 공정단계(S17)로 진행되기에 앞서 오토프로브 단계(S15)에서 개별 단위로 출하된 액정패널(50)이 박스(box)(40)의 내부에 이재된 상태를 나타내는 도면이다.

도면에 별도로 나타내지는 않았지만, 실질적으로 로봇 핸드(11)가 투입되는 카세트 영역(20)으로는 내부에 액정패널(50)을 적재한 카세트(미도시)가 로더(loader)상에 안착되어 있게 된다.

이때, 이재 로봇(10)은 전후 및 상하로 이동하면서 카세트(미도시) 내부에 적재되어 있는 액정패널(50)을 반출한 후, 90도 회전하여 대기 중인 박스(40)의 내부로 액정패널(50)을 이재하게 된다.

이후 박스(40)의 내부로 액정패널(50)의 이재가 완료되면 박스(40)는 로봇 핸드(11)가 투입되는 정면부가 상측을 향하도록 회전 수단(30)에 의하여 90도로 회전된 후 모듈 공정을 진행하게 된다.

무엇보다 이러한 과정에 있어서 이재 로봇(10)은 점점더 대형화되어가는 단위 액정패널을 이재하기 위하여 로봇 핸드(11)의 수를 늘리거나 혹은 로봇 핸드(11)의 길이를 길게 형성하여야 하는데, 이러한 경우 로봇 핸드(11)가 아래로 휘게 되는 등 그 과정에 많은 제약이 따르고 있다. 그 결과 액정패널의 이재시 많은 시간이 소요되고 있어 공정상 전체적인 택트 타임이 증가하게 된다. 이는 결국 액정표시장치의 수율 감소로 이어지고 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 개선하고자 종래와 같이 서로 수평한 로봇 핸드를 구비한 이재 로봇을 사용하여 액정패널을 이재하는 것이 아니라, 셀 공정에 사용되는 카세트와 모듈 공정에 사용되는 박스의 상측을 다수개의 집게 로봇이 직선 및 상하 이동하며 대형의 액정패널을 이송할 수 있도록 하려는데 그 목적이 있다.

그리고 이와 같은 목적 달성은 본 발명에 의하여 더욱더 구체화될 수 있다. 즉 본 발명에 따른 기판이송장치는 바닥면에 위치하여 베이스(base)를 이루는 본체와; 상기 본체의 양측에 형성되는 지지프레임과; 상기 지지프레임의 사이에 구비되어 기판 적재수단이 놓이는 복수 개의 안착대; 상기 지지프레임을 서로 연결하며, 다수개가 상기 기판 적재수단 내에 적재된 기판의 간격과 동일한 간격으로 서로 평행하게 배열되어 고정되는 레일(rail); 및 상기 레일 각각에 설치되며, 상기 레일을 따라 이동하여 상기 기판을 이송하는 적어도 하나의 집게로봇을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

삭제

이와 관련해 도면을 참조하여 좀더 구체적으로 살펴보고자 한다. 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치의 내부 구성도이다. 도면에서 볼 때, 장치의 내부에는 바닥면에 위치하여 장치의 베이스를 이루는 본체 프레임(100)이 구성된다. 물론 여기에서의 본체 프레임(100)은 이송 장치의 모든 요소를 구성하기 위한 토대가 되는 프레임이며, 두 영역으로 구분되어 한쪽은 오토 프로브(Auto Probe) 단계에서 반입·반출되는 카세트(130)를 관장하는 영역이고, 다른 한쪽은 모듈 단계로 이송되는 박스(140)의 반입·반출을 관장하는 영역이 된다.

여기에서 AP 공정부에 해당되는 본체 프레임(100)상에는 AP 공정단계에서 투입되는 카세트(130)를 안착시키는 제1안착부(120a)가 형성되고, 또한 모듈 공정부에 해당되는 본체 프레임(100)상에는 모듈 공정단계로 액정패널(150)을 진행시키기 위한 박스(140)가 안착되는 제2안착부(120b)가 형성된다. 물론 여기에서의 제1 및 제2안착부(120a, 120b)는 로더(loader)가 바람직하다.

물론 제1안착부(120a)상에 안착되는 카세트(130)는 액정패널(150)이 적재되어야 하고, 또 집게 로봇(120)이 출입하게 되는 관계로 상측 면을 제외한 5면으로 금형과정에 의해 추출된 압출 바들이 격자형을 이루어 형성된다. 반면 제2안착부(120b)상에 안착되는 박스(140)는 집게 로봇(120)의 다양한 제어방식에 따라 다양한 방법으로 액정패널(150)을 수납할 수 있도록 하기 위하여 상측 및 제1안착부(120a)의 카세트(130)와 마주보는 면이 개방되어 이후에 2단 커버(미표기)가 닫히게 되는 2단 오픈박스를 사용하게 된다.

