JPS62249821A - 可動体の選択作動装置 - Google Patents

可動体の選択作動装置

Info

Publication number
JPS62249821A
JPS62249821A JP61095079A JP9507986A JPS62249821A JP S62249821 A JPS62249821 A JP S62249821A JP 61095079 A JP61095079 A JP 61095079A JP 9507986 A JP9507986 A JP 9507986A JP S62249821 A JPS62249821 A JP S62249821A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable body
tray
operating
movable
actuating member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61095079A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0696407B2 (ja
Inventor
Yasushi Ihara
靖 井原
Takashi Hosoya
細谷 高司
Michio Tanimoto
道夫 谷本
Shunichiro Fujioka
俊一郎 藤岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Shinmaywa Industries Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Shin Meiva Industry Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Shin Meiva Industry Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP61095079A priority Critical patent/JPH0696407B2/ja
Publication of JPS62249821A publication Critical patent/JPS62249821A/ja
Publication of JPH0696407B2 publication Critical patent/JPH0696407B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、それぞれ独立して作動が可能な複数の可動体
のうちから少なくとも1の可動体を選択して作動せしめ
る選択作動装置に関する。
(従来の技術) 第1ステーシヨンに整列して設けられているワークを第
2ステーシヨンに移動させ整列して並べ設ける場合にお
いて、それぞれのワーク載置部の相違から両ステーショ
ンで1列に並べるワーク数を変えることを要求されるこ
とがある。
かかる要求に対しては、第1ステーシヨンからワークを
個別に取上げて第2ステーシヨンにそれぞれ搬送する複
数の可動体を設け、この各可動体にそれぞ・れ設けた駆
動手段を個々に制御することにより、動作せしめる可動
体を選択することが一般に考えられる。この場合、例え
ば、第1ステーシヨンの1列のワーク数を5、第2ステ
ーシヨンの1列のワーク数を4、可動体数を4とすると
き、最初は4つの可動体をすべて作動させて第1ステー
シヨンの第1列の4個のワークを第2ステーシヨンの第
1列へ移載し、次に1つの可動体のみを作動させて第1
ステーシヨンの第1列の残り1個のワークを取上げ第2
ステーシヨンの第2列に移載し、次に、3つの可動体を
作動させて第1ステーシヨンの第2列の3個のワークを
取上げて第2ステーションの第2列に移載するという内
容の選択作動を行なっていくことになる。
(発明が解決しようとする問題点) 上記従来の技術の場合、複数の駆動手段の個別制御によ
り各可動体を選択作動せしめることができるが、可動体
同志を接近して設けようとしても各可動体に設けた駆動
手段同志が寸法的に干渉し、各ステーションのワーク間
隔が狭い場合の対応が難しくなる。また、選択された複
数の可動体を動作させる際、駆動手段の個別制御である
からこれら各可動体の作動に遅速を生じ易く、可動体の
作動と各ステーションでのワーク載置部の送りとの間で
の連係が面倒となり、また、各可動体を同期させる手段
を設けるにしても装置が複雑になる。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、かかる問題点の解決手段として、それぞれ独
立して作動が可能な複数の可動体のうちから少なくとも
1の可動体を選択して作動せしめる装置であって、上記
各可動体はその作動軌跡に沿って往復動する1個の作動
部材に対してそれぞれ係合することによりこの作動部材
に伴われて作動可能に設けられていて、この作動部材と
各可動体との係合およびその解除を操作する操作部材が
