CN113911726A - 一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具 - Google Patents

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    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明涉及一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板、支板、搬运组件和检测组件，所述底板上固定设置有所述支板，所述支板上固定开设有第一滑槽和第二滑槽，所述搬运组件滑动设置在所述第二滑槽中，所述第一滑槽中摆动设置有所述检测组件，所述支板的一侧固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机推动搬运组件移动的同时带动所述检测组件摆动,本装置通过第一伺服电机推动推板从而可以推动搬运组件搬运门板，在第一伺服电机推动推板的同时，推板对齿条进行推动从而通过齿轮来传动给检测组件，通过连杆传动最终实现摆杆带动检测器在门板搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。

Description

一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具
技术领域
本发明涉及带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具技术领域，具体是一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具。
背景技术
在门板生产制造过程中，需要对门板进行搬运和检测，为了提高搬运效率，通过使用搬运机对门板进行搬运，但是在搬运前期需要人工将门板通过绳索或者卡扣进行固定，固定过程还需要人工搬运门板，工作人员搬运强度大；在对门板故障检测时，需要将门板抬起，且需要多次检测来保证门板质量。
因此，有必要提供一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
（1）要解决的技术问题
本发明的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，以解决上述技术问题。
（2）技术方案
为了实现本发明的目的，本发明所采用的技术方案为：
一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板、支板、搬运组件和检测组件，所述底板上固定设置有所述支板，所述支板上固定开设有第一滑槽和第二滑槽，所述搬运组件滑动设置在所述第二滑槽中，所述第一滑槽中摆动设置有所述检测组件，所述支板的一侧固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机推动搬运组件移动的同时带动所述检测组件摆动。
进一步，作为优选，所述支板的一侧固定设置有第一导槽，所述第一伺服电机的输出端固定连接有推板，所述推板滑动设置在所述第一导槽中，所述推板的上端固定连接所述搬运组件，所述推板的下端固定连接有齿条，所述支板上位于所述齿条上下侧固定设置有导轨，所述齿条驱动所述检测组件。
进一步，作为优选，所述检测组件包括齿轮、第三连杆、固定杆、和摆杆，所述齿轮和齿条啮合，所述齿轮上固定连接有连接轴，所述支板上固定设置有固定板，所述连接轴穿过所述固定板，所述连接轴上方固定设置有所述第三连杆，所述第三连杆的一端和所述摆杆的中间段转动连接，所述摆杆的一端上转动设置有连接件，所述固定杆底部固定开设有第三导槽，所述连接件滑动设置在所述第三导槽中，所述摆杆穿过所述第一滑槽做反复摆动。
进一步，作为优选，所述搬运组件包括第一连接臂、第二连接臂和夹具组件，所述第一连接臂的一端和所述推板固定连接，所述第一连接臂的一端转动连接有所述第二连接臂，所述第一连接臂上设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机用于驱动所述第二连接臂在第一连接臂上转动，所述第二连接臂的上方固定设置有推动电机，所述第二连接臂的下方固定设置有夹具组件，所述第二连接臂和夹具组件之间固定设置有加强筋，所述夹具组件下方连接有多个夹具用于夹装门板，所述推动电机通过所述夹具组件推动所述夹具夹装。
进一步，作为优选，所述夹具组件组件包括压杆、滑筒、第一连杆、第二连杆和外壳，所述外壳内部设置有所述压杆，所述压杆上方固定设置有推杆，所述推动电机驱动所述推杆上下移动，所述压杆上滑动设置有两个所述滑筒，所述滑筒上转动设置有第一连杆和第二连杆，所述外壳内部固定设有固定块，所述第一连杆的一端转动设置在所述固定块上，所述外壳内部固定设置有导向筒，所述导向筒内部滑动设置有连接杆，所述连接杆和所述夹具固定连接，所述第二连杆的一端转动设置在所述连接杆上，所述外壳上设置有第二导槽，所述夹具在所述第二导槽中滑动。
