KR20240024922A - 자동화된 덮개를 갖는 테스트 소켓 - Google Patents

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KR20240024922A
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크리스토퍼 브루노
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테라다인 인코퍼레이티드
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Abstract

테스트 시스템을 위한 예시적인 테스트 소켓에는 피시험 장치(DUT)에 대한 전기 및 기계적 연결을 만드는 리셉터클와 리셉터클의 DUT를 덮는 덮개가 포함되어 있다. 덮개는 리셉터클의 DUT를 수용할 수 있게 자동으로 열리고, 상기 DUT의 수용에 이어서 리셉터클의 DUT를 덮도록 자동으로 닫도록 제어할 수 있다. 덮개를 닫으면 DUT에 힘이 인가되어 테스트 소켓과 DUT 사이의 전기 및 기계적 연결이 완료된다.

Description

자동화된 덮개를 갖는 테스트 소켓
본 명세서는 일반적으로 자동화 테스트 시스템 및 자동화된 덮개를 갖는 그의 테스트 소켓에 관한 것이다.
시스템 레벨 테스트(SLT)에는 장치의 개별 구성 요소가 아닌 전체 장치 테스트가 포함된다. 장치가 배터리의 시스템 레벨 테스트를 통과하면, 장치의 개별 구성 요소가 제대로 작동하는 것으로 간주된다. SLT는 장치의 복잡성과 장치의 구성 요소 수가 증가함에 따라 더욱 보편화되었다. 예를 들어, ASIC(application specific integrated circuit)과 같은 칩 구현 시스템은 시스템을 구성하는 구성요소가 올바르게 기능하고 있는지를 판정하기 위해 시스템 레벨에서 테스트될 수 있다.
본 발명에 따르면 자동화 테스트 시스템 및 자동화된 덮개를 갖는 그의 테스트 소켓이 제공된다.
테스트 시스템을 위한 예시적인 테스트 소켓에는 피시험 장치(DUT)에 대한 전기 및 기계적 연결을 만드는 리셉터클와 리셉터클의 DUT를 덮는 덮개가 포함되어 있다. 상기 덮개는 상기 DUT를 리셉터클에 수용할 수 있게 자동으로 열리고, 상기 DUT를 수용한 후 자동으로 닫혀 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮도록 제어할 수 있다. 상기 덮개를 닫으면 상기 DUT에 힘이 가해져 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결이 완료된다. 상기 예시적인 테스트 시스템에는 다음 기능 중 하나 이상이 단독으로 또는 결합되어 포함될 수 있다.
상기 테스트 소켓은 상기 덮개의 개폐를 제어하는 액추에이터를 포함할 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키도록 구성될 수 있다. 상기 테스트 소켓은 상기 액추에이터에 연결되는 기어를 포함할 수 있다. 상기 기어는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시킬 수 있다. 상기 액추에이터는 모터를 포함할 수 있다. 상기 모터의 토크는 상기 DUT에 클램핑력(clamping force)을 제공하여 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료할 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개의 움직임을 유발하고 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료하기 위해 상기 DUT에 클램핑력을 제공하도록 구성된 나선형 웜 구동 나사를 포함할 수 있다. 상기 액추에이터는 유압식 액추에이터 또는 공압식 액추에이터 중 하나를 포함할 수 있다.
상기 테스트 소켓은 상기 리셉터클에 대해 수직으로 연장되는 제1 브랜치와 상기 리셉터클에 대해 비스듬하게 연장되는 제2 브랜치를 갖는 트랙을 구비하는 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 덮개에는 롤러가 포함될 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키기 위해 상기 제1 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키고, 상기 리셉터클에 대해 상기 덮개를 피봇시키기 위해 상기 제2 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키기 위한 것일 수 있다.
상기 테스트 소켓은 다른 테스트 소켓의 다른 DUT의 온도에 대한 제어와 별도로 상기 테스트 소켓의 상기 DUT의 온도를 제어하기 위한 열 제어 시스템을 포함할 수 있다. 상기 열 제어 시스템은 열전 냉각기(TEC) 및 열 전도성을 갖는 상기 덮개과 연결된 구조물을 포함할 수 있다. 상기 TEC는 상기 DUT와 상기 구조물 사이에 열을 전달하여 상기 DUT의 상기 온도를 제어하기 위해 상기 DUT와 열 연통할 수 있다. 상기 열 제어 시스템은 상기 구조물의 온도를 낮추기 위해 상기 구조물을 통해 흐르는 액체 냉각제를 포함할 수 있다. 상기 액체 냉각제는 액체 질소를 포함할 수 있다. 상기 열 제어 시스템은 히터를 포함할 수 있다.
상기 테스트 소켓은 제1 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 플레이트; 제2 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 플레이트; 상기 덮개의 제1 측면 상의 제1 롤러; 및 상기 덮개의 제2 측면 상의 제2 롤러;를 포함할 수 있다. 상기 덮개를 개폐하는 동안, 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동한다. 상기 제1 트랙 중 적어도 하나와 상기 제2 트랙 중 적어도 하나는 직각 트랙을 포함할 수 있다. 상기 제1 플레이트는 단일 플레이트일 수 있고, 상기 제2 플레이트는 단일 플레이트일 수 있다.
상기 테스트 소켓에는 상기 덮개가 연결되는 힌지가 포함될 수 있다. 상기 힌지에는 상기 덮개를 가압해 상기 DUT에 힘을 인가하여 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료할 수 있는 스프링이 포함될 수 있다.
상기 테스트 소켓은 제1 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 세트의 플레이트; 제2 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 세트의 플레이트; 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 롤러; 및 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 롤러;를 포함할 수 있다. 상기 덮개를 개폐하는 동안 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동한다. 상기 제1 세트의 플레이트는 제1 이동 플레이트와 제1 고정 플레이트를 포함할 수 있고, 상기 제2 세트의 플레이트는 제2 이동 플레이트와 제2 고정 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 제1 이동 플레이트는 상기 제1 고정 플레이트에 대해 이동하도록 제어가능할 수 있고, 상기 제2 이동 플레이트는 상기 제2 고정 플레이트에 대해 이동하도록 제어가능하여 상기 덮개가 개폐하도록 할 수 있게 한다.
상기 제1 이동 플레이트는 제1 트랙과 제2 트랙을 포함할 수 있다. 상기 제1 고정 플레이트는 제3 트랙과 제4 트랙을 포함할 수 있다. 상기 제1 트랙은 상기 제1 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제3 트랙과 교차할 수 있고, 상기 제2 트랙은 상기 제1 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제4 트랙과 교차할 수 있다. 상기 제2 이동 플레이트는 제5 트랙과 제6 트랙을 포함할 수 있다. 상기 제2 고정 플레이트는 제7 트랙과 제8 트랙을 포함할 수 있다. 상기 제5 트랙은 상기 제2 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제7 트랙과 교차할 수 있고, 상기 제6 트랙은 상기 제2 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제8 트랙과 교차할 수 있다. 상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙 각각은 하나 이상의 만곡부를 포함할 수 있다.
예시적인 테스트 시스템에는 테스트 시스템용 테스트 소켓이 포함되어 있다. 상기 테스트 소켓에는 피시험 장치(DUT)에 전기 및 기계적 연결을 하는 리셉터클과 상기 리셉터클의 상기 DUT를 덮는 덮개가 포함되어 있다. 상기 덮개는 상기 DUT를 상기 리셉터클에 수용할 수 있게 자동으로 열리고, 상기 DUT를 수용한 후 자동으로 닫혀 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮도록 제어할 수 있다. 상기 덮개를 닫으면 상기 DUT에 힘이 가해져 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결이 완료된다. 상기 테스트 시스템에는 상기 테스트 소켓에 대해 상기 DUT를 이동시키는 픽 앤 플레이스 로봇이 포함되어 있다. 상기 테스트 시스템에는 상기 픽 앤 플레이스 로봇의 작동을 조정하고 상기 픽 앤 플레이스 로봇이 상기 테스트 소켓에 도달할 때 상기 덮개가 피봇되도록 상기 덮개의 개폐를 제어하는 하나 이상의 처리 장치가 포함되어 있다. 상기 테스트 시스템에는 다음 기능 중 하나 이상이 단독으로 또는 결합되어 포함될 수 있다.
상기 하나 이상의 처리 장치는 상기 픽 앤 플레이스 로봇의 움직임에 따라 상기 덮개의 개방을 조정하도록 구성될 수 있다. 상기 테스트 시스템은 상기 픽 앤 플레이스 로봇이 장착되는 갠트리를 포함할 수 있다. 상기 갠트리는 상기 테스트 소켓에서 상기 DUT를 집어 올리거나 상기 DUT를 상기 테스트 소켓에 배치하기 위해 상기 픽 앤 플레이스 로봇을 위치시키기 위해 상기 테스트 소켓에 대해 상기 픽 앤 플레이스 로봇을 이동시키도록 구성될 수 있다. 상기 테스트 소켓은 상기 픽 앤 플레이스 로봇에 상기 테스트 소켓이 접근할 수 있도록 적어도 하나의 테스트 소켓 어레이로 배열될 수 있다.
예시적인 테스트 시스템에는 팩이 포함되어 있으며, 각 팩에는 DUT를 테스트하기 위한 테스트 소켓과 상기 테스트 소켓에서 상기 DUT에 대한 테스트를 수행하기 위한 적어도 일부 테스트 전자 장치가 포함되어 있다. 상이한 팩들은 상이한 구성을 갖도록 구성된다. 상기 상이한 구성에는 상이한 피치로 배열된 적어도 상이한 수의 테스트 소켓들이 포함된다. 상기 테스트 소켓들 중 하나의 테스트 소켓에는 DUT를 전기 및 기계적 연결하기 위한 리셉터클와 상기 리셉터클의 상기 DUT를 덮는 덮개가 포함되어 있다. 상기 덮개는 상기 DUT를 리셉터클에 수용할 수 있게 자동으로 열리고, 상기 DUT를 수용한 후 자동으로 닫혀 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮도록 제어할 수 있다. 상기 덮개를 닫으면 상기 DUT에 힘이 인가되어 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이에 상기 전기 및 기계적 연결이 이루어진다. 상기 테스트 시스템에는 다음 기능 중 하나 이상이 단독으로 또는 결합되어 포함될 수 있다.
상기 테스트 소켓은 상기 덮개의 개폐를 제어하는 액추에이터를 포함할 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키도록 구성될 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키도록 구성될 수 있다. 상기 테스트 소켓은 상기 리셉터클에 대해 수직으로 연장되는 제1 브랜치와 상기 리셉터클에 대해 비스듬하게 연장되는 제2 브랜치를 갖는 트랙을 갖는 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 덮개에는 롤러가 포함될 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키기 위해 상기 제1 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키고, 상기 리셉터클에 대해 상기 덮개를 피봇시키기 위해 상기 제2 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키기 위한 것일 수 있다.
상기 테스트 소켓은 제1 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 플레이트, 제2 트랙을 포함하고 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 플레이트, 상기 덮개의 제1 측면 상의 제1 롤러, 및 상기 덮개의 제2 측면 상의 제2 롤러를 포함할 수 있다. 상기 덮개를 개폐하는 동안 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동한다.
본 써머리 섹션을 포함하여 본 명세서에 기술된 2개 이상의 특징은 본 명세서에 구체적으로 설명되지 않은 구현을 형성하기 위해 결합될 수 있다.
본원에 기술된 시스템, 기술, 및 프로세스 또는 그의 일부는 하나 이상의 비일시적 기계 판독 가능 저장 매체에 저장되고 본원에 기술된 동작들을 제어(예를 들어 조정)하기 위해 하나 이상의 처리 장치 상에서 실행가능한 명령을 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품으로서 구현되거나, 및/또는 그에 의해 제어될 수 있다. 본원에 기술된 시스템 및 기술, 및 프로세스 또는 그의 일부는 다양한 동작을 수행하기 위해 실행 가능한 명령어를 저장한 메모리 및 하나 이상의 처리 장치를 포함할 수 있는 장치, 방법 또는 전자 시스템으로서 구현될 수 있다. 본원에 기술된 시스템, 기술, 프로세스 및/또는 구성 요소는 예를 들어 설계, 구성, 배열, 배치, 프로그래밍, 동작, 활동, 비활동 및/또는 제어를 통해 구성될 수 있다.
하나 이상의 구현의 세부 사항은 첨부 도면 및 하기의 설명에 설명되어 있다. 다른 특징, 목적 및 이점은 설명 및 도면, 그리고 청구범위로부터 명백할 것이다.
도 1은 예시적인 테스트 시스템의 사시도이다.
도 2는 테스트 시스템의 내부 구성 요소를 보여주기 위해 하우징이 없는 예시적인 테스트 시스템의 사시도이다.
도 3은 도 1과 유사한 예시적인 테스트 시스템의 일부일 수 있는 픽 앤 플레이스 자동화 부분의 사시도이다.
도 4 내지 도 28은 도 1과 유사한 예시적인 테스트 시스템의 일부일 수 있는 픽 앤 플레이스 자동화 부분의 사시도로서, 이는 작동 순서 동안 다양한 시점에서 도시된다.
도 29는 테스트 시스템의 내부 구성 요소를 보여주기 위해 하우징이 없는 예시적인 테스트 시스템의 절단 평면도이다.
도 30은 테스트 시스템의 내부 구성 요소를 보여주기 위해 하우징이 없는 도 29의 예시적인 테스트 시스템의 사시도이다.
도 31은 테스트 시스템 안팎으로의 팩의 움직임을 보여주기 위해 하우징이 없는 도 30의 예시적인 테스트 시스템의 사시도이다.
도 32는 테스트 시스템 안팎으로의 2개의 대향하는 팩의 움직임을 보여주기 위해 하우징이 없는 도 30의 예시적인 테스트 시스템의 사시도이다.
도 33은 테스트 시스템 안팎으로의 2개의 인접한 팩의 움직임을 보여주기 위해 하우징이 없는 도 30의 예시적인 테스트 시스템의 사시도를 포함하며, 또한 예시적인 팩 전자 장치의 사시도를 포함한다.
도 34는 팩 상의 테스트 소켓의 예시적인 배열의 평면도이다.
도 35는 팩 상의 테스트 소켓의 예시적인 배열의 평면도이다.
도 36은 하우징이 없고 서비스 모듈과 조합된 도 29의 예시적인 테스트 시스템의 전면 사시도이다.
도 37은 하우징이 없고 서비스 모듈의 전자 장치가 노출된 도 37의 예시적인 테스트 시스템의 배면 사시도이다.
도 38은 자동화된 덮개를 가진 예시적인 테스트 소켓의 측면도이다.
도 39는 예시적인 테스트 소켓의 리셉터클의 사시도이다.
