CN215869332U - 载台装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种载台装置，涉及半导体装备领域。一种载台装置包括：基座，所述基座具有用于放置物件的承载面；吸附机构，所述吸附机构包括吸附件，所述吸附件可升降地设置于所述基座，以使所述吸附件能够相对于所述承载面凸出或回缩；夹紧机构，所述夹紧机构包括多个夹紧件，多个所述夹紧件分别可移动地设置于所述基座，以夹紧或释放被放置于所述承载面的物件。本申请至少能够解决现有的常规载台精度低的问题。

Description

载台装置

技术领域

本申请属于半导体装备技术领域，具体涉及一种载台装置。

背景技术

随着科学技术的不断发展，电子产品更新迭代的速度越来越快，从而对生产技术提出了更高的要求。当前，一些自动化生产设备主要包括加工单元、物流单元、检测单元等，除此以外，用于放置产品的载台同样是必不可少的构件。不同的产品对载台的需求不同，不同环节的载台所需要的功能也各有不同。

当前，芯片半导体与MicroLED技术飞速发展，这些都是基于晶圆为载体的电子产品，由此可知，用于放置、承载晶圆的载台显得尤为重要。然而，常规的载台在放置、承载晶圆时，容易造成晶圆位置移动，从而影响晶圆的位置精度，进而对下游工序的进行造成影响。

实用新型内容

本申请实施例的目的是提供一种载台装置，能够解决常规载台精度低的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请实施例提供了一种载台装置，该载台装置包括：

基座，所述基座具有用于放置物件的承载面；

吸附机构，所述吸附机构包括吸附件，所述吸附件可升降地设置于所述基座，以使所述吸附件能够相对于所述承载面凸出或回缩；

夹紧机构，所述夹紧机构包括多个夹紧件，多个所述夹紧件分别可移动地设置于所述基座，以夹紧或释放被放置于所述承载面的物件。

在一种可能的实现方式中，所述夹紧机构还包括第一驱动件、联动组件和回位件；

所述第一驱动件的驱动端与所述联动组件传动连接，多个所述夹紧件分别与所述联动组件连接，所述回位件连接所述联动组件和所述基座；

其中，所述第一驱动件被配置为驱动所述联动组件运动，并由所述联动组件带动多个所述夹紧件运动，以使多个所述夹紧件具有扩张的运动趋势，以释放物件；所述回位件被配置为驱动所述联动组件运动，并由所述联动组件带动多个所述夹紧件运动，以使多个所述夹紧件具有收紧的运动趋势，以夹紧物件。

在一种可能的实现方式中，所述联动组件包括多块顶板以及与各块顶板对应连接的滑板，所述滑板与所述基座滑动连接，多块上述顶板分别与所述第一驱动件传动连接；

所述夹紧件对应设置于所述滑板。

在一种可能的实现方式中，多块所述顶板包括相对设置的第一顶板和第二顶板，所述第一顶板与第一滑板连接，所述第二顶板与第二滑板连接，所述第一滑板上设有多个所述夹紧件，所述第二滑板上设有多个所述夹紧件；

所述第一驱动件的驱动端设置于所述第一顶板与所述第二顶板之间；

其中，在所述第一驱动件的驱动作用下，所述第一顶板与所述第二顶板相背移动，在所述回位件的驱动作用下，所述第一顶板与所述第二顶板相向移动。

在一种可能的实现方式中，所述基座和所述滑板中的一者设有滑轨，另一者设有滑槽，所述滑槽与所述滑轨滑动连接。

在一种可能的实现方式中，所述第一驱动件为夹爪气缸；

和/或，所述回位件为弹簧；

和/或，所述夹紧件为滚轮。

在一种可能的实现方式中，所述承载面开设有多个避让孔，所述夹紧件对应设置于所述避让孔，且所述夹紧件至少部分穿出所述避让孔，以使所述夹紧件的端部凸出于所述承载面。

在一种可能的实现方式中，所述吸附机构包括用于驱动所述吸附件作升降运动的升降组件；

所述升降组件包括第二驱动件和升降座，所述基座上设有沿升降方向延伸的导向件，所述升降座与所述导向件滑动连接，所述第二驱动件的驱动端与所述升降座连接，所述升降座上设有多个所述吸附件。

