JPH06286868A - ガラス物品の移載装置 - Google Patents

ガラス物品の移載装置

Info

Publication number
JPH06286868A
JPH06286868A JP8034493A JP8034493A JPH06286868A JP H06286868 A JPH06286868 A JP H06286868A JP 8034493 A JP8034493 A JP 8034493A JP 8034493 A JP8034493 A JP 8034493A JP H06286868 A JPH06286868 A JP H06286868A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass article
conveyed
glass
gripping
transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8034493A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3578278B2 (ja
Inventor
Fumitaka Sasaki
文隆 佐々木
Tajio Nonomura
太次雄 野々村
Susumu Tabata
進 田畑
Haruki Matsumiya
晴樹 松宮
Kazumi Tanemura
一美 種村
Tomoatsu Sato
友厚 佐藤
Munehiro Fujino
宗博 藤野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority to JP08034493A priority Critical patent/JP3578278B2/ja
Publication of JPH06286868A publication Critical patent/JPH06286868A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3578278B2 publication Critical patent/JP3578278B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス物品の移載作業を自動化し、特に搬送
中のガラス物品に何ら損傷を与えることなく、かつラン
ダムに搬送されてきても的確に対処して移載させ得るガ
ラス物品の移載装置を提供すること。 【構成】 前工程から複数列で搬送されてくるガラス物
品(1)を次工程へ移載するための装置であって、前工
程から搬送されてくるガラス物品(1)の位置を検出す
るための位置検出手段(4)と、前工程から搬送されて
くるガラス物品(1)を把持して次工程へ移載するため
の把持手段(5)と、前記位置検出手段(4)の検出位
置へ把持手段(5)を位置決め移動させ、かつ、少なく
とも、その位置から該把持手段(5)でガラス物品
(1)を把持して持ち上げるまでの間、該把持手段
(5)を前工程から搬送されてくるガラス物品(1)と
同調移動させて次工程へ移載させるように動作制御され
る3次元位置決め駆動手段(6)(7)(8)とで構成
した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ブラウン管用パネルや
ファンネル等のガラス物品の移載装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】ブラウン管用パネルやファンネル等は、
所定量の溶融ガラス塊を成形機の金型内に供給し、プラ
ンジャの押圧によって所定形状に成形され、形態が安定
すると金型内から自動的に取り出されて耐熱材料製のメ
ッシュベルトに複数列に載置され、トンネル状の徐冷炉
に搬送されて徐冷されることにより成形後の歪みが除去
されている。上記成形は連続的に行なわれているため、
徐冷後、耐熱材料製のメッシュベルトから別のコンベア
ベルトに移載して後工程へ搬送する必要がある。
【0003】従来、上記移載作業は作業者の手作業によ
り行なわれており、メッシュベルト上に複数列で載置さ
れているパネル或いはファンネルは、各列においては間
隔が一定でなくランダムに載置された状態で搬送されて
くるため、作業者がメッシュベルト上のパネル或いはフ
