JP2001265581A - ソフトウエアの不正使用防止システムおよび不正使用防止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ソフトウエアの不正使用を防止する。 【解決手段】 装置の一部に記録した装置固有の装置Ｉ
Ｄに関する鍵情報を読み取り、装置ＩＤとソフトウエア
のソフトウエアコードに埋め込んだ使用許諾装置の装置
ＩＤとを照合し、この照合結果に基づいてソフトウエア
の使用の可否を判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場に
おいて使用されている特殊な光学系部品を有する半導体
露光装置に適用されている高額なソフトウエアプログラ
ム等のソフトウエアの不正使用防止方法およびソフトウ
エアの不正使用防止システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、一般のパーソナルコンピュータは
もちろんのこと、特定業務向けの装置（半導体製造装置
等）の機器制御プログラム、あるいはモバイル端末のよ
うなものもフラッシュＲＯＭ化されることによって機能
のソフトウエア化が進み、機能の全部または一部をソフ
トウエアのみの更新で提供できるようになってきてい
る。ユーザーは、ハードウェアの買い換えなしに、ソフ
トウエアを購入するだけで新しい機能を利用することが
できるのが一般的となってきている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ユーザーの
中には、新機能をもったソフトウエアを１パッケージだ
け購入し、十数台の半導体露光装置等の装置に新機能を
もったソフトウエアを違法コピーしてインストールし、
利用してしまうという不正使用の問題が発生していた。

【０００４】半導体製造関連のソフトウエアは、出荷本
数が全世界で数本だけの場合もあるが、通常、莫大な開
発費がかかるため、ソフトウエアの単価も数千万円を越
えることが多くある。このような高額なソフトウエアを
違法コピーにより不正利用されてしまっては、開発費の
回収が不可能となるため、抜本的な対策が必要とされて
いた。

【０００５】従来、ソフトウエアの不正使用の防止方法
としては、例えばソフトウエア供給媒体に特殊なノイズ
を記録してマスター媒体からのコピーを防止したり、ハ
ードウェアにシリアル番号識別子（シリアルＩＤ）を持
つ部品を取り付け、前記ハードウェアを識別することで
ソフトウエアの動作するハードウェア本体を限定した
り、あるいはハードウェア本体のプリンタポート等の外
部デバイス用インタフェースにハードウェア的な鍵（ハ
ードウェアキー）を取り付けて、前記ハードウェアキー
装置と通信できなければソフトウエアを動作させない等
といった対策がとられていた。しかしながら、これらの
ソフトウエアの不正使用防止対策（プロテクト方法）は
半導体製造工場等で働いているマニア技術者の手によっ
て簡単にノンプロテクト化されているのが実状であっ
た。

【０００６】また一方、高価格ソフトウエアであるが故
に、ユーザは購入前に一定期間の評価期間を設けて、評
価版ソフトウエアを要求する場合がある。ソフトウエア
供給メーカーでは、使用期限をソフトウエアのバイナリ
プログラム内に設定し、装置の時刻が評価期間を越えて
いれば動作させないようにして評価版ソフトウエアを供
給していた。ところが、ユーザの中には故意に装置の時
刻を過去に戻し、継続的に高価格ソフトウエアを不正使
用する例が多々発生していた。

【０００７】本発明の第１の目的は、特殊な光学部品を
用いたライセンスキーの偽造されにくい性質を利用して
違法コピーによるソフトウエアの不正使用を防止するこ
とにある。

【０００８】本発明の第２の目的は、評価版ソフトウエ
アの評価期間を越えて不正使用することを防止すること
にある。

【０００９】本発明の第３の目的は、ハッキング等によ
り本発明のプロテクト方法が破られた場合に、不正使用
をライセンス管理元で察知し、ライセンス使用元への警
告・訴訟のためのデータを取得できるようにすることで
ある。