进一步，作为优选，所述摆杆的端部固定设置有检测器，所述摆杆摆动时所述检测器有两个位置位于所述门板正下方。
进一步，作为优选，所述外壳内部设置有防坠落组件用于夹持时吸住所述门板，所述防坠落组件包括通气管和封口，所述外壳底部固定设置有通孔，所述通气管穿过所述通孔，所述通气管的一侧固定设置有排气口，所述连接杆的一侧固定设置有所述封口，所述通气管的一端固定设置在所述压杆下方，所述夹具夹持所述门板时所述封口密封所述排气口，所述通气管底部固定设置有吸盘。
进一步，作为优选，所述齿条齿数是所述齿轮齿数两倍以上。也就是说，尽可能选用齿数少或直径小的齿轮，保证齿条的一次推动使齿轮能转2圈以上。
（3）有益效果：
A.本装置通过第一伺服电机推动推板从而可以推动搬运组件搬运门板，在第一伺服电机推动推板的同时，推板对齿条进行推动从而通过齿轮来传动给检测组件，通过连杆传动最终实现摆杆带动检测器在门板搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。
B.本装置通过齿条带动齿轮转动从而使连接轴转动，连接轴转动的同时会带动第三连杆转动，由于第三连杆转动设置在摆杆的中部，因此第三连杆转动会带动摆杆一定幅度的转动，通过在摆杆的端部设置连接件，将连接件滑动设置在第三导槽中，可以实现对摆杆的摆动幅度进行限制，由摆杆的摆动可以带动摆杆上检测器对门板进行检测。
C.本装置中的防坠落组件在搬运门板时，通过负压使吸盘吸附门板防止门板运输途中坠落，当夹具开始夹持门板时，连接杆会向通气管方向移动，当夹具夹持门板时，连接杆端部封口会堵住排气口，此时吸盘吸附在门板上，并且由于通气管内部的气体被排出，使得通气管内形成负压保证吸盘吸附门板牢固，当夹具松开门板时，连接杆带动封口远离排气口，使吸盘和门板脱离。
D.本装置通过推动电机来推动推杆进一步对压杆进行下压，压杆下压的过程会使两侧的滑筒在压杆上滑动，滑筒在压杆上滑动时会带动第二连杆转动，第二连杆转动时进一步拉动连接杆在导向筒上滑动从而连接杆会进一步带动夹具夹紧门板，整个过程无需工作人员对门板进行固定，提高工作效率。
附图说明
图1为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具结构示意图；
图2为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具结构示意图；
图3为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具的俯视图；
图4为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中搬运组件的结构示意图；
图5为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中搬运组件的侧视图；
图6为本发明一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中夹具组件的剖视图；
图7为图2中A处的放大图；
图中：
1、底板；2、第一滑槽；3、第二滑槽；4、支板；5、搬运组件；6、检测组件；7、第一导槽；8、第一伺服电机；10、推板；12、第一连接臂；13、第二伺服电机；14、第二连接臂；15、推动电机；16、加强筋；
17、夹具组件；1701、外壳；1702、推杆；1703、压杆；1704、滑筒；1705、第一连杆；1706、固定块；1707、第二导槽；1708、导向筒；1709、连接杆；1710、第二连杆；
18、夹具；19、门板；20、固定杆；21、第三导槽；22、连接件；23、摆杆；
24、防坠落组件；2401、排气口；2402、封口；2403、通气管；2404、通孔；
25、齿条；26、齿轮；27、连接轴；28、固定板；29、第三连杆；30、检测器；31、导轨。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例：请参阅图1-7,一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板1、支板4、搬运组件5和检测组件6，所述底板1上固定设置有所述支板4，所述支板4上固定开设有第一滑槽2和第二滑槽3，所述搬运组件5滑动设置在所述第二滑槽3中，所述第一滑槽2中摆动设置有所述检测组件6，所述支板4的一侧固定设置有第一伺服电机8，所述第一伺服电机8推动搬运组件5移动的同时带动所述检测组件6摆动。
本实施例中，所述支板4的一侧固定设置有第一导槽7，所述第一伺服电机8的输出端固定连接有推板10，所述推板10滑动设置在所述第一导槽7中，所述推板10的上端固定连接所述搬运组件5，所述推板10的下端固定连接有齿条25，所述支板4上位于所述齿条25上下侧固定设置有导轨31，所述齿条25驱动所述检测组件6。