도 40 내지 도 48은 자동화된 덮개를 갖는 예시적인 테스트 소켓의 작동을 도시하는 측면도이다.
도 49 및 도 50은 인쇄 회로 기판 상에서 상이한 배향으로 장착된 도 40 내지 도 48의 예시적인 테스트 소켓을 나타내는 사시도이다.
도 51 내지 도 56은 자동화된 덮개를 갖는 다른 예시적인 테스트 소켓의 작동을 도시하는 사시도이다.
도 57 내지 도 66은 자동화된 덮개를 갖는 또 다른 예시적인 테스트 소켓의 작동을 도시하는 교번하는 사시도 및 측면도를 포함한다.
도 67은 독립적이고 비동기적인 테스트를 지원하는 테스트 사이트를 위한 예시적인 열 제어 시스템의 구성 요소의 블록도이다.
도 68은 독립적이고 비동기적인 테스트를 지원하는 테스트 사이트를 위한 예시적인 열 제어 시스템의 구성 요소의 블록도이다.
도 69는 본 명세서에 기술된 예시적인 테스트 시스템의 일부일 수 있고 2개의 이동 가능한 갠트리 빔을 포함하는 픽 앤 플레이스 자동화 부분의 사시도이다.
상이한 도면에서 유사한 참조 번호는 유사한 엘리먼트를 나타낸다.
여기에는 SLT 테스트 시스템과 같은 테스트 시스템에서 사용 가능한 테스트 소켓 및 이와 연관된 구성요소의 예시적인 구현이 기술되어있다. 일부 구현에서, 테스트 시스템에는 피시험 장치(DUT)를 테스트 소켓으로 및/또는 테스트 소켓으로부터 이송하기 위한 자동화된 갠트리(gantry) 및 픽 앤 플레이스 자동화가 포함되어 있다. 테스트 소켓에는 테스트 소켓에 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 도달하기 전에 열리도록 제어할 수 있는 덮개 어셈블리(또는 간단히 "덮개") 및 관련 구조가 포함되어 있다. 예를 들어, 테스트 소켓으로 이동하기 전이나 도중에, 테스트 소켓의 덮개가 열리도록 제어되어 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓에 도달하면 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓으로부터 테스트된 DUT를 회수하거나(retrieve) 및/또는 테스트되지 않은 DUT를 테스트 소켓으로 배치하도록 할 수 있다. 테스트되지 않은 DUT가 테스트 소켓에 배치된 경우, 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓에서 멀어지는 동안 덮개가 닫히도록 제어할 수 있다. 일부 예에서는 픽 앤 플레이스 자동화가 덮개를 열거나 닫는 데 아무런 역할도 하지 않는다. 이는 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 하기에 기술된 것과 같은 다른 작업을 수행하는 동안 수행된다. 결과적으로 테스트 처리량을 늘릴 수 있다. 즉, 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 도달할 때 덮개가 열려 있기 때문에, 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화는 덮개를 열거나 테스트 소켓에 접근할 수 있게 만드는 데 시간이 걸릴 필요가 없다. 오히려 픽 앤 플레이스 자동화는 테스트 소켓에 도달하자마자 테스트된 DUT를 즉시 제거하거나 테스트되지 않은 DUT를 배치할 수 있다.
일부 구현에서, 테스트 시스템은 SLT 시스템이지만; 그러나 여기에 설명된 구성요소 및 기능은 임의의 적절한 테스트 환경에서 구현될 수 있다. 언급한 바와 같이, SLT는 장치의 개별 구성요소가 아닌 전체 장치를 테스트하는 것을 포함한다. 장치가 배터리의 시스템 레벨 테스트를 통과하면, 장치의 개별 구성요소가 제대로 작동하는 것으로 간주된다. 예시적 테스트 시스템의 개요가 제공되고 이 개요에 소개된 테스트 소켓의 다양한 구성 요소에 대한 보다 심층적인 설명이 후속된다.
예시적 테스트 시스템에는 여러 하위 시스템이 포함되어 있다. 이와 관련하여, 테스트 시스템에는 자동화된 갠트리 및 기본 픽 앤 플레이스 자동화를 유지하는 프레임이 포함된다. 트레이 피더에는 테스트할 장치 및/또는 테스트된 장치를 유지하는 트레이를 시스템 안팎으로 이동시키는 자동화가 포함되어 있다. 프레임 안팎으로 이동할 수 있는 팩에는 테스트 소켓에 유지된 장치를 테스트하기 위한 테스트 전자 장치가 포함되어 있다. 장치 테스트 중에 팩을 시스템 안팎으로 이동할 수 있다. 예시적 팩에는 전기 테스트 지원 인프라와 적어도 하나의 액체 대 공기 열 교환기가 포함된다. 일부 구현에서, 액체 대 공기 열 교환기는 팩에서 생략되거나 팩 외부에 있을 수 있다. 예시적 팩에는 테스트 시스템에서 테스트 사이트의 일부이고 DUT를 유지하는 테스트 소켓의 하나 이상의 행(row)이 포함되어 있다. 테스트 사이트에는 각각 최종 사용자의 테스트 사이트 보드가 포함될 수 있다. 최종 사용자의 테스트 사이트 보드에는 일부 구현에서 DUT를 유지하는 테스트 소켓이 포함되어 있다. 팩의 각 행에는 N개의 고객 테스트 사이트가 포함될 수 있고, 여기서 N은 1 사이의 정수이지만 시스템 크기에 따라 많은 사이트가 행에 들어맞을 수 있다. 각 테스트 사이트에는 테스트 소켓에 DUT를 유지하는 액추에이터가 포함될 수 있다. 액추에이터는 필요에 따라 장치의 힘 요구 사항을 수용하기 위해 교체될 수 있다.
예시적 테스트 시스템에는 액체 냉각, 파워, 테스트 연산 및 기타 처리에 사용되는 시스템 인프라와 전자 장치를 수용하는 서비스 모듈도 포함되어 있다. "스킨" 또는 "외부 쉘"이라고도 하는 하우징은 시스템의 적어도 일부를 둘러싸고 시스템에서 생성된 차가운 공기를 유지하고 테스트 사이트와 테스트 전자 보드를 통해 아래로 순환한다. 또한 정전기 전하 축적을 완화하고 정전기 방전(ESD) 이벤트를 줄이거나 방지하기 위해 테스트 전, 도중 및/또는 후에 이온화된 공기를 테스트 사이트에 순환시킬 수 있다.
예시적인 테스트 시스템의 레이아웃은 이로운 것으로 간주될 수 있다. 예를 들어, 테스트 전자 장치, 고객 사이트 전자 장치 및 장치 자동화를 스택으로 구성할 수 있다. 결과적으로, 테스트 시스템은 테스트 애플리케이션에 필요한 길이만큼 확장될 수 있으므로 자동화를 효율적으로 사용할 수 있다. 또한 테스트 시스템은 테스트 소켓에 DUT를 배치하고 테스트 소켓에서 DUT를 제거하기 위한 단일 계층의 픽 앤 플레이스 자동화를 포함할 수 있다. 이 단일 계층의 픽 앤 플레이스 자동화는 다른 테스트 시스템에서 발견되는 여러 자동화 교환의 필요성을 감소시켜 테스트 시스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 사이트-행-팩(site-row-pack) 모델은 또한 시스템 구성 가능성과 모듈성을 향상시킬 수 있으며 테스트 및 서비스 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 이전 단락에서 설명된 유형의 테스트 시스템(10)의 예시적인 구현을 도시한다. 도 1에서, 도어(9)를 포함하는 4개의 도어가 개방되어 테스트 시스템에서 테스트 사이트의 어레이가 노출된다. 도 2는 하우징 또는 "스킨"이 없는 테스트 시스템(10)의 일부를 도시한다. 언급된 바와 같이, 예시적인 테스트 시스템(10)은 모듈식이며, 이는 테스트 시스템이 다양한 테스트 애플리케이션을 수용할 수 있게 할 수 있다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 시스템(10)은 이 예에서 팩(13a, 13b, 13c 및 13d)을 포함하는 8개의 팩을 유지하는 프레임(11) 및 하우징(12)을 포함한다. 아래에서 더 상세히 설명하는 것처럼, 각 팩은 상이한 유형의 DUT를 테스트하기 위해 맞춤화될 수 있다. 팩에는 각각 DUT를 테스트하기 위한 다수의 테스트 사이트가 포함될 수 있다. 각 테스트 사이트에는 DUT를 유지하기 위한 테스트 소켓, 액추에이터 및 덮개 어셈블리, 하나 이상의 센서가 포함될 수 있다. 이러한 기능의 구현 예는 아래에 설명되어 있다.
상이한 팩에는 상이한 크기, 인터페이스 또는 폼 팩터와 같은 상이한 특성을 갖는 DUT를 유지할 수 있는 크기의 테스트 소켓이 포함될 수 있다. 예를 들어, 한 팩(13a)의 테스트 소켓은 10밀리미터(㎜) 치수(예를 들어, 길이, 너비 또는 대각선)를 갖는 DUT를 유지하도록 구성될 수 있고, 다른 팩(13b)의 테스트 소켓은 6㎜ 치수를 갖는 DUT를 유지하도록 구성될 수 있다. 테스트 소켓은 각각 하나 이상의 테스트 소켓을 포함하는 하나 이상의 행으로 구성될 수 있다. 하나 이상의 테스트 소켓을 포함하는 행에서, 테스트 소켓은 상이한 피치로 배열될 수 있다. 피치는 2 개의 인접한 테스트 소켓의 중심 사이의 거리를 포함할 수 있다. 예를 들어, 피치는 2개의 인접한 테스트 소켓의 중심 사이의 거리일 수 있다. 팩은 또한 테스트 소켓에 유지되는 DUT를 테스트하도록 구성된 테스트 전자 장치를 포함할 수 있다. 테스트 전자 장치는 DUT에 고유한 특징을 테스트하도록 맞춤될 수 있다. 테스트 전자 장치는 핀 전자 장치, 파라메트릭 측정 장치, 프로그래밍 가능한 로직 및/또는 마이크로 컨트롤러 또는 기타 처리 장치(들)를 포함할 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 테스트 전자 장치는 테스트 소켓의 각 DUT에서 하나 이상의 테스트 루틴을 실행하거나 구현하는 데 사용될 수 있다.
테스트 시스템(10)은 트레이(14)를 포함한다. 일부 구현에서, 각각의 트레이는 테스트될 장치를 유지하기 위한 셀 또는 테스트된 장치를 유지하기 위한 셀을 포함한다. 셀은 크기, 모양 또는 폼 팩터가 다른 장치를 유지할 수 있는 크기와 모양을 가질 수 있다. 예를 들어, 하나의 트레이는 10mm 치수를 갖는 장치를 유지하도록 구성될 수 있고, 다른 트레이는 6mm 치수를 갖는 장치를 유지하도록 구성될 수 있다. 일부 구현에서는 테스트 중인 각각의 상이한 유형의 장치에 대해 2개 이상의 트레이가 있을 수 있는데, 예를 들어, 테스트될 장치를 포함하는 하나의 트레이와 테스트된 장치를 포함하는 하나의 트레이, 또는 테스트될 장치를 포함하는 하나의 트레이, 테스트에 통과한 장치를 포함하는 하나의 트레이, 및 테스트에 실패한 장치를 포함하는 하나의 트레이가 있을 수 있다. 도 1의 예에는 6개의 트레이가 있지만; 그러나 임의의 적절한 수의 트레이가 테스트 시스템에 포함될 수 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 트레이는 테스트 소켓(15)의 일부 또는 전부가 배열된 평면과 평행하거나 동일 평면인 평면에 배열될 수 있다.
테스트 시스템(10)은 "픽 앤 플레이스 로봇"이라고도 하는 픽 앤 플레이스 자동화를 포함한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 픽 앤 플레이스 로봇(17)은 "액추에이터" 또는 "피커"라고도 하는 선형 액추에이터(19)를 포함할 수 있다. 다수의 피커는 다수의 테스트 소켓을 독립적으로 및/또는 동시에 또는 동시적으로 서비스하도록 구성될 수 있으며, 서비스에는 DUT를 다수의 테스트 소켓에 배치하거나 다수의 테스트 소켓에서 DUT를 집어내는 것 중 적어도 하나가 포함된다. 서비스는 또한 아래에서 더 자세히 설명하는 것처럼 하나 이상의 트레이에 DUT를 동시에 집어내거나 배치하는 것을 포함할 수 있다. 도 3의 예에는 4개의 피커가 있지만; 그러나 임의의 적절한 수의 피커를 사용할 수 있다. 이 숫자는 구성가능한데: 예를 들어, 상이한 테스트 애플리케이션 요구 사항을 수용하기 위해 하나 이상의 피커를 테스트 시스템(10)에 추가하거나 그로부터 제거할 수 있다. 이 예에서, 피커(19a)는 테스트 슬롯에 대해 연장 및 수축하는 암을 포함한다. 암에는 트레이의 셀과 팩의 테스트 소켓 사이를 이동하는 동안 DUT를 유지하는 헤드 또는 노즐이 포함되어 있다. 일부 예에서, 예를 들어 진공 압력과 같은 공압을 사용하여 이동하는 동안 장치가 픽업되어 노즐에 유지된다. 일부 예에서, 장치는 본 명세서에 기술된 바와 같이 진공 압력을 해제함으로써 및/또는 기계적 메커니즘에 의해 해제된다.
피커는 테스트 소켓(15)의 어레이를 가로지르는 이동 가능한 갠트리 빔(21), 갠트리 빔이 그 위를 이동하는 레일(21), 및 이러한 이동을 제어하기 위한 하나 이상의 모터(도시되지 않음)를 포함하는 로봇 갠트리("갠트리")(20)에 장착된다. 갠트리 빔(21)은 갠트리 빔에 수직인 행(row)으로 배열된 화살표(23)(Y-차원(25))의 방향으로 테스트 소켓 위로 이동하도록 구성된다. 피커(19a 내지 19d)는 갠트리 빔(21)을 따라 선형으로 배열되어 시스템 작동 중에 테스트 소켓이 피커에 액세스할 수 있도록 한다. 피커는 또한 갠트리 빔을 따라 선형으로 이동하여 상이한 위치로 이동하고 갠트리 빔을 따라 피커의 피치를 변경하여 상이한 유형의 DUT에 서비스하도록 구성된다. 따라서, 이 예에서, 피커(19a 내지 19d)는 데카르트 X 차원(26)(화살표(27))으로 이동하도록 구성되고 갠트리 빔(21)은 데카르트 Y 차원(25)(화살표(23))으로 이동하도록 구성된다. 따라서 피커(19a 내지 19d)는 테스트 사이트(15)를 포함하는 평면 또는 평면들에 실질적으로 평행한 단일 평면에서 이동한다. 갠트리 빔(21)에 장착된 피커(19a 내지 19d)는 갠트리 빔과 함께 이동하며 크기가 조정되고 작동되어 그것들의 암이 연장되거나 접힌 상태에서 피커는 비어 있거나 꽉 찬 테스트 소켓을 클리어한다. 즉, 터치하지 않는다. 즉, 자동화(17)는 소켓의 상태(개방 또는 폐쇄)에 관계없이 정의된 작업 영역 내 어디든지 이동하고 모든 소켓을 통과하도록 구성된다. 여기에는 피커가 완전히 접힌 경우 피커에 대한 여유 공간이 포함된다. 도 3에 표시되지 않은 선형 자기 모터("선형 모터")는 갠트리 빔과 피커 모두의 움직임을 제어할 수 있다.