【００１０】本発明の第４の目的は、ソフトウエアプロ
グラム実行中に何度も照合を行うことで不正使用防止の
レベルを向上することにある。

【００１１】本発明の第５の目的は、ネットワークを介
して装置固有のＩＤを通信することにより、装置ＩＤが
記録された特殊な光学系部品によるライセンスキーの供
給数を最小限にすることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明は、以下のような構成を有する。す
なわち、本発明の第１の構成は、ソフトウエアおよびこ
のソフトウエアを使用する装置を含む、ソフトウエアの
不正使用防止システムまたは不正使用防止方法におい
て、装置を構成する部材または装置に付属する部材（例
えば、半導体露光装置等に使用される特殊な光学系部品
であるレチクル、レンズ、ウエハ、ステージ、レチクル
基準マーク等）に記録した装置固有の装置ＩＤに関する
鍵情報を、ソフトウエアプログラムの実行前あるいは実
行中等に読み取り、読み取った装置ＩＤとソフトウエア
のコードに埋め込んだ使用許諾装置の装置ＩＤとを照合
し、この照合結果に基づいてソフトウエアの使用の可否
を判断することを特徴とする。

【００１３】ここで、装置固有の装置ＩＤとプログラム
動作許諾装置ＩＤが相違していた場合には、前記装置制
御ソフトウエアを動作不可能とする手段により、半導体
製造工場等で横行している違法コピーによるソフトウエ
アの不正使用を防止するという作用がある。また、本発
明は、レチクル、レンズ、ウエハ、ステージ等の特殊な
光学系部品にソフトウエア使用権に関する情報を記録し
た場合、偽造が格段に難しくなることから、高額なソフ
トウエアが使用される半導体露光装置等には特に有益で
ある。

【００１４】本発明の第２の構成は、使用期限を定めた
評価版のソフトウエアおよびこのソフトウエアを使用す
る装置を含む、ソフトウエアの不正使用防止システムま
たは不正使用防止方法において、特殊な光学部品等に記
録されたソフトウエアの使用期限に関する鍵情報を読み
取る手段、および使用期限が、装置の時刻情報等から参
照した現在の時刻を越えているか否かを比較照合し、こ
の照合結果に基づいてソフトウエアの使用の可否を判断
する手段を有することを特徴とする。

【００１５】この構成によれば、使用期限が、現在の時
刻を越えていた場合にはソフトウエアの動作を停止する
手段を設けることができるため、使用期限を越えた評価
版ソフトウエアの使用を防止するという作用がある。ま
た、鍵情報を記録した特殊な光学部品キーを貸出し、回
収することで、装置の時刻を戻す等の不正使用を防止す
ることができる。

【００１６】本発明の第３の構成は、ライセンス管理サ
ーバー、ライセンス管理サーバーに第１の通信手段を介
して接続される装置およびこの装置で使用するソフトウ
エアを含む、ソフトウエアの不正使用防止システムまた
は不正使用防止方法において、特殊な光学部品等に記録
された装置固有の装置ＩＤまたは使用期限等に関する鍵
情報を読み取る手段、およびライセンス管理サーバー上
で照合するために読み取った鍵情報等を、ネットワーク
通信技術等を用いた第１の通信手段（例えば、インター
ネット）によりライセンス管理サーバーへ定期的に通知
する手段を有することを特徴とする。

【００１７】そして、ライセンス管理元で管理している
装置ＩＤ情報の重複および偽造等のライセンス違反を検
出する手段を設け、ライセンス使用元でソフトウエアの
不正使用の防止およびライセンス違反に対する警告・訴
訟のための証拠データを取得できる。

【００１８】本発明の第４の構成は、ソフトウエアによ
る処理の実行中に一定の基準で随時何度も鍵情報の読み
取りおよび照合を行う手段を有することを特徴とする。

【００１９】この構成により、上述の構成により得られ
るセキュリティレベルを更に向上することができる。

【００２０】本発明の第５の構成は、装置がネットワー
ク通信技術等を用いた第２の通信手段（例えば、ＬＡ
Ｎ）により複数接続される場合に、読み取った鍵情報等
を第２の通信手段を用いて他の装置へ伝達する手段を有
することを特徴とする。

【００２１】これにより、ネットワーク上の他の装置
に、ソフトウエア使用権をもつ装置の存在を常時に渡っ
て通知する手段を設ければ、鍵情報の記録された特殊な
光学部品キーをもたない装置に対してもソフトウエア使
用権を使用許諾数分だけ供与することが可能となるた
め、光学部品キーの作製を最小限に抑えることができ
る。

