JPH0617787Y2

JPH0617787Y2 - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH0617787Y2
Application number: JP10699288U
Authority: JP
Inventors: 正美大谷; 雅美西田; 英治奥野
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1988-08-15
Filing date: 1988-08-15
Publication date: 1994-05-11
Anticipated expiration: 2003-08-15
Also published as: JPH0228847U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、半導体製造用ウエハやフォトマスク用ガラス
板等の薄板状の基板を、所要の処理装置に搬送する基板
搬送装置に関し、特に、一連の処理工程のうちの一部の
処理を省略すべき場合に、当該省略すべき工程の部分に
おいて、被処理基板を処理装置を通る本来の経路と並列
に設置したバイパスを通して搬送するようにした基板搬
送装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、基板の加工処理に際しては、被処理基板の搬送
経路に沿って、複数種の基板処理装置を列設し、基板を
これらの処理装置を順次通過させて搬送することによ
り、所要の加工処理を行うようにしている。

このような処理工程において、基板の種類あるいは加工
の目的等によっては、一部の工程を省略する場合があ
る。たとえば、一連の処理装置の中に加熱板を配置し
て、基板のベーキング処理を行うようにした場合に、ベ
ーキング処理を施す必要のない基板を、加熱板を通さず
に次段の処理装置へ搬送する等が、その一例である。

このような一部の処理工程を省略するためには、対象と
する処理装置を通る本来の搬送経路と並列に、処理装置
外を経由するバイパスを設けておき、必要に応じて被処
理基板をバイパスを通して搬送することにより、当該処
理工程を省略するようにしている。

被処理基板をバイパス側の経路を通して搬送する手段と
しては、たとえば、基板を本来の搬送経路（以下、本搬
送経路という）からバイパス経路へ転移させるための基
板保持搬送装置を所要個所に設置し、本搬送経路に沿っ
て送られてきた基板を、所定の位置で制止して該保持搬
送装置に保持させ、保持搬送装置を所要のバイパス経路
を通して移動させて、基板を所要の位置に搬送した後、
保持搬送装置から解放して、本搬送経路に復帰させると
いった手段が適用されている。

かかるバイパス搬送用の基板移送装置としては、通常、
基板面の汚損を防止するために、基板の縁辺部で保持す
るように構成してあり、たとえば、その間隔を開閉可能
に対設した一対の保持用爪を、所要のバイパス経路の始
端部と終端部との間に移動するように配設したものが適
用される。すなわち、始端部では保持用爪を閉じて送ら
れてきた基板の対向する縁辺部を挟持して保持し、バイ
パス経路を通して終端部へ搬送し、保持用爪を開いて基
板を解放して、本搬送経路に復帰させるようにしてい
る。

〔考案が解決しようとする課題〕

上述の保持用爪を備えるバイパス搬送手段では、一般
に、保持用爪を開閉するための駆動手段が、バイパス経
路に沿って移動する基板移送装置自体に付設されてい
る。駆動手段としては、たとえばエアシリンダを動力と
するニューマチック方式、ソレノイドによる電磁方式、
モーターによる電動方式等が適用されるが、これらの動
力源を移送装置の中に組みこんだ場合、移動部分のサイ
ズ及び重量が大きくなる問題がある。

また、これらの動力源に接続されるエアホースや電線等
は、移送装置がバイパス経路の始端部と終端部の間を移
動するために、移動ストロークに見合う長さのものを配
設する必要があり、これらのエアホースや電線が垂れ下
がって処理装置本体の機能に支障を来すおそれがないよ
うに、支持手段に配慮が必要になる問題がある。

さらに、バイパス経路の始端部で基板を本搬送経路から
バイパス経路側へ、また、終端部でバイパス経路から本
搬送経路側へ、それぞれ転移させるためには、移送装置
を各搬送経路に交差する方向に移動させる必要があり、
この移動手段についても同様の問題がある。

本考案は、これらの問題を解決するために、所要の各駆
動源を基台側の固定位置に設置し、連動機構を介して、
保持用爪の開閉ないし移送装置の転移移動を行うように
したものである。