일부 구현에서 피커는 상이한 팩으로의 집어내기 또는 배치를 수행한다. 예를 들어, 도 31의 팩(81b 및 81d)과 같이 시스템의 반대편에 있는 2개의 팩은 동시에 피커가 한 팩에서 일부 DUT를 다른 팩에서 다른 것들을 집어내고 배치할 수 있는 방식으로 정렬된 테스트 소켓의 행을 가질 수 있다. 반대쪽 시나리오에서 서로 마주보고 있는 2개의 팩이 있는 경우, 픽 앤 플레이스 로봇이 액세스할 수 있는 "행"은 이 2팩으로부터의 2행의 합이 된다. 한 팩에 행당 6개의 사이트가 있는 예에서, 시스템 레벨 행에는 12개의 사이트가 있다. 아래에 설명된 "Y축 조그" 기능은 서로 마주하는 2개의 대향 팩의 행이 다양한 허용 오차로 인해 완벽하게 정렬되지 않을 수 있기 때문에 부분적으로 특히 유용할 수 있다. 갠트리 빔에 대해 피커의 독립적인 Y축 이동을 허용하는 Y축 작업 기능을 통해 테스트 시스템은 행의 오정렬을 수용할 수 있으므로 시스템이 동시 픽 앤 플레이스 작업을 계속 수행할 수 있다.
도 4 내지 도 28은 이전 단락에서의 도 1 내지 도 3에 대해 설명된 유형의 예시적인 테스트 시스템(30)에 의해 수행되는 일련의 동작을 도시한다. 도시된 작동 위치는 무작위이지만 순차적이며 테스트 시스템 작동을 설명하기 위한 것이다. 도시된 특정 동작은 임의의 필요한 동작이나 작동 순서를 암시하기 위한 것이 아니다.
도 4에서, 피커(31)는 갠트리 빔(32)에 의해 테스트될 장치("DUT")를 포함하는 트레이(34) 위의 위치로 이동된다. 보다 구체적으로, 이 예에서, 피커(31)는 갠트리 빔(32)을 따라 선형으로 이동하도록 제어되고 갠트리 빔은 트레이(24)에 피커(31)를 위치시키기 위해 트랙(35)을 따라 선형으로 이동하도록 제어된다. 아래에 설명된 제어 시스템에 의해 제어되는 하나 이상의 선형 모터(도시되지 않음)는 갠트리 빔과 피커를 배치하도록 작동될 수 있다.
이 예에서, 6개의 피커(31)가 있다. 6개의 피커(31)는 동시에 또는 병렬로 트레이(34)로부터 6개 또는 6개 미만의 장치를 픽업하거나 제거할 수 있다. 일부 예에서 각 피커는 단일 장치를 픽업하지만; 그러나 모든 피커가 장치를 픽업해야 하는 것은 아니다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 6개의 픽업 장치는 화살표(38) 방향으로 테스트 소켓(37)의 하나 이상의 어레이를 가로질러 장치가 배치될 타겟 테스트 소켓(40)으로 운반된다. 도 5 내지 도 6에서, 갠트리 빔(32)을 따른 피커(31)의 피치는 타겟 테스트 소켓(40)의 피치와 일치하도록 변경되도록 제어된다. 이러한 변경은, 예를 들어, 동시에 갠트리 빔(38)이 트랙(35)을 따라 이동하도록 제어되는 동안 피커(32)가 화살표(41)의 방향으로 갠트리 빔(32)을 따라 선형으로 이동하도록 제어될 수 있다는 점에서 유동적일 수 있다.
아래에서 더 자세히 설명하는 것처럼, 각 테스트 소켓은 장치(DUT)가 테스트 소켓에 배치될 때 테스트 소켓 위에 맞도록 구성된, 예를 들어, 구축, 제어 및/또는 배열된 덮개를 포함한다. 예시적인 구현에서, 피커가 테스트 소켓에 도달하기 전에, 테스트 소켓이 자동으로 그에 대해 피봇하는 덮개는 테스트 소켓 및/또는 테스트 소켓 내의 장치를 노출시키기 위해 테스트 소켓으로부터 회전하거나 임의의 적절한 방식으로 테스트 소켓으로부터 멀리 이동시켜, 그에 의해 피커가 장치를 테스트 소켓에 배치하거나 테스트 소켓에서 장치를 제거할 수 있게 한다. 장치가 테스트 소켓에 배치된 후, 덮개는 자동으로 테스트 소켓 위로 이동하고 덮으며, 장치와 테스트 소켓 사이의 전기 및 기계적 연결을 생성, 유지 또는 생성 및 유지 모두를 하는 테스트 소켓의 장치에 힘을 가하도록 제어된다. 상술한 바와 같이, 아래에서 도 38 내지 66에 대해, 테스트 소켓으로 이동하기 전이나 도중에, 테스트 소켓의 덮개가 자동으로 열리도록 제어되어 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓에 도달하면 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓에서 테스트된 DUT를 회수하거나 및/또는 테스트되지 않은 DUT를 테스트 소켓에 배치하도록 할 수 있다. 테스트되지 않은 DUT가 테스트 소켓에 배치된 경우, 자동화된 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화가 테스트 소켓에서 멀어져 이동하는 동안 덮개가 자동으로 닫히도록 제어할 수 있다. 각 팩에 하나 이상의 처리 장치를 포함할 수 있는 제어 시스템은 덮개가 적절한 시간에 열리고 닫히도록 자동 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화의 움직임과 덮개의 자동 개폐를 조정하거나 동기화한다. 일부 구현에서, 제어 시스템은 갠트리 및 픽 앤 플레이스 자동화의 위치 및/또는 이동에 기초하여 때때로 테스트 소켓 덮개를 열거나 및/또는 닫도록 각 테스트 소켓과 연관된 개별 액추에이터를 제어할 수 있다.
도 6에 도시된 예시에서, 테스트 소켓(40)의 덮개는 개방되어, 예를 들어, 각각의 테스트 소켓을 노출시키기 위해 피봇팅, 회전, 또는 임의의 방식으로 이동되어(집합적으로 "이동되는" 것으로 가리키는 동작) 피커(31)가 그것들이 유지하고 있는 장치를 각각의 테스트 소켓(40)에 배치할 수 있게 한다. 설명한 바와 같이, 테스트 소켓의 덮개는 테스트 소켓을 향한 갠트리 이동 중에 열리도록 제어될 수 있고 테스트 소켓에서 멀어지는 갠트리 이동 중에 닫히도록 제어될 수 있다.
도 7에서, 피커가 장치를 테스트 소켓(40)에 배치한 후, 그 테스트 소켓의 덮개가 자동으로 테스트 소켓 위로 닫힌다. 설명한 바와 같이, 피커와 갠트리는 덮개와 상호작용하지 않아서, 덮개로 하여금 개폐하도록 하지 않고; 그것들의 동작은 테스트 시스템의 작동 중에 피커와 갠트리의 움직임에 기초하여 제어 시스템에 의해 제어된다. 덮개의 폐쇄는 테스트 소켓(40) 위의 제 위치로 이동하는 약간 각진 덮개(43)에 의해 도 7에 표시된다. 덮개의 회전이 도 4 내지 28에 대해 도시되었지만, 도 38 내지 66에 대해 기술된 바와 같은 개폐를 위한 기타 움직임이 테스트 소켓, 그를 위한 덮개, 및 연관된 구조의 상이한 구성에 사용될 수 있다. 한편, 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 한 행의 테스트 소켓(44)을 이동시켜 해당 테스트 소켓으로부터 테스트된 장치를 픽업(즉, 제거)하여 테스트된 그 장치들을 트레이(45)로 운반하도록 제어된다. 이 운반은 도 8 및 9에 도시된다. 도시된 바와 같이, 피커(31)의 피치는 테스트 소켓(44)의 피치와 동일하거나 근사한 피치에서 트레이(45)의 셀의 피치와 동일하거나 근사한 피치로 변경되도록 제어된다. 상술한 바와 같이, 이러한 변경은 피커(31)가 갠트리 빔(32)이 트랙(35)을 따라 화살표(49) 방향으로 이동하는 동안 갠트리 빔(32)을 따라 화살표(48) 방향으로 선형 이동하도록 제어될 수 있다는 점에서 유동적일 수 있다. 피커(31)는 진공 압력을 해제하고, 본 명세서에 기술된 기계적 메커니즘을 사용하여 또는 이 둘의 조합에 의해 테스트된 장치를 트레이(45)의 각각의 셀에 배치하거나 증착할 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 그 다음 이동하도록 제어되어 피커가 테스트될 장치를 포함하는 트레이(34)의 셀의 새로운 행에 정렬되도록 한다. 피커(31)는 본 명세서에 기술된 바와 같이 그 행에서 장치를 픽업하고, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 갠트리 빔(32)을 사용하여 이들 장치를 테스트 소켓(50)으로 운반한다. 도 12에서, 테스트 소켓(50)의 덮개(51)는 피커가 테스트할 장치를 테스트 소켓에 배치할 수 있도록 개방된다. 도 13에 도시된 바와 같이, 피커(31) 및/또는 갠트리 빔(32)이 테스트 소켓(50)으로부터 다음 목적지 테스트 소켓으로 멀리 이동하도록 제어된 후 또는 그 동안에, 덮개(51)는 테스트 소켓(30) 내의 장치를 덮기 위해 닫도록 제어된다.
도 13에서, 피커(31)는 테스트 소켓(53)으로부터 테스트된 장치를 픽업하도록 제어된다. 테스트된 이들 장치는 트레이(45)의 셀로 이동되어 배치된다. 상술한 바와 같이, 피커(31)의 피치는 테스트 소켓(53)의 피치와 같거나 근사한 피치에서 트레이(45)의 셀의 피치와 같거나 근사한 피치로 변경되도록(이 예에서는 협소화하도록) 제어되어 테스트된 장치를 셀에 배치하도록 한다.
도 14에 도시된 바와 같이, 피커(31)는 그런 다음 트레이(34)로부터 테스트될 장치를 픽업하고 테스트를 위해 이들 장치를 테스트 소켓으로 운반하기 위해 트레이(45)로부터 트레이(34)로 이동하도록 제어된다. 구체적으로, 피커(31)는 화살표(56) 방향으로 선형 이동하도록 제어되고 갠트리 빔(32)은 화살표(57) 방향으로 선형 이동하도록 제어되어 트레이(34)로부터 테스트될 장치를 픽업한다. 트레이(34)로부터 테스트될 장치를 픽업하기 위해 도 15에 도시된 바와 같이 피커(31)가 위치된다. 그런 다음, 피커(31) 및 갠트리 빔(32) 모두는 트레이(34)로부터 빈 테스트 소켓(53)으로(이것들은 도 13에 대해 기술된 동작에서 비워졌다) 이들 장치를 배치하기 위해 도 16에 도시된 위치로 이동하도록 제어된다. 도시된 바와 같이, 이러한 빈 테스트 소켓의 덮개는 테스트 소켓(53)을 노출시키기 위해 이동하도록 이미 제어되어, 피커(31)가 테스트를 위해 장치를 테스트 소켓에 배치하도록 할 수 있다.
다음으로, 도 17에서, 덮개(59)는 테스트 소켓(53)에 있는 장치를 자동으로 닫는 동안, 테스트 소켓(61) 위의 덮개(60)는 피커(31)가 이들 테스트 소켓(61)으로부터 테스트된 장치에 액세스하고 픽업할 수 있도록 자동으로 개방하도록 제어된다.
테스트된 장치는 테스트 소켓(61)에서 제거되고 도 18에 도시된 바와 같이 트레이(45)에 배치된다. 그런 다음 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 선형 이동하도록 제어되어 트레이(34)로부터 테스트될 장치를 픽업하기 위해 도 19에 도시된 바와 같이 피커(31)를 위치시킨다. 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 그런 다음 테스트 소켓(63)에 테스트될 장치를 배치하기 위한 위치로 이동된다. 도 20에 도시된 바와 같이, 테스트 소켓(63)의 덮개(64)는 테스트 소켓을 노출시키고 피커가 장치를 테스트 소켓(63)으로 위치시킬 수 있게 이동된다. 덮개의 움직임은 본원에 기술된 바와 같이 피커가 테스트 소켓에 도달하기 전에 구현된다. 다음으로, 도 21에 도시된 바와 같이, 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 각각 트레이(45)로의 운반을 위해 테스트 소켓(67)으로부터 테스트된 장치를 픽업하도록 피커(31)를 위치시키기 위해 선형 이동하도록 제어된다. 도 21에 도시된 바와 같이, 이러한 테스트 소켓(67)의 덮개(68)는, 피커(31)가 이들 테스트 소켓에 도달하기 전에, 피커(31)에 의한 픽업을 위한 장치를 노출시키기 위해 열리도록 제어된다. 도 22에 도시된 바와 같이, 테스트된 장치는 트레이(45)로 이동되어 피커(31)에 의해 거기에 배치된다. 다음으로, 도 23에서, 피커(31)는 트레이(34)로 이동되어 테스트되지 않은 장치를 픽업한다. 즉, 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 트레이(34)로부터 테스트될 장치를 픽업하기 위해 도 23에 도시된 바와 같이 피커(31)를 위치시키기 위해 선형적으로 이동하도록 각각 제어된다. 다음으로 도 24를 참조하면, 피커(31)와 갠트리 빔(32)이 테스트를 위해 트레이(34)에서 테스트 소켓(70)으로 픽업된 테스트 대상 장치를 배치하기 위해 이동하도록 제어된다. 테스트 소켓(70)의 덮개는 테스트 소켓이 DUT의 배치를 위해 개방(예를 들어, 노출)되도록 피커와 갠트리의 움직임 동안 개방하도록 제어된다. 배치는 도 24에 도시되지 않았다.
