JPS62235125A - 移動体間隔可変送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、複数の移動体を平行移動させる装置であって
、特に移動体間隔を可変にした送り装置に関する。

（従来の技術） ワークを第１と第２の両ステーション間で移動させる手
段として１両ステーション間に渡したガイド手段に移動
体を支持し、この移動体に設けたワーク取上装置でワー
クを第１ステーシヨンから取上げ第２ステーシヨンへ移
すというようなワーク移、戎装置は一般に知られている
。

これに対し、第１ステーシヨンで間隔をおいて並べられ
た複数のワークを第２ステーシヨンに移動させ、第１ス
テーシヨンでのワーク間隔とは異なる間隔をおいて並べ
る場合の手段としては次の２つの方式が一般に考えられ
る。すなわち、１つは上記移載装置を用い第１ステーシ
ヨンでのワーク取上位置と第２ステーシヨンでのワーク
おろし位置とを順次制御しながら、ワークを１個ずつ移
動させていく方式である。他の１つは、複数の移動体を
用いて第１ステーシヨンで並設された複数のワークを同
時に取上げ、移動の過程でワーク間隔を変えて第２ステ
ーシヨンに移す方式である。

（ｇ、明が解決しようとする問題点） 従来の第１の方式では、多数のワークを移動させる場合
に長時間を要するとともに、ワーク取上位置および降ろ
し位置の制御が面倒になる。

また、従来の第２の方式では、移動体の数に対応する数
の駆動手段が必要になるとともに、各移動体間隔の制御
が面倒になる。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点の解決手段として、複数の移動体
を同一方向へ平行移動させる装置であって、複数のリン
クが移動方向において三角波状に連結され、この各リン
クに対しそれぞれ平行移動可能に設けたスライダが枢支
され、これらスライダのうちの複数のものにそれぞれ少
なくともｌの移動体が設けられていて、いずれか２つの
スライダを互いの間隔を変え得るように移動させる駆動
手段を備えた移動体間隔可変送り装置を提供するもので
ある。

（作用） 上記可変送り装置において、各リンクのス’５１γダ枢
支点の移動軌跡は、各スライダが平行移蛇スるようにガ
イドされるから、スライダの移動方向に平行なものとな
る。そして、隣接する（第１と第２の）リンクが上記移
動方向となす角度は、両リンクのスライダ枢支点の相対
位置できまるが、第２のリンクの位置と角度が定まると
、これに連結されている第３のリンクはそのスライダ枢
支点が特定の軌跡上になければならないから、その位置
と角度がきまる。逆に、第１と第３のリンクのスライダ
枢支点の位置と角度がきまると第２のリンクのスライダ
枢支点の位置と角度がきまり、結局、いずれか２つのリ
ンクのスライダ枢支点の位置がきまると他のすべてのリ
ンクのスライダ枢支点の位置が定まる。

従って、複数のスライダに対しそれぞれ移動体が１つず
つ設けられている場合、駆動手段がいずれか２つのスラ
イダを一定間隔のままで移動させると、すべての移動体
が当初の間隔を保ったまま同方向へ移動するが、この２
つのスライダを互いの間隔が変わるように移動させると
、リンクを介して連係されているすべての移動体が互い
の間隔を上記２つのスライダの間隔の変化に応じて変化
させて同方向へ移動する。

また５各スライダに移動体が複数個ずつ組になって同軸
で枢支されている場合、それぞれの組内の各移動体の間
隔は一定で、移動体の組同志の間隔が可変となる。

（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、複数の移動体を平行移
動させるにあたって、いずれか２つのスライダに駆動力
を与えるだけで各移動体間隔を一定の比率で変化させる
ことが可能となり、駆動手段の数を少なくすることがで
きるとともに、すべての移動体の間隔の制御を２つのス
ライダの間隔の制御だけで行なうことができるという効
果が得られる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。

第１図には移動体間隔可変送り装置１の全体構成が示さ
れている。この可変送り装置１は、第１〜第４の各移動
体２ａ〜２ｄを有し、この移動体２ａ〜２ｄで取上げた
ワークを２ステ一シヨン間でワーク間隔を変えて移替え
るためのものであり。