〔課題を解決する手段〕

上述目的を達成するために、本考案装置は、次の要素か
ら構成される。

被処理基板の搬送方向に沿って水平に架設したガイドレ
ールと、該ガイドレールに摺動可能に装着した摺動台と、該摺動台を前記ガイドレールに沿って往復駆動する水平
駆動手段と、前記ガイドレールに平行に、かつ、昇降可能に架設した
昇降梁と、該昇降梁を昇降駆動する昇降駆動手段と、前記摺動台に垂直方向に嵌着され、下端が前記昇降梁に
当接して、昇降梁に従動して昇降する昇降ガイド軸と、該昇降ガイド軸の上端に水平に固着された軸受板と、該軸受板に垂直方向に枢着され、その上端が軸受板の上
面に突出し、かつ、下方の垂下部にスプラインを形成し
たスプライン軸と、前記摺動台に垂直方向に枢着され、上端部が前記スプラ
イン軸に係合するスプライン管軸と、該スプライン管軸の下端に固着され、その先端部の下面
にカムローラを軸支したクランクと、前記軸受板の上面に配置され、前記スプライン軸により
駆動される平行リンクにより、互いに逆方向に移動する
ように支持され、先端部に基板保持具を装着した長短一
対の基板支持バーと、前記ガイドレールと平行な位置を保持して前後方向に移
動するように設定され、その上面に前記クランクのカム
ローラが係合する係合部を長さ方向に形成した開閉駆動
用バーと、該開閉駆動用バーを前後方向に移動させる開閉駆動手
段。

〔作用〕

開閉駆動用バーが前後方向に移動すると、これに係合し
たクランクを介して、スプライン管軸及びスプライン軸
が回転し、上部の軸受板に配置した平行リンクを駆動し
て、一対の基板支持バーを互いに逆方向に移動させ、こ
れにに装着した基板保持具を開閉する。

また、昇降駆動手段により昇降梁を昇降させると、昇降
梁に下端が当接する昇降ガイド軸が従動して昇降し、軸
受板及びそれに支障された基板保持具の高さを変化させ
る。このとき、下部のククランクと上部の平行リンクと
は、スプライン軸により結合しているため、軸受板の高
さが変化しても、基板保持具の開閉駆動には支障がな
い。

さらに、水平駆動手段が作動すると、摺動台及びそれに
付設した軸受板、基板保持用爪等の各装置が水平方向に
移送される。このとき、昇降ガイド軸の下端が当接する
昇降梁、及びクランクのカムローラが係合する開閉駆動
用バーの係合部は、それぞれ摺動台のガイドレールに平
行に設置ないし形成してあり、基板保持用爪は、その高
さ及び開閉状態を維持したまま、水平方向に移動する。

〔実施例〕

第１図から第４図は、本考案の１実施例装置を示すもの
で、第１図は本体部の右半部の斜視図、第２図は同じく
左半部の斜視図、第３図は基板保持部の平面図、第４図
は同じく側面図である。

まず、第１図及び第２図により、本体部の構成を説明す
る。

基台(1)の前縁の左右両端部に支柱(2)(3)を立設し、そ
れらの上端に上梁(4)を架設する。また、基台(1)の前縁
に、下梁(5)を固設する。

左右一対の縦梁(6)(7)を上梁(4)と下梁(5)との間に装着
し、これらの間に上下一対のガイドレール(8)を水平に
架設して、摺動台(9)をガイドレール(8)に沿って摺動可
能に装着する。

右側の縦梁(6)の下部に、右方に向けてＬ字状のモータ
ー台(10)を突設し、水平駆動用のモーター(11)を装着
し、モーター台(10)の下面に突出するモーター軸にプリ
ー(12)を装着する。一方、左側の縦梁(7)の下部に突設
した軸受(13)にプリー(14)を軸支し、左右のプリー(12)
(14)に無端ベルト(15)を架装する。無端ベルト(15)の中
間部を、摺動台(9)の下部に垂設した係着部(16)に係着
して、モーター(11)を駆動することにより、ベルト(15)
を介して摺動台(9)をガイドレール(8)に沿って移動させ
る。