【００２２】また、本発明における鍵情報とは、装置の
製造シリアル番号やソフトウエアの使用期限等をそのま
ま平文で記録したものでもよいが、これらを暗号化した
情報または暗号化した情報を復号するための鍵となる情
報であってもよい。この場合は、例えば、装置を構成す
る部材の一部に暗号化した情報を記録し、他の一部また
は他の部材の一部に復号するための鍵となる情報を記録
することにより、セキュリティレベルを更に向上するこ
とができる。

【００２３】

【実施例】（第１の実施例）本実施例では、高額のソフ
トウエアが搭載される装置の例として、ステッパ等の半
導体露光装置に本発明を適用した場合を説明する。図１
は、本実施例における半導体露光装置のハードウェアシ
ステム構成を説明するブロック図である。図１におい
て、１０１はコンソール用ＣＰＵであり、半導体露光装
置のコンソール表示とコンソールコマンド入力による操
作の制御を司る。１０２はＣＰＵ１０１が実行プログラ
ムを格納したりデータを格納するためのＲＡＭ、１０３
はプログラムを格納するためのＲＯＭ、１０４はデータ
およびプログラムを格納するために用いられる補助記憶
装置（ハードディスク等）である。本発明でソフトウエ
アの不正使用から保護されるべき高価格ソフトウエアプ
ログラムは、補助記憶装置１０４上に保存される。ソフ
トウエアプログラムは、一般にファイルシステムを補助
記憶装置１０４上に構成しファイルとして管理する。補
助記憶装置１０４には一般にハードディスク等の磁気デ
ィスク装置（ＨＤＤ等）を用いることが多いが、装置の
構成や露光作業の性質、運用の違いによって、フラッシ
ュメモリやＮＶ−ＲＡＭ（不揮発性メモリ）、ＥＥＰ−
ＲＯＭ（電気消去可能プログラマブルＲＯＭ）といった
ソフトウエア的な書き換えが可能な部品を用いる場合も
ある。１０５はコンソール装置であリオペレータ（操作
者）は本装置よりコンソール用ＣＰＵ１０１に対する指
令を行うことができる。コンソール装置１０５の表示装
置としては、ＣＲＴや液晶表示装置、ＥＬパネル、ある
いはプラズマディスプレイなどが一般的に用いられる。
またコンソール装置１０５の入力装置としてはコマンド
をキー入力するためのキーボードが用いられることが多
いが、電子ペンによるペン入力装置（タブレット）やタ
ッチパネルなどで構成されることもある。

【００２４】１０６は、ＬＡＮインタフェイスであり、
ＬＡＮを介して他の半導体製造装置やサーバーとデータ
の送受信を行う。ＬＡＮの方式には、一般にＴＣＰ／Ｉ
Ｐ等の方式が用いられるが、各ベンダーによって開発さ
れたＬＡＮ方式のうち、どのようなものを採用しても構
わない。１０８は外部記憶装置である。外部記憶装置１
０８としてはＦＤＤ（フロッピーディスクドライブ）や
ＭＯＤ（光磁気ディスクドライブ）といったものが考え
られる。本発明でソフトウエアの不正使用から保護され
る高価格ソフトウエアプログラムは一般に前記外部記憶
装置１０８からソフトウエアのみの形態でＦＤやＭＯと
いった供給媒体に保存されて供給されることが多いが、
ネットワークインストール等ができる場合は外部記憶装
置１０８は必須ではない。前記ネットワークインストー
ル等を採用する場合は、ＬＡＮインタフェイス１０６等
を装備する必要がある。ネットワークインストール等を
採用する場合であっても、ソフトウエアのインストール
基本動作としては全く同一でよいため本実施例ではネッ
トワークインストールを用いた実施例の詳細は説明しな
い。１０９は、通信装置（モデム／ＴＡ）１１６と通信
を行うための通信インタフェイスである。通信インタフ
ェイス１０９は一般にＲＳ２３２Ｃ等のシリアル通信イ
ンタフェイスを用いる場合が多いが、通信におけるデー
タ量によってはパラレルインタフェイスやＵＳＢインタ
フェイス等を用いても構わない。通信インタフェイス１
０９と通信装置（モデム／ＴＡ）１１６の間で通信を行
う場合のプロトコルは無手順非同期方式が一般に用いら
れるが、同期式やバイナリ手順を採用しても構わない。
１１０は、半導体露光装置を構成する各種の制御装置を
全体制御するメインＣＰＵである。メインＣＰＵｌ１０
とコンソール用ＣＰＵ１０１はメインＣＰＵバス１０７
によって接続されて半導体露光装置として動作する。１
１１は、半導体製造用のウェハに対して露光するための
光源を制御する照明装置、１１２は半導体製造用のウェ
ハに対して露光するパターンを描いたレチクル（フォト
マスク）の搬入搬出等を制御するためのレチクル駆動装
置、１１３は半導体製造用のウェハをステップアンドリ
ピートの方式で露光するためにＸＹステージ上などでウ
ェハを駆動制御するためのステージ駆動装置、１１４は
半導体製造用のウェハを正確な位置決めをして制御する
ためのアライメント用ＴＶシステムである。これら１１
１，１１２，１１３，１１４の各装置は、周辺機器用バ
ス１１５によりメインＣＰＵｌ１０の制御下におかれ
る。周辺機器用バス１１５は、本実施例ではＳＣＳＩを
用いているが、どのような汎用の標準バスで構成されて
いても構わない。