ァンネルの搬送状態を確認しながら搬送されてくる順に
一つ一つ手作業により取り上げて移載していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記移
載作業において、メッシュベルト上のパネル或いはファ
ンネルの取り上げに際しては、メッシュベルトが常時低
速移動しているためにメッシュベルトとの間で擦り傷等
が発生しないように細心の注意を払って作業を行なう必
要があること、また、近年においてブラウン管は、その
サイズが大型化する傾向にあることから、従来の手作業
による方式では作業者の労力負担が非常に大きいため、
省力化、自動化による作業効率の向上が強く望まれてい
る。
【0005】そこで、本発明の目的とするところは、ガ
ラス物品の移載作業を自動化し、特に搬送中のガラス物
品に何ら損傷を与えることなく、かつランダムに搬送さ
れてきても的確に対処して移載させ得るガラス物品の移
載装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、前工程から複数列で搬送されてくるガラ
ス物品を次工程へ移載するための装置であって、前工程
から搬送されてくるガラス物品の位置を検出するための
位置検出手段と、前工程から搬送されてくるガラス物品
を把持して次工程へ移載するための把持手段と、前記位
置検出手段の検出位置へ把持手段を位置決め移動させ、
かつ、少なくとも、その位置から該把持手段でガラス物
品を把持して持ち上げるまでの間、該把持手段を前工程
から搬送されてくるガラス物品と同調移動させて次工程
へ移載させるように動作制御される3次元位置決め駆動
手段とで構成したものである。
【0007】
【作用】前工程から複数列で搬送されてくるガラス物品
の位置を、位置検出手段で検出させ、当該検出位置へ3
次元位置決め駆動手段により、把持手段を位置決め移動
させているため、前工程から搬送されてくるガラス物品
がランダムであっても何ら差し支えなく的確に対処でき
る。また、把持手段を上記検出位置から3次元位置決め
駆動手段により、少なくとも、その位置から該把持手段
でガラス物品を把持して持ち上げるまでの間、該把持手
段を前工程から搬送されてくるガラス物品と同調移動さ
せて次工程へ移載させるようにしたから、前工程からの
搬送手段を一時停止させる必要はなく、また、前工程か
ら搬送手段で搬送されているガラス物品をストッパ等で
無理に停止させる必要もなく、さらに、把持手段の把持
動作中にもガラス物品と前工程からの搬送手段との間で
のスリップによる擦り傷等の発生も防止できる。
【0008】
【実施例】図1の(A)は本発明の第1実施例の概略側
面図、図1の(B)は第1実施例におけるガラス物品の
移載動作の説明図、図1の(C)は第1実施例における
把持手段の断面図、図2は第1実施例の概略正面図、図
3の(A)は第1実施例における本発明装置全体の概略
側面図、(B)はその概略平面図、図4の(A)は第1
実施例における位置検出手段の側面図、(B)は位置検
出手段の正面図、図5は第2実施例における位置検出手
段の平面図、図6は第2実施例の概略平面図、図7は第
2実施例におけるガラス物品の移載動作の説明図であ
る。
【0009】各図において、(1)はガラス物品、
(2)は前工程からの搬送手段、(3)は次工程への搬
送手段、(4)は位置検出手段、(5)は把持手段、
(6)(7)(8)は3次元位置決め駆動手段を示して
いる。
【0010】ガラス物品(1)は、第1実施例ではブラ
ウン管用パネルの場合を例示しており、前工程からの搬
送手段(2)には、パネル面を下向きにして載置搬送さ
れ、これによって、開口部周縁のシールエッジ部が損傷
や変形することを防止している。なお、パネル面は、後
工程で研磨仕上げされる。
【0011】前工程からの搬送手段(2)は、例えば、
ガラス物品(1)の成形機から徐冷炉(10)へガラス
物品(1)を搬送するメッシュベルトなどのコンベアで
あって、図3の(B)に例示するように、ガラス物品
(1)を複数列で搬送するものである。
【0012】次工程への搬送手段(3)は、例えば、ガ
ラス物品(1)のパネル面を研磨する工程へガラス物品
(1)を搬送するコンベアであって、図3の(A)
(B)に例示するように、ガラス物品(1)を1列で搬
送するものである。
