JPH10339761A - ハンドラシステムのマガジン上に積載されたトレイを移送させるためのトランスファ装置 - Google Patents
ハンドラシステムのマガジン上に積載されたトレイを移送させるためのトランスファ装置Info
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- JPH10339761A JPH10339761A JP10092064A JP9206498A JPH10339761A JP H10339761 A JPH10339761 A JP H10339761A JP 10092064 A JP10092064 A JP 10092064A JP 9206498 A JP9206498 A JP 9206498A JP H10339761 A JPH10339761 A JP H10339761A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マガジン上に積載されたトレイを把持するト
ランスファヘッドの昇降位置を変えることができ、これ
によりハンドラシステムの構造を簡単にできるハンドラ
システムのトランスファ装置を提供する。 【解決手段】 トレイ２０を把持するためのトランスフ
ァヘッド１２と、前記トランスファヘッド１２を水平方
向に移送させるための第１移送手段と、前記トランスフ
ァヘッド１２を垂直方向に移送させ、前記トランスファ
ヘッド１２の垂直移動距離を変えてトレイ２０を連続的
に移送させるための第２移送手段と、を含む。これによ
り、マガジン１ａを上昇させるための別の昇降装置が要
らなくなり、ハンドラシステムの構造が簡単になる。
ランスファヘッドの昇降位置を変えることができ、これ
によりハンドラシステムの構造を簡単にできるハンドラ
システムのトランスファ装置を提供する。 【解決手段】 トレイ２０を把持するためのトランスフ
ァヘッド１２と、前記トランスファヘッド１２を水平方
向に移送させるための第１移送手段と、前記トランスフ
ァヘッド１２を垂直方向に移送させ、前記トランスファ
ヘッド１２の垂直移動距離を変えてトレイ２０を連続的
に移送させるための第２移送手段と、を含む。これによ
り、マガジン１ａを上昇させるための別の昇降装置が要
らなくなり、ハンドラシステムの構造が簡単になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハンドラシステム
のトランスファ装置及びトランスファ方法に係り、特
に、マガジン上に積載されたトレイを把持して水平及び
垂直方向へ移送させるためのトランスファ装置に関す
る。
のトランスファ装置及びトランスファ方法に係り、特
に、マガジン上に積載されたトレイを把持して水平及び
垂直方向へ移送させるためのトランスファ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子産業界では、集積回路及び半導体チ
ップなどのような電子部品の低廉化及び小型化が求めら
れつつある。かかる電子部品の生産性を高め費用を節減
するための方法のうち一つは、同時に多量の電子部品を
テストすることによりテスト速度を向上させることであ
る。
ップなどのような電子部品の低廉化及び小型化が求めら
れつつある。かかる電子部品の生産性を高め費用を節減
するための方法のうち一つは、同時に多量の電子部品を
テストすることによりテスト速度を向上させることであ
る。
【０００３】かかる半導体デバイスをテストするために
ハンドラシステムが使用されている。ハンドラシステム
において、半導体デバイステスト用ハンドラにおいて被
測定用半導体デバイスをテストする際、多数個の半導体
デバイスを納めたトレイが一つの単位として移送され
る。ここで、ユーザー側が半導体デバイスを入出力する
際使われるトレイをカスタマトレイと言い、ハンドラ内
で使用される標準トレイをテストトレイと称する。被測
定用半導体デバイスの供給及び排出時にカスタマトレイ
とテストトレイとの間において被測定用半導体デバイス
の搬送が行われる。
ハンドラシステムが使用されている。ハンドラシステム
において、半導体デバイステスト用ハンドラにおいて被
測定用半導体デバイスをテストする際、多数個の半導体
デバイスを納めたトレイが一つの単位として移送され
る。ここで、ユーザー側が半導体デバイスを入出力する
際使われるトレイをカスタマトレイと言い、ハンドラ内