여기에서, 다양한 방법이란 집게 로봇(120)이 박스(140)의 상측까지 액정패널(150)을 위치시킨 후, 수직한 방향으로 액정패널(150)를 수납하게 되는 방법이고, 또 한가지 방법은 제1안착부(120a)의 카세트(130)와 마주보는 면의 앞쪽에서 액정패널(150)을 수직한 방향으로 하강시킨 다음, 다시 집게 로봇(120)을 직진시켜 액정패널(150)을 수납하는 방법이다.

물론 이를 위하여 본체 프레임(100)의 내부에는 상측으로 위치하는 집게 로봇(120)을 제어하기 위한 제어시스템이 구성되어야 한다. 그 구동시스템에 관하여 간략하게 살펴보면, 예컨대 본체 프레임(100)의 제1 및 제2안착부(120a, 120b)에 카세트(130) 및 박스(140)가 각각 안착되면 제1 및 제2안착부(120a, 120b)에 설치되어 있는 센서가 이를 감지하여 감지신호를 CPU(Central Processing Unit)로 보내어주면 CPU는 그 제어신호를 전송받아 초기에 설정된 프로그램대로 집게 로봇(120)을 가동시키게 된다.

실례로 현재 가장 많이 사용되고 있는 대표적인 방법이 PLC(Programmable Logic Controller) 프로그램에 의한 제어방법이다. 여기에서 PLC란 복잡한 배선이 요구되는 릴레이 제어를 마이크로 프로세서를 이용하여 소프트웨어적으로 처리함으로써 하드웨어적인 변경없이 간단한 소프트웨어 변경만으로 공정제어를 쉽게 변경할 수 있는 제어시스템이다. 이러한 PLC는 1968년 제너럴 모터사의 엔지니어에 의해 개념이 확립되고, 1977년 알렌 브레들리사에 의해 8080 마이크로 프로세서에 기반을 둔 시스템이 소개되었다. 현재의 PLC는 통신 기능이 강화되어 네트워크상에서 여러 컴퓨터, CAD 시스템, 로봇, 기타 주변장치와 함께 연계되어 컴퓨터통합생산체계(CIM)의 일부로 발전되었다. 이러한 컴퓨터통합시스템에 네트워크를 위한 프로토콜 맵(Manufactruing Automation Protocol)이 등장하여 표준화되었다.

그리고, 본체 프레임(100)의 양측으로는 이후에 기술하겠지만, 본체 프레임(100)의 상측에서 집게 로봇(120)이 적정 높이를 유지하며 이동할 수 있도록 일종의 선로인 레일(112)을 지지하기 위한 AP 공정부에 해당하는 제1지지프레임(110a) 및 모듈 공정부에 해당하는 제2지지프레임(110b)이 형성된다.

또한, 양측의 제1 및 제2지지프레임(110a, 110b))간에는 집게 로봇(120)이 이동하기 위한 다수개의 레일(112)이 구성된다. 물론 그 다수개의 레일(112)은 양측의 제1 및 제2지지프레임(110a, 110b)상에 소정간격을 이루어 배열·고정되는데, 더 정확하게는 앞서 언급한 바 있는 카세트(130) 및 박스(140) 내에 수직하게 적재된 액정패널(150)의 간격과 동일한 범위에서 배열하여 고정되는 것이 바람직하다.

따라서, AP 단계에서의 카세트(130) 내부에 예컨대 25장의 단위 액정패 널(150)이 적재되어 있다면, 그 액정패널(150)의 간격과 동일한 범위에서 25개의 레일(112)이 형성되겠지만, 카세트(130)에 적재되는 액정패널(150)의 개수가 얼마든지 변경될 수 있는 것을 고려할 때, 양측의 제1 및 제2지지프레임(110a, 110b)상에 배열·고정되는 레일(112)의 개수는 그 이상이어도 무관할 것이다.