【0013】位置検出手段(4)は、前工程からの搬送
手段(2)の終端近く、例えば、徐冷炉(10)の出口
等に設置され、この搬送手段(2)によって、前工程か
ら搬送されてくるガラス物品(1)の位置を検出し、こ
の検出位置へ3次元位置決め駆動手段(6)(7)
(8)を介して把持手段(5)を位置決め移動させるも
のである。具体的な構造は、第1実施例では、図4の
(A)及び(B)に示すように、下端に接触ローラ(4
a)を装着した検出レバー(4b)の途中を取付基板
(4c)に揺動可能に枢着し、この検出レバー(4b)
の上端に近接対応させて物品の有無検出用近接スイッチ
(4d)を取付基板(4c)に設置し、さらに、物品の
位置検出用の反射型の光電スイッチ(4e)が物品の搬
送方向の若干下流側位置で取付基板(4c)に設置して
ある。これらのスイッチは、一方だけでもよい。また、
スイッチの形式は、上記の形式に制約されない。なお、
上記取付基板(4c)は、図面では省略したが、ガラス
物品(1)の各種寸法サイズに応じて検出位置を上下方
向及び物品搬送方向に直交する左右方向に移動調整可能
に支持されている。
【0014】把持手段(5)は、第1実施例では、図1
の(C)に示すように、ガラス物品(1)よりも大きい
平板(5a)の下面にゴム板(5b)を添設し、中央部
に吸気孔(5c)を設け、この吸気孔(5c)をホース
を介して真空ポンプ等の吸気発生源(図示省略)に接続
してなるもので、ホースの途中には吸排切換弁(図示省
略)が設置され、この弁が切り替え制御されることによ
って、ガラス物品(1)の吸着把持と解放が行なわれ
る。上記平板(5a)は、図1の(A)に示すように、
支持板(5d)に昇降可能に吊り下げ支持される。
【0015】3次元位置決め駆動手段(6)(7)
(8)は、把持手段(5)を前工程からのガラス物品
(1)の搬送手段(2)の搬送方向と直交する水平方向
に位置決め移動させるX方向位置決め駆動手段(6)
と、上記搬送手段(2)の搬送方向へ把持手段(5)を
同調移動させるY方向位置決め駆動手段(7)と、把持
手段(5)を上下方向に昇降移動させるZ方向駆動手段
(8)とからなる。
【0016】X方向位置決め駆動手段(6)は、図1の
(A)及び図2に示すように、門型フレーム(9)の横
桁(9a)に摺動可能に吊り下げ支持された移動フレー
ム(6a)と、この移動フレーム(6a)に一体的に取
り付けられた移動ラック(6b)と、上記横桁(9a)
上に設置されたX方向用サーボモータ(6c)と、X方
向用サーボモータ(6c)に連結されたウオーム減速機
(6d)と、ウオーム減速機(6d)の出力軸に固着さ
れ、上記移動ラック(6b)に噛合せしめられたピニオ
ン(6e)とからなる。
【0017】Y方向位置決め駆動手段(7)は、図1の
(A)及び図2に示すように、移動フレーム(6a)に
昇降可能に装着された昇降ブロック(7a)と、この昇
降ブロック(7a)に一対の平行リンク(7b)を介し
てY方向即ち前工程からのガラス物品(1)の搬送手段
(2)の搬送方向と同一方向に平行移動可能に連結支持
された移動基板(7c)と、移動フレーム(6a)に一
端を枢着され、他端を上記一対の平行リンク(7b)の
途中に連結した揺動アーム(7d)と、揺動アーム(7
d)の揺動中心軸上で揺動アーム(7d)と一体的に回
動するように固着された扇形ギア(7e)と、上記移動
フレーム(6a)に固設されたY方向用サーボモータ
(7f)と、Y方向用サーボモータ(7f)にタイミン
グベルトを介して連結されたウオーム減速機(7g)
と、ウオーム減速機(7g)の出力軸に固着され、上記
扇形ギア(7e)に噛合せしめられたピニオン(7h)
とからなる。このY方向位置決め駆動手段(7)は、Y
方向用サーボモータ(7f)を駆動することにより、ウ
オーム減速機(7g)、ピニオン(7h)、扇形ギア
(7e)を介して揺動アーム(7d)を回動させ、これ
により平行リンク(7b)を、その上端を支点として回
動させ、この時、該上端を移動フレーム(6a)に対し
て昇降ブロック(7a)を介して昇降可能に装着してあ
るため、上記平行リンク(7b)の上端の支点が前半で
は、上方へ移動させ、後半では、下方へ移動させて、こ
れらの合成運動により、平行リンク(7b)の下端に連
結した移動基板(7c)をY方向に直線軌跡で平行移動