で使用される標準トレイをテストトレイと称する。被測
定用半導体デバイスの供給及び排出時にカスタマトレイ
とテストトレイとの間において被測定用半導体デバイス
の搬送が行われる。
【０００４】図１及び図２は、アメリカ合衆国特許第
５，３０７，０１１号に開示されたハンドラシステムを
示してある。ここに開示されたハンドラシステム２１
は、下部キャビネット２２（図１において一部のみ示
す）、中間部２３、及び上部２４より構成される。下部
キャビネット２２は、ハンドラシステム２１の中間部２
３及び上部２４で主になされるテスト動作の機能及び手
順を制御するケーブル、動力部品及び電気接続部などが
納められる。
５，３０７，０１１号に開示されたハンドラシステムを
示してある。ここに開示されたハンドラシステム２１
は、下部キャビネット２２（図１において一部のみ示
す）、中間部２３、及び上部２４より構成される。下部
キャビネット２２は、ハンドラシステム２１の中間部２
３及び上部２４で主になされるテスト動作の機能及び手
順を制御するケーブル、動力部品及び電気接続部などが
納められる。
【０００５】マガジン入力領域２５は、ハンドラシステ
ム２１の中間部２３の左側に配置されており、マガジン
出力領域２６は、ハンドラシステム２１の中間部２３の
前方部の中央に配置されている。それぞれのマガジン入
力領域２５及びマガジン出力領域２６は多数のステーシ
ョン２７を含む。各ステーション２７は、カスタマトレ
イが多数積層されるカセットまたはマガジン１を受け入
れる。カスタマトレイにはテストされる半導体デバイス
が配列されている。
ム２１の中間部２３の左側に配置されており、マガジン
出力領域２６は、ハンドラシステム２１の中間部２３の
前方部の中央に配置されている。それぞれのマガジン入
力領域２５及びマガジン出力領域２６は多数のステーシ
ョン２７を含む。各ステーション２７は、カスタマトレ
イが多数積層されるカセットまたはマガジン１を受け入
れる。カスタマトレイにはテストされる半導体デバイス
が配列されている。
【０００６】各ステーション２７には、マガジン１を昇
降させるための昇降機３８、及び昇降機３８を駆動させ
るためのモータ４９が設けられている。ステーション２
７の上部には、マガジン１上に積載されたトレイをセッ
ト位置に供給したり、あるいは検査が済んでその結果検
査により分類された半導体デバイスが載せられているト
レイを所定の位置に移送させるための複数個のトランス
ファヘッド（図示せず）、及びトランスファヘッドを駆
動させるためのトランスファアーム４０が設けられてい
る。
降させるための昇降機３８、及び昇降機３８を駆動させ
るためのモータ４９が設けられている。ステーション２
７の上部には、マガジン１上に積載されたトレイをセッ
ト位置に供給したり、あるいは検査が済んでその結果検
査により分類された半導体デバイスが載せられているト
レイを所定の位置に移送させるための複数個のトランス
ファヘッド（図示せず）、及びトランスファヘッドを駆
動させるためのトランスファアーム４０が設けられてい
る。
【０００７】トランスファアーム４０は水平及び垂直方
向へ移動する。トランスファアーム４０は、ステーショ
ン２７上に置かれているマガジン１の上部に下降し、下
降した状態でトランスファヘッドはマガジン１上に積載
されているトレイのうち最上部のトレイを把持する。そ
れからトランスファアーム４０は再び上昇し、水平方向
に移動して把持し、トレイを他の位置に移送する。その
後、モータ４９は、昇降機３８を駆動してマガジン１を
上昇させ、これによりマガジン１に積載されている次の
トレイがトランスファヘッドにより把持されうる高さま
で上昇する。その後、トランスファヘッドが復帰及び下
降され把持位置まで上昇されてからトレイを把持する。
向へ移動する。トランスファアーム４０は、ステーショ
ン２７上に置かれているマガジン１の上部に下降し、下
降した状態でトランスファヘッドはマガジン１上に積載
されているトレイのうち最上部のトレイを把持する。そ
れからトランスファアーム４０は再び上昇し、水平方向
に移動して把持し、トレイを他の位置に移送する。その
後、モータ４９は、昇降機３８を駆動してマガジン１を
上昇させ、これによりマガジン１に積載されている次の
トレイがトランスファヘッドにより把持されうる高さま
で上昇する。その後、トランスファヘッドが復帰及び下
降され把持位置まで上昇されてからトレイを把持する。