【００２５】図２は、本実施例に係る半導体露光装置の
模式図である。図２において、２０１は露光光源即ち照
明装置、２０２は露光量制御のためのシャッタ、２０３
は回路パターンの原板となるレチクル、２０４はレチク
ル２０３を保持するためのレチクルステージ、２０５は
レチクル２０３を搬入するためのレチクルハンド、２０
６は投影レンズ、２０７は半導体基板であるウエハ、２
０８はウエハ２０７を保持し露光光源とのフォーカスを
合わせるためのウエハＺステージ、２０９はウエハＺス
テージ２０８をＸＹ方向へ移動させるためのＸＹステー
ジ、２１０はＸＹステージ２０９の位置を計測するため
のレーザ干渉計、２１１は露光処理をするためのウエハ
２０７をウエハＺステージ２０８ヘ供給するためのウエ
ハ供給ハンド、２１２は露光処理を終えたウエハ２０７
をウエハＺステージ２０８から回収するためのウエハ回
収ハンドである。

【００２６】図２に示した半導体露光装置等の光学機器
には、レチクル２０３やレチクルステージ２０４、ある
いはウエハステージ２０８および２０９といった特殊な
部品を具備している。レチクル２０３やその他のステー
ジ等には、レチクル２０３やウエハ２０７の位置合わせ
を行うためのレチクルセットマークやレチクル基準マー
ク、ステージ基準マーク、ＴＴＬ−ＡＦ基準マークある
いはウエハ基準マークといったマイクロメーター単位の
微少なパターンマーク図形（不図示）が書き込まれてお
り、前記パターンやマークの読みとりには微少パターン
を読みとるための各種の特殊な光学系スコープ（不図
示）を用いる。本実施例では、前記パターンやマークと
して、装置固有のＩＤをテストレチクルやテストウエ
ハ、あるいは半永久的に交換する可能性のないステージ
等に微少パターンとして書き込み、前記装置ＩＤを前記
光学系スコープにより読みとる手段を具備することによ
って装置ＩＤを生成する。装置ＩＤとして特殊な光学系
デバイスと光学系読みとり装置を必要とし、かつ前記装
置ＩＤの読みとり手段を少なくとも１回以上必ず実行し
なければ装置ＩＤを取得できない構成となるため、装置
ＩＤの偽造や改ざん、あるいは装置ＩＤの読みとり手段
のバイパスによる不正使用に対して強力な防衛手段とな
る。レチクル２０３等の光学部品に書き込まれた文字パ
ターン等のデータは、前記光学系スコープにより読みと
ったディジタル画像から文字認識を行い、文字データと
して取得するのが望ましい。前記文字データは、装置の
製造シリアル番号等をそのままＡＳＣＩＩコード等で記
述したものを装置ＩＤとして利用してもよいが、装置の
製造シリアル番号等を秘密鍵によって暗号化した文字デ
ータをレチクル２０３等の特殊光学系部品に書き込み、
前記暗号化された装置ＩＤの復号は、装置中の別の特殊
光学部品、例えばレチクルステージ２０４に記録された
秘密鍵を用いて復号し、ソフトウエアの使用を許可され
ている装置ＩＤとの照合を行う構成とすることで、より
強力な防衛手段となる。