在一种可能的实现方式中，所述吸附件包括带有气孔的吸盘和中空的连接杆，所述吸盘连接于所述连接杆的一端，且所述气孔与所述连接杆的中空腔体连通；

所述基座上设有沿升降方向设置的直线轴承，所述连接杆与所述直线轴承滑动连接。

在一种可能的实现方式中，所述基座包括承载台，所述承载台的中部开设通孔，所述通孔的侧壁设有多个凹槽，所述吸附件对应设置于所述凹槽中。

本申请实施例中，在晶圆传递至承载面上以后，通过夹紧机构对晶圆进行夹紧，而后通过吸附机构吸附晶圆，而后夹紧机构释放晶圆，而后吸附件携带晶圆做升降运动，以便于下游的输送机构将晶圆取走。基于上述设置，通过夹紧机构夹紧晶圆在一定程度上可以调节晶圆在承载面上的位置，从而提高晶圆的位置精度，与此同时，在夹紧机构夹紧晶圆后，吸附机构对晶圆进行吸附，从而可以固定晶圆，以防止晶圆的位置发生移动。因此，晶圆在输送至下游的工位之前，通过载台装置进行位置调节，从而提升了晶圆的位置精度。

附图说明

图1为本申请实施例公开的载台装置的立体结构示意图；

图2为本申请实施例公开的载台装置的俯视示意图；

图3为本申请实施例公开的载台装置的主视示意图；

图4为本申请实施例公开的载台装置的拆掉承载台的示意图。

附图标记说明：

100-基座；110-滑轨；120-承载台；121-承载面；122-避让孔；123-通孔；124-凹槽；130-导向件；140-直线轴承；150-固定板；160-固定座；

200-吸附机构；210-吸附件；211-吸盘；212-连接杆；220-升降组件；221-第二驱动件；222-升降座；

300-夹紧机构；310-第一驱动件；320-联动组件；321-第一顶板；322-第二顶板；323-第一滑板；330-回位件；340-夹紧件；

400-片材。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例进行详细地说明。

如图1至图4，本申请实施例提供了一种载台装置，该载台装置包括基座100、吸附机构200和夹紧机构300。

其中，基座100为基础安装构件，其为吸附机构200和夹紧机构300等提供安装基础。基座100具有承载面121，该承载面121用于放置物件。可选地，承载面121可以是水平面，物件可以是片材400，如，晶圆等，在传输物件的过程中，由上游输送机构将物件放置在承载面121上，并经过承载装置调整后传输至下游输送机构。

吸附机构200为传输物件的构件，其中，吸附机构200包括吸附件210，吸附件210可升降地设置于基座100，以使吸附件210能够相对于承载面121凸出或回缩。可选地，吸附件210可以是真空盘。另外，吸附件210的吸附表面可以与承载面121齐平，当物件放置于承载面121上时，物件可以与吸附件210的吸附面以及承载面121贴合，也即，物件受到吸附面和承载面121的支撑作用。吸附机构200启动后，吸附件210可以对物件产生吸附作用，以对物件起到固定作用。由于吸附件210可以升降，使得物件可以随吸附件210做升降运动。

夹紧机构300用于夹紧物件，一方面可以对物件起到紧固作用，以防止物件位置移动，另一方面还可以对物件的位置进行调节，以对物件进行定位。本申请实施例中，夹紧机构300包括多个夹紧件340，多个夹紧件340分别可移动地设置于基座100，以夹紧或释放被放置在承载面121地物件。

在一些实施例中，当物件放置于承载面121上时，多个夹紧件340从物件的周围朝向物件移动，以对物件的边缘起到夹紧作用，从而可以紧固物件和定位物件。

本申请实施例中，在晶圆传递至承载面121上以后，通过夹紧机构300对晶圆进行夹紧，通过吸附机构200吸附晶圆，夹紧机构300释放晶圆，吸附件210携带晶圆做升降运动，以便于下游的输送机构将晶圆取走。基于上述设置，通过夹紧机构300夹紧晶圆在一定程度上可以调节晶圆在承载面121上的位置，从而提高晶圆的位置精度，与此同时，在夹紧机构300夹紧晶圆后，吸附机构200对晶圆进行吸附，从而可以固定晶圆，以防止晶圆的位置发生移动。因此，晶圆在输送至下游的工位之前，通过载台装置进行位置调节，从而提升了晶圆的位置精度。