【０００８】しかし、このような従来のハンドラシステ
ムは、トランスファヘッドの上昇及び下降位置が固定さ
れているので、トランスファヘッドにより次のトレイを
把持するためにはそれぞれのトレイが把持される度にマ
ガジン１を上昇させるべき問題点がある。従って、従来
のハンドラシステムは、マガジン１を上昇させるための
昇降機３８、及び昇降機３８を駆動するためのモータ４
９を備えなければならなく、これによりハンドラシステ
ムの構造が複雑になりコスト高を招く。
ムは、トランスファヘッドの上昇及び下降位置が固定さ
れているので、トランスファヘッドにより次のトレイを
把持するためにはそれぞれのトレイが把持される度にマ
ガジン１を上昇させるべき問題点がある。従って、従来
のハンドラシステムは、マガジン１を上昇させるための
昇降機３８、及び昇降機３８を駆動するためのモータ４
９を備えなければならなく、これによりハンドラシステ
ムの構造が複雑になりコスト高を招く。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した問題
点を解決するために案出されたもので、その目的はマガ
ジン上に積載されたトレイを把持するトランスファヘッ
ドの昇降位置を変えることができ、これによりハンドラ
システムの構造を簡単にできるハンドラシステムのトラ
ンスファ装置を提供することである。
点を解決するために案出されたもので、その目的はマガ
ジン上に積載されたトレイを把持するトランスファヘッ
ドの昇降位置を変えることができ、これによりハンドラ
システムの構造を簡単にできるハンドラシステムのトラ
ンスファ装置を提供することである。
【００１０】本発明の他の目的は、前記トランスファ装
置を含むハンドラシステムを提供することである。
置を含むハンドラシステムを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前述した本発明の目的
は、ハンドラシステムのマガジン上に積載されたトレイ
を移送させるためのトランスファ装置において、前記ト
レイを把持するためのトランスファヘッドと、前記トラ
ンスファヘッドを水平方向に移送させるための第１移送
手段と、前記トランスファヘッドを垂直方向に移送さ
せ、前記トランスファヘッドの垂直移動距離を変えてト
レイを連続的に移送させるための第２移送手段を含むこ
とを特徴とするハンドラシステムのトランスファ装置に
より達成される。
は、ハンドラシステムのマガジン上に積載されたトレイ
を移送させるためのトランスファ装置において、前記ト
レイを把持するためのトランスファヘッドと、前記トラ
ンスファヘッドを水平方向に移送させるための第１移送
手段と、前記トランスファヘッドを垂直方向に移送さ
せ、前記トランスファヘッドの垂直移動距離を変えてト
レイを連続的に移送させるための第２移送手段を含むこ
とを特徴とするハンドラシステムのトランスファ装置に
より達成される。
【００１２】望ましくは、前記第１移送手段は、前記ト
ランスファヘッドを移動させるトラスファフレームと、
前記トランスファフレームの水平方向への移動をガイド
するためのガイドレールと、前記トランスファフレーム
を水平方向へ移動するための第１モータと、前記トラス
ファフレームに連結され、前記第１モータにより回転し
て前記トランスファフレームを水平移動させる第１スク
リュー軸と、を含む。
ランスファヘッドを移動させるトラスファフレームと、
前記トランスファフレームの水平方向への移動をガイド
するためのガイドレールと、前記トランスファフレーム
を水平方向へ移動するための第１モータと、前記トラス
ファフレームに連結され、前記第１モータにより回転し
て前記トランスファフレームを水平移動させる第１スク
リュー軸と、を含む。
【００１３】前記第２移送手段は、前記トランスファフ
レームに設けられた第２モータと、前記トランスファヘ
ッドに連結され、前記第２モータにより回転して前記ト
ランスファヘッドを前記トランスファフレームについて
垂直移動させる第２スクリュー軸と、を含む。
レームに設けられた第２モータと、前記トランスファヘ
ッドに連結され、前記第２モータにより回転して前記ト
ランスファヘッドを前記トランスファフレームについて
垂直移動させる第２スクリュー軸と、を含む。
【００１４】本発明の他の目的は、垂直に積載されたト
レイを運送するマガジンを移動させるためのハンドラ
と、前記積載されたトレイについて垂直及び水平方向に