그러나, 도 24에 부분적으로 도시된 바와 같이, 이 예에서 도 25에 도시된 바와 같이, 덮개(71)는 피커(31)가 테스트될 장치를 각각의 테스트 소켓(70)에 배치할 수 있도록 한 방향으로 이동하고 장치가 배치된 후 장치를 덮기 위해 반대 방식으로 이동한다. 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 그런 다음 새로운 행(73)으로 이동하여 해당 행의 테스트 소켓으로부터 테스트된 장치를 픽업하고 이들 장치를 트레이(45)로 운반하도록 제어된다. 그 후, 도 26에 도시된 바와 같이, 피커(31) 및 갠트리 빔(32)은 테스트되지 않은 장치를 픽업하기 위해 트레이(45)로부터 트레이(34)로 피커를 이동시키도록 제어된다. 도 27에 도시된 바와 같이, 그런 다음 도 25와 관련하여 기술된 바와 같이 미리 비워진 테스트 소켓(73)에 테스트되지 않은 장치를 배치하기 위해 이동하도록 피커(31) 및 갠트리 빔(32)이 제어된다. 그런 다음, 도 28에 도시된 바와 같이 테스트 소켓(75)으로부터 테스트된 장치를 픽업하기 위해 이동하도록 피커(31) 및 갠트리 빔(32)이 제어된다. 도 4-28에 도시된 픽 앤 플레이스 로봇의 작동은 테스트가 완료될 때까지 이러한 방식으로 계속될 수 있다.
일부 구현에서, 픽업될(또는 DUT가 배치될 위치) 다수(예를 들어, 6개)의 DUT가 동일한 행에 있지 않는다. 결과적으로 피커는 DUT를 동시에 또는 병렬로 집어내거나 배치하지 않는다. 대신, 피커와 갠트리는 제어 시스템에 의해 제어되어 필요한 만큼의 다수의 단계를 사용하여 픽업 또는 배치를 수행한다. 예를 들어, 피커 및/또는 갠트리는 하나의 트레이 행에서 병렬로 2개의 DUT를 픽업한 다음 다른 트레이 행에서 병렬로 4개 이상의 DUT를 픽업하기 위해 이동한 다음, 한 행에 정렬된 소켓으로 병렬로 이들 DUT 중 3개를 배치하도록 이동하고, 그런 다음 또 다른 행에서 정렬된 상이한 세트의 소켓으로 나머지 3개의 DUT를 배치하기 위해 다시 이동하도록 제어될 수 있다.
도 4 내지 28은 동일한 피치를 갖는 테스트 소켓의 행을 도시한다. 그러나, 이전에 설명된 바와 같이, 테스트 시스템은 상이한 크기, 모양 및/또는 폼 팩터를 갖는 장치를 병렬로, 동시적으로 및/또는 동시에 테스트할 수 있다. 따라서 동일하거나 상이한 팩에 있는 테스트 소켓의 그룹 또는 어레이는 피치가 다를 수 있지만 그럼에도 불구하고 동일한 픽 앤 플레이스 로봇을 공유하고 시스템에 의해 병렬, 동기식 또는 비동기식으로 테스트된다. 동일하거나 상이한 팩에 있는 테스트 소켓의 그룹 또는 어레이는 픽 앤 플레이스 로봇을 동시에 또는 동시적으로 사용하여 테스트할 수 있다.
이와 관련하여, 도 1 및 도 2와 관련하여 설명한 바와 같이, 테스트 소켓은 테스트 시스템(10)의 프레임(12) 및 하우징(11) 내외로 이동 가능한 팩(13a 내지 13d)과 같은 팩에 유지된다. 요약하면, 예시적인 테스트 시스템은 팩 아키텍처 및 모듈식 베이스 프레임을 통합한다. 픽 앤 플레이스 로봇은 다양한 수와 구성의 팩을 지원한다. 픽 앤 플레이스 로봇은 상이한 구성의 팩에 서비스를 제공하도록 구성된다. 예를 들어, 픽 앤 플레이스 로봇은 DUT를 테스트 시스템에 설치된 상이한 유형의 팩 안팎으로 동시에 이동하도록 구성될 수 있다. 즉, 다르게 구성된 팩에서 동일한 자동화를 사용할 수 있다. 이러한 상이한 유형의 팩에는 다양한 크기, 높이, 피치 등의 테스트 소켓이 있을 수 있다.
도 3 내지 28에서, 픽 앤 플레이스 로봇은 팩 아키텍처 내에서 모듈식 증분으로 수평면에 배열된다. 테스트 소켓은 수평면에 설치되며 팩 아키텍처의 일부로 직사각형 어레이로 배열된다. 팩의 테스트 소켓 수는 테스트할 DUT의 크기를 기반으로 할 수 있다. 팩의 테스트 사이트 수는 테스트할 테스트 보드의 크기를 기반으로 할 수 있다. 일 예시에서, 각 팩에는 임의의 위치에 테스트 보드의 크기에 따라 하나의 테스트 소켓에서 최대 24개의 테스트 소켓이 포함될 수 있다. 그러나 다른 구현에서는 상이한 수의 테스트 소켓(예를 들어, 24개 이상의 테스트 소켓 또는 24개 미만의 테스트 소켓)이 팩당 포함될 수 있다. 예를 들어, 일부 구현에서 팩은 최대 6개의 테스트 소켓 또는 테스트 사이트를 연속으로 가질 수 있고; 예를 들어, 일부 구현에서 팩은 최대 8개의 6개의 테스트 소켓 또는 테스트 사이트를 연속으로 가질 수 있고; 예를 들어, 일부 구현에서 팩은 최대 10개의 테스트 소켓 또는 테스트 사이트를 연속으로 가질 수 있고; 예를 들어, 일부 구현에서 팩은 최대 12개의 6개의 테스트 소켓 또는 테스트 사이트를 연속으로 가질 수 있는 등이다.
사용할 팩의 수는 DUT 테스트 시간과 갠트리 주기 시간을 기반으로 하여 더 높은 테스터 소켓 활용 및/또는 자동화 갠트리 활용을 달성할 수 있다. 팩은 하기에 기술된 도 2 및 31 내지 33에 대해 도시된 바와 같이 프레임에서 완전히 제거할 수 있다. 각 팩은 프레임에서 제거할 수 있으며 갠트리를 지지하는 프레임 구조 아래를 통과한다. 각 팩은 자체 내부 바퀴 상에서 지지될 수 있다. 테스트 시스템에서 팩을 제거하면, 팩을 공장 바닥에서 굴릴 수 있다. 팩은 프레임에 기계적으로 정렬될 수 있으므로 팩을 제거하고 교체할 때 갠트리가 동일한 행의 모든 팩에 동시에 도달할 수 있도록 소켓이 정렬되도록 한다.
도 29는 예시적인 테스트 시스템(80)의 구성 요소의 평면도를 도시하며, 이는 도 1 내지 도 28에 대해 설명된 유형일 수 있다. 이 예에서, 테스트 시스템(80)은 하우징(83) 내의 랙(82)에 유지된 4개의 팩(81a 내지 81d)을 포함한다. 팩에 포함된 소켓은 행(row)과 열(column)로 정렬된다. 도 30 내지 32는 예시적인 테스트 시스템(80)의 사시도를 도시한다. 도 31 및 32에 도시된 바와 같이, 팩(81b 및 81d)과 같은 하나 이상의 개별 팩은 테스트 시스템에서 제거 가능하다. 이 예에서 제거 가능하다는 것은 테스트 시스템에서 완전히 제거 가능하다는 것을 포함한다. 그런 다음 해당 팩을 동일한 유형의 팩 또는 상이한 팩으로 교체할 수 있다. 따라서 테스트 시스템(80)은 팩의 테스트 소켓에서 상이한 또는 동일한 유형의 장치를 테스트하기 위해 테스트 시스템에서 팩을 교체할 수 있다는 점에서 모듈식이다. 이와 관련하여, 테스트 시스템은 팩의 완전 보강을 포함하거나 포함하지 않고 작동하도록 구성된다. 시스템의 소프트웨어 및/또는 하드웨어를 재구성하지 않고 팩을 교체할 수 있다. 일부 구현에서, 팩은 소위 "핫 스왑"으로 픽 앤 플레이스 로봇 작동 중에 교체될 수 있다. 예를 들어, 팩(81a)에 대한 테스트는 팩(81b)이 제거되거나 팩(81a)에 대한 중단된 테스트 없이 교체되는 동안 계속될 수 있다.
도 33은 또한 테스트 시스템(80)의 구성요소를 도시한다. 특히, 도 33은 팩(81d)과 같은 각 팩 내에 및/또는 팩 상에 상주할 수 있는 예시적인 전자 장치(83)를 도시한다. 이 예에서, 팩(81d)은 테스트 전자 장치(84), 인터페이스 전자 장치(85), 컨트롤러 보드(86) 및 테스트 소켓(87)을 포함한다. 인터페이스 전자 장치(85)는 미드플레인 회로 보드; 표준, 세미 커스텀 또는 커스텀 고객 인터페이스 회로; 및 표준 보드 대 보드 내부 인터페이스 회로를 포함하지만 이에 한정되지 않는다. 테스트 전자 장치(84)는 미드플레인에 플러그인되는 하나 이상의 기능 보드에 상주할 수 있다. 컨트롤러 보드(86)는 팩에 의해 수행되는 테스트를 제어하고, 본원에 기술된 바와 같이 소켓 덮개를 개폐하기 위해 액추에이터를 제어하고, 및 팩 외부와 통신하기 위한 마이크로프로세서, 마이크로컨트롤러 또는 기타 처리 장치(들)를 포함할 수 있다.
언급된 바와 같이, 테스트 소켓은 테스트될 장치를 유지하도록 구성될 수 있다. 상이한 유형의 장치를 테스트하기 위해 상이한 팩을 구성(예를 들어, 구축, 배열, 프로그래밍 및/또는 제어)할 수 있다. 따라서, 테스트 소켓은 상이한 유형 및/또는 수의 장치를 수용하고, 상이한 폼 팩터를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 전기 인터페이스를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 열 요구사항을 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 물리적 인터페이스를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 무선 기능을 가진 상이한 유형의 장치를 지원하고, 및/또는 전기 기계 인터페이스를 가진 상이한 유형의 장치를 지원하기 위한 상이한 구성을 가질 수 있다. 예시에서, 상이한 팩은 상이한 피치로 배열된 상이한 수의 테스트 소켓을 포함할 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 또한, 개별 팩 상의 테스트 소켓은 상이한 유형 및/또는 수의 장치를 수용하고, 상이한 폼 팩터를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 전기 인터페이스를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 열 요구 사항을 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 물리적 인터페이스를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 상이한 무선 기능을 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하고, 및/또는 전기 기계 인터페이스를 갖는 상이한 유형의 장치를 지원하도록 구성 및/또는 재구성될 수 있다. 따라서 테스트 소켓의 어레이 또는 그룹은 상이한 팩이나 행 또는 동일한 팩의 다른 하위 섹션에서 다를 수 있다.
예를 들어, 도 34 및 35는 테스트 시스템에서 테스트하기 위해 상이한 크기의 장치를 수용하도록 구성 및/또는 재구성된 테스트 팩의 테스트 소켓을 보여준다. 도 34의 예에서, 예시적인 테스트 팩(90)은 크기가 130mm x 160mm인 테스트 보드(DUT)를 유지하도록 구성되어 88개의 테스트 소켓을 포함하는 총 88개의 테스트 사이트를 가져온다. 도 35의 예에서, 예시적인 테스트 팩(91)은 크기가 200mm x 250mm인 테스트 보드(DUT)를 유지하도록 구성되어 35개의 테스트 소켓을 포함하는 총 35개의 테스트 사이트를 가져온다.
언급한 바와 같이, 팩의 테스트 전자 장치는 핀 전자 장치, 파라메트릭 측정 장치(들), 프로그래밍 가능 로직 및/또는 마이크로컨트롤러 또는 기타 처리 장치(들)를 포함할 수 있지만 이에 한정되지 않는다. 테스트 전자 장치는 팩에 포함된 테스트 소켓의 장치에서 하나 이상의 테스트 루틴을 실행하거나 그를 구현하는 데 사용될 수 있다. 이와 관련하여 일부 구현에서, 테스트 전자 장치는 팩에 의해 테스트될 DUT를 기반으로 맞춤화되거나 재구성될 수 있다.
인터페이스 전자 장치는 테스트 시스템의 백플레인과 팩 사이의 연결을 가능하게 한다. 이 연결을 통해 테스트 시스템과 팩의 테스트 전자 장치 간의 통신이 가능하다. 연결에서 지원될 수 있는 프로토콜의 예에는 PCIe(Peripheral Component Interconnect Express), USB(Universal Serial Bus) 및 JTAG(Joint Test Action Group) 표준이 포함되지만 이에 국한되지 않는다.
도 36 및 37를 참조하면, 예시적인 테스트 시스템(80)은 팩 및/또는 DUT와 제어 시스템 사이의 통신을 가능하게 하고, 다양한 팩에 파워를 제공하고, 및 하기에 기술된 LASER("방사선의 유도 방출에 의한 광 증폭") 스캐닝, 이미지 캡처 및 청소와 같은 서비스 및 기타 기능을 제어하도록 하는 전자 장치(93)를 포함할 수 있다.
이와 관련하여, 테스트 시스템(80)은 제어 시스템을 포함할 수 있다. 제어 시스템은 테스트 시스템(80)의 동작을 제어하기 위한 회로 및/또는 온보드 전자 장치(93)를 포함할 수 있다. 회로 또는 온보드 전자 장치는 테스트 시스템 자체의 하우징 내에 위치한다는 의미에서 "온보드"이다. 온보드 전자 장치는 예를 들어 하나 이상의 마이크로컨트롤러, 하나 이상의 마이크로프로세서, FPGA(field-programmable gate array)와 같은 프로그램 가능 로직, 하나 이상의 ASIC(application-specific integrated circuit), 솔리드 스테이트 회로, 또는 이러한 유형의 회로 또는 처리 장치 중 둘 이상의 적절한 조합을 포함한다.
일부 구현에서, 제어 시스템의 온보드 구성 요소는 제어 시스템의 일부일 수 있는 원격 컴퓨팅 시스템(95)(도 1)과 통신한다. 이 컴퓨팅 시스템은 테스트 시스템의 하우징에 위치하지 않는다는 점에서 원격이다. 예를 들어, 제어 시스템에는 원격 위치(예를 들어, 제조업체 시설)에 분산된 컴퓨팅 리소스도 포함될 수 있으며, 그 중 적어도 일부는 테스트 시스템 하우징 내에 있지 않다. 테스트 시스템 온보드 구성 요소와 원격 컴퓨팅 시스템 간의 연결(94)은 이더넷 네트워크 또는 무선 네트워크와 같은 컴퓨터 네트워크를 통해 이루어질 수 있다. 원격 컴퓨팅 시스템에 의해 제공되는 명령은 온보드 전자 장치에 의한 실행을 위해 전송될 수 있다. 일부 구현에서, 제어 시스템에는 온보드 구성 요소만 포함된다. 일부 구현에서, 제어 시스템은 온보드 구성 요소와 원격 컴퓨팅 시스템의 조합을 포함한다. 일부 구현에서 제어 시스템은 적어도 부분적으로 사람의 입력에 기반하여 제어 기능을 구현하도록 구성(예를 들어, 프로그래밍)될 수 있다. 테스트 시스템에 의해 생성된 테스트 결과 및 기타 정보는 하우징 내의 컴퓨터 메모리에 저장되거나 원격 컴퓨팅 시스템으로 전송될 수 있다.