参考图4，一些实施例中，夹紧机构300还包括第一驱动件310、联动组件320和回位件330，其中，第一驱动件310的驱动端于联动组件320传动连接，多个夹紧件340分别与联动组件320连接，回位件330连接联动组件320和基座100。如此，通过第一驱动件310可以驱动联动组件320运动，并由联动组件320带动多个夹紧件340运动，以使多个夹紧件340具有扩张的运动趋势，以释放物件；回位件330能够驱动联动组件320运动，并由联动组件320带动多个夹紧件340运动，以使多个夹紧件340具有收紧的运动趋势，以夹紧物件。

可选地，联动组件320包括多块顶板以及与各块顶板对应连接的滑板，滑板与基座100滑动连接，夹紧件340对应设置于滑板。

基于上述设置，在第一驱动件310的驱动作用下，由多块顶板分别带动多块滑板相对于基座100滑动，并由多块滑板带动各自上的夹紧件340移动，以使夹紧件340靠近物件或远离物件。

继续参考图4，在一种较为具体的实施例中，多块顶板包括相对设置的第一顶板321和第二顶板322，相应地，多块滑板包括第一滑板323和第二滑板，第一顶板321与第一滑板323连接，第二顶板322与第二滑板连接，如此，通过第一顶板321可以同步带动第一滑板323滑动，通过第二顶板322同步带动第二滑板滑动；并且，第一滑板323上设有多个夹紧件340，第二滑板上同样设置多个夹紧件340，从而通过第一滑板323和第二滑板可以分别带动各自上的夹紧件340同步移动。可选地，第一顶板321与第一滑板323之间可以相互抵接，第二顶板322与第二滑板之间可以相互抵接。

第一驱动件310的驱动端设置于第一顶板321与第二顶板322之间，随着第一驱动件310的驱动作用，第一顶板321与第二顶板322可以相背移动，并使第一滑板323与第二滑板相背移动，从而使第一滑板323上的夹紧件340与第二滑板上的夹紧件340相背移动，进而使多个夹紧件340扩张，以便于为物件的放置形成避让空间。另外，在回位件330的驱动作用下，第一顶板321与第二顶板322可以相向移动，并使第一滑板323与第二滑板相向移动，从而使第一滑板323上的夹紧件340与第二滑板上的夹紧件340相向移动，进而使多个夹紧件340收紧，以对物件进行定位和固定。

为了使第一滑板323上的夹紧件340和第二滑板上的夹紧件340能够相向移动或相背移动，本申请实施例中，基座100和滑板种的一者上设有滑轨110，另一者上设有滑槽，且滑槽与滑轨110滑动连接。在一种较为具体的实施例中，滑轨110设置于基座100上，滑槽设置于滑板上。通过滑槽与滑轨110滑动连接，可以对各滑板起到导向作用，且保证各滑板的滑动精度。

为了通过第一驱动件310驱动联动组件320运动，本申请实施例中，第一驱动件310可以选用夹爪气缸。可选地，第一顶板321和第二顶板322分别与夹爪气缸的两个活动夹爪相连，从而可以通过夹爪气缸同时驱动第一顶板321和第二顶板322移动，以使第一顶板321与第二顶板322相背移动。此处需要说明的是，夹爪气缸的具体结构及工作原理可参考相关技术，此处不作详细阐述。

在其他实施例中，第一驱动件310还可以包括直线驱动件以及与直线驱动件的驱动端连接的触头，触头可以是楔形、尖形等结构，直线驱动件通过触头可以分别挤压第一顶板321和第二顶板322，从而使第一顶板321和第二顶板322相背移动。

在一些实施例中，回位件330可以是弹簧，其中，弹簧可以是拉簧、压簧等，通过弹簧分别为第一顶板321和第二顶板322提供弹性力，以使第一顶板321与第二顶板322相向移动。当然，还可以通过弹簧分别为第一滑板323和第二滑板提供弹性力，以使第一滑板323与第二滑板相向移动。