【００２７】図３は、本発明の第１の構成の一実施例に
係るソフトウエアの動作を示すフローチャートである。
以下、図３のフローチャートに沿って、本ソフトウエア
の動作を説明する。ソフトウエアプログラム中にはあら
かじめ、図３に示した本発明のフローチャートを実行す
るルーチンが、数カ所から場合によっては数百箇所に渡
ってソフトウエアプログラム作成時に埋め込まれる。ソ
フトウエアプログラムの動作がソフトウエア使用許諾の
チェック部分に分岐して実行されると、ステップ３０１
からの一連の手順を実行することとなる。

【００２８】まず、ステップ３０１で、装置に使われて
いるレチクル等の特殊な光学系部品に書き込まれた装置
固有の装置ＩＤを取得する。次にステップ３０２で、装
置上のＲＡＭ１０２上に取得した前記装置ＩＤを記憶す
る。

【００２９】次にステップ３０３で、ソフトウエアプロ
グラム内に記憶されている使用許諾装置ＩＤの読み出し
を行う。次にステップ３０４で、装置上のＲＡＭ１０２
上に取得した装置ＩＤと使用許諾装置ＩＤを比較し、こ
れらが合致した場合はプログラムの実行を継続する。装
置ＩＤに相違がある場合は、ステップ３０５にすすみ、
ソフトウエア使用者への警告、すなわち警告メッセージ
の表示等を行って、プログラムの実行を終了し装置の動
作を停止する。

【００３０】本発明のこのような動作により、ユーザが
使用許諾のない装置に対してソフトウエアプログラムを
インストールした場合に、ソフトウエアの不正使用を防
止することができる。

【００３１】（第２の実施例）第１の実施例において、
図３のフローチャートに示した処理を、タイマー動作等
により一定の基準で随時何度も照合を行うようにする。
本実施例のこのような動作により、ソフトウエア起動時
のみに本発明のソフトウエアプロテクト手法を破られた
としても、装置動作中に何度も使用許諾のチェックを行
うことにより、セキュリティレベルの向上が図られる。

【００３２】（第３の実施例）本実施例では、使用され
る特殊な光学部品に記録する情報として、評価版ソフト
ウエアの使用期限を記録することにより、評価版ソフト
ウエアの不正継続使用を防止することができる。ソフト
ウエアプログラムのコンパイルリンク時に、ソフトウエ
アを評価使用できる使用期限をプログラムのバイナリコ
ード内に数カ所から数百箇所に渡って埋め込んでおく。
ユーザには、使用期限のあるソフトウエアプログラムが
記録された媒体とともに、ライセンスキーとなる光学部
品、例えばキーとなるレチクル等を貸し出す。ライセン
スキーとなる光学部品に書かれた使用期限を経過した場
合、あるいはライセンスキーとなる光学部品が存在しな
い場合には、評価版ソフトウエアを実行することができ
ない。本実施例のこのような動作により、ユーザーの評
価版ソフトウエアの不正継続使用を防止することができ
る。

【００３３】（第４の実施例）本発明を実施する装置
が、ＬＡＮ等のネットワーク通信技術を用いて相互に接
続されている場合、特殊な光学部品に記録された装置Ｉ
Ｄ情報を使用許諾したライセンス数分だけＬＡＮ経由で
他の装置から読み取れるようにする。このような構成に
より、装置ＩＤと使用許諾するライセンス数が記録され
たライセンスキーとなる光学部品を高々ひとつだけライ
センス使用先に供給するだけで不正使用防止とソフトウ
エアの使用権付与が可能となる。