제어 시스템은 갠트리 빔 및/또는 피커의 위치 및 속도를 제어하기 위한 서보 컨트롤러 또는 서보 제어 기능을 포함할 수 있다. 예시적인 서보 컨트롤러는 피드백 신호에 기초하여 갠트리 빔과 피커를 제어하는 모터의 속도와 위치를 조절하도록 작동할 수 있다. 일반적으로 서보 컨트롤러는 명령된 속도와 피드백 속도 값과 같이 명령된 값과 피드백 값 사이의 오차를 최소화하기 위한 명령을 생성하기 위해 서보 루프를 실행한다. 서보 컨트롤러는 속도 제어 외에도 위치 제어를 구현할 수도 있다. 위치 제어를 구현하기 위해 속도 루프와 직렬로 위치 루프를 추가할 수 있다. 일부 구현에서, 비례-적분-미분(PID) 위치는 별도의 속도 루프 없이 위치 및 속도 제어를 제공한다.
일부 구현에서, 제어 시스템은 도 29 및 도 36에 도시된 서비스 모듈(96)에서 구현되거나 서비스 모듈의 일부일 수 있다. 도 29 및 36의 예에서, 서비스 모듈은 테스트 시스템(80)의 프레임(82)에 물리적으로 연결되지만; 그러나 그것은 요구 사항은 아니다. 일부 구현에서, 서비스 모듈(96)은 소켓의 장치에서 수행되는 테스트를 수행하거나 지원하기 위해 여기에 기술된 유형의 테스트 전자 장치를 포함할 수 있다. 서비스 모듈(92)은 또한 테스트 시스템을 유지하기 위해 하나 이상의 처리 장치와 같은 전자 장치를 포함할 수 있다. 예를 들어, LASER 기반 청소 시스템이 테스트 소켓을 청소하는 데 사용될 수 있다. 이 시스템을 작동시키는 전자 장치는 서비스 모듈의 일부일 수 있다. 여기에 설명된 제어 시스템의 전부 또는 일부는 서비스 모듈에 상주할 수 있다.
앞에서 설명한 것처럼 테스트할 장치와 테스트한 장치는 픽 앤 플레이스 로봇이 서비스하는 트레이에 저장된다. 사용될 수 있는 트레이의 예는 JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council) 트레이를 포함하지만 이에 제한되지 않는다. 도 29 및 37의 예에서, 피더(99)는 테스트된 장치의 트레이를 수용하고 테스트되지 않은 장치의 트레이를 테스트 시스템에 제공하도록 구성된다. 예에서, 피더는 트레이의 평탄도를 촉진하는 지지 창 프레임으로 트레이를 통과시키고 트레이의 반복 가능한 Z-차원 위치를 제공도록 구성된다.
테스트 시스템(10)의 예(도 1)에는 6개의 트레이가 있지만(또한 도 34 및 35의 트레이(97) 참조); 그러나 여기에 설명된 테스트 시스템은 6개의 트레이와 함께 사용하는 것으로 제한되지 않는다. 테스트 시스템(30)의 예(도 4 내지 28)에서, 5개의 트레이가 사용되지만; 그러나 시스템은 5개의 트레이와 함께 사용하도록 제한되지 않는다. 6 트레이 시스템에서, 제1 트레이는 제1 유형을 갖는 테스트되지 않은 장치를 포함할 수 있고, 제2 트레이는 제1 유형을 갖는 테스트된 장치를 포함할 수 있다. 제3 트레이는 제2 유형을 갖는 테스트되지 않은 장치를 포함할 수 있고 제4 트레이는 제2 유형을 갖는 테스트된 장치를 포함할 수 있다. 제5 트레이는 제3 유형을 갖는 테스트되지 않은 장치를 포함할 수 있고 제6 트레이는 제3 유형을 갖는 테스트된 장치를 포함할 수 있다. 이 예에서, 장치의 제1, 제2, 제3 유형은 적어도 한 가지 측면에서 상이하며 테스트 시스템 하우징에 삽입된 다른 팩을 사용하여 테스트된다. 일부 구현에서, 테스트를 통과한 장치와 테스트에 실패한 장치에 대해 상이한 트레이가 지정될 수 있다. 예를 들어, 각 유형의 테스트된 장치에 대해 단일 트레이를 갖는 대신, 각 유형의 테스트된 장치에 대해 아직 테스트되지 않은 유형의 장치를 유지하기 위한 트레이 1개와 함께 테스트를 통과한 장치를 유지하기 위한 하나의 트레이와 테스트를 통과하지 못한 장치를 유지하는 하나의 트레이인, 각각의 유형의 테스트된 장치를 위한 2개의 트레이가 있을 수 있다. 일부 구현에서는, 트레이를 시스템 안팎으로 이동하는 하나 이상의 피더가 있을 수 있고 트레이의 수는 다를 수 있다. 피더는 수동으로 또는 테스트 시스템에 연결되는 자동화(표시되지 않음)를 사용하여 로드 및 언로드될 수 있다.
피커(31)와 같이 본 명세서에 기술된 피커는 그것들의 암이 테스트 소켓에 대해 연장되거나 접히게 하는 선형 자기 모터를 포함할 수 있다. 각각의 피커는 트레이와 소켓 사이의 운반을 위해 테스트될 장치 또는 테스트된 장치를 유지하도록 구성된 피커 노즐을 포함할 수 있다. 예시에서, 트레이 또는 소켓 어레이에서 동시에 1~6개의 장치를 픽업하도록 구성된 6개의 피커가 있다. 그러나 다른 예에서는 피커가 6개보다 많거나 6개 미만일 수 있다. 테스트 시스템의 피커 수는 크기조정가능하며, 예를 들어 하나 이상의 피커를 테스트 시스템에 추가하거나 제거할 수 있다. 예를 들어, 피커의 수는 팩의 특성 및 팩의 테스트 소켓의 특성에 따라 크기조정 가능할 수 있다. 예를 들어 한 팩에 12개의 테스트 소켓이 일렬로 들어 있는 경우, 피커의 수는 12의 인수가 될 수 있다. 이와 관련하여, 피커의 수와 같은 픽 앤 플레이스 자동화는 DUT 테스트 시간에 따라 상이하게 구성될 수 있으며, 상이한 DUT 유형은 테스트하는 데 상이한 시간이 걸릴 수 있다. 자동화 구성은 일부 구현에서 최대 처리량에 영향을 미친다. 예를 들어 자동화가 더 많은 피커로 구성된 경우, 시간당 테스트 시스템을 통해 이동할 수 있는 최대 DUT 수가 더 커진다.
도 38은 테스트 소켓(101)("소켓") 및 피커가 테스트 소켓을 향해 이동하는 동안, 예를 들어 테스트되지 않은 DUT를 테스트 소켓에 배치하거나 또는 테스트 소켓으로부터 테스트된 DUT를 회수하는 동안 자동으로 열리고 테스트 소켓에서의 DUT의 배치를 한 후에 자동으로 폐쇄하도록 구성된 테스트 소켓의 구성요소의 구현 예를 보여준다. 예시적인 소켓(100)은 DUT에 전기 및 기계적 연결을 하기 위한 리셉터클(102)를 포함한다. 이 예에서, 리셉터클은 인쇄 회로 기판(PCB)(101)에 장착된다. 도 39에 도시된 바와 같이, 전기 및 기계적 연결을 포함하는 리셉터클(102)은 PCB(101)에 장착되고, 이는 다시 대응하는 팩에 장착된다. 리셉터클(102)은 DUT가 전기적으로 결합하는 전기 컨택트 어레이(104)를 포함하는 제1 프레임(103)과 PCB(101)에 제1 프레임(103)을 장착하기 위한 제2 프레임(105)을 갖는 이중 프레임 구조를 가질 수 있다.
도 38을 다시 참조하면, DUT(103)는 여기에 기술된 바와 같이 테스트하는 동안 리셉터클(102)에 삽입된다. 소켓(100)은 갠트리와 피커의 움직임에 기초하여 자동으로 개폐하도록 제어 가능한 덮개(106)를 포함한다. 덮개(106)는 본원에 기술된 바와 같이, 리셉터클에 DUT(103)를 수용할 수 있도록 자동으로 열리고, DUT를 수용한 후에 자동으로 닫혀 리셉터클에 있는 DUT(103)를 덮도록 제어 가능하다. 또한 본원에 기술된 바와 같이, 덮개(106)를 닫는 것은 테스트 소켓과 DUT 사이의 전기 및 기계적 연결을 완료하기 위해 DUT에 클램핑력을 인가하는 것을 포함한다. 이에 대해서는 도 40 내지 도 48에 대해 설명된 바와 같이, 덮개는 일정 거리 동안 리셉터클에 수직으로 자동으로 이동하고(도 41) 해당 거리 이상에서는 리셉터클에 대해 자동으로 피봇하도록 제어된다(도 42). 이 예에서 직교 또는 수직 이동은 리셉터클과 DUT 사이에 기계 및 전기적 연결을 만들 때 DUT 상단을 가로질러 덮개(106)로부터 상대적으로 균일한 하향 압력 또는 클램핑 력을 인가하기 위해 구현된다. 리셉터클이 노출되어 피커에 접근할 수 있도록 덮개를 리셉터클로부터 멀리(예를 들어, 피커의 방해가 되지 않도록) 이동시키기 위해 피봇 동작이 구현된다. 이렇게 하면 피커는 테스트되지 않은 DUT를 리셉터클에 삽입하거나 덮개가 리셉터클에 대한 피커의 접근을 막지 않고도 리셉터클로부터 테스트된 DUT를 꺼낼 수 있다.
도 38에 도시된 바와 같이, 소켓(100)은 액추에이커(108)를 포함한다. 액추에이터(108)는 덮개를 개폐하도록 제어 가능하며; 예를 들어, 상술한 바와 같이 덮개를 리셉터클나 DUT에 대해 수직으로 이동하고 덮개를 리셉터클나 DUT에 대해 피봇시키도록 제어가능하다. 사용될 수 있는 액추에이터의 예는 유압 액추에이터 또는 공압 액추에이터를 포함하지만 이에 제한되지는 않는다. 액추에이터는 모터(미도시) 및 나선형 웜 나사(109)이거나 이를 포함할 수 있다. 기어(110)는 액추에이터, 본 예시에서는 나선형 웜 나사(109)에 연결된다. 플레이트(111)가 기어에 연결된다. 플레이트(111)는 리셉터클(및 본 예시에서는 DUT(103))에 수직으로 연장되는 제1 브랜치(113)와 리셉터클(및 본 예시에서는 DUT(103))에 대해 비스듬하게 연장되는 제2 브랜치(114)를 갖는 트랙(112)을 포함한다. 덮개(106)는 또한 롤러(115)를 포함한다. 액추에이터(108)는 덮개(106)을 리셉터클(및 본 예시에서는 DUT(103))에 대해 수직으로 이동시키기 위해 제1 브랜치(113)를 따라 롤러를 이동시키고, 덮개(106)를 리셉터클(본 예시에서는 DUT(103))에 대해 피봇시키기 위해 제2 브랜치(114)를 따라 롤러(115)를 이동시키도록 제어 가능하다.
예시적인 작동에서, 액추에이터는 리셉터클 위의 거리까지 수직 운동을 구현하기 위해 나선형 웜 나사(109)를 따라 회전하고 이동하도록 기어를 제어하며, 이 거리는 일부 예시에서 한 자릿수 밀리미터 또는 한 자릿수 이하의 센티미터로 측정될 수 있다. 이 운동 동안 롤러(115)는 플레이트(111)의 제1 브랜치(113)를 따라 이동한다. 도 38에 도시된 바와 같이 리셉터클 위의 적절한 거리에 도달하면, 액추에이터는 덮개(106)를 제어하여 리셉터클에 대해 피봇한다. 예를 들어, 덮개(106)는 덮개(106)에 대한 힌지 역할을 할 수 있는 롤러(115)를 따라 피봇될 수 있다. 피봇 운동은 덮개가 리셉터클로부터 멀어지는 각도로 바깥쪽으로, 이 예에서는 DUT(103)로 이동하게 하여 리셉터클이 노출되도록 하여 피커에 의해 액세스하도록 한다. 이러한 피봇팅 이동 동안, 이 예에서 롤러(115)는 제2 브랜치(114)를 따라 이동한다.
예를 들어 DUT와 소켓 사이에 기계 및 전기적 연결을 생성하기 위해 덮개를 소켓에 강제로 삽입하기 위해 역방향 동작이 수행된다. 상술한 바와 같이, 소켓을 향한 하방 수직 움직임이 이루어져 덮개에 클램핑력이 균등하게 인가되어 DUT와 소켓 사이에 기계 및 전기적 연결이 생성된다. 테스트하는 동안 DUT와 소켓 사이의 기계 및 전기적 연결을 유지하기 위해 덮개를 적절한 힘으로 소켓에 유지한다. 덮개는 테스트 후 또는 일부 경우, 예를 들어, 테스트가 중단되어 종료되는 경우와 같은 다른 때에 제거된다.
도 40 내지 도 48은 도 38의 소켓(100)의 변형(100a)의 예시적인 동작을 도시한다. 도 40의 예에서, 기어(120)는 덮개(122)를 DUT(124)를 포함하는 리셉터클(123)에 대해 직교하여, 또는 수직으로 이동시켜, 그 후 리셉터클에 대해 피봇시키도록 액추에이터(121)에 의해 제어가능하다. 리셉터클(123)은 PCB(124)에 장착되고, 이 PCB 자체는 팩의 부분(126)에 장착된다. 도 38의 경우와 같이, 덮개(122)에 연결된 롤러(127)는 플레이트(130)의 트랙(128)을 따라 이동하여 수직 운동을 구현한다. 이 예에서는 도 40에서 테스트가 완료되었으므로 덮개(123)가 DUT(124)에서 상방으로 멀리 이동한다. 도 41에서, 덮개(122)는 DUT(124) 및 리셉터클(123)에 대해 직교 또는 수직으로 이동한다. 기어(120)와 롤러 모두 덮개(122)에 연결된다. 따라서, 액추에이터(121)는 기어(120)를 시계 반대 방향으로 회전하게 하고, 이에 따라 롤러(127)와 그에 따른 덮개(122)가 트랙(128)을 따라 화살표(131) 방향으로 위쪽으로 이동하게 된다. 이러한 위쪽 움직임은 미리 정의된 거리 동안 계속되며, 이 거리는 명시된 대로 한 자릿 수의 밀리미터 또는 한 자릿 수 이하의 센티미터로 측정될 수 있다. 일부 포인트에서, 액추에이터(121)는 도 42에 도시된 바와 같이 덮개(122)가 피봇하도록 제어한다. 이 예에서, 덮개(122)는 힌지 또는 도 42에 도시되지 않은 다른 구조를 따라 피봇할 수 있다. 액추에이터(121)는 도 43에 도시된 바와 같이 덮개(122)가 추가로 피봇하도록 제어하여 DUT(103)가 완전히 노출되도록 한다.