在一些实施例种，夹紧件340可以是滚轮。其中，滚轮具有弧形外缘，滚轮的外缘不易划伤物件，从而保证了物件的完好性和尺寸精度。

参考图1，为了使多个夹紧件340能够夹紧物件，本申请实施例中，在承载面121上开设多个避让孔122，多个夹紧件340对应设置于多个避让孔122中，且夹紧件340至少部分穿出避让孔122，以使夹紧件340的端部凸出于承载面121。可选地，避让孔122可以是长孔，长孔的长度方向与夹紧件340的移动方向平行，且长孔的长度尺寸大于夹紧件340的尺寸，以使夹紧件340能够在长孔中移动，从而实现对物件的夹紧或释放。

另外，夹紧件340的端部凸出于承载面121的距离可以根据物件的厚度尺寸而选定。例如，当物件较厚时，可以时夹紧件340凸出的尺寸较大，以提供更加稳定的夹紧作用。

参考图3，为了使吸附件210可以升降运动，本申请实施例中，吸附机构200还包括用于驱动吸附件210作升降运动的升降组件220。其中，升降组件220包括第二驱动件221和升降座222，第二驱动件221的驱动端与升降座222连接，升降座222上设有多个吸附件210。如此，通过第二驱动件221可以带动升降座222升降，并由升降座222带动多个吸附件210同步升降，以通过吸附件210输送被吸附的物件。可选地，第二驱动件221可以是气缸、液压缸、电动缸等直线伸缩件。另外，升降座222可以是板件，从而可以将多个吸附件210分布在升降座222上，以扩大吸附面积，提升吸附效果。

继续参考图3，为了提高吸附件210的升降精度，本申请实施例中，基座100上设置沿升降方向延伸的导向件130，升降座222与导向件130滑动连接。可选地，导向件130可以是导杆，本申请实施例可以设置多根导杆，以提高升降座222在升降运动过程中的稳定性和运动精度。

另外，基座100还设有固定板150，固定板150上设有固定座160，导向件130穿过固定板150和固定座160，并与固定座160连接，以实现对导向件130的固定。可选地，第一驱动件310可以设置在固定板150上，以实现第一驱动件310的固定安装。

参考图2，在一些实施例中，吸附件210包括带有气孔的吸盘211和中空的连接杆212，吸盘211连接与连接杆212的一端，且气孔与连接杆212的中空腔体连通。在吸附过程中，抽真空装置与中空腔体连通，从而可以使吸盘211处产生真空度，以对物件进行吸附。

为了进一步提升吸附件210的升降精度，本申请实施例中，基座100上设有沿升降方向设置的直线轴承140，连接杆212与直线轴承140滑动连接，从而使连接杆212沿直线轴承140的延伸方向移动，进而保证了吸附件210的升降精度。

参考图1，在一些实施例中，基座100包括承载台120，承载台120的中部开设通孔123，通孔123的侧壁设有多个凹槽124，多个吸附件210对应设置于凹槽124中。在实际工作过程中，吸附件210可以在凹槽124中作升降运动。

本申请实施例中的载台装置的具体工作过程为：

初始状态下，第一驱动件310驱动第一顶板321和第二顶板322向两侧撑开，使得第一滑板323及其上的夹紧件340以及第二滑板及其上的夹紧件340扩张，且吸附件210的吸盘211的吸附面与承载台120的承载面121调整至等高。

工作时，载台装置上游的输送机构将物件搬运到承载面121上，第一驱动件310启动，其驱动第一顶板321和第二顶板322向中间靠拢，此时，第一滑板323和第二滑板分别失去了第一顶板321和第二顶板322的限制，在回位件330的驱动作用下，第一滑板323及其上的夹紧件340以及第二滑板及其上的夹紧件340向中间靠拢，从而使多个夹紧件340从多个方向夹紧固定物件。

吸附机构200启动，通过吸附件210吸附物件，待吸附动作完成后，第一驱动件310驱动第一顶板321和第二顶板322向两侧撑开，并使第一滑板323和第二滑板向两侧移动，从而使多个夹紧件340松开物件。

第二驱动件221驱动吸附件210上升，通过吸附件210带动被吸附的物件上升；上升后的物件通过下游的输送机构取走。

综上所述，本申请实施例提供的载台装置能够实现对物件的固定，是具有靠位、吸附及升降功能的载台，方便物件的取放料，可以提升物件的位置精度，进而可以提高设备的加工精度和良品率。