左右の縦梁(6)(7)の上部前面に、それぞれ昇降用軸受(1
7)を装着し、垂直方向の昇降駆動軸(18)を支承し、左右
の昇降駆動軸(18)の下端に、昇降梁(19)を水平に架設す
る。また、左右の縦梁(6)(7)に、作動軸が上向きに伸縮
するエアシリンダ(20)を垂直位置に装着し、それらの作
動軸と各昇降駆動軸(18)の上端とを、それぞれ連結片(2
1)により連結して、左右のエアシリンダ(20)の作動軸を
同位相で伸縮させるように制御することにより、昇降梁
(19)が水平な姿勢を維持して昇降するように構成する。

摺動台(9)の上端部及び下端部には、それぞれ軸受台(2
2)及び(23)が前面に向けて突設してある。

上部軸受台(22)には、左右一対の昇降ガイド軸(24)が昇
降可能に垂直に装着してあり、かつ、左右の昇降ガイド
軸(24)の下端を連結して、ローラー軸受(25)を装着す
る。ローラー軸受(25)の前面には、昇降梁(19)の上面に
係合する位置に、左右一対のローラ(26)を軸支してあ
る。また、昇降ガイド軸(24)の上端には、後述する基板
保持用爪の開閉操作をするための平行リンク装置を支持
するための軸受板(27)が装着してある。

一対の昇降ガイド軸(24)の間に、スプライン軸装置を配
置する。これは、上部軸受台(22)と下部軸受台(23)とに
枢着され、垂直に支承されるスプライン管軸(28)と、下
部に管軸(28)に係合するスプライン歯を形成し、かつ、
上端部が軸受板(27)に枢着されたスプライン軸(29)とで
構成される。

スプライン管軸(28)の下端は、下部軸受台(23)の下面に
突出してクランク(30)を固着してあり、クランク(30)の
先端下面にカムローラ(31)を軸支してある。

一方、装置の前面下部に、カムローラ(31)に係合する開
閉駆動用バー(32)を配置する。開閉駆動用バー(32)は、
図示のように断面がカムローラ(31)に係合する上向きの
凹溝状をなし、その左右両端部にそれぞれ枢着した腕(3
3)の他端を、下梁(5)の適所に枢着して支持してある。
左右の腕(33)を等長とし、かつ、開閉駆動用バー(32)と
下梁(5)とにおける左右の枢着部間の距離を等しくする
ことにより、平行リンクを形成して、開閉駆動用バー(3
2)が平行移動するように構成する。

この開閉駆動用バー(32)を駆動するために、下梁(5)の
前面適所に突設した軸受(35)にエアシリンダ(36)の基部
を枢着し、その作動軸の先端を開閉駆動用バー(32)の下
面に垂設した軸(37)に係合させる。エアシリンダ(36)が
伸縮すると、開閉駆動用バー(32)が左右方向に移動し、
その移動にともなう腕(33)の旋回により、開閉駆動用バ
ー(32)は前後方向にも変位して、これに係合しているク
ランク(30)を介して、スプライン管軸(28)及びそれに嵌
挿したスプライン軸(29)を回転させる。

軸受板(27)の上面に突出したスプライン軸(29)の上端
に、第１のリンク腕(38)を固着し、軸受板(27)の後部に
立設した軸(40)に第２のリンク腕(39)を枢着する。２個
のリンク腕(38)(39)の左右端に、左右一対の基板支持バ
ー(41)(42)をそれぞれ枢着し、平行リンクを形成させ
る。

第３図は上記平行リンクと基板保持具の構成を示す平面
図、第４図は同じく側面図である。

２個の基板支持バー(41)(42)は、それらが軸受板(27)の
後方へ突出する寸法を長短に異ならせてあり、その後端
部から垂下する支軸(43)(44)の下端に、前後一対の基板
保持具として基板保持用爪(45)(46)を対向させて装着し
てある。これらの基板保持用爪(45)(46)は、平行リンク
が第３図に実線で示す閉位置にあるときに、被処理基板
(W)の縁辺を支承する位置をとるように、それらの形状
及び爪保持バー(41)(42)への装着位置を設定してある。