本实施例中，参考图7，所述检测组件6包括齿轮26、第三连杆29、固定杆20、和摆杆23，所述齿轮26和齿条25啮合，所述齿轮26上固定连接有连接轴27，所述支板4上固定设置有固定板28，所述连接轴27穿过所述固定板28，所述连接轴27上方固定设置有所述第三连杆29，所述第三连杆29的一端和所述摆杆23的中间段转动连接，所述摆杆23的一端上转动设置有连接件22，所述固定杆20底部固定开设有第三导槽21，所述连接件22滑动设置在所述第三导槽21中，所述摆杆23穿过所述第一滑槽2做反复摆动。
本实施例中，所述搬运组件5包括第一连接臂12、第二连接臂14和夹具组件17，所述第一连接臂12的一端和所述推板10固定连接，所述第一连接臂12的一端转动连接有所述第二连接臂14，所述第一连接臂12上设置有第二伺服电机13，所述第二伺服电机13用于驱动所述第二连接臂14在第一连接臂12上转动，所述第二连接臂14的上方固定设置有推动电机15，所述第二连接臂14的下方固定设置有夹具组件17，所述第二连接臂14和夹具组件17之间固定设置有加强筋16，所述夹具组件17下方连接有多个夹具18用于夹装门板19，所述推动电机15通过所述夹具组件17推动所述夹具18夹装。
本实施例中，所述夹具组件17组件包括压杆1703、滑筒1704、第一连杆1705、第二连杆1710和外壳1701，所述外壳1701内部设置有所述压杆1703，所述压杆1703上方固定设置有推杆1702，所述推动电机15驱动所述推杆1702上下移动，所述压杆1703上滑动设置有两个所述滑筒1704，所述滑筒1704上转动设置有第一连杆1705和第二连杆1710，所述外壳1701内部固定设有固定块1706，所述第一连杆1705的一端转动设置在所述固定块1706上，所述外壳1710内部固定设置有导向筒1708，所述导向筒1708内部滑动设置有连接杆1709，所述连接杆1709和所述夹具18固定连接，所述第二连杆1701的一端转动设置在所述连接杆1709上，所述外壳1701上设置有第二导槽1707，所述夹具18在所述第二导槽1707中滑动。
本实施例中，所述摆杆23的端部固定设置有检测器30，所述摆杆23摆动时所述检测器30有两个位置位于所述门板19正下方。其中检测器30为现有技术，可以采用ATOSCORE185蓝光扫描检测,进行尺寸检测或者裂痕检测；也可以使用拍照进行拍照检测。
本实施例中，所述外壳1701内部设置有防坠落组件24用于夹持时吸住所述门板19，所述防坠落组件24包括通气管2403和封口2402，所述外壳1701底部固定设置有通孔2404，所述通气管2403穿过所述通孔2404，所述通气管2403的一侧固定设置有排气口2401，所述连接杆1709的一侧固定设置有所述封口2402，所述通气管2403的一端固定设置在所述压杆1703下方，所述夹具18夹持所述门板19时所述封口2402密封所述排气口2401，所述通气管2403底部固定设置有吸盘。
本实施例中，所述齿条25齿数是所述齿轮26齿数两倍以上。也就是说，尽可能选用齿数少或直径小的齿轮26，保证齿条25的一次推动使齿轮26能转2圈以上。
本发明的工作原理是：
本装置通过第一伺服电机8推动推板10从而可以推动搬运组件5搬运门板19，在第一伺服电机8推动推板10的同时，推板10对齿条25进行推动从而通过齿轮26来传动给检测组件6，通过连杆传动最终实现摆杆23带动检测器30在门板19搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。
本装置通过齿条25带动齿轮26转动从而使连接轴27转动，连接轴27转动的同时会带动第三连杆29转动，由于第三连杆29转动设置在摆杆23的中部，因此第三连杆29转动会带动摆杆23一定幅度的转动，通过在摆杆23的端部设置连接件22，将连接件22滑动设置在第三导槽21中，可以实现对摆杆23的摆动幅度进行限制，由摆杆23的摆动可以带动摆杆23上检测器30对门板19进行检测。
本装置中的防坠落组件24在搬运门板19时，通过负压使吸盘吸附门板19防止门板运输途中坠落，当夹具18开始夹持门板19时，连接杆1709会向通气管2403方向移动，当夹具18夹持门板19时，连接杆1709端部封口2402会堵住排气口2401，此时吸盘吸附在门板19上，并且由于通气管2403内部的气体被排出，使得通气管2403内形成负压保证吸盘吸附门板19牢固，当夹具18松开门板19时，连接杆1709带动封口2402远离排气口2401，使吸盘和门板19脱离。
本装置通过推动电机15来推动推杆1702进一步对压杆1703进行下压，压杆1703下压的过程会使两侧的滑筒1704在压杆1703上滑动，滑筒1704在压杆1703上滑动时会带动第二连杆1710转动，第二连杆1710转动时进一步拉动连接杆1709在导向筒1708上滑动从而连接杆1709会进一步带动夹具18夹紧门板19，整个过程无需工作人员对门板进行固定，提高工作效率。