第２図に概略的に示すＩＣパッケージ（ワーク）（ＦＩ
’Ｐ；フラット・プラスチック・パッケージ）４のエー
ジング用着脱システムにおいて用いられる。

すなわち、上記着脱システムにおいて、５は複数のＩＣ
パッケージ４をトレー６に載置して搬送するトレーライ
ン、７は複数のＩＣパッケージ４をエージング基板８の
ソケット３に収めトレー６とは逆方向に搬送する基板ラ
インである。未処理のＩＣパッケージ４は、トレーライ
ン５のトレー６から基板ライン７のエージング基板８の
ソケット３に移載され、ソケット３の蓋を閉じてエージ
ング装置への基板搬出部９へ送られる。そして、エージ
ング後のＩＣパッケージ４は基板搬入部１０へ供給され
、基板ライン７上でソケット３の蓋を開き、トレーライ
ン５のトレー６に移載され、トレーライン５から次の処
理ステーション（ＩＣ検査装置）へトレー６とともに送
られるようになされている。トレー６とエージング基板
８とではＩＣパッケージ４を並置する間隔が相違してお
り、上記可変送り装置１は、このトレー６とエージング
基板８との間でＩＣパッケージ４を移載するために用い
られる。

さて、上記可変送り装置１について、具体的に説明する
に、まず、移動方向に並設した第１〜第４の各移動体２
ａ〜２ｄは、移動方向と平行な４木のガイドバー１１に
嵌挿した第１〜第４の各スライダ１２ａ〜１２ｄに固定
され、かつ、第１〜第４のリンク１３ａ〜１３ｄで連結
されている。

この場合、第１と第３のスライダ１２ａ、１２ｃは上側
２本のガイドバー１１に支持され、第２と第４のスライ
ダ１２ｂ、１２ｄは下側２本のガイドバー１１に支持さ
れている。

第１〜第４のリンク１３ａ〜１３ｄは、移動方向におい
て交互に逆方向へ傾けることにより三角波状に連結され
ており、両端の第１と第４のリンク１３ａ、１３ｄは互
いに等長の小リンクであり、中間の第２と第３のリンク
１３ｂ、］、３ｃも互いに等長の大リンクである。そし
て、中間の第２と第３のリンクＬ３ｂ、１３ｃに対して
は、各リンクの両端の連結点の中央位置に第２と第３の
スライダ１２ｂ、１２ｃがブラケット１４．１４を介し
てピン１５．１５で枢支され、両端の第１と第４のリン
ク１３ａ、１３ｄに対しては、第１と第４のスライダ１
２ａ、１２ｄが第２、第３のスライダ１４ｂ、１４ｃの
両種支点を結ぶ線（移動方向と平行である。）の延長上
において、それぞれブラケット１４．１４を介してピン
１５．１５で枢支されている。

しかして、移動方向の一端個（第１図右側）には、下駆
動プーリ１６と下駆動プーリ１７とが上下方向の支軸１
８にて同軸に支持され、他端側には上下の駆動プーリ１
６，１７に対応する上下の従動プーリ１９，２０が設け
られて、それぞれ上下の歯付ベルト２１．２２が懸回さ
れている。そして、上記駆動プーリ１６，１７に対しそ
れぞれ大径ギヤ２３．２４および小径ギヤ２５．２６を
介してサーボモータ（駆動手段）２７．２８が連係して
おり、上記上下の歯付ベルト２１．２２はそれぞれ第３
図に示す如く第１スライダ１２ａと第４スライダ１２ｄ
に対し止め具２９．２９にて結合されている、上記サー
ボモータ２７．２８は第１移動体２ａよりも第４移動体
２ｄの移動距離が長くなるように作動を制御できるよう
になされている。