トレイを移送させるために垂直及び水平方向に移動され
るよう装着されたトランスファ装置と、前記トランスフ
ァ装置を水平方向と垂直方向にそれぞれ移動させるため
の第１及び第２装置と、を含み、前記第２装置は垂直に
積載されたトレイを連続的に移送させる際、前記トラン
スファ装置を相異なる垂直距離ほど垂直方向に移動させ
うるように配列されたことを特徴とするハンドラシステ
ムを提供することにより達成される。
レイを運送するマガジンを移動させるためのハンドラ
と、前記積載されたトレイについて垂直及び水平方向に
トレイを移送させるために垂直及び水平方向に移動され
るよう装着されたトランスファ装置と、前記トランスフ
ァ装置を水平方向と垂直方向にそれぞれ移動させるため
の第１及び第２装置と、を含み、前記第２装置は垂直に
積載されたトレイを連続的に移送させる際、前記トラン
スファ装置を相異なる垂直距離ほど垂直方向に移動させ
うるように配列されたことを特徴とするハンドラシステ
ムを提供することにより達成される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明を詳述する。図３は、本発明によるトランスファ装置
の斜視図であり、図４は、図３の側面図である。トラン
スファ装置は、それぞれがマガジン１ａ上に積載された
トレイ２０を把持するための一対のトランスファヘッド
１２、前記トランスファヘッド１２を水平方向に移送さ
せるための第１移送部、及び前記トランスファヘッド１
２を垂直方向に移送させるための第２移送部を含む。
明を詳述する。図３は、本発明によるトランスファ装置
の斜視図であり、図４は、図３の側面図である。トラン
スファ装置は、それぞれがマガジン１ａ上に積載された
トレイ２０を把持するための一対のトランスファヘッド
１２、前記トランスファヘッド１２を水平方向に移送さ
せるための第１移送部、及び前記トランスファヘッド１
２を垂直方向に移送させるための第２移送部を含む。
【００１６】第１移送部は、トランスファフレーム３、
ガイドレール５、第１移送軸４、及び第１モータ８を含
む。トランスファフレーム３にはトランスファヘッド１
２が設けられる。ガイドレール５はキャビネット２に水
平方向に配置され、トランスファフレーム３の水平方向
への移動をガイドする。第１移送軸４はガイドレール５
と平行に配置され、トランスファフレーム３に螺合され
る。第１モータ８は支持ブラケット７によりキャビネッ
ト２に固定されている。第１モータ８は制御自在なＤＣ
サーボモータまたはステップモータで構成される。第１
モータ８にはモータプーリ１０が設けられており、第１
移送軸４には第１プーリ６が設けられている。モータプ
ーリ１０と第１プーリ６はタイミングベルト１１により
繋がっている。
ガイドレール５、第１移送軸４、及び第１モータ８を含
む。トランスファフレーム３にはトランスファヘッド１
２が設けられる。ガイドレール５はキャビネット２に水
平方向に配置され、トランスファフレーム３の水平方向
への移動をガイドする。第１移送軸４はガイドレール５
と平行に配置され、トランスファフレーム３に螺合され
る。第１モータ８は支持ブラケット７によりキャビネッ
ト２に固定されている。第１モータ８は制御自在なＤＣ
サーボモータまたはステップモータで構成される。第１
モータ８にはモータプーリ１０が設けられており、第１
移送軸４には第１プーリ６が設けられている。モータプ
ーリ１０と第１プーリ６はタイミングベルト１１により
繋がっている。
【００１７】第１モータ８が作動すれば、モータプーリ
１０、タイミングベルト１１、及び第１プーリ６により
第１移送軸４が回転し、第１移送軸４に螺合されている
トランスファフレーム３が水平方向に沿って移動する。
１０、タイミングベルト１１、及び第１プーリ６により
第１移送軸４が回転し、第１移送軸４に螺合されている
トランスファフレーム３が水平方向に沿って移動する。
【００１８】第２移送部は、一対の第２モータ１４、及
び一対の第２移送軸１３を含む。第２モータ１４はトラ
ンスファフレーム３の側面の下部で向き合って設けられ
ている。第２モータ１４はサーボモータのような制御自
在なモータより構成される。それぞれの第２移送軸１３
はそれぞれのトランスファヘッド１２に螺合されてい
る。それぞれの第２モータ１４にはモータプーリ１７が
設けられており、それぞれの第２移送軸１３には第２プ
ーリ１５が設けられている。モータプーリ１７と第２プ