上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (10)

1.一种载台装置，其特征在于，包括：

基座（100），所述基座（100）具有用于放置物件的承载面（121）；

吸附机构（200），所述吸附机构（200）包括吸附件（210），所述吸附件（210）可升降地设置于所述基座（100），以使所述吸附件（210）能够相对于所述承载面（121）凸出或回缩；

夹紧机构（300），所述夹紧机构（300）包括多个夹紧件（340），多个所述夹紧件（340）分别可移动地设置于所述基座（100），以夹紧或释放被放置于所述承载面（121）的物件。

2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，所述夹紧机构（300）还包括第一驱动件（310）、联动组件（320）和回位件（330）；

所述第一驱动件（310）的驱动端与所述联动组件（320）传动连接，多个所述夹紧件（340）分别与所述联动组件（320）连接，所述回位件（330）连接所述联动组件（320）和所述基座（100）；

其中，所述第一驱动件（310）被配置为驱动所述联动组件（320）运动，并由所述联动组件（320）带动多个所述夹紧件（340）运动，以使多个所述夹紧件（340）具有扩张的运动趋势，以释放物件；所述回位件（330）被配置为驱动所述联动组件（320）运动，并由所述联动组件（320）带动多个所述夹紧件（340）运动，以使多个所述夹紧件（340）具有收紧的运动趋势，以夹紧物件。

3.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，所述联动组件（320）包括多块顶板以及与各块顶板对应连接的滑板，所述滑板与所述基座（100）滑动连接，多块上述顶板分别与所述第一驱动件（310）传动连接；

所述夹紧件（340）对应设置于所述滑板。

4.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，多块所述顶板包括相对设置的第一顶板（321）和第二顶板（322），所述第一顶板（321）与第一滑板（323）连接，所述第二顶板（322）与第二滑板连接，所述第一滑板（323）上设有多个所述夹紧件（340），所述第二滑板上设有多个所述夹紧件（340）；

所述第一驱动件（310）的驱动端设置于所述第一顶板（321）与所述第二顶板（322）之间；

其中，在所述第一驱动件（310）的驱动作用下，所述第一顶板（321）与所述第二顶板（322）相背移动，在所述回位件（330）的驱动作用下，所述第一顶板（321）与所述第二顶板（322）相向移动。

5.根据权利要求4所述的载台装置，其特征在于，所述基座（100）和所述滑板中的一者设有滑轨（110），另一者设有滑槽，所述滑槽与所述滑轨（110）滑动连接。

6.根据权利要求2-5中任意一项所述的载台装置，其特征在于，所述第一驱动件（310）为夹爪气缸；

和/或，所述回位件（330）为弹簧；

和/或，所述夹紧件（340）为滚轮。

7.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，所述承载面（121）开设有多个避让孔（122），所述夹紧件（340）对应设置于所述避让孔（122），且所述夹紧件（340）至少部分穿出所述避让孔（122），以使所述夹紧件（340）的端部凸出于所述承载面（121）。

8.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，所述吸附机构（200）包括用于驱动所述吸附件（210）作升降运动的升降组件（220）；

所述升降组件（220）包括第二驱动件（221）和升降座（222），所述基座（100）上设有沿升降方向延伸的导向件（130），所述升降座（222）与所述导向件（130）滑动连接，所述第二驱动件（221）的驱动端与所述升降座（222）连接，所述升降座（222）上设有多个所述吸附件（210）。

9.根据权利要求8所述的载台装置，其特征在于，所述吸附件（210）包括带有气孔的吸盘（211）和中空的连接杆（212），所述吸盘（211）连接于所述连接杆（212）的一端，且所述气孔与所述连接杆（212）的中空腔体连通；

所述基座（100）上设有沿升降方向设置的直线轴承（140），所述连接杆（212）与所述直线轴承（140）滑动连接。

10.根据权利要求1或8或9所述的载台装置，其特征在于，所述基座（100）包括承载台（120），所述承载台（120）的中部开设通孔（123），所述通孔（123）的侧壁设有多个凹槽（124），所述吸附件（210）对应设置于所述凹槽（124）中。

Images