本実施例の場合、上記第１〜第４の移動体２ａ〜２ｄに
は、第３図にも示す如くそれぞれ下端に真空引きにより
ＩＣパッケージ４を吸付ける吸盤３０をもつロッド３１
と、案内用のロッド３２とが上下摺動可能に嵌挿されて
いる。この両ロッド３１．３２は上端がＬ字状の上プレ
ート３３で、また、下部がプレート３４で結合されてい
る。そして、上プレート３３は、支持台３５上のリフト
用モータ３６で駆動されるＬ字状のリフト部材３７にカ
ムフロア３８を介して先に述べた移動方向へ移動可能に
支持されている。このリフト部材３７は、リフト用モー
タ３６の出力軸に結合されたクランク３９に連結ロッド
４０を介して連結されていて、かつ、第１図に示す如く
移動方向の両端位置で支持プレーｈ４１，４２に固定の
ガイド筒４３．４３に対しガイドロッド４４．４４を介
して上下動可能に支持されている。

また、下プレート３４には吸盤３０における真空引きの
ためのエア配管がロッド３１を介してなされており、こ
の下プレート３４の下方位置でセンサブラケット４５が
ロッド３１，３２に対し上下動可能に支持されている。

このセンサブラケット４５と下プレート３４との間には
緩衝用のスプリング４６が介設されていて、センサブラ
ケッ１〜４５の下端部には、吸盤３０の下方位置で対向
し吸盤３０でトレー６から取上げられたＩＣパッケージ
４がソケット３に対し正しく装着されているか否かを検
出する投光素子４７ａと受光素子４７ｂとからなるセン
サが設けられている。この場合。

第４図に示す如く受光素子４７ｂは水平方向に間隔をお
いて２個設けられていて、投光素子４７ａは２つの受光
素子４７ｂ、４７ｂに向けて投光するようになっている
。すなわち、少なくとも一方の受光素子４７ｂが受光し
ない場合、ＩＣパッケージ４が傾いたりして正しく装着
されていないと判断されるものである。投光素子４７ａ
も２個にしてもよいが、いずれにせよ受光素子４７ｂが
２個という少ない部品点数でＩＣパッケージ４が正しく
装着されているか否か（傾いているか否か）がわかるこ
とになる。

また、吸盤３０でＩＣパッケージ４が取り上げられたか
否かは、吸盤３０に及ぼしている真空圧の変動の有無で
検出するようになっている。

上記可変逆り装置１において、各移動体２ａ〜２ｄは、
第１図に実線で示す如く左端（第２図におけるトレーラ
イン５側）にあるときは、トレー６に狭い間隔で載置さ
れるＩＣパッケージ４に各吸盤３０が対応するように狭
い移動体間隔に、また、鎖線で示す如く右へ移動したい
ときは基板ライン７のエージング基板８に広い間隔でａ
置されるＩＣパッケージ４に各吸盤３０が対応するよう
に広い移動体間隔となるよう上下のサーボモータ２７．
２８にて駆動制御される。

すなわち、各スライダ１４ａ〜１４ｄが枢支されている
各リンク１３ａ〜１３ｄは、その枢支点の位置が移動方
向と平行な軌跡上にあるように規制され、かつ隣接する
リンク同志の連結点がら各枢支点に至る長さはすべて等
しいがら、隣接するリンク同志のなす角度および枢支点
の間隔はすべて等しくなる。従って、各スライダ１４ａ
〜１４ｄ、つまりは各移動体２ａ〜２ｄは、隣合うもの
同志の間隔（ピッチ）が上記リンク１３ａ＝１３ｄの連
結によりすべて等間隔（等ピッチ）となり、かつ、リン
ク１３ａ〜１３ｄの全長の伸縮に応じて隣合う移動体同
志の各間隔が同じ比率で変化する。そして、本実施例に
おいては、上下のサーボモータ２７．２８にてトレー６
側とエージング基板８側での第１スライダ１４ａと第４
スライダ１４ｄの位置を制御することにより、各移動体
２ａ〜２ｄの吸盤３０がトレー６およびエージング基板
８の各ＩＣパッケージ４に対応するようにしている。