上述实施例用于对本发明作进一步的说明，但并不将本发明局限于这些具体实施方式。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：其包括底板(1)、支板(4)、搬运组件(5)和检测组件(6)，所述底板(1)上固定设置有所述支板(4)，所述支板(4)上固定开设有第一滑槽(2)和第二滑槽(3)，所述搬运组件(5)滑动设置在所述第二滑槽(3)中，所述第一滑槽(2)中摆动设置有所述检测组件(6)，所述支板(4)的一侧固定设置有第一伺服电机(8)，所述第一伺服电机(8)推动搬运组件(5)移动的同时带动所述检测组件(6)摆动。
2.根据权利要求1所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述支板(4)的一侧固定设置有第一导槽(7)，所述第一伺服电机(8)的输出端固定连接有推板(10)，所述推板(10)滑动设置在所述第一导槽(7)中，所述推板(10)的上端固定连接所述搬运组件(5)，所述推板(10)的下端固定连接有齿条(25)，所述支板(4)上位于所述齿条(25)上下侧固定设置有导轨(31)，所述齿条(25)驱动所述检测组件(6)。
3.根据权利要求2所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述检测组件(6)包括齿轮(26)、第三连杆(29)、固定杆(20)、和摆杆(23)，所述齿轮(26)和齿条(25)啮合，所述齿轮(26)上固定连接有连接轴(27)，所述支板(4)上固定设置有固定板(28)，所述连接轴(27)穿过所述固定板(28)，所述连接轴(27)上方固定设置有所述第三连杆(29)，所述第三连杆(29)的一端和所述摆杆(23)的中间段转动连接，所述摆杆(23)的一端上转动设置有连接件(22)，所述固定杆(20)底部固定开设有第三导槽(21)，所述连接件(22)滑动设置在所述第三导槽(21)中，所述摆杆(23)穿过所述第一滑槽(2)做反复摆动。
4.根据权利要求3所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述搬运组件(5)包括第一连接臂(12)、第二连接臂(14)和夹具组件(17)，所述第一连接臂(12)的一端和所述推板(10)固定连接，所述第一连接臂(12)的一端转动连接有所述第二连接臂(14)，所述第一连接臂(12)上设置有第二伺服电机(13)，所述第二伺服电机(13)用于驱动所述第二连接臂(14)在第一连接臂(12)上转动，所述第二连接臂(14)的上方固定设置有推动电机(15)，所述第二连接臂(14)的下方固定设置有夹具组件(17)，所述第二连接臂(14)和夹具组件(17)之间固定设置有加强筋(16)，所述夹具组件(17)下方连接有多个夹具(18)用于夹装门板(19)，所述推动电机(15)通过所述夹具组件(17)推动所述夹具(18)夹装。
5.根据权利要求4所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述夹具组件(17)组件包括压杆(1703)、滑筒(1704)、第一连杆(1705)、第二连杆(1710)和外壳(1701)，所述外壳(1701)内部设置有所述压杆(1703)，所述压杆(1703)上方固定设置有推杆(1702)，所述推动电机(15)驱动所述推杆(1702)上下移动，所述压杆(1703)上滑动设置有两个所述滑筒(1704)，所述滑筒(1704)上转动设置有第一连杆(1705)和第二连杆(1710)，所述外壳(1701)内部固定设有固定块(1706)，所述第一连杆(1705)的一端转动设置在所述固定块(1706)上，所述外壳(1710)内部固定设置有导向筒(1708)，所述导向筒(1708)内部滑动设置有连接杆(1709)，所述连接杆(1709)和所述夹具(18)固定连接，所述第二连杆(1701)的一端转动设置在所述连接杆(1709)上，所述外壳(1701)上设置有第二导槽(1707)，所述夹具(18)在所述第二导槽(1707)中滑动。
6.根据权利要求3所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述摆杆(23)的端部固定设置有检测器(30)，所述摆杆(23)摆动时所述检测器(30)有两个位置位于所述门板(19)正下方。
7.根据权利要求5所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述外壳(1701)内部设置有防坠落组件(24)用于夹持时吸住所述门板(19)，所述防坠落组件(24)包括通气管(2403)和封口(2402)，所述外壳(1701)底部固定设置有通孔(2404)，所述通气管(2403)穿过所述通孔(2404)，所述通气管(2403)的一侧固定设置有排气口(2401)，所述连接杆(1709)的一侧固定设置有所述封口(2402)，所述通气管(2403)的一端固定设置在所述压杆(1703)下方，所述夹具(18)夹持所述门板(19)时所述封口(2402)密封所述排气口(2401)，所述通气管(2403)底部固定设置有吸盘。