させるようにしたものである。それ故に、上記平行リン
ク(7b)の長さは、揺動アーム(7d)の長さの2倍
とされ、かつ、平行リンク(7b)の長さ方向の中間位
置で揺動アーム(7d)と連結させている。
【0018】上記移動基板(7c)には、図1の(A)
に示すように、旋回基板(8a)が旋回用シリンダ(8
b)により90°旋回可能に装着され、この旋回基板
(8a)には、把持手段(5)の支持板(5d)が昇降
可能に装着されている。
【0019】Z方向駆動手段(8)は、図1の(A)及
び図2に示すように、昇降用シリンダ(8c)を具備
し、この昇降用シリンダ(8c)は、旋回基板(8a)
に固着され、そのピストンロッドの先端が、把持手段
(5)の支持板(5d)に連結され、この昇降用シリン
ダ(8c)によって、把持手段(5)がZ方向に駆動さ
れる。
【0020】上記したX方向位置決め駆動手段(6)、
Y方向位置決め駆動手段(7)及びZ方向駆動手段
(8)は、図3の(A)(B)に示すように、位置検出
手段(4)で検出された順番と位置を制御装置に記憶さ
せておいて、その順番と位置に対応させて順次その検出
位置へ把持手段(5)を位置決め移動させ、その位置か
ら図1の(B)に示すように、搬送手段(2)と同調移
動して、ガラス物品(1)を吸着把持して持ち上げ、次
工程への搬送手段(3)に移載するように一定の順序で
シーケンス制御され、これを反復する。
【0021】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。第2実施例は、ガラス物品(1)として、ファンネ
ル(1a)に適用した場合であって、このファンネル
(1a)の場合は、漏斗状の広い開口部周縁のシールエ
ッジ端面を下向きにして前工程からの搬送手段(2)に
載置される。そして、把持手段(5)による把持位置
は、ファンネル(1a)のネック部(1b)であって、
そのため、把持手段(5)は、シリンダ等で機械的に開
閉動作せしめられるチャック機構が採用される。また、
ガラス物品(1)の位置検出手段(4)は、ファンネル
(1a)のネック部(1b)の位置を検出する必要があ
るため、図5に示すように、2組の透過型の光電スイッ
チ(4f)(4g)と受光素子(4h)(4i)を使用
し、その光軸を、一方はガラス物品(1)の搬送方向に
直交する水平方向とし、もう一方は、対角線方向に水平
に設置し、これら2組の光電スイッチ(4f)(4g)
と受光素子(4h)(4i)によって、ファンネル(1
a)のネック部(1b)の位置が検出される。この場合
の3次元位置決め駆動手段(6)(7)(8)は、図6
に示すように、先ず、X方向位置決め駆動手段(6)
は、X方向フレーム(6f)と、X方向フレーム(6
f)上でX方向に移動可能に装着された移動フレーム
(6g)と、移動フレーム(6g)上に設置されたX方
向サーボモータ(6h)と、X方向フレーム(6f)上
にX方向に沿って設置されたラック(6i)と、このラ
ック(6i)に対してX方向サーボモータ(6h)によ
り減速機を介して回転駆動され、上記ラック(6i)に
噛合せしめられて移動フレーム(6g)をX方向に位置
決め移動させるピニオン(図示省略)とからなる。Y方
向位置決め駆動手段(7)は、門型フレーム(9)の一
部で構成されたY方向フレーム(7i)と、Y方向フレ
ーム(7i)上でY方向に移動可能に装着されたX方向
フレーム(6f)と、X方向フレーム(6f)上に設置
されたY方向サーボモータ(7j)と、Y方向フレーム
(7i)上にY方向に沿って設置されたラック(7k)
と、このラック(7k)に対してY方向サーボモータ
(7i)により減速機を介して回転駆動され、上記ラッ
ク(7k)に噛合せしめられてX方向フレーム(6f)
をY方向に位置決め移動させるピニオン(図示省略)と
からなる。Z方向駆動手段(8)は、上記移動フレーム
(6g)に昇降用シリンダを介して昇降可能に装着され
た昇降台(8d)を具備し、この昇降台(8d)に把持
手段(5)が設置してある。第2実施例は上記構成から
なり、前工程からの搬送手段(2)で搬送されてくるフ
ァンネル(1a)のネック部(1b)の位置を位置検出
手段(4)で検出し、この検出位置へ3次元位置決め駆
動手段(6)(7)(8)により把持手段(5)を位置
決め移動させ、その位置から図7に示すように、把持手