さて、ＩＣパッケージ４のトレー６がらエージング基板
８への移載にあたっては、まず、各移動体２ａ〜２ｄを
サーボモータ２７．２８でトレー側へ移動させておいて
、リフ１へ用モータ３６の作動により、リフト部材３７
を下降せしめて、各移動体２ａ〜２ｄのロッド３１，３
２を下降させる。

これにより、センサブラケット４５がトレー６に接触し
た後、吸盤３０がさらに下降してＩＣパッケージ４に接
触する。そして、このＩＣパッケージ４を真空引きによ
り吸盤３０に吸付けてリフト部材３７を上昇せしめる。

この上昇行程でＩＣパッケージ４の存在が検出されない
と、つまり、吸盤３０に及ぼしている真空度が高くなっ
ていないと、リフト部材３７は再下降しＩＣパッケージ
４の取上げをなす。

ＩＣパッケージ４が検出されると、上下のサーボモータ
２７．２８の作動により、各移動体２ａ〜２ｄは互いの
間隔を広くなるように変えてエージング基板８の上に移
動し、リフト用モータ３６の作動によりＩＣパッケージ
４は下降し、吸ｆｉ３０の真空引きの解除によりエージ
ング基板８のソケット３に載置される。そして、このａ
置後は、リフト用モータ３６の作動により吸盤３０を上
昇せしめ、サーボモータ２７．２８を逆回転させて、移
動体２ａ〜２ｄをトレー６の上に戻すことになる。

エージング基板８からトレー６へのＩＣパッケージ４の
移載は、上記の態様と逆の作動で行なうことができる。

なお、上記実施例では、移動方向の両端のスライダに対
し駆動手段の駆動力を与えるようにしたが、駆動力はい
ずれか２つのスライダに与えればよい。

また、上記実施例では２つの駆動手段（サーボモータ）
を用いたが、例えば歯数の比を変えた２つの駆動プーリ
を同軸に支持することにより、１つの駆動手段で２つの
移動体をその移動距離が異なるように駆動してもよい。

また、各リンクにおけるスライダ枢支点の位置を変えた
り、あるいは不等長のリンクを組合わせることにより、
各移動体間隔を不等にし、その状態で同じ比率で各間隔
を変えて各移動体の移動をなすようにしてもよい。

また、上記実施例では１つのスライダに１つの移動体を
設けたが、１つのスライダに対し複数の移動体を組にし
て設け、組内の各移動体の間隔を一定として移動体の組
同志の間隔を可変とするようにしてもよい。

また、上記実施例ではすべてのスライダにそれぞれ移動
体を設けたが、すべてのスライダのうちから選択した複
数のスライダに移動体を設けてもよい。

また、移動体はスライダに対し脱着可能としても、ある
いはスライダと一体にして設けてもよい。

また、上記実施例での移動体数は４であるが、２以上の
他の移動体数としてもよい。

また、本発明がＩＣパッケージの移載以外に、例えば複
数の加工用工具を加工位置が相似的に異なる複数のワー
クに対し順次シフトさせる場合など他の移動手段として
利用できることはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図は移動体間隔可変送り装置の正面図、第２図はＩ
Ｃパッケージのエージング用着脱システ１１の慴成図、
第３図は上記可変送り装置を一部断面で示す側面図、第
４図は第３図のＩＶ−ｒＶ線断面図である。 １・・・・・・可変送り装置、２ａ〜２ｄ・・・・・・
移動体、１１・・・・ガイドバー、１２ａ〜１２ｄ・・
・・・・スライダ、Ｌ３ａ〜１３ｄ・・・・・・リンク
、２７．２８・・・・・・サーボモータ（駆動手段）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の移動体を同一方向へ平行移動させる装置で
   あって、複数のリンクが移動方向において三角波状に連
   結され、この各リンクに対しそれぞれ平行移動可能に設
   けたスライダが枢支され、これらスライダのうちの複数
   のものにそれぞれ少なくとも１の移動体が設けられてい
   て、いずれか２つのスライダを互いの間隔を変え得るよ
   うに移動させる駆動手段を備えていることを特徴とする
   移動体間隔可変送り装置。