エアシリンダ(36)が作動して、開閉駆動用バー(32)が前
方へ移動すると、これに係合するクランク(30)によりス
プライン管軸(28)及びスプライン軸(29)が回転し、平行
リンクが第３図の鎖線示の位置に移動して、一対の基板
保持用爪(45)(46)は、それぞれ鎖線示の開位置となる。
この基板保持用爪(45)(46)の開閉作動は、下部のクラン
ク(30)と上部の軸受板(27)との間を、スプライン管軸(2
8)及びスプライン軸(29)によつて連設してあるため、軸
受板(27)の高さの変化には無関係に駆動することができ
る。

次に、上述構成装置の機能を説明する。冒頭に記述した
ように、本考案装置は、被処理基板を処理装置を通る本
搬送経路と、処理装置を通らないバイパス経路とのいず
れかを選択して搬送するものであり、第５図はその要領
を示す概略図である。

ここでは、基板を加熱するベーキング処理装置を対象と
してとして例示してあり、白矢印で示す本搬送経路に沿
って熱板(51)を、その上方にカバー(52)を配置したもの
である。被処理基板(W)は、ベーキング処理を施す場合
には、白矢印の本搬送経路に沿って搬送され、また、ベ
ーキング処理を要しない場合には、黒矢印で示すバイパ
ス経路を通って搬送される。なお、本搬送経路とバイパ
ス経路との分岐部には、搬送されてきた基板(W)を所要
位置に停止させるための制止手段が付設してあるが、こ
れはこの種の基板搬送処理装置に慣用される公知手段に
準じて構成すればよいので、やはり図示を省略する。

本考案装置は、熱板(51)の前面所要位置に、摺動台(9)
の摺動方向が被処理基板(W)の搬送経路に平行となるよ
うに設置する。

まず、あらかじめ水平駆動用のモーター(11)により、摺
動台(9)を基板(W)の送りこみ側、すなわち搬送方向が第
５図示の場合であれば、装置の左端側に移動させて、基
板(W)が制止手段によつて停止する位置に基板保持用爪
(45)(46)を整合させ、かつ、昇降駆動用のエアシリンダ
(20)を縮めて昇降梁(19)を下降させ、基板保持用爪(45)
(46)の上下位置を本搬送経路に置かれた基板(W)のレベ
ルに設定しておく。また、開閉駆動用のエアシリンダ(3
6)を縮めて、基板保持用爪(45)(46)を第３図の鎖線示の
位置に開いておく。

前段側から搬送されてきた被処理基板(W)が、本搬送経
路に配置した制止手段により停止すると、開閉駆動用の
エアシリンダ(36)が開閉駆動用バー(32)を後方へ変位さ
せ、これに係合したクランク(30)、スプライン管軸(2
8)、スプライン軸(29)を介して、上部の平行リンクが第
３図の鎖線示の位置から実線示の位置に移動して、一対
の基板保持用爪(45)(46)が閉じて、基板(W)を保持す
る。

基板(W)のベーキング処理を行う場合であれば、このま
ま（あるいは必要に応じて、やや上昇させて）水平駆動
用のモーター(11)を起動して、摺動台(9)を右方に移動
させ、摺動台(9)に付設した各装置とともに、基板(W)を
本搬送経路に沿って熱板(51)の上面を搬送し、所要のベ
ーキング処理を行う。

ベーキング処理を要しない場合には、モーター(11)の起
動に先だって、昇降駆動用の左右のエアシリンダ(20)を
作動させて昇降梁(19)及びこれに当接する昇降ガイド軸
(24)を介して、基板保持用爪(45)(46)を上昇させ、基板
(W)をカバー(52)の上面より高いレベルのバイパス経路
に上昇させた後、モーター(11)を起動して搬送し、所要
の下降位置でエアシリンダ(20)を縮めて、基板(W)を本
搬送経路のレベルに下降させる。

本搬送経路あるいはバイパス経路のいずれの場合でも、
昇降梁(19)及び開閉駆動用バー(32)が、それぞれ摺動台
(9)のガイドレール(8)に平行に設置してあるため、水平
方向の搬送に際して、基板(W)の保持レベルは一定に維
持され、また、基板保持用爪(45)(46)は基板を保持する
閉位置を維持して、確実に搬送することができる。