8.根据权利要求3所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述齿条(25)齿数是所述齿轮(26)齿数两倍以上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06286868A (ja) * 1993-04-07 1994-10-11 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス物品の移載装置
JPH07125706A (ja) * 1993-10-28 1995-05-16 Fuji Mach Co Ltd 物品箱詰め装置
JPH07205940A (ja) * 1994-01-20 1995-08-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 箱詰機における容器箱詰不具合検出方法及び装置
JPH11257922A (ja) * 1998-03-10 1999-09-24 Toshiba Corp 光電式幅測定装置
CN1839671A (zh) * 2004-03-15 2006-09-27 松下电器产业株式会社 部件安装精度的检查方法及检查装置
CN104803187A (zh) * 2015-04-23 2015-07-29 苏州博众精工科技有限公司 一种按键检测机构
CN109341748A (zh) * 2018-11-09 2019-02-15 罗博特科智能科技股份有限公司 一种转盘式视觉检测装置
CN109677917A (zh) * 2019-01-14 2019-04-26 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 一种摆动夹持机械手和塑胶管视觉检测装置
CN209321955U (zh) * 2018-07-24 2019-08-30 深圳市矽电半导体设备有限公司 一种物料传输自动线
CN111439584A (zh) * 2020-05-15 2020-07-24 横店集团东磁股份有限公司 一种磁性材料托盘交换机及其实现方法
CN211347978U (zh) * 2019-12-02 2020-08-25 广东汇博机器人技术有限公司 一种陶瓷阀芯视觉自动检测系统
CN112987756A (zh) * 2021-04-21 2021-06-18 中国矿业大学(北京) 叶片检测机器人、控制方法和控制器

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06286868A (ja) * 1993-04-07 1994-10-11 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス物品の移載装置
JPH07125706A (ja) * 1993-10-28 1995-05-16 Fuji Mach Co Ltd 物品箱詰め装置
JPH07205940A (ja) * 1994-01-20 1995-08-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 箱詰機における容器箱詰不具合検出方法及び装置
JPH11257922A (ja) * 1998-03-10 1999-09-24 Toshiba Corp 光電式幅測定装置
CN1839671A (zh) * 2004-03-15 2006-09-27 松下电器产业株式会社 部件安装精度的检查方法及检查装置
CN104803187A (zh) * 2015-04-23 2015-07-29 苏州博众精工科技有限公司 一种按键检测机构
CN209321955U (zh) * 2018-07-24 2019-08-30 深圳市矽电半导体设备有限公司 一种物料传输自动线
CN109341748A (zh) * 2018-11-09 2019-02-15 罗博特科智能科技股份有限公司 一种转盘式视觉检测装置
CN109677917A (zh) * 2019-01-14 2019-04-26 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 一种摆动夹持机械手和塑胶管视觉检测装置
CN211347978U (zh) * 2019-12-02 2020-08-25 广东汇博机器人技术有限公司 一种陶瓷阀芯视觉自动检测系统
CN111439584A (zh) * 2020-05-15 2020-07-24 横店集团东磁股份有限公司 一种磁性材料托盘交换机及其实现方法
CN112987756A (zh) * 2021-04-21 2021-06-18 中国矿业大学(北京) 叶片检测机器人、控制方法和控制器

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