ーリ１５はタイミングベルト１８により連結されてい
る。
び一対の第２移送軸１３を含む。第２モータ１４はトラ
ンスファフレーム３の側面の下部で向き合って設けられ
ている。第２モータ１４はサーボモータのような制御自
在なモータより構成される。それぞれの第２移送軸１３
はそれぞれのトランスファヘッド１２に螺合されてい
る。それぞれの第２モータ１４にはモータプーリ１７が
設けられており、それぞれの第２移送軸１３には第２プ
ーリ１５が設けられている。モータプーリ１７と第２プ
ーリ１５はタイミングベルト１８により連結されてい
る。
【００１９】第２モータ１４が作動すれば、モータプー
リ１７、タイミングベルト１８及び第２プーリ１５によ
り第２移送軸１３が回転し、第２移送軸１３に螺合され
ているトランスファヘッド１２がトランスファフレーム
３に対して垂直方向に沿って移動する。第１移送部及び
第２移送部によるトランスファヘッド１２の移動は制御
部（図示せず）により制御される。制御部は、第１モー
タ８及び第２モータ１４の駆動を制御することによりト
ランスファヘッド１２の水平方向及び垂直方向の位置を
制御する。
リ１７、タイミングベルト１８及び第２プーリ１５によ
り第２移送軸１３が回転し、第２移送軸１３に螺合され
ているトランスファヘッド１２がトランスファフレーム
３に対して垂直方向に沿って移動する。第１移送部及び
第２移送部によるトランスファヘッド１２の移動は制御
部（図示せず）により制御される。制御部は、第１モー
タ８及び第２モータ１４の駆動を制御することによりト
ランスファヘッド１２の水平方向及び垂直方向の位置を
制御する。
【００２０】以下、本発明によるハンドラシステムのト
ランスファ装置の作動を説明する。マガジン１ａ上に積
載されたトレイ２０を移送させようとする際は、まず第
１モータ８が作動してトランスファフレーム３をマガジ
ン１ａの上部に隣接するように移動させる。これによ
り、トランスファヘッド１２がトレイ２０の上部に位置
され、第２モータ８はトランスファヘッド１２を下降さ
せる。
ランスファ装置の作動を説明する。マガジン１ａ上に積
載されたトレイ２０を移送させようとする際は、まず第
１モータ８が作動してトランスファフレーム３をマガジ
ン１ａの上部に隣接するように移動させる。これによ
り、トランスファヘッド１２がトレイ２０の上部に位置
され、第２モータ８はトランスファヘッド１２を下降さ
せる。
【００２１】それぞれのトランスファヘッド１２は、マ
ガジン１ａ上に積載されたトレイ２０のうち最上部のト
レイを把持し、第２モータ１４はトレイ２０を把持した
トランスファヘッド１２を上昇させる。トランスファヘ
ッド１２が全て上昇すれば、第１モータ８が駆動してト
ランスファフレーム３を所定の位置まで水平方向に移送
させる。
ガジン１ａ上に積載されたトレイ２０のうち最上部のト
レイを把持し、第２モータ１４はトレイ２０を把持した
トランスファヘッド１２を上昇させる。トランスファヘ
ッド１２が全て上昇すれば、第１モータ８が駆動してト
ランスファフレーム３を所定の位置まで水平方向に移送
させる。
【００２２】移送された位置において、それぞれのトラ
ンスファヘッド１２はそれぞれの第２モータ１４により
下降し、トランスファヘッド１２はトレイ２０を移送さ
れた位置に置く。これにより、それぞれのトレイ２０が
セット位置に供給されたり、検査済の半導体デバイスが
載せられているトレイ２０を分類結果に応じて移送す
る。
ンスファヘッド１２はそれぞれの第２モータ１４により
下降し、トランスファヘッド１２はトレイ２０を移送さ
れた位置に置く。これにより、それぞれのトレイ２０が
セット位置に供給されたり、検査済の半導体デバイスが
載せられているトレイ２０を分類結果に応じて移送す
る。
【００２３】それぞれのマガジン１ａ上に積載された次
のトレイ２０を移送するため、トランスファヘッド１２
はトレイ２０の上部に隣接するように位置しながらマガ
ジンより一段階高い地点に復帰する。その後、トランス
ファヘッド１２は第２モータ１４により下降する。この
際、トランスファヘッド１２は最上部のトレイが既に把
持されたので、前段階よりはやや大きめの範囲、すなわ
ち一枚のトレイの高さほど下降する。
のトレイ２０を移送するため、トランスファヘッド１２
はトレイ２０の上部に隣接するように位置しながらマガ
ジンより一段階高い地点に復帰する。その後、トランス