各可動体に対し個別に設けられている可動体の選択作動
装置を提供するものである。
(作用) 上記可動体の選択作動装置においては、各操作部材の操
作により対応する各可動体の作動部材に対する係合およ
びその解除がなされ、作動すべき可動体が選択されるこ
とになる。そして、この選択された可動体は、それが複
数ある場合でも作動部材との係合により同期して作動す
ることになる。
(効果) 従って、本発明によれば、複数の可動体の作動を1つの
駆動手段で行なうことが可能となり、また、可動体と作
動部材との係合自体は簡単な係合手段で達成できるから
、従来のような駆動手段同志の干渉という弊を招くこと
なく可動体同志の間隔を狭くした状態で作動すべき可動
体を選択することができ、しかも選択した複数の可動体
を同期して作動させることができるから、この選択作動
装置を他の装置と組合わせた場合の装置間の連係作動が
容易になる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。
第1図には可動体の選択作動装置1の全体構成が示され
ている。この選択作動袋5!1は、第1〜第4の各可動
体2a〜2dを有していて、第2図に概略的に示すIC
パッケージ(ワーク)  (FPP;フラット・プラス
チック・パッケージ)4のエージング用着脱システムに
おいて用いられる。
すなわち、上記着脱システムにおいて、5は複数のIC
パッケージ4をトレー6に載置しで搬送するトレーライ
ン、7は複数のICパッケージ4をエージング基板8の
ソケット3に収めトレー6とは逆方向に搬送する基板ラ
インである。未処理のICパッケージ4は、トレーライ
ン5のトレー6から基板ライン7のエージング基板8の
ソケット3に移載され、ソケット3の蓋を閉じてエージ
ング装置への基板搬出部9aへ送られる。そして、エー
ジング後のICパッケージ4は基板搬入部9bへ供給さ
れ、基板ライン7上でソケット3の蓋を開き、トレーラ
イン5のトレー6に移載され。
トレーライン5から次の処理ステーション(IC検査装
置)へトレー6とともに送られるようになされている。
トレー6とエージング基板8とでは1列に並べるICパ
ッケージ4の数が相違していて、トレー6は1列に5個
、エージング基板8は1列に4個であり、上記選択作動
装置i!1は、このトレー6とエージング基板8との間
でICパッケージ4を移載するために用いられる。
さて、上記選択作動袋F111について、具体的に説明
するに、まず、移動方向に並設した第1〜第4の各可動
体2a〜2dは棒状のもので、それぞれ第1〜第4の筒
体10a〜10dに上下動可能に支持されている。この
各筒体10a〜10dは。
移動方向と平行なガイドバー11に嵌挿した第1〜第4
の各スライダ12a〜12dに固定され、かつ、第1〜
第4のリンク13a=13dで連結されている。
第1〜第4のリンク13a〜13dは、移動方向におい
て交互に逆方向へ傾けることにより三角波状に連結され
ており、両端の第1と第4のリンク13a、13dは互
いに等長の小リンクであり、中間の第2と第3のリンク
13b、13cも互いに等長の大リンクである。そして
、中間の第2と第3のリンク13b、13cに対しては
、各リンクの両端の連結点の中央位置に第2と第3の筒
体LOb、LOcがそれぞれ第2と第3のスライダ12
b、12cを介してピンで枢支され、両端の第1と第4
のリンク13a、13dに対しては、第1と第4の筒体
10a、10dが第2.第3の筒体10b、10cの両
部支点を結ぶ線(移動方向と平行である。)の延長上に
おいて、それぞれ第1と第4のスライダ12a、12d
を介してピンで枢支されている。
しかして、移動方向の一端側(第1図右側)には、下駆
動プーリ16と下駆動プーリ17とが上下方向の支軸1
8にて同軸に支持され、他端側には上下の駆動プーリ1
6,17に対応する上下の従動プーリ19,20が設け
られて、それぞれ上下の歯付ベルト21.22が懸回さ
れている。そして、上記駆動ブーIJ16,17に対し
それぞれ大径ギヤ23.24および小径ギヤ25.26
を介してサーボモータ27.28が連係しており。
上記上下の歯付ベルト21.22はそれぞれ第3図に示
す如く第1スライダ12aと第4スライダ12dに対し
止め具29.29にて結合されている。
本実施例の場合、上記第1〜第4の可動体2a〜2dに
は、第3図にも示す如くそれぞれ下端に真空引きにより
ICパッケージ4を吸付ける吸盤30をもち、案内用の
ロッド32とともに上下動するようになっている。この
各可動体2a〜2dと案内ロッド32は上端がL字状の
上プレート33で、また、下部がプレート34で結合さ
れている。そして、上プレート33は、支持台35上の
上下動用モータ(駆動手段)36で駆動されるL字状の
作動部材37にカムフロア(係合手段)38を介して先
に述べた移動方向へ移動可能に係合できるようになって
いる。この作動部材37は、モータ36の出力軸に結合
されたクランク39に連結ロッド40を介して連結され