이와 같이 레일(112)이 형성되고 나면, 그 레일(112)을 이동하며 액정패널(150)을 이송하는 집게 로봇(120)이 구성된다. 엄격하게 말해서, 여기에서의 집게 로봇(120)은 레일(112)을 이동하기 위하여 레일(112) 위를 구르는 구동 휠(미도시)과 구동 휠을 가동시키기 위하여 구동력을 제공하는 모터(미도시) 등이 설치된 이동 장치(113)와, 그 이동장치(113)에 고정되어 하측으로 일종의 팔을 늘렸다 줄였다 할 수 있는 로봇 암(114)과, 그 로봇 암(114)의 끝 부위에 구성되어 실질적으로 카세트(130)에 수직하게 수납되어 있는 액정패널(150)의 가장자리를 집는 혹은 취득(取得)하는 로봇 핑거(115)가 형성된다. 물론 로봇 핑거(115)가 액정패널(150)과 직접적으로 접촉하는 것은 아니며, 액정패널(150)과의 접촉을 유연하게 하기 위하여 점착고무로 이루어진 점착 수단(116)을 추가적으로 구성할 수 있다.

이에 더하여, 본 발명에 따른 기판이송장치는 도면에 별도로 나타내지는 않았으나 다수개의 집게 로봇(120)이 동시에 액정패널(150)을 이송하면서 발생할 수 있는 충돌을 예방하기 위하여 제1안착부(120a)에 안착되는 카세트(130)와 제2안착부(120b)에 안착되는 박스(140)의 마주보는 가운데 영역으로 격벽을 설치함으로써 위의 문제에 대응할 수 있을 것이다.

이제, 이러한 기판이송장치가 구동하는 방법에 대하여 살펴보고자 한다. 먼저, 장치의 내부로는 AP 단계에서 카세트(130)의 내부에 액정패널(150)을 적재하여 보내오면, 기판이송장치의 카세트(130) 투입부에 구비되는 이재 로봇(미도시)이 카세트(130)를 이재하여 기판이송장치의 제1안착부(120a)상에 안착시키게 된다. 물론 기판이송장치의 내부에 설치된 집게 로봇(120)에 의해 수직방향으로 액정패널(150)이 반출될 수 있도록 하기 위하여는 그 이전 단계에서 이미 소정의 회전수단을 통해 집게 로봇(120)의 투입부가 상측을 향하도록 카세트(130)가 90도 회전되어 반입되어야 할 것이다.

이와 동시에 모듈 공정부에 해당하는 기판이송장치의 제2안착부(120b)에는 기판이송장치의 외부에 설치되는 이재 로봇(미도시)에 의하여 내부가 비어 있는 박스(140)를 반입하게 된다. 물론 여기에서의 박스(140)도 상측에서 집게 로봇(120)이 액정패널(150)을 수납할 수 있도록 개방된 면을 상측으로 위치하여 제2안착부(120b)상에 안착시키게 된다.

이와 같이 제1 및 제2안착부(120a, 120b)에 카세트(130) 및 박스(140)가 안착되면, 제1 및 제2안착부(120a, 120b)상에 장착되는 감지센서(미도시)가 이를 감지하여 하부에서 토대를 이루는 본체 프레임(100)의 내부에 구성된 CPU에 신호를 전송하게 된다. 그리고 CPU는 그 신호를 전송받아 초기에 설정된 프로그램대로 동작하도록 집게 로봇(120)으로 제어신호를 다시 전송하게 된다.

이때, 대기 중이던 다수개의 집게 로봇(120)이 카세트(130)의 내부로 동시에 투입되어 각각의 액정패널(150)을 취득한 후, 제2안착부(120b)에 안착된 박스(140)의 내부로 수납시키게 된다.

이와 같은 경우, 실질적으로 다양한 제어방법이 가능할 수 있다. 다시 말해, 집게 로봇(120)에 의해 동시에 액정패널(150)이 이송되는 경우 액정패널(50)의 유동에 의하여 서로 근접하는 액정패널(150)간 충돌이 발생할 수도 있다. 그러므로 가령 24개의 액정패널(150)이 카세트(130)의 내부에 적재되어 있는 경우 기수 번째의 액정패널(150)을 먼저 제2안착부(120b)에 안착된 박스(140)로 수납한 후, 이어 우수 번째의 액정패널(150)을 제2안착부(120b)상의 박스(140)로 수납하게 된다. 그 결과, 액정패널(150)을 이송하기 위한 택트 타임(tact time)은 초기의 방법 대비 2배로 늘어날 수밖에 없다. 따라서, 이러한 점을 고려해 볼 때 택트 타임(tact time)에 크게 제약을 받지 않는 범위 내에서 다양한 집게 로봇(120)의 제어방법이 가능할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치 및 방법을 나타내는 도면이다. 도 3과 비교해 볼 때, 도 4에서는 카세트(230) 및 박스(240)의 반입·반출 경로가 다르게 구성되어 있다. 다시 말해, 도 4에서의 기판이송장치는 카세트(230) 및 박스(240)의 반입·반출이 동일 방향으로 구성되어 제1안착부(220a)는 제1지지프레임(210a)의 외부와 내부를, 그리고 제2안착부(220b)는 제2지지프레임(210b)의 외부와 내부를 이동하며 카세트(230) 및 박스(240)를 반입·반출하게 된다.