【００３４】（第５の実施例）第１、第２、第３または
第４の実施例において、もしも何らかの手段により光学
部品に書き込まれた装置ＩＤの複製、あるいはＲＡＭ１
０２上の装置ＩＤの改ざん、あるいは、装置ＩＤ照合手
順のバイパス等によって、本方式のプロテクトが破られ
た場合に、ライセンス管理元で前記プロテクト破りが発
生したことを検知するため、特殊光学部品から取得した
装置ＩＤデータを、インターネット等の通信手段を用い
てライセンス管理元へ通知し、装置ＩＤの複製・重複・
照合手順のバイパス等が行われているのを検知してプロ
テクト破りを発見し、警告および告発のための証拠とす
る。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の構
成によれば、特殊な光学部品を用いたライセンスキーの
偽造がされにくい性質を利用し、使用許諾された装置Ｉ
Ｄを取得できない場合、または装置ＩＤの相違がある場
合に、ソフトウエアプログラムを動作不可能として不正
使用を防止し、適正な利潤を得ることができるという効
果がある。

【００３６】本発明の第２の構成によれば、評価版ソフ
トウエアの評価期間を越えて不正使用することを防止す
ることができるという効果がある。

【００３７】本発明の第３の構成によれば、本発明のプ
ロテクトが破られた場合に、プロテクト破りがなされた
ことを検知し、ライセンス違反の警告・告発のための情
報を取得して、裁判等を有利に進めるための証拠とする
ことができるという効果がある。

【００３８】本発明の第４の構成によれば、ソフトウエ
アプログラム実行中に何度も装置ＩＤの照合を行うこと
で不正使用防止のレベルを向上することができるという
効果がある。

【００３９】本発明の第５の構成によれば、ネットワー
クを介して装置固有のＩＤを通信することにより、装置
ＩＤが記録された特殊な光学系部品によるライセンスキ
ーの供給数を最小限にすることができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る半導体露光装置のハードウェア
構成図である。

【図２】 本発明に係る半導体露光装置の模式図であ
る。

【図３】 本発明の第１の実施例の動作を説明するフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１０１：コンソール用ＣＰＵ、１０２：プログラムを格
納したりデータを格納するためのＲＡＭ、１０３：プロ
グラムを格納するためのＲＯＭ、１０４：データおよび
プログラムを格納するための補助記憶装置、１０５：コ
ンソール装置、１０６：ＬＡＮインタフェイス、１０
７：メインＣＰＵバス、１０８：外部記憶装置、１０
９：通信インタフェイス、１１０：メインＣＰＵ、１１
１：照明装置、１１２：レチクル駆動装置、１１３：ス
テージ駆動装置、１１４：アライメント用ＴＶシステ
ム、１１５：周辺機器用バス、１１６：通信装置（モデ
ム・ＴＡ）、１１７：通信網、２０１：露光光源（照明
装置）、２０２：露光量制御用シャッタ、２０３：レチ
クル、２０４：レチクルステージ、２０５：レチクルハ
ンド、２０６：投影レンズ、２０７：ウエハ、２０８：
ウエハＺステージ、２０９：ウエハＸＹステージ、２１
０：レーザ干渉計、２１１：ウエハ供給ハンド、２１
２：ウエハ回収ハンド。