基板(W)を所要位置まで搬送した後、開閉駆動用のエア
シリンダ(36)により基板保持用爪(45)(46)を開いて、基
板(W)を後段側の搬送装置に移載し、後続の工程へ搬送
する。

〔他の実施例〕

以上の説明は、図示実施例に基づいて記載したが、本考
案は上述内容に限定されるものではなく、各種の変形応
用を含むものである。

たとえば上述実施例は、被処理基板が半導体ウエハ等の
円板状である場合を示したが、角形のガラス基板等に適
用することもできる。この場合は、基板保持のために、
たとえば第６図示のように保持板(47)の下面に、下端に
皿状の受座を形成した各一対のピン(48)を垂設した基板
保持具を適用すればよい。

また、上述実施例では、基板保持部の昇降や基板保持用
爪の開閉を、それぞれエアシリンダによつて駆動してい
るが、これらを他の動力、たとえばネジ駆動、チエンな
いしロープ駆動等によって駆動するようにしてもよいこ
とは、言うまでもない。

また、上述説明では、被処理基板が本搬送経路及びバイ
パス経路のいずれを経由する場合にも、本考案装置を使
用して搬送するように記載したが、本搬送経路側は、通
常のベルト搬送手段等を用いて搬送し、バイパス経路を
通る場合のみに、本考案装置を適用するようにしてもよ
い。

〔考案の効果〕

(1)動力源が基板搬送用移動部ではなく、基台側の固定
位置に設置してあるため、移動部を軽量かつ簡易に構成
することができる。

(2)固定位置の動力源から移動部への動力を、移動部の
移動方向に並行に配置した連動機構を介して伝達するた
め、移動部の位置に無関係に、かつ、その移動を妨げる
ことなく、確実に所要の駆動を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例装置の右半部を示す斜視図、
第２図は同じく左半部を示す斜視図、第３図は基板保持
部の平面図、第４図は同じく側面図、第５図は本搬送経
路とバイパス経路とを示す略図、第６図は基板保持具の
実施例を示す斜視図である。 (1)…基台、(8)…ガイドレール、 (9)…摺動台、(11)…水平駆動用モーター、 (18)…昇降駆動軸、(19)…昇降梁、 (20)…エアシリンダ、(24)…昇降ガイド軸、 (27)…軸受板、(28)…スプライン管軸、 (29)…スプライン軸、(30)…クランク、 (31)…カムローラ、(32)…開閉駆動用バー、 (33)…腕、(36)…エアシリンダ、 (38)(39)…リンク腕、(41)(42)…基板支持バー、 (45)(46)…基板保持用爪、(47)…保持板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者奥野英治京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西工場内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被処理基板の搬送方向に沿って架設したガ
イドレールと、該ガイドレールに摺動可能に装着した摺動台と、該摺動台を前記ガイドレールに沿って往復駆動する駆動
手段と、前記ガイドレールに平行に、かつ、昇降可能に架設した
昇降梁と、該昇降梁を昇降駆動する昇降駆動手段と、前記摺動台に垂直方向に嵌着され、前記昇降梁に当接し
て、昇降梁に従動して昇降する昇降ガイド軸と、該昇降ガイド軸の上端に水平に固着された軸受板と、該軸受板に垂直方向に枢着され、その上端が軸受板の上
面に突出し、かつ、下方の垂下部にスプラインを形成し
たスプライン軸と、前記摺動台に垂直方向に枢着され、上端部が前記スプラ
イン軸に係合するスプライン管軸と、該スプライン管軸の下端に固着され、その先端部の下面
にカムローラを軸支したクランクと、前記軸受板の上面に配置され、前記スプライン軸により
駆動される平行リンクにより、互いに逆方向に移動する
ように支持され、先端部に基板保持具を装着した長短一
対の基板支持バーと、前記ガイドレールに平行な位置を保持して前後方向に移
動するように設定され、その上面に前記クランクのカム
ローラが係合する係合部を長さ方向に形成した開閉駆動
用バーと、該開閉駆動用バーを前後方向へ移動させる開閉駆動手段
とを、備えてなる基板搬送装置。