이로 인해, AP 공정부의 카세트(230) 투입부에 설치되는 이재 로봇(미도시)이 제1지지프레임(210a)의 외부에 대기 중이던 제1안착부(220a)에 카세트(230)를 안착시키게 되면, 제1안착부(220a)는 제1지지프레임(210a)의 내부로 이동하여 소정 위치에서 멈추어서게 된다. 이와 동시에 모듈 공정부로 진행하기 위하여 박스(240) 투입부에 설치되는 이재 로봇(미도시)이 제2지지프레임(210b)의 외부에 대기 중이던 제2안착부(220b)에 박스(240)를 안착시키게 되면, 제2안착부(220b)는 제2지지프레임(210b)의 내부로 이동하여 소정 위치에서 멈추어서게 된다.

이때 제1 및 제2안착부(220a, 220b)상에 장착되는 감지센서가 카세트(230) 및 박스(240)가 적재됨을 감지하여 CPU로 신호를 전송하게 되면, 초기 설정된 프로그램에 따라 집게 로봇(220)이 이동하며 다수의 액정패널(250)을 카세트(230)에서 박스(240)로 이송하게 된다.

이후, 액정패널(250)의 이송이 완료된 카세트(230)는 다시 외부로 반출시키게 되고, 액정패널(250)의 수납이 완료된 박스(240)는 2단 커버(미표기)를 닫은 후 모듈 공정 단계로 진행하여 모듈 공정이 이루어지게 된다.

물론 이후의 공정은 지금까지 기술한 바 있는 과정을 되풀이하여 수행된다.

지금까지의 구성 결과, 본 발명에 따른 기판이송장치는 셀 공정에 사용되는 카세트와 모듈 공정에 사용되는 박스의 상측을 다수개의 집게 로봇이 직선 및 상하 이동하며 대형의 액정패널을 이재할 수 있게 됨으로써, 대형 액정패널의 이재시 휨 문제가 발생하지 않게 되고, 또한 이재시 많은 시간도 소요되지 않게 된다. 이는 결국 공정상 전체적인 택트 타임을 감소시키고, 액정표시장치의 수율 증가로 이어지게 될 것이다.

Claims

바닥면에 위치하여 토대(base)를 이루는 본체;

상기 본체의 양측에 각각 형성되는 지지프레임;

상기 지지프레임의 사이에 구비되며, 각각에 기판적재수단이 놓이는 복수 개의 안착대;

상기 지지프레임 사이를 연결하며, 각각이 상기 기판 적재수단에 적재된 기판의 간격과 동일한 간격으로 서로 평행하게 배열되어 고정된 다수의 레일(rail); 및

상기 다수의 레일 각각에 설치되며, 상기 다수의 레일 각각을 따라 상기 복수개의 안착대 사이에서 왕복 이동하면서 상기 기판적재수단에 적재된 상기 기판을 이송하는 적어도 하나의 집게로봇을 포함하고,

상기 다수의 레일 중 기수번째 레일에 설치된 집게로봇과 우수번째 레일에 설치된 집게로봇은 번갈아 이동하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 기판 적재수단은 외부와 서로 개방되는 구조로 형성된 카세트(cassette) 및 외부와 서로 폐쇄되는 구조로 형성된 박스(box) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서, 상기 안착대는 로더(loader)인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서, 상기 집게 로봇은 레일을 이동하는 이동장치와, 상기 이동장치에 고정되어 하측으로 늘었다 줄었다 하는 로봇 암과, 상기 로봇 암의 끝단에 구비되어 기판을 흡착하는 로봇 핑거를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제5항에 있어서, 상기 로봇 핑거는 기판과의 접촉 부위에 기판과의 흡착(吸着)을 높이는 점착고무가 추가적으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서, 상기 기판 적재수단은 집게 로봇의 투입부가 상측을 향하도록 안착하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서, 상기 양측에 위치하는 기판 적재수단 내의 기판은 일직선상에서 서로 수직하게 대응되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 액정패널인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제