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ソフトウエアおよびこのソフトウエアを
   使用する装置を含むソフトウエアの不正使用防止システ
   ムにおいて、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
   に記録した装置固有の装置ＩＤに関する鍵情報を読み取
   る手段、および前記装置ＩＤと前記ソフトウエアのソフ
   トウエアコードに埋め込んだ使用許諾装置の装置ＩＤと
   を照合し、この照合結果に基づいて前記ソフトウエアの
   使用の可否を判断する手段を有することを特徴とする不
   正使用防止システム。
2. 【請求項２】 使用期限を定めた評価版のソフトウエア
   およびこのソフトウエアを使用する装置を含む、ソフト
   ウエアの不正使用防止システムにおいて、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
   に記録した前記ソフトウエアの使用期限に関する鍵情報
   を読み取る手段、および前記使用期限が現在の時刻を越
   えているか否かを照合し、この照合結果に基づいて前記
   ソフトウエアの使用の可否を判断する手段を有すること
   を特徴とする不正使用防止システム。
3. 【請求項３】 ライセンス管理サーバー、前記ライセン
   ス管理サーバーに第１の通信手段を介して接続される装
   置および前記装置で使用するソフトウエアを含む、ソフ
   トウエアの不正使用防止システムにおいて、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
   に記録した装置固有の装置ＩＤまたは使用期限に関する
   鍵情報を読み取る手段、および前記ライセンス管理サー
   バー上で前記鍵情報を照合するために読み取った鍵情報
   を前記第１の通信手段により前記ライセンス管理サーバ
   ーへ定期的に伝達する手段を有することを特徴とするソ
   フトウエアの不正使用防止システム。
4. 【請求項４】 前記鍵情報の照合を前記ソフトウエアに
   よる処理の実行中に複数回行う手段を有することを特徴
   とする請求項１、２または３に記載の不正使用防止シス
   テム。
5. 【請求項５】 前記装置が第２の通信手段により複数接
   続される場合に、前記読み取った鍵情報を前記第２の通
   信手段を用いて他の装置へ伝達する手段を有することを
   特徴とする請求項１〜４に記載のソフトウエアの不正使
   用防止システム。
6. 【請求項６】 前記装置が光学的に対象を認識可能な光
   学手段を有し、この光学手段を用いて前記鍵情報を読み
   取るものであることを特徴とする請求項１〜５に記載の
   不正使用防止システム。
7. 【請求項７】 前記装置がレチクル上のパターンを投影
   レンズを介してウエハに露光するための露光装置であ
   り、前記光学手段が前記レチクルまたはウエハを位置合
   わせするために前記レチクルまたはウエハ上の基準マー
   クを撮像するものであることを特徴とする請求項６に記
   載の不正使用防止システム。
8. 【請求項８】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体露
   光装置を構成する光学系部品であることを特徴とする請
   求項６に記載のソフトウエアの不正使用防止システム。
9. 【請求項９】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体露
   光装置を構成するレチクルであることを特徴とする請求
   項８に記載のソフトウエアの不正使用防止システム。
10. 【請求項１０】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体
    露光装置を構成するレンズであることを特徴とする請求
    項８に記載のソフトウエアの不正使用防止システム。
11. 【請求項１１】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体
    露光装置を構成するウエハであることを特徴とする請求
    項８に記載のソフトウエアの不正使用防止システム。
12. 【請求項１２】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体
    露光装置を構成するステージであることを特徴とする請
    求項８に記載のソフトウエアの不正使用防止システム。
13. 【請求項１３】 前記鍵情報を記録する部材が、半導体
    露光装置を構成するレチクル基準マークであることを特
    徴とする請求項８に記載のソフトウエアの不正使用防止
    システム。
14. 【請求項１４】 前記鍵情報は、前記装置ＩＤもしくは
    前記使用期限を暗号化した情報または該暗号化した情報
    を復号するための鍵となる情報であることを特徴とする
    請求項１〜１２に記載のソフトウエアの不正使用防止シ
    ステム。
15. 【請求項１５】 ソフトウエアを使用する装置での前記
    ソフトウエアの不正使用を防止する方法において、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
    に記録した装置固有の装置ＩＤに関する鍵情報を読み取
    り、前記装置ＩＤと前記ソフトウエアのソフトウエアコ
    ードに埋め込んだ使用許諾装置の装置ＩＤとを照合し、
    この照合結果に基づいて前記ソフトウエアの使用の可否
    を判断することを特徴とする不正使用防止方法。
16. 【請求項１６】 使用期限を定めた評価版のソフトウエ
    アを使用する装置での前記ソフトウエアの不正使用を防
    止する方法において、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
    に記録した前記ソフトウエアの使用期限に関する鍵情報
    を読み取り、前記使用期限が現在の時刻を越えているか
    否かを照合し、この照合結果に基づいて前記ソフトウエ
    アの使用の可否を判断することを特徴とする不正使用防
    止方法。
17. 【請求項１７】 ライセンス管理サーバーに接続される
    装置で使用するソフトウエアの不正使用を防止する方法
    において、 前記装置を構成する部材または前記装置に付属する部材
    に記録した装置固有の装置ＩＤまたは使用期限に関する
    鍵情報を読み取り、前記ライセンス管理サーバー上で前
    記鍵情報を照合するために読み取った鍵情報を前記ライ
    センス管理サーバーへ定期的に伝達することを特徴とす
    るソフトウエアの不正使用防止方法。