이 동작 순서 예시에서, DUT(124)는 피커에 의해 회수되어 테스트 소켓에서 테스트되지 않은 DUT로 교체되는 테스트된 DUT이다. 상술한 바와 같이, 덮개와 피커의 움직임은 피커가 리셉터클에 도달할 때 덮개가 열리도록 조정된다. 따라서, 도 44에 도시된 바와 같이, 이 예시에서 피커(133)는 테스트 후 DUT(124)를 회수하기 위해 제 위치로 이동한다. 도 45에서, 피커(133)는 테스트 소켓(100a)의 리셉터클(123)로부터 DUT(124)를 이동시키고, 피커(134)는 테스트되지 않은 DUT(135)를 리셉터클(123)에 배치한다. 그 후, 두 피커(133, 134)는 도 46에 도시된 바와 같이 테스트 소켓으로부터 멀리 이동한다. 피커(133, 134)에 의한 이러한 움직임동안, 액추에이터(121)는 덮개(122)을 제어하여 테스트되지 않은 DUT(135) 위의 위치로 이동시킨다. 도 46에서, 액추에이터(121)는 DUT의 위치 위로 덮개를 피봇시킨다. 도 47에서, 피봇 동작 후에, 덮개(122)는 DUT(135) 및 리셉터클(123)에 대해 화살표(131a) 방향으로 수직으로 이동하여 테스트를 위해 DUT에 균일하거나 상대적으로 균일한 클램핑력을 인가한다. 이 움직임은 상술한 바와 같다. 도 48에서, 덮개(122)는 테스트를 위해 적절한 위치에 있다. 덮개(122)는 DUT(135)가 테스트될 때까지 해당 구성으로 유지될 수 있다.
도 49는 팩의 부분(126)에 장착된 PCB(125)의 리셉터클(123)에 대해 배열된 소켓(100a)의 덮개(122) 및 관련 구성요소의 배향을 도시한다. 도 50은 팩의 부분(126)에 장착된 PCB(125)의 리셉터클(123)에 대해 배열된 소켓(100a)의 덮개(122)와 관련 구성요소의 도 49와 다른 배향을 도시한다. 따라서, 덮개(122) 및 그 연관된 제어 구성요소는 본 명세서에 기술되지 않은 배향을 포함하여 임의의 적절한 배향으로 장착될 수 있다.
도 51 내지 도 57은 상술한 갠트리 및 피커의 작동과 협력하여 자동으로 개폐하는 덮개를 갖는 테스트 소켓(100b)의 또 다른 예시적인 구현을 도시한다. 이 도면들의 일부 구성요소는 설명을 위해 투명하게 표시되어 있지만 실제 작동에서는 투명하지 않을 수 있다.
도 51을 참조하면, 소켓(100b)은 PCB(139)에 장착되고 리셉터클(140)과 덮개(141)를 포함한다. 덮개(141)는 덮개(141)가 리셉터클(140)에 대해 비스듬한 각도로 피봇할 수 있게 하는 힌지(142)에 장착된다. 덮개(141)는 금속 또는 기타 적절한 재료로 만들어졌으며 DUT를 덮는 상단(141a)과 힌지(142)에 연결되는 암(141b)을 가지고 있다. 암(141b)은 하기에 기술된 바와 같이, 금속 벨로우즈(141c) 또는 인가된 힘에 반응하여 압축되고 인가된 힘 없이 팽창하도록 구성된 기타 적절한 아코디언형 구조를 포함한다.
소켓(100b)은 또한 덮개(141)의 제1 측면 상의 단일 제1 플레이트(144a)와 덮개의 제2 측면(예를 들어 반대 측면) 상의 단일 제2 플레이트(144b)를 포함한다. 이들 제1 및 제2 플레이트는 구성 및 기능이 동일할 수 있다. 플레이트는 각 플레이트의 한쪽 끝에서 패널(145)에 물리적으로 연결된다. 제1 플레이트(144a)는 제1 트랙(146a 및 146b)을 포함하고, 제2 플레이트(144b)는 제2 트랙(147a 및 147b)을 포함한다. 플레이트(144a) 상의 트랙(146a)과 플레이트(144b) 상의 대응 트랙(147a)(도 52에 부분적으로 표시됨)은 각각 각진 만곡부를 포함하며, 예를 들어 직각 트랙(146a, 147a)을 생성하여 덮개(141)의 수직 및 피봇 이동을 가능하게 한다. 트랙(146b) 및 이에 대응하는 트랙(147b) 각각은 하기에 기술되는 바와 같이 덮개의 이동을 가능하게 하는 각진 만곡부를 포함한다. 덮개(141)는 그 측면 각각에 2세트의 동일한 롤러를 포함하며, 도면에서는 덮개(141)의 플레이트(146a) 측면에 있는 롤러(148a 및 148b)만 볼 수 있다. 다음 도면에서 기술되는 바와 같이 롤러(148a)는 트랙(146a)을 따라 이동하고 롤러(148b)는 트랙(146b)을 따라 이동한다. 덮개(141)의 반대편에 있는 대응하는 롤러는 대응하는 트랙을 이동시킨다.
도 51 내지 도 55는 테스트 소켓(100b)의 동작을 도시한다. 이 예에서는 DUT가 표시되지 않지만; 그러나 이러한 일련의 동작에서는 피커가 리셉터클에 도달하면 덮개가 열리고 피커가 이격하여 이동하면 덮개가 닫히도록 덮개과 피커의 움직임이 조정된다. 도 51 내지 55에 대해 기술된 움직임은 본원에 기술된 유형의 하나 이상의 액추에이터 및/또는 하나 이상의 모터를 사용하여 구현될 수 있다. 사용될 수 있는 액추에이터 또는 모터(149)의 예가 도 56에 도시되어 있다. 단 하나의 액추에이터 또는 모터이지만, 일부 구현에서는 테스트 소켓의 각 측면에 하나의 그러한 액추에이터 또는 모터가 있다. 액추에이터 또는 모터는 덮개 동작을 설명하기 위해 도 51 내지 55에서 제외된다.
도 51의 구성에서, 덮개(141)는 본원에 기술된 바와 같이 리셉터클(140)을 피커에 노출시키기 위해 리셉터클(140)로부터 멀리 위로 피봇된다. 도 51은 DUT를 포함할 수 있지만 본 도면에는 포함되지 않은 리셉터클 위의 덮개(141)을 닫는 동작의 일부를 보여준다. 도 52에서, 덮개(141)는 리셉터클(140)을 향해 화살표(150) 방향으로 아래쪽으로 피봇한다. 이 이동 동안, 롤러(148a)는 화살표(151) 방향으로 트랙(146a)을 따라 아래쪽으로 이동한다. 도 53에서, 덮개(141)는 리셉터클(140)에 평행한 위치로 이동하고 롤러(148b)는 트랙(146b)과 맞물려 있으며, 소켓(100b)의 반대쪽에서도 동일한 작업이 발생한다. 그러나 덮개(141)는 여전히 리셉터클 위에 있다. 따라서, 도 53에서, 덮개(141)는 리셉터클 내의 DUT에 상대적으로 균일한 클램핑력을 제공하기 위해 화살표(153) 방향으로 리셉터클에 대해 수직으로 아래쪽으로 이동하기 시작한다. 이 움직임 동안, 금속 벨로우즈 또는 아코디언형 구조(141c)가 압축된다. 도 54에서, 덮개(141)의 수직 하향 이동은 계속되어 도 55에서 완료된다. 거기서, 패널(155)은 테스트 동안 리셉터클 위의 적절한 위치에 덮개(141)를 고정하기 위해 화살표(154) 방향으로 이동/이동하였다. 테스트 소켓의 덮개를 열려면 반대 작업이 수행된다.
도 57 내지 도 66은 상술한 갠트리 및 피커의 동작과 협력하여 자동으로 개폐하는 덮개를 갖는 테스트 소켓(100c)의 또 다른 예시적인 구현을 도시한다. 이 도면의 일부 구성요소는 설명을 위해 투명하게 표시되어 있지만 실제 작동에서는 투명하지 않을 수 있다.
도 57을 참조하면, 소켓(100c)은 PCB(미도시)에 장착될 수 있고 리셉터클(155)과 덮개(156)를 포함할 수 있다. 소켓(100b)은 또한 덮개의 제1 측면 상에 한 세트의 제1 플레이트(157)와 덮개의 제2 측면 상의(예를 들어, 반대 측) 한 세트의 제2 플레이트(158)를 포함한다. 이러한 제1 및 제2 플레이트 세트는 구성과 기능이 동일할 수 있다. 요약하자면, 도 57 내지 66의 예시적 구성에는 2세트의 플레이트가 있는데, 덮개의 각 측면 상에 하나의 이동 플레이트가 있고, 덮개의 각 측면 상에 하나의 고정 플레이트가 있다. 각각의 플레이트(이동 및 고정 모두)에는 2세트의 트랙이 포함되어 있어 이 예시에서는 총 8개의 트랙이 된다. 덮개에는 각 측면 상에 한 세트씩 2세트의 롤러가 있으며, 각 롤러는 평행한 고정 플레이트와 이동 플레이트의 트랙 교차점에 맞춰 그리고 그에 따라 이동하도록 구성된다. 각 측면은 동일한 플레이트와 롤러 구성을 가지므로, 덮개 한쪽 측면 상에만 있는 플레이트와 롤러 구성은 도 57부터 설명된다.
플레이트(157)는 리셉터클(155)에 대해 고정된 위치에 유지되는 고정 플레이트(157a)와 고정 플레이트, 리셉터클 및 리셉터클의 DUT에 대해 이동 가능한 이동 플레이트(157b)를 포함한다. 또한, 상세히 설명되지는 않았지만, 플레이트(158)는 리셉터클(155)에 대해 고정된 위치에 유지되는 고정 플레이트(158a)와 고정 플레이트, 리셉터클 및 리셉터클의 DUT에 대해 이동 가능한 이동 플레이트(158b)를 포함한다. 고정 플레이트(157a)와 이동 플레이트(157b)는 각각 한 세트의 각진 트랙을 포함한다. 고정 플레이트(157a)의 트랙(159a, 159b)은 구조가 동일하고 공간을 두고 이격될 수 있으며 이 예시에서는 각각 단일 만곡부를 포함한다. 이동 플레이트(157b)의 트랙(160a, 160b)은 구조가 동일하고 공간을 두고 이격될 수 있으며 이 예에서는 각각 2개의 만곡부를 포함한다. 도면에 표시된 것 이외의 플레이트 구성과 트랙 구성이 사용될 수 있다.
이동 플레이트(157b)와 고정 플레이트(157a)는 각각의 트랙 쌍이 각각 적어도 단일 위치에서 정렬되도록 그리고 이동 플레이트(157b)가 고정 플레이트(157a)에 대해, 리셉터클(155)에 대해, 그리고 리셉터클(155)의 DUT에 대해 이동할 때 이 단일 위치가 변경되도록 평행하게 구성 및 배열된다. 덮개(156)의 각 측면은 각 측면에 동일한 위치를 갖고 구조와 기능이 동일할 수 있는 2세트의 롤러를 포함한다. 따라서, 롤러(161a, 161b)에 대해서만 설명한다. 도 57 내지 도 66에 도시된 바와 같이, 롤러(161a)는 고정 플레이트(157a)의 트랙(159a)과 이동 플레이트(157b)의 트랙(160a)의 교차점에 있다. 롤러(161b)는 고정 플레이트(157a)의 트랙(159b)과 이동 플레이트(157b)의 트랙(160b)의 교차점에 있다. 이와 같이, 덮개(156)는 도 57에 도시된 바와 같이 제1 및 제2 세트의 플레이트(157, 158) 사이에 장착된다. 이동 플레이트(157b)가 이동하는 동안, 롤러(161a, 161b)와 제2 세트의 플레이트(158)에 있는 대응물은 트랙 교차점을 따라 이동하여, 이를 통해 덮개가 리셉터클 또는 리셉터클의 DUT와 접촉하게 된다. 사시도에서 덮개 움직임을 보여주는 예시적 동작이 대응 측면도를 가진 도 57 내지 66에 도시된다.
도 57 내지 도 66은 테스트 소켓(100b)의 동작을 도시한다. 이 예에서는 DUT가 표시되지 않지만; 이러한 일련의 동작에서는, 피커가 리셉터클에 도달하면 덮개가 열리고 피커가 이격하여 이동하면 덮개가 닫히도록 덮개와 피커의 움직임이 조정된다. 도 57 내지 66에 대해 기술된 움직임은 본원에 기술된 유형의 하나 이상의 액추에이터 및/또는 하나 이상의 모터를 이용하여 구현될 수 있다. 이용될 수 있는 예시적인 액추에이터 또는 모터(170)가 도 66에 도시되어 있다. 단 하나의 액추에이터 또는 모터만이 도시되어 있지만, 일부 구현에서는 테스트 소켓의 각 측면에 하나의 그러한 액추에이터 또는 모터가 있다. 액추에이터 또는 모터는 덮개 작동을 설명하기 위해 다른 도면에서 제외되었다.