ファヘッド１２は第２モータ１４により下降する。この
際、トランスファヘッド１２は最上部のトレイが既に把
持されたので、前段階よりはやや大きめの範囲、すなわ
ち一枚のトレイの高さほど下降する。
【００２４】それから、トランスファヘッド１２はマガ
ジン１ａ上に積載された次のトレイ２０を把持する。そ
の後、トランスファヘッド１２は第２モータ１４により
上昇し、第１モータ８により所定の位置に移送される。
移送された位置でトランスファヘッド１２は第２モータ
１４により下降し、トランスファヘッド１２はトレイ２
０を移送された位置に置く。
ジン１ａ上に積載された次のトレイ２０を把持する。そ
の後、トランスファヘッド１２は第２モータ１４により
上昇し、第１モータ８により所定の位置に移送される。
移送された位置でトランスファヘッド１２は第２モータ
１４により下降し、トランスファヘッド１２はトレイ２
０を移送された位置に置く。
【００２５】このようにそれぞれのマガジン１ａ上に積
載された一枚のトレイ２０が把持され移送されれば、次
のトレイを把持するためにトランスファヘッド１２は以
前のトレイ把持工程における下降位置より一枚のトレイ
２０高さほどさらに下降する。第２モータ１４が制御自
在なモータより構成されているので、その下降位置は正
確に制御されうる。これにより、一枚のトレイ２０が移
送されたマガジン１ａから次のトレイ２０を把持するた
めにマガジン１ａを上昇させる工程が要らなくなり、マ
ガジン１ａを上昇させるための昇降機とこの昇降機を駆
動するためのモータが要らなくなる。よって、ハンドラ
システムの構造が簡単になる。
載された一枚のトレイ２０が把持され移送されれば、次
のトレイを把持するためにトランスファヘッド１２は以
前のトレイ把持工程における下降位置より一枚のトレイ
２０高さほどさらに下降する。第２モータ１４が制御自
在なモータより構成されているので、その下降位置は正
確に制御されうる。これにより、一枚のトレイ２０が移
送されたマガジン１ａから次のトレイ２０を把持するた
めにマガジン１ａを上昇させる工程が要らなくなり、マ
ガジン１ａを上昇させるための昇降機とこの昇降機を駆
動するためのモータが要らなくなる。よって、ハンドラ
システムの構造が簡単になる。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ハ
ンドラシステムの構造を簡単にでき、ハンドラシステム
の製作コストが節減できるトランスファ装置が提供され
る。
ンドラシステムの構造を簡単にでき、ハンドラシステム
の製作コストが節減できるトランスファ装置が提供され
る。
【００２７】本発明は前述した特定の望ましい実施の形
態に限らず、請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱
せず、当該発明の属する技術分野において通常の知識を
持つ者なら誰でも多様な変形実施が可能である。
態に限らず、請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱
せず、当該発明の属する技術分野において通常の知識を
持つ者なら誰でも多様な変形実施が可能である。
【図１】 従来の半導体デバイステスト用ハンドラシス
テムの斜視図である。
テムの斜視図である。
【図２】 図１の正面図である。
【図３】 本発明によるトランスファ装置の斜視図であ
る。
る。
【図４】 図３の側面図である。
１ａ マガジン ２ キャビネット ３ トランスファフレーム ４ 第１移送軸 ５ ガイドレール ６ 第１プーリ ７ 支持ブラケット ８ 第１モータ １２ トランスファヘッド １３ 第２移送軸 １４ 第２モータ １５ 第２プーリ １８ タイミングベルト ２０ トレイ ２１ ハンドラシステム
Claims (5)
- 【請求項１】 ハンドラシステムのマガジン上に積載さ
れたトレイを移送させるためのトランスファ装置におい
て、 前記トレイを把持するためのトランスファヘッドと、 前記トランスファヘッドを水平方向に移送させるための
第１移送手段と、 前記トランスファヘッドを垂直方向に移送させ、前記ト
ランスファヘッドの垂直移動距離を変えてトレイを連続
的に移送させるための第２移送手段と、を含むことを特
徴とするハンドラシステムのトランスファ装置。 - 【請求項２】 前記第１移送手段は、 前記トランスファヘッドを移動させるトラスファフレー
ムと、 前記トランスファフレームの水平方向への移動をガイド