段(5)を搬送手段(2)と同調移動させ、該把持手段
(5)によりファンネル(1a)のネック部(1b)を
把持して持ち上げ、次工程への搬送手段(3)に移載さ
せるものである。
【0022】上記各実施例は、ガラス物品(1)とし
て、ブラウン管用パネルとファンネル(1a)とに適用
した場合を例示しているが、本発明はこれ以外のガラス
物品に適用することができ、その際、当該ガラス物品に
適合した把持手段を使用すればよい。
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、前工程からの搬送手段
を一時停止させる必要はなく、また、前工程から搬送手
段で搬送されているガラス物品をストッパ等で無理に停
止させる必要もなく、さらに、把持手段の把持動作中に
もガラス物品と前工程からの搬送手段との間でのスリッ
プによる擦り傷等の発生も防止でき、この種ガラス物品
の移載作業を自動化し、人手を省略すると共に、ランダ
ムに搬送されてくるガラス物品に対して的確に対処して
移載させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明の第1実施例の概略側面図、
(B)は第1実施例におけるガラス物品の移載動作の説
明図、(C)は第1実施例における把持手段の断面図。
【図2】第1実施例の概略正面図。
【図3】(A)は第1実施例における本発明装置全体の
概略側面図、(B)はその概略平面図。
【図4】(A)は第1実施例における位置検出手段の側
面図、(B)は第1実施例における位置検出手段の正面
図。
【図5】第2実施例における位置検出手段の平面図。
【図6】第2実施例の概略平面図。
【図7】第2実施例におけるガラス物品の移載動作の説
明図。
【符号の説明】
1 ガラス物品 2 前工程からの搬送手段 3 次工程への搬送手段 4 位置検出手段 5 把持手段 6、7、8、 3次元位置決め駆動手段 10 徐冷炉
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松宮 晴樹 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 種村 一美 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 佐藤 友厚 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 藤野 宗博 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 前工程から複数列で搬送されてくるガラ
    ス物品を次工程へ移載するための装置であって、 前工程から搬送されてくるガラス物品の位置を検出する
    ための位置検出手段と、 前工程から搬送されてくるガラス物品を把持して次工程
    へ移載するための把持手段と、 前記位置検出手段の検出位置へ把持手段を位置決め移動
    させ、かつ、少なくとも、その位置から該把持手段でガ
    ラス物品を把持して持ち上げるまでの間、該把持手段を
    前工程から搬送されてくるガラス物品と同調移動させて
    次工程へ移載させるように動作制御される3次元位置決
    め駆動手段とで構成したことを特徴とするガラス物品の
    移載装置。
JP08034493A 1993-04-07 1993-04-07 ガラス物品の移載装置 Expired - Fee Related JP3578278B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08034493A JP3578278B2 (ja) 1993-04-07 1993-04-07 ガラス物品の移載装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08034493A JP3578278B2 (ja) 1993-04-07 1993-04-07 ガラス物品の移載装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06286868A true JPH06286868A (ja) 1994-10-11
JP3578278B2 JP3578278B2 (ja) 2004-10-20