도 57의 구성에서, 덮개(156)는 본원에 기술된 바와 같이 리셉터클(155)을 피커에 노출시키기 위해 리셉터클(155)로부터 멀리 위로 이동된다. 도 57은 DUT를 포함할 수 있지만 이 예시에서는 포함되지 않은 리셉터클 위의 덮개(156)을 닫는 동작의 일부를 도시한다. 도 58은 도 57과 동일한 구성을 측면도로 도시한 것이다. 도 59에서, 이동 플레이트(157b)는 화살표(168) 방향으로 이동하여, 롤러(161a, 161b)가 덮개(156)를 플레이트(157a, 157b)의 트랙(159a, 160a 및 169b, 160b)의 교차점을 따라 이동하게 한다. 덮개(156)의 다른 측면에서도 동일한 동작이 발생한다. 도 60은 측면도로 도 59와 동일한 구성을 도시한다. 도 59 및 도 60에 도시된 바와 같이, 고정 플레이트(157a) 상의 트랙(159a 및 159b)은 각각 리셉터클(155)에 대해 수직인 브랜치(169a 및 169b)를 포함한다. 도 59와 60에서 도시된 포인트에서, 덮개의 롤러가 그 브렌치들에 막 들어가려고 한다. 이러한 브랜치(169a 및 169b)에서 덮개(156)의 직교 또는 수직 이동은 리셉터클과 DUT 사이에 기계 및 전기적 연결을 만들 때 DUT의 상단을 가로질러 덮개(156)로부터 상대적으로 균일한 하향 압력 또는 클램핑력을 인가하기 위해 구현된다. 도 61의 구성에서, 덮개(156)는 리셉터클 및 그 안에 있는 DUT(미도시)를 향해 브랜치(169a 및 169b)를 따라 부분적으로 아래로 이동했다. 도 62는 도 61과 동일한 구성을 측면도로 도시한 것이다. 도 63의 구성에서, 덮개(156)는 내부의 DUT(미도시)와 접촉하는 포인트에서 리셉터클을 향해 브랜치(169a, 169b)를 따라 아래로 완전히 이동했다. 도 64 및 65는 2단계 공정으로 덮개를 최종적으로 닫는 모습을 측면도로 보여준다.
본원에 기술된 것과 같이, 덮개는 DUT 크기 및 두께, DUT가 상단 테스트용으로 구성되었는지 여부, DUT 특정 가열 또는 냉각 요구 사항의 측면에서 특정 소켓 애플리케이션에 대해 구성된다. 덮개의 부품 또는 그와 별개인 것으로 간주될 수 있는 부착 메커니즘은 정확한 Z 차원(또는 수직) 기준을 구축하기 위해 덮개가 테스트 소켓과 완전히 맞물렸을 때 소켓 프레임에 인접하는 정지판을 포함한다. 덮개에는 액추에이터에 의해 인가되는 힘의 변동이 있는 경우에도 소켓의 장치에 정확한 힘을 제공하기 위해 압축 가능한 스프링이 포함되어 있다. 덮개에는 장치와 접촉하는 캡이 포함되어 있다. 이 캡은 덮개의 열 제어 구성 요소에도 정렬되는 정렬 핀을 통해 소켓에 정렬된다. 열 구성 요소는 아래에서 더 자세히 설명되며 수동 방열판 또는 액체 냉각판, 열전기 냉각기(TEC) 및/또는 전기 가열 소자와 같은 능동 구성 요소를 포함할 수 있다. 테스트 소켓은 구성 요소의 온도를 모니터링하기 위해 하나 이상의 온도 센서를 포함할 수도 있다. 테스트 소켓은 또한 테스트 소켓 또는 테스트 소켓을 포함하는 테스트 사이트의 온도를 모니터링하기 위한 하나 이상의 온도 센서를 포함할 수 있다.
도 67은 본 명세서에 기술된 테스트 시스템을 위한 열 제어 시스템에 포함될 수 있는 예시적인 구성 요소(250)를 도시한다. 예시적인 열 제어 시스템은 각 테스트 사이트에 포함된 구성 요소(253)를 포함한다. 이러한 구성 요소는 다른 테스트 사이트에 있는 다른 DUT의 온도에 대한 제어와 별도로 테스트 사이트에 있는 DUT의 온도를 제어하도록 구성될 수 있다. 따라서 도 67의 구성요소는 개별 테스트 소켓의 온도를 독립적이고 비동기적으로 제어하여 테스트 소켓의 DUT에 대해 독립적이고 비동기적으로 열 테스트를 포함한 테스트를 수행하는 테스트 시스템의 기능을 가능하게 하거나 및/또는 이에 기여한다.
도 67에서, 냉각판(190), TEC(191) 및 캡(192)이 도시된다. 도시된 바와 같이, TEC(191)는 DUT(251)와 직접 접촉하지 않고 오히려 캡(192)을 통해 간접적으로 접촉한다. 캡(192)은 금속과 같은 열전도성 재료로 만들어진다. 따라서 캡을 통한 TEC와 DUT 사이의 간접 접촉은 여전히 TEC와 DUT 사이의 열 전도를 가능하게 한다. 따라서 캡은 TEC와 DUT 사이에 열 경로를 생성한다. 결과적인 열 전도는 DUT와 냉각판(190) 사이의 열 전달을 통해 DUT의 온도에 대한 제어를 가능하게 한다. 보다 구체적으로, 열은 DUT(캡을 통해)와 냉각판 사이에서 TEC에 의해 전달된다. 열을 전달하기 위한 TEC의 동작은 제어 시스템에 의해 제어될 수 있다. 일부 구현에서, 캡은 떨어져 있을 수 있고 TEC는 DUT에 직접 접촉할 수 있다. 이러한 구현에서 열 경로는 TEC와 DUT 사이의 직접 경로이거나 이를 포함한다.
이 예에서 냉각판(190)은 적어도 부분적으로 편평한 구조를 가지므로 "판"이라는 용어를 사용한다. 그러나, 냉각판(190)은 입방체 구조 또는 다면체 구조를 포함하는 임의의 적절한 구조를 가질 수 있다. 냉각판은 냉각판으로, 또는 그를 통해 및/또는 그 위로 흐르는 액체 냉각제 도관을 사용하여 온도가 낮아질 수 있다. 사용될 수 있는 액체 냉각제의 예는 액체 질소, 냉각수, 에틸렌 글리콜 및 물 혼합물, 하이드로플루오로에테르(HFE) 및 실리콘 오일을 포함하지만 이에 제한되지 않는다. 하나 이상의 도관(254)은 냉각판(190)과 액체 냉각제의 공급원(255) 사이에서 액체 냉각제를 수송하도록 구성된다. 공급원은 테스트 시스템의 하우징 내부에 있거나 테스트 시스템 외부에 있을 수 있다. 따라서 액체 냉각제는 냉각판과 공급원 사이를 순환한다. 액체/액체/열 교환기(257)는 냉각수를 사용하여 액체 냉각제를 타겟 온도로 유지하기 위해 액체 냉각제의 순환 경로, 예를 들어 공급원에 배치될 수 있다. 팽창 탱크(260)와 함께 압력 조절기(259)는 도관 내의 액체 냉각제의 압력을 유지하도록 구성될 수 있다. 일부 예에서, 본 명세서에 기술된 제어 시스템은 도 64에 도시된 액체 냉각제의 흐름을 제어하고, 및 화씨 68℉(섭씨 20℃) 이하에서 냉각판에 도달하는 액체 냉각제의 온도를 유지하기 위해 액체/액체/열 교환기(257)의 제어 작동을 제어할 수 있다. 일부 예에서, 제어 시스템은 순환하는 액체 냉각제의 온도를 상이한 온도로 유지하기 위해 이러한 작동을 제어할 수 있다.
각 테스트 사이트에 대한 액체 냉각제의 흐름은 각 테스트 사이트에서 DUT의 온도에 영향을 미치도록(예를 들어, 낮추기 위해) 독립적이고 비동기적으로 제어할 수 있다. 본 명세서에 기술된 제어 시스템은 예를 들어 테스트 사이트의 온도 센서로부터의 능동 피드백에 기초하여 테스트 사이트로의 액체 냉각제의 흐름을 제어할 수 있다. 온도 센서는 DUT에 근접한 온도를 검출하기 위해 캡(192)에, 캡 위에, 또는 캡 근처에서의 제1 온도 센서, 및 캡에, 캡 위에, 또는 캡 근처에 있지만, 제1 온도 센서보다 DUT로부터 더 멀리 떨어진 제2 온도 센서를 포함할 수 있다. 덮개의 다양한 위치에 걸쳐 분산될 수 있는 추가 또는 더 적은 온도 센서가 사용될 수 있다. 이 예에서 2개의 온도 센서는 온도 데이터를 제어 시스템으로 보낸다. 제어 시스템은 DUT를 테스트하기 위해 실행되는 하나 이상의 테스트 프로그램의 요구 사항에 기초하여 감지된 온도를 기반으로 DUT의 온도를 제어하도록 구성된다.
도 67에 도시된 바와 같이, 열 제어 시스템(250)은 냉각판(190)으로 그리고 냉각판(190)으로부터 도관을 통한 액체 냉각제의 흐름을 제어하기 위한 하나 이상의 밸브를 포함할 수 있다. 예를 들어, 밸브(262)는 냉각판(190)으로 냉각제가 흐르도록 개방되거나 또는 냉각제가 냉각판(190)으로 흐르는 것을 방지하기 위해 폐쇄된다. 일부 구현예에서, 밸브는 냉각판으로 및/또는 냉각판으로부터 운반되는 액체 냉각제의 체적을 조절하기 위해 부분적으로 또는 비례적으로 개방될 수 있다. 더 짧은 시간 동안 제공되는 더 많은 체적의 액체 냉각제는 더 오랜 기간 동안 더 적은 체적의 액체 냉각제를 제공하는 것보다 더 큰 온도 변화율을 유발할 수 있다.
열 제어 시스템은 또한 냉각판에 매립되거나 그 위에 배치된 하나 이상(예를 들어 2개)의 히터(264)를 포함할 수 있다. 히터는 제어 시스템에 의해 조정되어 냉각판의 온도를 높이고, TEC 및 캡을 통한 전도를 통해 테스트 중에 DUT의 온도를 높일 수 있다. 히터는 냉각판에 대한 동일하거나 실질적으로 동일한 열 분배를 보장하는 냉각판 상의 위치에 배열될 수 있다. 예를 들어 이러한 온도 증가는 테스트 프로그램의 요구 사항일 수 있다. 가열 사이클 동안, 냉각판으로의 액체 냉각제의 흐름은 히터에 의해 생성된 가열을 상쇄하지 않도록 중단되거나 감소될 수 있다. 시스템은 테스트에 필요한 미리 정의된 속도보다 크거나 같은 속도로 냉각판을 가열하도록 히터를 제어할 수 있다. 액체 냉각제를 사용하여 냉각하는 동안, 액체 냉각제에 의해 생성된 냉각을 상쇄하지 않도록 히터를 끄거나 낮출 수 있다.
도 68은 DUT에 대한 열 및 환경 인클로저(230)를 포함하는 구현에서 열 제어 시스템의 구성요소를 도시한다. 도 68의 다른 구성요소는 도 67에도 표시된 것과 동일하다. 이 예에서, 적어도 액체 냉각제, 히터, 인클로저(230)에 의해 생성된 물리적 및 열적 격리의 조합은 테스트 시스템이 다른 테스트 사이트의 다른 DUT의 테스트와 독립적으로 그리고 비동기적으로 DUT를 테스트할 수 있게 한다. 도 68은 또한 진공 압력 또는 퍼지 가스 및/또는 이온화된 가스를 인클로저 내로 도입하기 위해 인클로저(230)에 연결된 피팅을 도시한다. 이 예에서, 피팅은 제어 시스템에 의해 제어되는 밸브(265)를 포함한다. 밸브는 인클로저에 진공 압력 또는 진공(즉, 흡입)을 도입하기 위해 열리거나 진공 압력이 인클로저에 도달하는 것을 방지하기 위해 닫히도록 제어할 수 있다. 밸브는 인클로저에 퍼지 가스를 도입하기 위해 열리거나 퍼지 가스가 인클로저에 도달하는 것을 방지하기 위해 닫히도록 제어 가능할 수 있다. 밸브는 이온화된 공기 공급원에서 인클로저로 이온화된 공기를 도입하기 위해 열리거나 이온화된 공기가 인클로저에 도달하는 것을 방지하기 위해 닫히도록 제어할 수 있다. 일부 구현예에서, 퍼지 가스 및 이온화된 공기는 혼합되어 인클로저(230)에 동시에 제공될 수 있다.
작동 시, 테스트 소켓의 DUT 온도는 열 전도성인 냉각판(190)의 온도를 변경하여 제어된다. 이는 냉각판을 통해 흐르는 액체 냉각제의 양을 제어하고 및/또는 냉각판과 접촉하는 하나 이상의 히터의 작동을 제어하여 냉각판의 온도를 제어함으로써 이루어진다. TEC는 DUT의 온도를 제어하기 위해 플레이트와 DUT 사이에서 열을 전달하도록 제어된다. 가열 테스트 후, 히터를 끄고 액체 냉각제가 구조를 통해 흐르도록 제어하여 구조를 68℉(20℃)와 같은 취급 온도로 냉각할 수 있다.
여기에 설명된 테스트 시스템의 일부 구현에서, 자동화된 갠트리는 테스트 사이트의 수평면에 대해 이동하는 하나 이상의 갠트리 빔을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 69에 도시된 바와 같이, 예시적인 테스트 시스템(270)은 2개의 갠트리 빔(271, 272)을 포함할 수 있고, 이들 각각은 본 명세서에 설명된 바와 같이 동작하고 본 명세서에 설명된 특징 및 작동성을 갖는 별도의 피커 세트를 포함한다. 작동 중에, 갠트리 빔(271, 272)은 제어 시스템에 의해 제어되어 2개의 갠트리 빔이 동시에 또는 상이한 시간에 상이한 행의 트레이 및 소켓에 액세스할 수 있도록 한다. 예를 들어, 갠트리 빔(270)은 트레이(275, 276)의 전면 절반에 접근할 수 있고 테스트 소켓의 전면 절반에 서비스할 수 있으며, 갠트리 빔(272)(갠트리 빔(271)의 뒤에 있음)은 트레이(275, 276)의 후면 절반에 접근할 수 있고 테스트 소켓의 후면 절반에 서비스한다. 작동 시, 갠트리 빔(271, 272)은 동시에 또는 동시적으로 트레이(276)의 전면 및 후면 절반부로부터 장치를 회수하고, 동시에 또는 동시적으로 각각의 소켓에서 픽 앤 플레이스 작업을 수행한 다음, 동시에 또는 동시적으로 피더로 다시 이동하여 트레이(275)의 테스트된 장치를 증착하고 및 트레이(276)로부터 테스트되지 않은 장치를 회수하도록 한다. 일부 구현에서, 시스템은 각각이 각각의 피커를 포함하고 여기에 설명된 방식으로 작동하여 시스템 상에 포함된 테스트 소켓의 비례적인 부분을 제공하도록 하는 3개의 갠트리 빔 또는 4개의 갠트리 빔과 같은 2개 이상의 갠트리 빔을 포함할 수 있다. 일부 구현에서, 대향 팩의 쌍당 하나의 갠트리 빔이 있을 수 있다. 일부 구현에서, 각각의 갠트리 빔은, 시스템의 모든 소켓에 서비스를 제공하도록 구성될 수 있어 시스템이 전체 작업 영역에 걸쳐 테스트하는 것을 막지 않고 하나 이상의 추가 갠트리 빔이 작동하지 않게 할 수 있다. 테스트 시스템(270)의 다른 특징은 본 명세서에서 설명된 바와 같을 수 있다.