ていて、かつ、第1図に示す如く移動方向の両端位置で
支持プレート41.42に固定のガイド−筒43.43
に対しガイドロッド44.44を介して上下動可能に支
持されている。
しかして、上記各可動体2a〜2dの上プレート33に
は、それぞれ水平部をもつ第1〜第4の逆り字状の掛止
片45a〜45dが設けられ、また、上記支持台35に
は各掛止片45a〜45dをそれぞれ掛止せしめて各可
動体2a〜2dと作動部材37との係合を解除するため
の第1〜第4の操作部材46a〜46dが設けられてい
る。すなわち、この各操作部材46a〜46dは、上記
各掛止片45a〜45dを掛止せしめる水平部を各可動
体2a〜2dの移動可能距離の全長にわたって設けたも
のであり、それぞれ両端部が同軸に回動可能に支持され
た左右で対をなすブラケット47.48に固定されてい
る。そして、第4図に示す如く支持台35の左側で第1
と第3の操作部材46a、46cが固定されたブラケッ
ト47゜47にそれぞれ第1と第3の電磁駆動手段49
a。
49cの作動ロッド50,50が、また、支持台35の
右側で第2と第4の操作部材46b、46dが固定され
たブラケット47.47にそれぞれ第2と第4の電磁駆
動手段49b、49dの作動ロッド50,50が連結さ
れている。この場合。
いずれも作動ロッド50の突出により各操作部材46a
〜46dは各掛止片45a〜45dの掛止を解除する位
置に、また1作動ロッド50の引込みにより各掛止片4
5a〜45dを掛止させる位置にそれぞれ回動するよう
になっている。また、各ブロック47は第3図に示す如
く操作部材46a〜46dを掛止解除位置とする回動力
向にスプリング51で付勢されている。
また、下プレート34には吸fi30における真空引き
のためのエア配管が可動体2a〜2dを介してなされて
おり、この下プレート34の下方位置でセンサブラケッ
ト52が各可動体2a〜2dおよび案内ロッド32に対
し上下動可能に支持されている。このセンサブラケット
52と下プレート34との間には緩衝用のスプリング5
3が介設されていて、センサブラケット52の下端部に
は、−吸!!t30の下方位置で対向し吸盤30でトレ
ー6から取上げられたICパッケージ4がソケット3に
対し正しく挿入されているか否かを光の通過の有無で確
認するセンサ54が設けられている。
吸盤30でICパッケージ4が取り上げられたか否かは
吸ff130に及ぼしている真空圧の変動の有無で検出
するようになっている。
上記可変送り装置lにおいて、各可動体2a〜2dは、
第1図に実線で示す如く左端(第2図におけるトレーラ
イン5側)にあるときは、トレー6に狭いruI隔で載
置されるICパッケージ4に各吸盤30が対応するよう
に狭い間隔に、また、鎖線で示す如く右へ移動したいと
きは基板ライン7のエージング基板8に広い間隔で載置
されるICパッケージ4に各吸盤30が対応するように
広い間隔となるよう上下のサーボモータ27.28にて
駆動制御される。
すなわち、各可動体2a〜2dは、隣合うもの同志の間
隔(ピッチ)が上記リンク13a〜13dの連結により
すべて等間隔(等ピッチ)となり、かつ、リンクL3a
〜13dの全長の伸縮に応じて隣合う可動体同志の各間
隔が同じ比率で変化する。そして、本実施例においては
、上下のサーボモータ27.28にてトレー6側とエー
ジング基板8側での第1可動体2aと第4可動体2dの
位置を制御することにより、各可動体2a〜2dの吸盤
30がトレー6およびエージング基板8の各ICパッケ
ージ4に対応するようにしている。
さて、ICパッケージ4のトレー6からエージング基板
8への移載にあたって、すべての可動体2a〜2dを作
動させる場合は、まず、各可動体2a〜2dをサーボモ
ータ27.28でトレー側へ移動させておいて、第5図
に示すようにすべての掛止片45a〜45dを操作部材
46a〜46dに掛止した状態から、操作部材46a〜
46dの回動により掛止片45a〜45dの掛止を外し
、モータ36の作動により、作動部材37を下降せしめ
る。従って、各可動体2a〜2dはカムフロア38を介
して作動部材37に係合した状態で下降する。これによ
り、センサブラケット52がトレー6に接触した後、吸
盤30がさらに下降してICパッケージ4に接触する。
そして、このICパッケージ4を真空引きにより吸盤3
0に吸付けて作動部材37を上昇せしめるが、この上昇
行程でICパッケージ4の存在が検出されないと、つま
り、吸盤30に及ぼしている真空度が高くなっていない
と、作動部材37は再下降しICパッケージ4の取上げ
をなす。
ICパッケージ4が検出されると、上下のサーボモータ
27.28の作動により、各可動体2a〜2dは互いの
間隔を広くなるように変えてエージング基板8の上に移
動し、モータ36の作動による作動部材37、つまりは
可動体2a〜2dの下降によりICパッケージ4は下降
し、吸盤30の真空引きの解除によりエージング基板8
のソケット3に載置される。そして、この載置後は、モ
ータ36の作動により作動部材37を上昇せしめ、サー
ボモータ27.28を逆回転させて、可動体2a〜2d
をトレー6の上に戻すことになる。
しかして、第6図に示す如くトレー6の第1列4個のI
Cパッケージ4がエージング基板8の第1列に移載され
た後は、トレー6の第1列の残り1個のICパッケージ
4をエージング基板8の第2列目に移載することになる
。この移載にあたっては、第7図に示す如く第1〜第3
の操作部材46a〜46cを掛止位置とし、第4操作部
材46dのみを掛止解除位置とする。この状態で、作動
部材37を下降せしめると、第4可動体2dのみが作動
部材37に係合した状態で作動部材37とともに下降し
、残りの第1〜第3の可動体2a〜2cは掛止片45a
〜45cの操作部材46a〜46cに対する掛正により
上昇位置に留まり、作動部材37に対する係合は醇除さ
れる。つまり、この場合は第4可動体2dのみが選択さ
れて作動することになる。そして、この第4可動体2d
は吸!!130で1−レー6の第1列の残り1個のIC
パッケージ4を取上げ、エージング基板8側においても
作動部材37の下降により、第1図に鎖線で示す如く第
4可動体2dのみが下降し、エージング基板8の第2列
目の端のソケット3にICパッケージ4を挿入する。
以上の如く、各可動体2a〜2dは、対応する操作部材
46a〜46dの操作i;より適宜選択されて作動し、
1列5個の載置部をもつトレー6から1列4個の載置部
をもつエージング基板8に対しICパッケージ4を順次
移載することになる。
エージング基板8からトレー6へのICパッケージ4の
移載は、上記の態様と逆の作動で行なうことができる。
なお、可動体数は上記実施例では4であるが、2以上の
他の数にしてもよく、また、トレー側とエージング基板
側とで1列のワーク載置数が他の態様で(例えば5個と
3個というように)異なる場合にも本発明が利用できる
ことはもちろんである。
また、上記実施例は可動体を上下動させる場合であるが
、水平動、斜行あるいはそれらのM1合わせで可動体を
作動させる場合にも本発明は利用できる。
また、本発明がICパッケージの移載以外に、例えば複
数の加工用工具を■いて加工位置あるいは加工すべき部
分の数が異なるワークの加工をなす場合の加工用工具の
選択作動などにも利用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示し、第1図は可動体の選択作
動装置の正面図、第2図はICパッケージのエージング
用着脱システムの構成図、第3図は上記選択作動装置を
一部断面で示す側面図、第4図は同装置を一部断面で示
す平面図、第5図は可動体の掛止片を操作部材に掛止し
た状態を一部省略し一部断面で示す側面図、第6図はト
レーとエージング基板との間でのICパッケージの移載
関係を示す平面図、第7図は1つの可動体を選択作動さ
せた状態を示す一部省略した茅3図と同様の図である。 1・・・・・・選択作動装置、2a〜2d・・・・・・
可動体、4・・・・・・ICパッケージ(ワーク)、3
6・・・・・・モータ(駆動手段)、37・・・・・・
作動部材、38・・・・・・カムフロア(係合手段)、
46a〜46d・・・・・・操作部材。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)それぞれ独立して作動が可能な複数の可動体のう
    ちから少なくとも1の可動体を選択して作動せしめる装
    置であって、上記各可動体はその作動軌跡に沿って往復
    動する1個の作動部材に対してそれぞれ係合することに
    よりこの作動部材に伴われて作動可能に設けられていて
    、この作動部材と各可動体との係合およびその解除を操
    作する操作部材が各可動体に対し個別に設けられている
    ことを特徴とする可動体の選択作動装置。
JP61095079A 1986-04-23 1986-04-23 可動体の選択作動装置 Expired - Lifetime JPH0696407B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61095079A JPH0696407B2 (ja) 1986-04-23 1986-04-23 可動体の選択作動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61095079A JPH0696407B2 (ja) 1986-04-23 1986-04-23 可動体の選択作動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62249821A true JPS62249821A (ja) 1987-10-30
JPH0696407B2 JPH0696407B2 (ja) 1994-11-30

Family

ID=14127950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61095079A Expired - Lifetime JPH0696407B2 (ja) 1986-04-23 1986-04-23 可動体の選択作動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0696407B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04283088A (ja) * 1991-03-09 1992-10-08 Bridgestone Corp 吸着把持装置
JP2001054885A (ja) * 1999-07-09 2001-02-27 Mirae Corp ピッカーピッチ可変調節装置
WO2015083239A1 (ja) * 2013-12-03 2015-06-11 東北精機工業株式会社 ワーク移送システム
JPWO2015140995A1 (ja) * 2014-03-20 2017-04-06 富士機械製造株式会社 基板搬送装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS536669U (ja) * 1976-07-02 1978-01-20
JPS58149216A (ja) * 1982-02-15 1983-09-05 キユーピー株式会社 鶏卵等の自動供給装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS536669U (ja) * 1976-07-02 1978-01-20
JPS58149216A (ja) * 1982-02-15 1983-09-05 キユーピー株式会社 鶏卵等の自動供給装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04283088A (ja) * 1991-03-09 1992-10-08 Bridgestone Corp 吸着把持装置
JP2001054885A (ja) * 1999-07-09 2001-02-27 Mirae Corp ピッカーピッチ可変調節装置
WO2015083239A1 (ja) * 2013-12-03 2015-06-11 東北精機工業株式会社 ワーク移送システム
JPWO2015083239A1 (ja) * 2013-12-03 2017-03-16 株式会社ハッピージャパン ワーク移送システム
JPWO2015140995A1 (ja) * 2014-03-20 2017-04-06 富士機械製造株式会社 基板搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0696407B2 (ja) 1994-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5112641A (en) Wafer transfer method in vertical cvd diffusion apparatus
JPH04504635A (ja) 二重トラック取扱い処理システム
US5217340A (en) Wafer transfer mechanism in vertical CVD diffusion apparatus
JPH05146935A (ja) 物品ハンドリング装置
JP2001054885A (ja) ピッカーピッチ可変調節装置
CN1057403C (zh) 集成电路装卸装置及其装卸头
JPH0230194B2 (ja) Handotaiseizosochi
JPS62249821A (ja) 可動体の選択作動装置
JP2000512218A (ja) 全方向に傾斜可能なz軸駆動アーム
CN101465309A (zh) 平移翻转式晶圆自动传输装置
CN116765771A (zh) 产品组装设备
EP1172843A2 (en) Material handling system and methods for a multichamber plasma treatment system
JPS62235125A (ja) 移動体間隔可変送り装置
CN210701237U (zh) 一种芯片pin脚检测装置及用于多测试工位的转运机构
JPH05728A (ja) トレイ・チエンジヤー装置におけるトレイ供給方法およびトレイ・チエンジヤー装置
JPH1025029A (ja) 移載ロボット用ロボットハンド
JP3241470B2 (ja) 半導体製造装置
KR100217285B1 (ko) 다이이송장치
KR100790792B1 (ko) 웨이퍼 이송장치
JPH01251633A (ja) ウエハ移替え装置
JPH0617787Y2 (ja) 基板搬送装置
CN101465308B (zh) 旋转式晶圆自动传输装置
JP2004152882A (ja) 搬送装置およびそれを備えた処理装置
JPS62179830A (ja) プレス間ワーク搬送方法
JP3064584B2 (ja) 搬送用吸着チャックの移動制御方式