するためのガイドレールと、 前記トランスファフレームを水平方向へ移動するための
第１モータと、 前記トラスファフレームに連結され、前記第１モータに
より回転して前記トランスファフレームを水平移動させ
る第１スクリュー軸と、を含むことを特徴とする請求項
１に記載のハンドラシステムのトランスファ装置。 - 【請求項３】 前記第２移送手段は、 前記トランスファフレームに設けられた第２モータと、 前記トランスファヘッドに連結され、前記第２モータに
より回転して前記トランスファヘッドを前記トランスフ
ァフレームについて垂直移動させる第２スクリュー軸
と、を含むことを特徴とする請求項２に記載のハンドラ
システムのトランスファ装置。 - 【請求項４】 垂直に積載されたトレイを運送するマガ
ジンを移動させるためのハンドラと、 前記積載されたトレイについて垂直及び水平方向にトレ
イを移送させるために垂直及び水平方向に移動されるよ
う装着されたトランスファ装置と、 前記トランスファ装置を水平方向と垂直方向にそれぞれ
移動させるための第１及び第２装置と、を含み、 前記第２装置は垂直に積載されたトレイを連続的に移送
させる際、前記トランスファ装置を相異なる垂直距離ほ
ど垂直方向に移動させうるように配列されたことを特徴
とするハンドラシステム。 - 【請求項５】 垂直に積載されたトレイの各トレイを水
平方向及び垂直方向への移動により移送するハンドラシ
ステムのトランスファ装置の移動方法において、 前記垂直に積載されたトレイを連続的に移送させる際、
前記トランスファ装置を相異なる垂直距離ほど垂直方向
に移動させる段階を含むことを特徴とするハンドラシス
テムのトランスファ装置の移動方法。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| KR2019970006913U KR200161973Y1 (ko) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치 |
| KR19976913 | 1997-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339761A true JPH10339761A (ja) | 1998-12-22 |
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ID=19498558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10092064A Pending JPH10339761A (ja) | 1997-04-04 | 1998-04-03 | ハンドラシステムのマガジン上に積載されたトレイを移送させるためのトランスファ装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH10339761A (ja) |
| KR (1) | KR200161973Y1 (ja) |
| CN (1) | CN1195602A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2020213961A1 (ko) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 주식회사 아테코 | 트레이 이송 장치 |
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- 1997-04-04 KR KR2019970006913U patent/KR200161973Y1/ko not_active IP Right Cessation
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1998
- 1998-04-03 CN CN98106213A patent/CN1195602A/zh active Pending
- 1998-04-03 JP JP10092064A patent/JPH10339761A/ja active Pending
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|---|---|
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