도 69에 도시된 바와 같은 구현에서, 소켓은 본원에 기술된 바와 같이 피커가 소켓 위치에 도달한 시간까지 개방하도록 갠트리 빔과 그 위의 피커 모두의 움직임에 기초하여 제어할 수 있다.
예시적 구현에서, 테스트 시스템은 폭 1.6m, 길이 8m이다. 그러나 테스트 시스템은 이러한 치수로 제한되지 않으며 임의의 적절한 크기일 수 있다. 테스트 시스템은 사용자의 요구에 맞게 확장될 수 있다.
여기에 설명된 예시적인 시스템은 하드웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합을 포함하는 하나 이상의 컴퓨터 시스템을 이용하여 구현 및/또는 제어될 수 있다. 예를 들어, 여기에 설명된 것과 같은 시스템은 자동화된 엘리먼트의 작동을 제어하기 위해 시스템의 다양한 지점에 위치한 다양한 컨트롤러 및/또는 처리 장치를 포함할 수 있다. 중앙 컴퓨터는 다양한 컨트롤러 또는 처리 장치 간의 작업을 조정할 수 있다. 중앙 컴퓨터, 컨트롤러 및 처리 장치는 다양한 자동 엘리먼트의 제어 및 조정에 영향을 미치는 다양한 소프트웨어 루틴을 실행할 수 있다.
본원에 기술된 예시적 시스템은 예를 들어 프로그래밍 가능한 프로세서, 컴퓨터, 다수의 컴퓨터, 및/또는 프로그래밍 가능한 논리 구성요소와 같은 하나 이상의 데이터 처리 장치에 의해 실행하도록 또는 그의 동작을 제어하기 위해 하나 이상의 비일시적인 기계 판독가능 매체와 같은 하나 이상의 정보 반송파에서 유형으로 구현된, 예를 들어 하나 이상의 컴퓨터 프로그램과 같은 하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품을 이용하여 적어도 부분적으로 제어될 수 있다.
컴퓨터 프로그램은 컴파일 언어나 인터프리트 언어를 포함하여 임의의 형태의 프로그래밍 언어로 작성될 수 있으며, 이는 독립 실행형 프로그램이나 모듈, 컴포넌트, 서브루틴 또는 컴퓨터 환경에서의 사용에 적합한 기타 유닛을 포함하여 모든 형태로 배포될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 한 컴퓨터 또는 한 사이트의 여러 컴퓨터에서 실행되도록 배포되거나 여러 사이트에 걸쳐 배포되고 네트워크로 상호 연결될 수 있다.
테스트의 전부 또는 일부를 구현하는 것과 관련된 작업은 본원에 기술된 기능들을 수행하기 위해 하나 이상의 컴퓨터 프로그램을 실행하는 하나 이상의 프로그래밍 가능한 프로세서에 의해 수행될 수 있다. 테스트의 전체 또는 일부는 예를 들어 FPGA(Field Programmable Gate Array) 및/또는 ASIC(Application-Specific-Integrated Circuit)과 같은 전용 논리 회로를 이용하여 구현될 수 있다.
컴퓨터 프로그램의 실행에 적합한 프로세서는 예를 들어 범용 및 전용 마이크로프로세서, 및 임의의 종류의 디지털 컴퓨터의 임의의 하나 이상의 프로세서를 포함한다. 일반적으로, 프로세서는 판독 전용 저장 영역이나 랜덤 액세스 저장 영역 또는 둘 다에서 명령과 데이터를 수신한다. (서버를 포함한)컴퓨터의 엘리먼트는 명령을 실행하기 위한 하나 이상의 프로세서 및 명령 및 데이터를 저장하기 위한 하나 이상의 저장 영역 장치를 포함한다. 일반적으로, 컴퓨터는 또한 예를 들어, 자기, 광자기 디스크, 또는 광학 디스크와 같은 데이터를 저장하기 위한 대용량 저장 장치와 같은 하나 이상의 기계 판독 가능 저장 매체를 포함하거나, 그로부터 데이터를 수신하거나 그로 데이터를 전송하거나 둘 모두를 하도록 작동 가능하게 연결된다. 컴퓨터 프로그램 명령 및 데이터를 구현하기에 적합한 기계 판독 가능 저장 매체는 예를 들어 EPROM, EEPROM 및 플래시 저장 영역 디바이스와 같은 반도체 저장 영역 디바이스; 예를 들어, 내장 하드 디스크 또는 착탈식 디스크와 같은 자기 디스크; 광자기 디스크; 및 CD-ROM 및 DVD-ROM 디스크를 포함하는 모든 형태의 비휘발성 저장 영역을 포함한다.
본원에서 이용된 임의의 "전기 연결"은 개재한 구성요소를 포함하거나 포함하지 않지만, 연결된 구성요소 사이에 전기 신호가 흐를 수 있도록 허용하는 직접 물리적 연결 또는 유선 또는 무선 연결을 포함할 수 있다. 다르게 언급되지 않는다면, 신호가 흐르도록 하는 전기 회로를 포함하는 임의의 "연결"은 전기 연결을 포함하며, "전기"라는 단어가 "연결"을 변조시키는 데에 이용되는 것에도 불구하고 반드시 직접적인 물리적 연결은 아니다.
본원에 기술된 상이한 구현의 엘리먼트는 상기에서 구체적으로 설명되지 않은 다른 실시예들을 형성하기 위해 결합될 수 있다. 엘리먼트는 일반적으로 그것들의 동작에 부정적인 영향을 미치지 않으면서 본원에 기술한 구조들에서 제외될 수 있다. 또한, 본원에서 설명하는 기능을 수행하기 위해 다양한 별개의 엘리먼트가 하나 이상의 개별 엘리먼트로 결합될 수 있다.

Claims (27)

  1. 테스트 시스템용 테스트 소켓에 있어서, 상기 테스트 소켓은:
    피시험 장치(DUT)에 전기 및 기계적 연결을 하기 위한 리셉터클; 및
    상기 리셉터클에 상기 DUT를 수용할 수 있게 자동으로 열리고, 상기 DUT를 수용한 후 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮기 위해 자동으로 닫히도록 제어 가능한, 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮는 덮개로서, 상기 덮개를 닫으면 상기 DUT에 힘이 인가되어 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이에 상기 전기 및 기계적 연결이 완료되는 상기 덮개;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 덮개의 개폐를 제어하는 액추에이터로서, 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키도록 구성된 상기 액추에이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 액추에이터에 연결되고, 상기 리셉터클에 대해 상기 덮개를 수직으로 이동시키는 데에 이용가능한 기어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  4. 제3항에 있어서, 상기 액추에이터는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  5. 제4항에 있어서, 상기 모터의 토크는 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료하기 위해 상기 DUT에 클램핑력을 제공하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  6. 제1항에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 덮개의 움직임을 유발하고 상기 DUT에 클램핑력을 제공하여 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료하도록 구성된 나선형 웜(helical worm) 구동 나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  7. 제2항에 있어서, 상기 액추에이터는 유압식 액추에이터 또는 공압식 액추에이터 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 리셉터클에 대해 수직으로 연장되는 제1 브랜치와 상기 리셉터클에 대해 비스듬하게 연장되는 제2 브랜치를 가진 트랙을 구비한 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  9. 제8항에 있어서, 상기 덮개는 롤러를 포함하고, 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키기 위해 상기 제1 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키고, 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키기 위해 상기 제2 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  10. 제1항에 있어서,
    열전 냉각기(TEC)와 열 전도성이 있는 상기 덮개에 연결된 구조물을 포함하고, 상기 테스트 소켓에 있는 상기 DUT의 온도를 다른 테스트 소켓에 있는 다른 DUT의 온도 제어와 별도로 제어하는 열 제어 시스템으로서, 상기 TEC는 상기 DUT와 상기 구조물 사이의 열 전달에 의해 상기 DUT의 온도를 제어하도록 상기 DUT와 열이 통하는 상기 열 제어 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  11. 제1항에 있어서, 상기 열 제어 시스템은 상기 구조물의 온도를 낮추기 위해 상기 구조물을 통해 흐르는 액체 냉각제를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  12. 제11항에 있어서, 상기 액체 냉각제는 액체 질소를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  13. 제10항에 있어서, 상기 열 제어 시스템은 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  14. 제1항에 있어서,
    제1 트랙을 포함하고, 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 플레이트;
    제2 트랙을 포함하고, 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 플레이트;
    상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 롤러; 및
    상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 롤러;
    를 더 포함하고,
    상기 덮개를 개폐하는 동안, 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고, 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 트랙 중 적어도 하나와 상기 제2 트랙 중 적어도 하나는 직각 트랙을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  16. 제14항에 있어서, 상기 제1 플레이트는 단일 플레이트이고, 상기 제2 플레이트는 단일 플레이트인 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 덮개가 연결되는 힌지로서, 상기 덮개를 가압하여 상기 DUT에 힘을 가해 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이의 상기 전기 및 기계적 연결을 완료할 수 있는 스프링을 포함하는 상기 힌지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  18. 제1항에 있어서,
    제1 트랙을 포함하는, 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 세트의 플레이트;
    제2 트랙을 포함하는, 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 세트의 플레이트;
    상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 롤러; 및
    상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 롤러;
    를 더 포함하고,
    상기 덮개를 개폐하는 동안, 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고, 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1 세트의 플레이트는 제1 이동 플레이트와 제1 고정 플레이트를 포함하고, 상기 제2 세트의 플레이트는 제2 이동 플레이트와 제2 고정 플레이트를 포함하고; 및
    상기 제1 이동 플레이트는 상기 제1 고정 플레이트에 대해 이동하도록 제어 가능하고, 상기 제2 이동 플레이트는 상기 제2 고정 플레이트에 대해 이동하도록 제어 가능하여 상기 덮개가 개폐하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제1 이동 플레이트는 제1 트랙과 제2 트랙을 포함하고, 상기 제1 고정 플레이트는 제3 트랙과 제4 트랙을 포함하고, 상기 제1 트랙은 상기 제1 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제3 트랙과 교차하고, 상기 제2 트랙은 상기 제1 롤러 중 하나의 위치에서 제4 트랙과 교차하며;
    상기 제2 이동 플레이트는 제5 트랙과 제6 트랙을 포함하고, 상기 제2 고정 플레이트는 제7 트랙과 제8 트랙을 포함하고, 상기 제5 트랙은 상기 제2 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제7 트랙과 교차하고, 상기 제6 트랙은 상기 제2 롤러 중 하나의 위치에서 상기 제8 트랙과 교차하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  21. 제18항에 있어서, 상기 제1 트랙과 상기 제2 트랙 각각은 하나 이상의 만곡부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템용 테스트 소켓.
  22. 제1항의 테스트 소켓을 포함하는 테스트 시스템으로서,
    상기 테스트 소켓에 대해 상기 DUT를 이동시키는 픽 앤 플레이스 로봇;
    을 더 포함하고,
    상기 테스트 시스템은 상기 픽 앤 플레이스 로봇의 작동을 조정하고 상기 픽 앤 플레이스 로봇이 상기 테스트 소켓에 도달할 때 상기 덮개가 피봇되도록 상기 덮개의 개폐를 제어하기 위한 하나 이상의 처리 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
  23. 제22항에 있어서, 상기 하나 이상의 처리 장치는 상기 픽 앤 플레이스 로봇의 움직임에 따라 상기 덮개의 개방을 조정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 픽 앤 플레이스 로봇이 장착되고, 상기 테스트 소켓에서 상기 DUT를 집거나 상기 DUT를 상기 테스트 소켓에 배치하도록 상기 픽 앤 플레이스 로봇을 위치시키기 위해 상기 테스트 소켓에 대해 상기 픽 앤 플레이스 로봇을 이동시키도록 구성되는 갠트리를 더 포함하고,
    상기 테스트 소켓은, 상기 테스트 소켓이 상기 픽 앤 플레이스 로봇에 접근 가능하도록 상기 테스트 소켓의 적어도 하나의 어레이에 배열되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
  25. 팩으로서,
    피시험 장치(DUT) 테스트용 테스트 소켓; 및
    상기 테스트 소켓의 상기 DUT에 대한 테스트를 수행하기 위한 적어도 일부 테스트 전자 기기로서, 상이한 팩들이 상이한 구성을 갖도록 구성되며, 상기 상이한 구성은 상이한 피치로 배열된 적어도 상이한 수의 테스트 소켓들을 포함하는 상기 적어도 일부 테스트 전자 기기;
    를 포함하는 상기 팩
    을 포함하고,
    상기 테스트 소켓들 중 테스트 소켓은,
    DUT를 전기 및 기계적 연결하기 위한 리셉터클; 및
    상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮는 덮개로서, 상기 리셉터클에 상기 DUT를 수용할 수 있도록 자동으로 열리고, 상기 DUT를 수용한 후 상기 덮개를 자동으로 닫아서 상기 리셉터클에 있는 상기 DUT를 덮고, 상기 덮개를 닫으면 상기 DUT에 힘이 인가되어 상기 테스트 소켓과 상기 DUT 사이에 상기 전기 및 기계적 연결을 하는 상기 덮개;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
  26. 제25항에 있어서, 상기 테스트 소켓은:
    상기 덮개의 개폐를 제어하는 액추에이터로서, 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 덮개에 대해 피봇시키도록 구성되는 상기 액추에이터;
    를 포함하고,
    상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키고 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 피봇시키도록 구성되며;
    상기 테스트 소켓은 상기 리셉터클에 대해 수직으로 연장되는 제1 브랜치와 상기 리셉터클에 대해 비스듬하게 연장되는 제2 브랜치를 갖는 트랙을 갖는 플레이트를 포함하고; 및
    상기 덮개는 롤러를 포함하고, 상기 액추에이터는 상기 덮개를 상기 리셉터클에 대해 수직으로 이동시키기 위해 상기 제1 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키고, 상기 리셉터클에 대해 상기 덮개를 피봇시키기 위해 상기 제2 브랜치를 따라 상기 롤러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
  27. 제25항에 있어서, 상기 테스트 소켓은:
    제1 트랙을 포함하고, 상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 플레이트;
    제2 트랙을 포함하고, 상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 플레이트;
    상기 덮개의 제1 측면 상에 있는 제1 롤러; 및
    상기 덮개의 제2 측면 상에 있는 제2 롤러;
    를 포함하고,
    상기 덮개를 개폐하는 동안, 상기 제1 롤러는 상기 제1 트랙을 따라 이동하고, 상기 제2 롤러는 상기 제2 트랙을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
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