Family

ID=13715645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08034493A Expired - Fee Related JP3578278B2 (ja) 1993-04-07 1993-04-07 ガラス物品の移載装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3578278B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010047455A (ja) * 2008-08-22 2010-03-04 Bando Kiko Co Ltd ガラス板の加工方法及びガラス板加工装置
JP2013107185A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Sumitomo Chemical Co Ltd 光学表示部品の吸着装置、光学表示デバイスの生産システム
CN110065825A (zh) * 2019-06-03 2019-07-30 山东奥大力自动化科技有限公司 一种玻璃自动码垛机
CN111204983A (zh) * 2020-01-09 2020-05-29 蒋昌俊 一种钢化幕墙玻璃表面处理工艺
CN113911726A (zh) * 2021-07-20 2022-01-11 杭州聚导科技有限公司 一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010047455A (ja) * 2008-08-22 2010-03-04 Bando Kiko Co Ltd ガラス板の加工方法及びガラス板加工装置
US9283690B2 (en) 2008-08-22 2016-03-15 Bando Kiko Co., Ltd. Glass-plate working method and glass-plate working apparatus
EP3006412A1 (en) * 2008-08-22 2016-04-13 Bando Kiko Co. Ltd. Glass-plate working apparatus
EP2314547B1 (en) * 2008-08-22 2016-08-10 Bando Kiko Co., Ltd Apparatus for processing glass plate
JP2013107185A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Sumitomo Chemical Co Ltd 光学表示部品の吸着装置、光学表示デバイスの生産システム
CN110065825A (zh) * 2019-06-03 2019-07-30 山东奥大力自动化科技有限公司 一种玻璃自动码垛机
CN110065825B (zh) * 2019-06-03 2024-05-17 山东奥大力自动化科技有限公司 一种玻璃自动码垛机
CN111204983A (zh) * 2020-01-09 2020-05-29 蒋昌俊 一种钢化幕墙玻璃表面处理工艺
CN111204983B (zh) * 2020-01-09 2022-04-01 邵阳市中恺钢化玻璃有限公司 一种钢化幕墙玻璃表面处理工艺
CN113911726A (zh) * 2021-07-20 2022-01-11 杭州聚导科技有限公司 一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具

Also Published As

Publication number Publication date
JP3578278B2 (ja) 2004-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4088522A (en) Method and apparatus for sealing the four edges of a multiple pane window
JP5709771B2 (ja) 製品袋取出装置
KR101300959B1 (ko) 판유리 절단설비
US20070289383A1 (en) Apparatus and method for receiving and transferring glass substrate plates
JPS63133545A (ja) 熱処理装置の基板移載搬送装置
JPH0215488B2 (ja)
CN112060118A (zh) 一种取料传送系统及其方法
JPH06286868A (ja) ガラス物品の移載装置
JPH0446858B2 (ja)
CN111283861B (zh) 一种陶瓷瓶坯抓取设备
CN210059028U (zh) 全方位缺陷检测设备
JPS59128117A (ja) 荷起こし装置
CN219489852U (zh) 玻璃制品自动取片桁架机械手
JPH0745465Y2 (ja) タイルの移載装置
JP2521423Y2 (ja) 樹脂シート供給装置
JPH0617787Y2 (ja) 基板搬送装置
JP3705699B2 (ja) 薄板の保持搬送方法
JP4474672B2 (ja) 基板移載装置
CN107540203B (zh) 玻璃注射剂瓶制备系统
JPH11320279A (ja) ワーク移載装置
CN116851390A (zh) 一种屏幕触点清洗设备
JPH09244257A (ja) 露光装置
JPS6283970A (ja) 自動積込み装置
JPH11254517A (ja) シート状樹脂の成形設備
JPH09283023A (ja) シャドウマスク装着装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040422

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040601

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040625

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040708

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees