KR20220011576A

KR20220011576A - 전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치

Info

Publication number: KR20220011576A
Application number: KR1020210073651A
Authority: KR
Inventors: 히로미츠 호리노; 요시타카 다케우치; 요시노리 아라이; 히로유키 기쿠치
Original assignee: 주식회사 아도반테스토
Priority date: 2020-07-21
Filing date: 2021-06-07
Publication date: 2022-01-28
Also published as: TW202204912A; CN113960386A; US20220026486A1; TWI815114B; JP2022021241A; US11714124B2; KR102642801B1

Abstract

(과제) 사용자의 요구에 대하여 사양을 저비용으로 최적화하는 것이 가능한 전자부품 핸들링장치를 제공한다.
(해결 수단) DUT(200)를 핸들링하는 전자부품 핸들링장치(10)는 테스트트레이(110)에 DUT를 탑재한 상태에서 테스터(7)에 접속된 테스트헤드(5A∼5D)에 설치된 소켓(6)에 DUT를 각각 압압하는 복수의 콘택트유닛(60A∼60D)과, DUT를 테스트트레이에 탑재하거나 또는 테스트트레이로부터 DUT를 꺼내는 DUT이재(移載)부(40A, 40B)를 각각 갖는 복수의 이재(移載)유닛(20A, 20B)과, 콘택트유닛과 이재(移載)유닛의 사이에서 테스트트레이를 반송하는 트레이반송유닛(50)을 구비하고, 전자부품 핸들링장치는 콘택트유닛 및 이재(移載)유닛의 적어도 한쪽을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 구성되어 있다.

Description

전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치{Electronic component handling equipment and electronic component testing equipment}

본 발명은 반도체집적회로소자 등의 피시험전자부품(DUT: Device Under Test)의 시험에 이용되는 전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치에 관한 것이다.

DUT의 시험에 이용되는 전자부품 핸들링장치는 로더부와 챔버부와 언로더부를 구비하고 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 로더부는 미시험의 DUT를 커스터머트레이로부터 테스트트레이에 옮겨싣고(移載) 상기 테스트트레이를 챔버부에 이송한다. 챔버부는 DUT에 소정의 열스트레스를 인가함과 동시에 테스트헤드에 장착된 소켓에 DUT를 강압함으로써 테스트트레이에 탑재한 상태에서 DUT를 시험한다. 언로더부는 시험이 끝난 DUT를 시험결과에 따라 분류하면서 상기 DUT를 테스트트레이로부터 커스터머트레이에 옮겨싣는다(移載).

일본 특허공개 2014-006097호 공보

상기한 전자부품 핸들링장치는 시장에 있어서의 많은 요구를 포괄적으로 만족시키는 사양을 갖고 있다. 또한 상기한 전자부품 핸들링장치는 단일의 프레임으로 구성되어 있기 때문에 사양의 변경에는 대폭적인 개조를 필요로 하는 경우가 있다. 그 때문에 개개의 사용자 요구에 대하여 전자부품 핸들링장치의 사양이 오버스펙이 되거나 사양의 최적화를 위해서 전자부품 핸들링장치의 고비용화를 초래한다는 문제가 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 사용자의 요구에 대하여 사양을 저비용으로 최적화하는 것이 가능한 전자부품 핸들링장치 및 그것을 구비한 전자부품 시험장치를 제공하는 것이다.

[1] 본 발명에 관한 전자부품 핸들링장치는 DUT를 핸들링하는 전자부품 핸들링장치로서, 제1트레이에 상기 DUT를 탑재한 상태에서 테스터에 접속된 테스트헤드에 설치된 소켓에 상기 DUT를 각각 압압하는 복수의 콘택트유닛과, 상기 DUT를 상기 제1트레이에 탑재하거나 또는 상기 제1트레이로부터 상기 DUT를 꺼내는 DUT이재(移載)부를 각각 갖는 복수의 이재(移載)유닛과, 상기 콘택트유닛과 상기 이재(移載)유닛의 사이에서 상기 제1트레이를 반송하는 트레이반송유닛을 구비하고, 상기 전자부품 핸들링장치는 상기 콘택트유닛 및 상기 이재(移載)유닛의 적어도 한쪽을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 구성되어 있는 전자부품 핸들링장치이다.

[2] 상기 발명에 있어서 상기 DUT이재(移載)부는 상기 트레이반송유닛의 상방에 배치되어 있어도 된다.

[3] 상기 발명에 있어서 상기 복수의 콘택트유닛은 수평방향에 실질적으로 평행한 제1방향을 따라 나열되고, 상기 복수의 이재(移載)유닛도 상기 제1방향을 따라 나열되어 있고, 상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이를 제1방향을 따라 반송하여도 된다.

[4] 상기 발명에 있어서 상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이를 수직상태로 상기 트레이반송유닛에 전달하는 제1트레이이동장치를 구비하고 있어도 된다.

[5] 상기 발명에 있어서 상기 제1트레이이동장치는 상기 제1트레이의 길이방향을 따라 상기 제1트레이를 이동시켜도 된다.

[6] 상기 발명에 있어서 상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이를 수직상태로 지지하는 것이 가능한 트레이지지장치를 구비하고 있어도 된다.

[7] 상기 발명에 있어서 상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이의 자세를 수평상태와 수직상태의 사이에서 변환하는 자세변환장치를 구비하고 있어도 된다.

[8] 상기 발명에 있어서 상기 자세변환장치는 상기 제1트레이의 제1변의 위치를 수평방향에 있어서 유지한 상태에서 상기 제1변을 상승 또는 하강시키면서 상기 제1트레이에 있어서 상기 제1변에 대향하는 제2변을 수평이동시킴으로써 상기 제1트레이의 자세를 변환하여도 된다.

[9] 상기 발명에 있어서 상기 이재(移載)유닛은 제2트레이를 격납하고 있는 트레이격납부를 구비하고 있고, 상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이와 상기 제2트레이의 사이에서 상기 DUT를 옮겨실어도(移載) 된다.

[10] 상기 발명에 있어서 상기 DUT이재(移載)부는 상기 트레이격납부의 상방에 배치되어 있어도 된다.

[11] 상기 발명에 있어서 상기 트레이격납부는 상기 제2트레이를 지지하는 복수의 제1지지장치와, 상기 제2트레이를 상기 제1지지장치 사이에서 이동시키는 제2트레이이동장치를 구비하여도 된다.

[12] 상기 발명에 있어서 서로 인접하는 상기 이재(移載)유닛은 상기 트레이격납부끼리의 사이에 배치되고, 상기 제2트레이를 이동시키는 제3트레이이동장치를 구비하고 있고, 상기 제3트레이이동장치의 동작범위는 서로 인접하는 상기 이재(移載)유닛의 상기 제2트레이이동장치의 양쪽의 동작범위와 수직방향에 있어서 중복되어 있어도 된다.

[13] 상기 발명에 있어서 상기 복수의 이재(移載)유닛은 미시험의 상기 DUT를 제2트레이로부터 상기 제1트레이에 옮겨싣는(移載) 로더부를 구비한 로더유닛과, 시험이 끝난 상기 DUT를 상기 제1트레이로부터 상기 제2트레이에 옮겨싣는(移載) 언로더부를 구비한 언로더유닛을 포함하고 있어도 된다.

[14] 상기 발명에 있어서 상기 전자부품 핸들링장치가 구비하는 상기 로더유닛의 수는 상기 전자부품 핸들링장치가 구비하는 상기 언로더유닛의 수와 상이하여도 된다.

[15] 상기 발명에 있어서 각각의 상기 콘택트유닛은 다른 상기 콘택트유닛과는 독립하여 상기 DUT의 온도를 조정 가능함과 함께 상기 테스트헤드에 설치된 소켓에 상기 DUT를 압압 가능하고, 상기 전자부품 핸들링장치는 상기 콘택트유닛을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 구성되어 있어도 된다.

[16] 상기 발명에 있어서 상기 DUT이재(移載)부는 상기 DUT를 제1트레이와 제2트레이의 사이에서 옮겨실어도(移載) 된다.

[17] 상기 발명에 있어서 상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이를 수직상태로 반송하여도 된다.

[18] 상기 발명에 있어서 상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이의 주면(主面)에 실질적으로 평행한 방향을 따라 상기 제1트레이를 반송하여도 된다.

[19] 상기 발명에 있어서 상기 트레이반송유닛은 상기 이재(移載)유닛과의 사이에서 상기 제1트레이를 수직상태로 전달함과 함께 상기 콘택트유닛과의 사이에서도 상기 제1트레이를 수직상태로 전달하여도 된다.

[20] 상기 발명에 있어서 상기 복수의 콘택트유닛은 수평방향에 실질적으로 평행한 제1방향을 따라 나열되어 있고, 상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이의 주면(主面)이 상기 제1방향에 실질적으로 평행한 상태에서 상기 제1트레이를 상기 제1방향을 따라 반송하여도 된다.

[21] 상기 발명에 있어서 상기 트레이반송유닛은 상기 복수의 콘택트유닛의 배열방향인 제1방향을 따라 설치된 레일과, 상기 레일상을 이동하는 것이 가능한 이동부를 구비하고 있고, 상기 이동부는 상기 제1트레이를 지지하는 것이 가능한 트레이지지장치를 구비하고 있어도 된다.

[22] 상기 발명에 있어서 상기 트레이지지장치는 상기 제1트레이를 수직상태로 지지하는 것이 가능하여도 된다.

[23] 상기 발명에 있어서 상기 트레이지지장치는 상기 제1트레이의 법선방향을 따라 상기 제1트레이를 이동시킴으로써 상기 제1트레이를 상기 콘택트유닛에 반입출하여도 된다.

[24] 상기 발명에 있어서 상기 이동부는 상기 트레이지지장치를 상기 레일상에서 이동시키는 구동장치를 구비하고 있어도 된다.

[25] 상기 발명에 있어서 상기 구동장치는 피니언기어가 장착된 회전축을 갖는 회전모터를 포함하고, 상기 트레이반송유닛은 상기 레일에 병설되고, 상기 피니언기어가 맞물려(咬合) 있는 랙기어를 구비하고 있어도 된다.

[26] 상기 발명에 있어서 상기 콘택트유닛은 상기 DUT에 열스트레스를 인가하는 열인가부와 상기 DUT를 상기 소켓에 압압하는 압압부와 상기 DUT로부터 상기 열스트레스를 제거하는 열제거부를 구비하고, 상기 열인가부, 상기 압압부 및 상기 열제거부는 수직방향을 따라 나열되어 있고, 상기 열인가부는 상기 압압부보다 하방에 배치되고, 상기 열제거부는 상기 압압부보다 상방에 배치되어 있어도 된다.

[27] 상기 발명에 있어서 상기 콘택트유닛은 상기 제1트레이를 상기 열인가부로부터 상기 압압부에 이동시킴과 함께 상기 제1트레이를 상기 압압부로부터 상기 열제거부에 이동시키는 제4트레이이동장치를 구비하고 있어도 된다.

[28] 상기 발명에 있어서 상기 제4트레이이동장치는 상기 제1트레이의 길이방향을 따라 상기 제1트레이를 이동시켜도 된다.

[29] 상기 발명에 있어서 상기 압압부는 상기 제1트레이를 수직으로 한 상태에서 상기 DUT를 상기 소켓을 향하여 수평방향에 압압하는 압압장치를 구비하고 있고, 상기 제4트레이이동장치는 상기 제1트레이를 수직상태로 이동시키고, 상기 콘택트유닛은 상기 열인가부에 있어서 상기 제1트레이의 법선방향인 제2방향을 따라 상기 제1트레이를 수직상태로 이동시키는 제5트레이이동장치와, 상기 열제거부에 있어서 상기 제2방향과는 반대의 제3방향을 따라 상기 제1트레이를 수직상태로 이동시키는 제6트레이이동장치를 구비하고 있어도 된다.

[30] 상기 발명에 있어서 상기 콘택트유닛은 상기 제1트레이를 상기 콘택트유닛으로부터 출납 가능한 액세스부를 구비하고, 상기 열제거부, 상기 액세스부 및 상기 열인가부는 수직방향을 따라 나열되어 있고, 상기 열인가부는 상기 액세스부보다 하방에 배치되고, 상기 열제거부는 상기 액세스부보다 상방에 배치되어 있고, 상기 트레이반송유닛은 상기 액세스부를 통하여 상기 제1트레이를 수직상태로 상기 콘택트유닛에 반입출하여도 된다.

[31] 상기 발명에 있어서 상기 콘택트유닛은 상기 제1트레이를 수직상태로 상기 열제거부로부터 상기 액세스부에 이동시킴과 함께 상기 제1트레이를 수직상태로 상기 액세스부로부터 상기 열인가부에 이동시키는 제7트레이이동장치를 구비하고 있어도 된다.

[32] 본 발명에 관한 전자부품 시험장치는 DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서, 상기한 전자부품 핸들링장치와 상기 콘택트유닛에 장착되는 복수의 테스트헤드와 상기 테스트헤드에 전기적으로 접속된 테스터를 구비한 전자부품 시험장치이다.

[33] 상기 발명에 있어서 상기 복수의 테스트헤드는 1대의 상기 테스터에 접속되어 있어도 된다.

본 발명에서는 전자부품 핸들링장치는 상기 콘택트유닛 및 상기 이재(移載)유닛의 적어도 한쪽을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 이에 의해 사용자의 요구에 최적인 유닛을 조합합으로써 전자부품 핸들링장치를 구성할 수 있으므로 사용자의 요구에 대하여 전자부품 핸들링장치의 사양을 저비용으로 최적화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치를 도시한 단면도이고, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 있어서의 핸들러에서의 테스트트레이의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 있어서의 로더유닛의 내부구조를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 있어서의 로더유닛 및 언로더유닛의 내부구조를 도시한 정면도이고, 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 트레이격납부를 본 정면도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 있어서의 로더유닛의 내부구조를 도시한 평면도이고, 도 4의 VI-VI선을 따라 로더부를 본 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 있어서의 언로더유닛으로부터 로더유닛에 빈 테스트트레이를 회송하는 트레이회송장치를 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛 및 콘택트유닛을 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛을 도시한 측면도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛을 도시한 정면도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 있어서의 콘택트유닛의 내부구조를 도시한 단면도이다.
도 12의 (a)는 1024개의 동시측정수에 대응하도록 구성한 핸들러를 도시한 도면이고, 도 12의 (b)는 768개의 동시측정수에 대응하도록 구성한 핸들러를 도시한 도면이다.
도 13의 (a)는 로더유닛을 2대 구비한 핸들러를 도시한 도면이고, 도 13의 (b)는 언로더유닛을 2대 구비한 핸들러를 도시한 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1은 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치를 도시한 단면도이고, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 단면도이다. 도 3은 본 실시형태에 있어서의 핸들러에서의 테스트트레이의 흐름을 나타내는 도면이다.

본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치(1)는 DUT(200)에 고온 또는 저온의 열스트레스를 인가한 상태(혹은 상온의 상태)에서 상기 DUT(200)의 전기적 특성을 시험하고, 그 시험결과에 따라 DUT(200)를 분류하는 장치이다. 시험대상인 DUT(200)의 구체예로서는 메모리계 디바이스를 예시할 수 있다. 또한 전자부품 시험장치(1)의 시험대상인 DUT(200)는 전자부품이라면 특별히 상기에 한정되지 않고, 예를 들어 SoC(System on a chip)나 로직계 디바이스여도 된다.

상기 전자부품 시험장치(1)는 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이 4개의 테스트헤드(5A~5D)(도 3 및 도 12의 (a) 참조)와 1개의 테스터(메인프레임)(7)와 핸들러(10)를 구비하고 있다. 또한 후술하는 바와 같이 전자부품 시험장치가 갖는 테스트헤드의 수는 상기에 특별히 한정되지 않는다. 또한 전자부품 시험장치가 복수의 테스터를 구비하고 있어도 된다. 본 실시형태에 있어서의 핸들러(10)가 본 발명에 있어서의 "전자부품 핸들링장치"의 일례에 상당한다.

테스트헤드(5A~5D)는 테스트시에 DUT(200)가 전기적으로 접속되는 복수의 소켓(6)을 각각 갖고 있다. 상기 테스트헤드(5A~5D)는 소켓(6)을 수평방향을 향한 자세로 핸들러(10)의 콘택트유닛(60A~60D)에 각각 장착되어 있다. 각각의 테스트헤드(5A~5D)는 소켓(6)이 콘택트유닛(60A~60D)의 압압장치(631)에 대향하도록 콘택트유닛(60A~60D)에 형성된 개구(63a)를 통하여 제1챔버(601)내에 들어가 있다.

본 실시형태에서는 모든 테스트헤드(5A~5D)가 케이블(8)을 통하여 동일한 테스터(7)에 각각 접속되어 있다. 콘택트유닛(60A~60D)의 압압장치(631)가 DUT(200)를 소켓(6)에 강압하고 있는 상태에서 테스터(7)가 테스트헤드(5A~5D)를 통하여 DUT(200)에 대하여 시험신호를 송출함으로써 상기 DUT(200)의 테스트를 실행한다.

본 실시형태에서는 4개의 테스트헤드(5A~5D)가 갖는 소켓(6)의 합계수와 1개의 테스터(7)의 동시측정수(동시에 시험 가능한 DUT의 수)가 동일하게 되어 있다. 특별히 한정되지 않지만, 일례를 들면 테스터(7)의 동시측정수가 1024개인 경우에 각각의 테스트헤드(5A~5D)가 갖는 소켓(6)의 수는 256개이다. 또한 복수의 테스트헤드가 각각 갖는 소켓의 수가 서로 달라도 된다.

본 실시형태의 핸들러(10)는 커스터머트레이(100)로부터 테스트트레이(110)에 DUT(200)를 옮겨 상기 테스트트레이(110)에 탑재한 상태에서 DUT(200)를 테스트헤드(5A~5D)의 소켓(6)에 강압하는 장치이다. 상기 핸들러(10)는 도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이 2개의 이재(移載)유닛(20A, 20B)(로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B))과 트레이반송유닛(50)과 4개의 콘택트유닛(60A~60D)을 구비하고 있다.

여기서 커스터머트레이(100)는 상기 핸들러(10)를 이용하는 공정과 다른 공정의 사이에서 복수의 DUT(200)를 반송하기 위한 트레이이다. 상기 커스터머트레이(100)는 수지재료 등으로 구성되어 있는 판형상의 트레이이다. 상기 커스터머트레이(100)는 매트릭스형상으로 배치된 복수의 포켓을 갖고 있고, 각각의 포켓은 DUT(200)를 수용 가능한 오목형상을 갖고 있다. 미시험의 DUT(200)는 상기 커스터머트레이(100)에 탑재된 상태로 전공정으로부터 핸들러(10)에 반입된다. 또한 시험이 끝난 DUT(200)는 이커스터머트레이(100)에 탑재된 상태로 핸들러(10)로부터 후공정에 반출된다.

이에 대하여 테스트트레이(110)는 복수의 DUT(200)를 수용한 상태로 핸들러(10)내를 순환 반송되는 트레이이다. 상기 테스트트레이(110)는 틀형상의 프레임과, 상기 프레임에 유동 가능하게 지지된 복수의 인서트(111)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 복수의 인서트(111)는 테스트헤드(5A~5D)의 소켓(6)의 배열에 대응하도록 매트릭스형상으로 배치되어 있고, DUT(200)를 각각 수용하는 것이 가능해진다. 상기 테스트트레이(110)의 인서트(111)에 DUT(200)가 수용된 상태에서 압압장치(631)에 의해 상기 DUT(200)가 소켓(6)에 강압됨으로써 DUT(200)의 테스트가 실행된다. 이때 인서트(111)가 프레임에 유동 가능하게 지지되어 있음으로써 복수의 DUT(200)를 소켓(6)에 대하여 서로 독립하여 위치 결정하는 것이 가능해진다.

핸들러(10)의 로더유닛(20A)은 미시험의 DUT(200)를 커스터머트레이(100)로부터 테스트트레이(110)에 옮겨싣고(移載), 상기 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)에 공급한다. 트레이반송유닛(50)은 상기 테스트트레이(110)를 콘택트유닛(60A~60D)의 어느 하나에 반송한다.

그리고 콘택트유닛(60A~60D)은 DUT(200)에 고온 또는 저온의 소정의 열스트레스를 인가한 후, 테스트트레이(110)에 탑재한 상태에서 상기 DUT(200)를 소켓(6)에 강압함으로써 테스터(7)가 DUT(200)의 시험을 실행한다.

이때 전술한 바와 같이 4개의 콘택트유닛(60A~60D)에 테스트헤드(5A~5D)가 개별적으로 장착되어 있기 때문에 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))은 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))과는 독립하여 DUT(200)를 소켓(6)에 강압하는 것이 가능해진다.

또한 본 실시형태에서는 도 3에 도시하는 바와 같이 4개의 콘택트유닛(60A~60D)에 온도조정장치(621A~621D)가 개별적으로 접속되어 있기 때문에 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))은 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))과는 독립하여 DUT(200)의 온도를 조정하는 것이 가능해진다.

따라서 본 실시형태에서는 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))은 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))과는 독립하여 시험을 실행하는 것이 가능해진다. 4개의 콘택트유닛(60A~60D)은 동일한 내용의 시험을 실행하여도 되고, 서로 다른 내용의 시험을 실행하여도 된다. 또한 4개의 콘택트유닛(60A~60D)은 동일한 온도조건으로 시험을 실행하여도 되고, 서로 다른 온도조건으로 시험을 실행하여도 된다.

시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)는 콘택트유닛(60A~60D)으로부터 트레이반송유닛(50)에 배출되고, 트레이반송유닛(50)은 상기 테스트트레이(110)를 언로더유닛(20B)에 반송한다. 그리고 언로더유닛(20B)은 시험이 끝난 DUT(200)를 시험결과에 따라 분류하면서 상기 DUT(200)를 테스트트레이(110)로부터 커스터머트레이(100)에 옮겨싣는다(移載).

또한 트레이반송유닛(50)이 시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)를 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))으로부터 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))에 반송하여도 된다. 이에 의해 동일한 핸들러(10)에 의해 동일한 DUT(200)에 대하여 복수종의 시험을 수행할 수 있다.

본 실시형태에서는 4개의 콘택트유닛(60A~60D)의 장치프레임이 서로 독립하여 분리되어 있다. 상기 4개의 콘택트유닛(60A~60D)은 X방향을 따라 배열되어 있다. 마찬가지로 2개의 이재(移載)유닛(20A, 20B)의 장치프레임도 서로 독립하여 분리되어 있다. 상기 2개의 이재(移載)유닛(20A, 20B)도 X방향을 따라 배열되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 X방향이 본 발명에 있어서의 "제1방향"의 일례에 상당한다.

또한 트레이반송유닛(50)의 장치프레임도 이재(移載)유닛(20A, 20B) 및 콘택트유닛(60A~60D)으로부터 독립하여 분리되어 있고, X방향을 따라 배열되어 있다. 상기 트레이반송유닛(50)은 2개의 이재(移載)유닛(20A, 20B)과 4개의 콘택트유닛(60A~60D)의 사이에 배치되어 있다. 그리고 이들 유닛(20A, 20B, 50, 60A~60D)은 특별히 도시하지 않은 연결구에 의해 용이하게 연결 및 분리하는 것이 가능해진다.

이 때문에 본 실시형태의 핸들러(10)는 동시측정수나 테스트시간 등에 따라 유닛의 수를 임의로 증감하는 것이 가능해진다. 따라서 후술하는 바와 같이 핸들러(10)가 구비하는 콘택트유닛의 수는 특별히 상기에 한정되지 않고, 테스트헤드의 수 등에 따라 설정할 수 있다. 또한 핸들러(10)가 구비하는 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 수도 특별히 상기에 한정되지 않고, 테스트헤드가 갖는 소켓의 수나 테스트시간 등에 따라 임의로 설정할 수 있다.

이하에 상기 핸들러(10)를 구성하는 이재(移載)유닛(20A, 20B), 트레이반송유닛(50) 및 콘택트유닛(60A~60D)의 구성에 대하여 상세하게 설명한다.

도 4는 본 실시형태에 있어서의 로더유닛의 내부구조를 도시한 단면도이다. 도 5는 본 실시형태에 있어서의 로더유닛 및 언로더유닛의 내부구조를 도시한 정면도이고, 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 트레이격납부를 본 정면도이다. 도 6은 본 실시형태에 있어서의 로더유닛의 내부구조를 도시한 평면도이고, 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 로더부를 본 평면도이다. 도 7은 본 실시형태에 있어서의 언로더유닛으로부터 로더유닛에 빈 테스트트레이를 회송하는 트레이회송장치를 도시한 평면도이다.

로더유닛(20A)은 전술한 바와 같이 미시험의 DUT(200)를 커스터머트레이(100)로부터 테스트트레이(110)에 옮겨 상기 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)에 공급하는 유닛이다. 도 4 내지 도 6에 도시하는 바와 같이 상기 로더유닛(20A)은 복수의 커스터머트레이(100)를 격납한 트레이격납부(30)와, 트레이(100, 110) 사이에서 DUT(200)를 옮겨싣는(移載) DUT이재(移載)부(로더부)(40A)를 구비하고 있다.

이에 대하여 언로더유닛(20B)은 시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)으로부터 수납하고, 상기 DUT(200)를 테스트트레이(110)로부터 커스터머트레이(100)에 옮기는 유닛이다. 상기 언로더유닛(20B)도 복수의 커스터머트레이(100)를 격납한 트레이격납부(30)와, 트레이(110, 100) 사이에서 DUT(200)를 옮겨싣는(移載) DUT이재(移載)부(언로더부)(40B)를 구비하고 있다.

상기 로더유닛(20A)과 언로더유닛(20B)은 기본적으로 동일한 구조를 갖고 있으므로 이하에 로더유닛(20A)의 구성에 대하여 상세하게 설명한다. 언로더유닛(20B)의 구성에 대해서는 로더유닛(20A)과 다른 구성에 대해서만 설명한다.

트레이격납부(30)는 로더유닛(20A)에 있어서 복수의 커스터머트레이(100)를 격납하고 있음과 함께 상기 커스터머트레이(100)를 로더부(40A)에 공급하는 부분이다. 상기 트레이격납부(30)는 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이 4개의 스토커(31)와 트레이이송암(32)을 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서의 트레이이송암(32)이 본 발명에 있어서의 "제2트레이이동장치"의 일례에 상당한다.

4개의 스토커(31)는 모두 동일한 구조를 갖고 있고, 서로 포개어 쌓인 복수의 커스터머트레이(100)를 수용하는 것이 가능한 상자모양의 형상을 갖고 있다. 각각의 스토커(31)의 저부에는 커스터머트레이(100)의 적층체를 승강시키는 엘리베이터(311)가 설치되어 있다. 각각의 스토커(31)의 상방에는 창부(211)가 배치되어 있다. 상기 창부(211)는 로더유닛(20A)의 트레이격납부(30)와 로더부(40A)를 나누는 기판(21)에 형성되어 있다. 엘리베이터(311)가 스토커(31)에 격납되어 있는 커스터머트레이(100)를 상승시킴으로써 창부(211)를 통하여 커스터머트레이(100)를 로더부(40A)에 위치시키는 것이 가능해진다. 본 실시형태에 있어서의 엘리베이터(311)가 본 발명에 있어서의 "제1지지장치"의 일례에 상당한다.

본 실시형태에서는 로더유닛(20A)의 트레이격납부(30)의 4개의 스토커(31)에는 미시험의 DUT(200)를 수용한 커스터머트레이(100)가 격납되어 있다. 이에 대하여 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)의 4개의 스토커(31)에는 시험이 끝난 DUT(200)를 수용한 커스터머트레이(100)가 격납되어 있다.

또한 로더유닛(20A)의 일부의 스토커(31)에 DUT(200)를 탑재하지 않은 빈 커스터머트레이(100)를 격납하여도 되고, 언로더유닛(20B)의 일부의 스토커(31)에 DUT(200)를 탑재하지 않은 빈 커스터머트레이(100)를 격납하여도 된다. 또한 후술하는 트레이회송암(33)을 이용하여 로더유닛(20A)의 일부의 스토커(31)에 시험이 끝난 DUT(200)를 탑재한 커스터머트레이(100)를 격납하여도 된다.

상기 핸들러(10)에서는 미시험의 DUT(200)가 탑재된 복수의 커스터머트레이(100)를 격납한 상태의 스토커(31)가 로더유닛(20A)의 트레이격납부(30)에 세팅됨으로써 미시험의 DUT(200)가 전공정으로부터 핸들러(10)에 반입된다. 또한 상기 핸들러(10)에서는 시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 복수의 커스터머트레이(100)를 격납한 상태의 스토커(31)가 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)로부터 꺼내짐으로써 시험이 끝난 DUT(200)가 핸들러(10)로부터 다음 공정에 반출된다.

트레이이송암(32)은 트레이격납부(30)의 4개의 스토커(31)의 사이에서 커스터머트레이(100)를 이동시키는 장치이고, 레일(321)과 트레이지지부(322)를 구비하고 있다. 레일(321)은 X방향을 따라 설치되어 있다. 트레이지지부(322)는 커스터머트레이(100)를 지지 가능한 지지걸이를 갖고 있고, 레일(321)상을 X방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다.

본 실시형태에서는 전술한 바와 같이 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 장치프레임(22)이 서로 독립하여 분리되어 있지만, 상기 장치프레임(22)의 개구(221)를 통하여 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)의 공간끼리는 서로 연결되어 있다. 또한 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 양쪽의 트레이격납부(30)가 전술한 트레이이송암(32)을 각각 구비하고 있지만, 로더유닛(20A)의 트레이이송암(32)의 레일(321)이 언로더유닛(20B)의 트레이이송암(32)의 레일(321)보다 길게 되어 있다. 그리고 상기 로더유닛(20A)의 트레이이송암(32)의 레일(321)이 장치프레임(22)의 개구(221)를 통하여 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)에 들어가 있고, 상기 레일(321)의 단부가 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)내에 위치하고 있다.

또한 본 실시형태에서는 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)은 트레이회송암(33)을 구비하고 있다. 상기 트레이회송암(33)은 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)끼리의 사이에서 커스터머트레이(100)를 이동시키는 장치이고, 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 트레이격납부(30)를 걸치도록 장치프레임(22)의 개구(221)에 배치되어 있다.

상기 트레이회송암(33)은 승강장치(331)와 신축암(332)과 트레이지지부(333)를 구비하고 있다. 승강장치(331)는 신축암(332)을 승강시키는 장치이다. 신축암(332)은 X방향을 따라 신축 가능한 장치이고, 커스터머트레이(100)를 지지 가능한 트레이지지부(333)를 X방향에 이동시키는 것이 가능해진다. 상기 트레이회송암(33)의 동작범위는 수직방향(Z방향)에 있어서 로더유닛(20A)의 트레이이송암(32)의 동작범위와 중복되어 있음과 함께 언로더유닛(20B)의 트레이이송암(32)의 동작범위와도 중복되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 트레이회송암(33)이 본 발명에 있어서의 "제3트레이이동장치"의 일례에 상당한다.

예를 들어 로더유닛(20A)에 있어서 스토커(31)에 격납되어 있는 커스터머트레이(100)를 로더부(40A)에 공급하기 위해서 엘리베이터(311)가 상승하여 상기 커스터머트레이(100)를 창부(211)에 위치시킨다. 그리고 로더부(40A)의 픽앤드플레이스장치(41)에 의해 모든 DUT(200)가 테스트트레이(110)에 옮겨실어져서(移載) 상기 커스터머트레이(100)가 비게 되면 엘리베이터(311)가 하강하여 트레이이송암(32)이 그 빈 커스터머트레이(100)를 지지한다.

그리고 트레이이송암(32)의 트레이지지부(322)가 트레이회송암(33)의 상방까지 이동하고, 트레이회송암(33)이 상기 커스터머트레이(100)를 트레이이송암(32)으로부터 수취한다. 이어서 트레이회송암(33)이 언로더유닛(20B)의 트레이이송암(32)의 하방에 이동하고, 커스터머트레이(100)를 트레이회송암(33)으로부터 상기 트레이이송암(32)에 전달한다. 이상의 동작에 의해 빈 커스터머트레이(100)가 로더유닛(20A)으로부터 언로더유닛(20B)에 회송된다.

로더부(40A)는 로더유닛(20A)에 있어서 트레이격납부(30)로부터 공급된 커스터머트레이(100)로부터 테스트트레이(110)에 DUT(200)를 옮겨싣고(移載) 상기 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)에 공급하는 부분이다. 상기 로더부(40A)는 트레이격납부(30)의 상방에 배치되어 있음과 함께 트레이반송유닛(50)의 상방에 배치되어 있다. 이와 같은 배치를 채택함으로써 핸들러(10)의 점유면적을 작게 할 수 있다.

상기 로더부(40A)는 도 4 및 도 6에 도시하는 바와 같이 픽앤드플레이스장치(41)와 자세변환장치(42)와 수직반송장치(46)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서의 수직반송장치(46)가 본 발명에 있어서의 "제1트레이이동장치"의 일례에 상당한다.

픽앤드플레이스장치(41)는 Y방향레일(411)과 X방향레일(412)과 가동헤드(413)를 구비하고 있다. Y방향레일(411)은 로더유닛(20A)의 트레이격납부(30)와 로더부(40A)를 나누는 기판(21)상에 Y방향을 따라 설치되어 있다. X방향레일(412)은 상기 Y방향레일(411)상을 Y방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다. 가동헤드(413)는 X방향레일(412)상을 X방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다. 또한 상기 가동헤드(413)는 DUT(200)를 흡착 지지하는 것이 가능한 복수의 흡착부(414)를 갖고 있다.

상기 픽앤드플레이스장치(41)의 동작범위는 기판(21)에 형성된 4개의 창부(211)를 포함하고 있음과 함께 자세변환장치(42)의 동작범위의 일부와 중복되어 있다. 따라서 상기 픽앤드플레이스장치(41)는 창부(211)에 위치하는 커스터머트레이(100)로부터 자세변환장치(42)의 동작범위내에 위치하는 테스트트레이(110)에 DUT(200)를 옮겨싣는(移載) 것이 가능해진다. 또한 창부(211)와 자세변환장치(42)의 사이에 DUT(200)를 일시적으로 재치하는 버퍼나 DUT(200)를 위치결정하는 프리사이저가 설치되어 있어도 된다.

자세변환장치(42)는 테스트트레이(110)의 자세를 수평상태와 수직상태의 사이에서 변환하는 장치이다. 상기 자세변환장치(42)는 도 4 및 도 6에 도시하는 바와 같이 수평슬라이드장치(43)와 수직슬라이드장치(44)와 수평이동장치(45)를 구비하고 있다. 또한 자세변환장치(42)의 구성은 테스트트레이(110)의 자세를 수평상태와 수직상태의 사이에서 변환하는 것이 가능한 구성이라면 특별히 한정되지 않는다. 또한 슬라이드장치(43, 44)의 이해를 용이하게 하기 위해서 도 6에서는 수평이동장치(45)의 도시를 생략하고 있다.

여기서 테스트트레이(110)의 자세에 관하여 "수평상태"란 테스트트레이(110)의 주면(主面)(110a)이 수평방향(XY방향)에 대하여 실질적으로 평행한 상태이다. 이에 대하여 "수직상태"란 테스트트레이(110)의 주면(主面)(110a)이 수직방향(Z방향)에 대하여 실질적으로 평행한 상태이다.

수평슬라이드장치(43)는 1쌍의 수평레일(431)과 슬라이더(432)와 에어실린더(433)와 삽입편(434)을 구비하고 있다.

1쌍의 수평레일(431)은 Y방향을 따라 설치되어 있고, 테스트트레이(110)의 폭보다 넓은 간격을 띄워 서로 실질적으로 평행하게 배치되어 있다. 슬라이더(432)는 각각의 수평레일(431)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있고, 특별히 도시하지 않은 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 상기 수평레일(431)상을 Y방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다.

상기 슬라이더(432)상에 에어실린더(433)가 설치되어 있고, 상기 에어실린더(433)의 가동축의 선단에 원기둥형상의 삽입편(434)이 장착되어 있다. 상기 에어실린더(433)는 삽입편(434)끼리가 서로 마주 보도록 슬라이더(432)에 설치되어 있다. 상기 에어실린더(433)는 삽입편(434)을 X방향을 따라 진퇴시키는 것이 가능해져 있고, 에어실린더(433)의 구동에 의해 삽입편(434)끼리가 접근 또는 이반하도록 구성되어 있다. 또한 에어실린더(433) 대신에 모터 및 볼나사기구 등의 다른 액추에이터를 이용하여도 된다.

수직슬라이드장치(44)도 1쌍의 수직레일(441)과 슬라이더(442)와 에어실린더(443)와 삽입편(444)을 구비하고 있다.

1쌍의 수직레일(441)은 Z방향을 따라 설치되어 있고, 테스트트레이(110)의 폭보다 넓은 간격을 띄워 서로 실질적으로 평행하게 배치되어 있다. 상기 수직레일(441)은 전술한 수평레일(431)의 일단(도 4 중 좌단)의 근방에 배치되어 있다. 슬라이더(442)는 각각의 수직레일(441)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있고, 특별히 도시하지 않은 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 상기 수직레일(441)상을 Z방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다.

상기 슬라이더(442)상에 에어실린더(443)가 설치되어 있고, 상기 에어실린더(443)의 가동축의 선단에 원기둥형상의 삽입편(444)이 장착되어 있다. 상기 에어실린더(443)는 삽입편(444)끼리가 서로 마주 보도록 슬라이더(442)에 설치되어 있다. 상기 에어실린더(443)는 삽입편(444)을 X방향을 따라 진퇴시키는 것이 가능해져 있고, 에어실린더(443)의 구동에 의해 삽입편(444)끼리가 접근 또는 이반하도록 구성되어 있다. 또한 에어실린더(443) 대신에 모터 및 볼나사기구 등의 다른 액추에이터를 이용하여도 된다.

여기서 본 실시형태의 테스트트레이(110)의 길이방향을 따른 한쪽 측면에 2개의 오목부(112)가 형성되어 있음과 함께 다른 쪽 측면에도 2개의 오목부(112)가 형성되어 있다. 상기 4개의 오목부(112)는 테스트트레이(110)의 네 귀퉁이에 배치되어 있다. 1쌍의 오목부(112)는 테스트트레이(110)의 제1변(110b)에 가까운 귀퉁이부에 배치되어 있고, 서로 대향하고 있다. 이에 대하여 다른 1쌍의 오목부(112)는 상기 테스트트레이의 제2변(110c)에 가까운 귀퉁이부에 배치되어 있고, 서로 대향하고 있다. 제1변(110b)은 테스트트레이(110)를 구성하는 변 중에서 한쪽의 짧은 변이고, 제2변(110c)은 테스트트레이(110)를 구성하는 변 중에서 다른 쪽의 짧은 변이다. 각각의 오목부(112)는 테스트트레이(110)의 내측을 향하여 움푹 들어가 있고, 전술한 삽입편(434, 444)이 삽입 가능한 내경을 갖는 원기둥형상을 갖고 있다.

상기 슬라이드장치(43, 44)를 이용한 테스트트레이(110)의 자세변환동작은 다음과 같이 수행된다.

즉, 수평슬라이드장치(43)가 슬라이더(432)를 수평레일(431)의 도 4 중 우단에 위치시키고, 수평상태의 테스트트레이(110)에 대하여 에어실린더(433)의 가동축을 전진시킴으로써 상기 테스트트레이(110)의 제2변(110c)측의 1쌍의 오목부(112)에 삽입편(434)을 삽입한다. 마찬가지로 수직슬라이드장치(44)가 슬라이더(442)를 수직레일(441)의 하단에 위치시키고, 수평상태의 테스트트레이(110)에 대하여 에어실린더(443)의 가동축을 전진시킴으로써 상기 테스트트레이(110)의 제1변(110b)측의 1쌍의 오목부(112)에 삽입편(444)을 삽입한다.

이어서 수평슬라이드장치(43)가 슬라이더(432)를 수평레일(431)의 도 4 중 좌단을 향하여 이동시킴과 동시에 수직슬라이드장치(44)가 슬라이더(442)를 수직레일(441)의 상단을 향하여 이동시킨다. 이때 삽입편(434, 444)이 원기둥형상을 갖고 있고, 테스트트레이(110)의 오목부(112)내에서 상대적으로 회전 가능하게 되어 있다. 이 때문에 테스트트레이(110)의 제1변(110b)의 위치를 수평방향에 있어서 유지(고정)함과 함께 상기 테스트트레이(110)의 제2변(110c)의 위치를 수직방향에 있어서 유지(고정)한 상태로 상기 제1변(110b)을 상승시키면서 상기 제2변(110c)을 수평이동시킴으로써 테스트트레이(110)의 자세를 수평상태로부터 수직상태로 변환할 수 있다.

테스트트레이(110)의 자세변환에 이러한 슬라이드 동작을 이용함으로써 작은 공간에서 테스트트레이(110)의 자세를 변환할 수 있다. 또한 본 실시형태에서는 로더유닛(20A)에 있어서 테스트트레이(110)의 자세를 수평상태로부터 수직상태로 변환하므로 트레이반송유닛(50)에 테스트트레이(110)를 수직상태로 공급할 수 있다.

수평이동장치(45)는 전술한 슬라이드장치(43, 44)에 의해 수직으로 세워진 테스트트레이(110)를 수평방향(Y방향)에 이동시켜 수직반송장치(46)에 공급하는 장치이다. 상기 수평이동장치(45)는 클램프(451)와 에어실린더(452)를 구비하고 있다. 클램프(451)는 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 X방향을 따라 진퇴 가능하게 되어 있고, 테스트트레이(110)의 1쌍의 긴 변에 접촉하여 상기 테스트트레이(110)를 양측으로부터 지지하는 것이 가능해진다. 에어실린더(452)는 상기 클램프(451)를 Y방향을 따라 진퇴시키는 것이 가능해진다. 또한 에어실린더(452) 대신에 모터 및 볼나사기구 등의 다른 액추에이터를 이용하여도 된다.

수직반송장치(46)는 수직상태로 변환된 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)에 공급하는 장치이고, 트레이반송유닛(50)의 상방에 배치되어 있다. 상기 수직반송장치(46)는 1쌍의 수직레일(461)과 슬라이더(462)와 에어실린더(463)와 삽입편(464)을 구비하고 있다. 또한 수직반송장치(46)의 구성은 테스트트레이(110)를 수직방향에 반송하는 것이 가능한 구성이라면 특별히 한정되지 않는다.

1쌍의 수직레일(461)은 Z방향을 따라 설치되어 있고, 테스트트레이(110)의 폭보다 넓은 간격을 띄워 서로 실질적으로 평행하게 배치되어 있다. 슬라이더(462)는 각각의 수직레일(461)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있고, 특별히 도시하지 않은 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 상기 수직레일(461)상을 Z방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다.

상기 슬라이더(462)상에 에어실린더(463)가 설치되어 있고, 상기 에어실린더(463)의 가동축의 선단에 원기둥형상의 삽입편(464)이 장착되어 있다. 상기 에어실린더(463)는 삽입편(464)끼리가 서로 마주 보도록 슬라이더(462)에 설치되어 있다. 상기 에어실린더(463)는 삽입편(464)을 X방향을 따라 진퇴시키는 것이 가능해져 있고, 에어실린더(463)의 구동에 의해 삽입편(464)끼리가 접근 또는 이반하도록 구성되어 있다. 또한 에어실린더(463) 대신에 모터 및 볼나사기구 등의 다른 액추에이터를 이용하여도 된다.

슬라이더(462)가 수직레일(461)의 상단에 위치하고 있는 상태로 수평이동장치(45)에 의해 테스트트레이(110)가 수직반송장치(46)에 공급되면 수직반송장치(46)는 에어실린더(463)의 가동축을 전진시켜 테스트트레이(110)의 제1변(110b) 측의 1쌍의 오목부(112)에 삽입편(464)을 삽입함으로써 상기 테스트트레이(110)를 지지한다. 이어서 슬라이더(462)가 수직레일(461)을 하강함으로써 테스트트레이(110)가 수직상태로 반송되어 트레이반송유닛(50)에 공급된다. 이와 같이 수직상태로 테스트트레이(110)를 로더유닛(20A)으로부터 트레이반송유닛(50)에 공급함으로써 핸들러(10)의 점유면적을 작게 할 수 있다.

이때 본 실시형태에서는 수직반송장치(46)는 테스트트레이(110)의 길이방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 이동시킨다. 이에 의해 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 한층 더 작게 할 수 있다. 특별히 한정되지 않지만, 테스트트레이(110)의 폭방향의 크기(W)에 대한 길이방향의 전체길이(L)의 비율이 105% 이상인 것이 바람직하고(L/W≥105%), 상기 비율이 120% 이상인 것이 보다 바람직하다(L/W≥120%).

언로더부(40B)도 로더부(40A)와 마찬가지의 구성을 갖고 있고, 특별히 도시하지 않지만 픽앤드플레이스장치(41), 자세변환장치(42) 및 수직반송장치(46)를 구비하고 있다. 상기 언로더부(40B)에서는 로더부(40A)의 동작과는 반대의 동작이 수행된다.

즉, 시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)가 수직반송장치(46)에 의해 트레이반송유닛(50)으로부터 언로더부(40B)에 공급되고, 자세변환장치(42)에 의해 상기 테스트트레이(110)의 자세가 수직상태로부터 수평상태로 변환된다. 이어서 픽앤드플레이스장치(41)에 의해 상기 테스트트레이(110)로부터 커스터머트레이(100)에 옮겨실어진다(移載). 이때 픽앤드플레이스장치(41)가 시험결과에 따른 커스터머트레이(100)에 DUT(200)를 옮김으로써 DUT(200)가 시험결과에 따라 분류된다.

또한 도 7에 도시하는 바와 같이 본 실시형태의 로더부(40A) 및 언로더부(40B)의 공간은 로더유닛(20A) 및 언로더유닛(20B)의 케이스(23)에 각각 형성된 개구(231)를 통하여 연결되어 있다. 그리고 로더부(40A) 및 언로더부(40B)가 각각 구비하는 트레이회송장치(47)에 의해 빈 테스트트레이(110)를 언로더부(40B)로부터 로더부(40A)에 이동시키는 것이 가능해진다. 또한 트레이회송장치(47)의 이해를 용이하게 하기 위해서 도 7에서는 자세변환장치(42)의 도시를 생략하고 있다.

상기 트레이회송장치(47)는 자세변환장치(42)의 하방에 설치된 수평레일(471)과, 상기 수평레일(471)상을 X방향을 따라 이동 가능한 접촉(當接)헤드(472)와, 테스트트레이(110)의 양단을 슬라이드 가능하게 지지하는 1쌍의 베어링레일(473)을 구비하고 있다. 언로더부(40B)에 있어서 접촉(當接)헤드(472)가 수평레일(471)상을 슬라이드하여 테스트트레이(110)에 접촉(當接)하여 압압함으로써 상기 테스트트레이(110)가 베어링레일(473)상을 슬라이드하여 X방향을 따라 이동하고, 케이스(23)의 개구(231)를 통하여 언로더부(40B)로부터 로더부(40A)에 이동한다. 이에 의해 빈 테스트트레이(110)를 언로더유닛(20B)으로부터 로더유닛(20A)에 회송시킬 수 있고, 테스트트레이(110)를 핸들러(10)내에서 순환 반송할 수 있다.

또한 상기 수평레일(471) 및 접촉(當接)헤드(472)는 미사용시에 자세변환장치(42) 등과 간섭하지 않도록 특별히 도시하지 않은 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 승강 가능하게 되어 있다. 마찬가지로 베어링레일(473)도 별도의 액추에이터에 의해 승강 가능하게 되어 있다.

도 8은 본 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛 및 콘택트유닛을 도시한 사시도이다. 도 9는 본 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛을 도시한 측면도이다. 도 10은 본 실시형태에 있어서의 트레이반송유닛을 도시한 정면도이다.

트레이반송유닛(50)은 콘택트유닛(60A~60D)과 이재(移載)유닛(20A, 20B)의 사이에서 테스트트레이(110)를 반송하는 유닛이다. 상기 트레이반송유닛(50)은 테스트트레이(110)의 주면(主面)(110a)에 실질적으로 평행한 방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 수직상태로 이동시킨다. 이와 같이 트레이반송유닛(50)이 수직상태로 테스트트레이(110)를 반송함으로써 핸들러(10)의 점유면적을 작게 할 수 있다.

상기 트레이반송유닛(50)은 도 8에 도시하는 바와 같이 레일(52)이 각각 부설된 장치프레임(51A~51D)과 상기 레일(52)상을 X방향을 따라 이동 가능한 이동부(54)를 구비하고 있다.

상자형상의 장치프레임(51A~51D)은 4개의 콘택트유닛(60A~60D)에 각각 대향하도록 X방향을 따라 배열되어 있다. 상기 4개의 장치프레임(51A~51D)은 동일한 구조를 갖고 있다. 전술한 바와 같이 각각의 장치프레임(51A~51D)에는 X방향을 따라 연재하는 1쌍의 레일(52)이 부설되어 있다.

서로 인접하는 장치프레임(51A~51D)의 레일(52)은 특별히 도시하지 않은 연결구에 의해 분리 가능하게 연결되어 있고, 이동부(54)가 레일(52)상을 이동함으로써 모든 콘택트유닛(60A~60D)과 대향하는 것이 가능해진다. 또한 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이 각각의 장치프레임(51A~51D)은 레일(52)을 따라 설치된 랙기어(53)를 구비하고 있다. 상기 랙기어(53)는 X방향을 따라 연재되어 있고, 레일(52)에 대하여 실질적으로 평행하게 배치되어 있다.

이동부(54)는 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이 테스트트레이(110)를 수직상태로 지지하는 트레이지지장치(55)와 트레이지지장치(55)를 레일(52)상에서 이동시키는 구동장치(56)를 구비하고 있다. 또한 트레이지지장치(55)의 구성은 테스트트레이(110)를 수직상태로 지지함과 함께 상기 테스트트레이(110)를 Y방향으로 진퇴이동시키는 것이 가능한 구성이라면 특별히 한정되지 않는다.

트레이지지장치(55)는 클램프(551)와 지지프레임(552)과 수평이동부(553)와 지지플레이트(554)를 구비하고 있다. 클램프(551)는 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 X방향을 따라 진퇴 가능하게 되어 있고, 테스트트레이(110)의 1쌍의 긴 변에 접촉하여 상기 테스트트레이(110)를 양측으로부터 지지하는 것이 가능해진다. 상기 클램프(551)는 L자형상의 지지프레임(552)에 지지되어 있고, 이재(移載)유닛(20A, 20B)의 수직반송장치(46)의 최하점에 위치하는 테스트트레이(110)나 콘택트유닛(60A~60D)의 액세스부(61)(후술함)에 대향하는 높이에 배치되어 있다.

지지프레임(552)은 수평이동부(553)에 지지되어 있다. 또한 상기 수평이동부(553)는 Y방향을 따라 이동 가능하게 지지플레이트(554)에 지지되어 있고, 특별히 도시하지 않은 에어실린더 등의 액추에이터에 의해 Y방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다. 이에 의해 트레이지지장치(55)는 수직상태로 지지하고 있는 테스트트레이(110)를 상기 테스트트레이(110)의 법선방향(Y방향)을 따라 진퇴이동시키는 것이 가능해진다. 그리고 상기 지지플레이트(554)는 전술한 레일(52)상을 X방향을 따라 이동하는 것이 가능해진다.

구동장치(56)는 트레이지지장치(55)의 지지플레이트(554)에 설치된 회전모터(561)를 구비하고 있다. 상기 회전모터(561)는 플랜지(562)를 통하여 지지플레이트(554)의 하면에 고정되어 있다. 상기 회전모터(561)의 회전축(563)에는 피니언기어(564)가 장착되어 있다. 상기 피니언기어(564)는 장치프레임(51A~51D)에 설치된 전술한 랙기어(53)에 맞물려(咬合) 있다. 이 때문에 회전모터(561)를 구동시킴으로써 이동부(54)를 레일(52)상에서 이동시킬 수 있다.

이와 같이 본 실시형태에서는 구동장치(56)를 장치프레임(51A~51D)측의 레일(52)이 아니라 이동부(54)에 설치하고 있다. 이 때문에 콘택트유닛의 증설(또는 감설)에 수반하여 레일(52)을 갖는 장치프레임(51A~51D)만을 증설(또는 감설)하면 되고, 구동장치(56)에는 변경을 가할 필요가 없으므로 트레이반송유닛(50)의 증설 및 감설의 용이화가 도모되어 있다.

미시험의 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)가 로더유닛(20A)의 수직반송장치(46)에 의해 공급되었을 때에는 상기 트레이반송유닛(50)은 트레이지지장치(55)를 구동장치(56)에 의해 레일(52)상에서 X방향을 따라 이동시켜 상기 테스트트레이(110)에 대향시킨다. 그리고 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 전진시켜 클램프(551)에 의해 상기 테스트트레이(110)를 수직상태로 지지한다.

이어서 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 후퇴시킨 후, 트레이지지장치(55)를 구동장치(56)에 의해 X방향을 따라 이동시킴으로써 테스트트레이(110)를 수직상태로 반송한다. 그리고 테스트트레이(110)가 목적의 콘택트유닛(60A~60D)에 대향하면 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 전진시킴으로써 상기 테스트트레이(110)를 목적의 콘택트유닛(60A~60D)에 공급한다.

이에 대하여 시험이 끝난 DUT(200)가 해당된 테스트트레이(110)가 콘택트유닛(60A~60D)으로부터 반출되었을 때에는 상기 트레이반송유닛(50)은 트레이지지장치(55)를 구동장치(56)에 의해 레일(52)상에서 X방향을 따라 이동시켜 상기 테스트트레이(110)에 대향시킨다. 그리고 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 전진시켜 클램프(551)에 의해 상기 테스트트레이(110)를 수직상태로 지지한다.

이어서 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 후퇴시킨 후, 트레이지지장치(55)를 구동장치(56)에 의해 X방향을 따라 이동시킴으로써 테스트트레이(110)를 수직상태로 반송한다. 그리고 테스트트레이(110)가 언로더유닛(20B)의 수직반송장치(46)에 대향하면 수평이동부(553)가 지지프레임(552)을 전진시킴으로써 상기 테스트트레이(110)를 언로더유닛(20B)에 반출한다.

이와 같이 본 실시형태에서는 트레이반송유닛(50)이 테스트트레이(110)를 수직상태로 반송하므로 핸들러(10)의 점유면적을 작게 할 수 있다.

도 11은 본 실시형태에 있어서의 콘택트유닛의 내부구조를 도시한 단면도이다. 또한 4개의 콘택트유닛(60A~60D)은 동일한 구조를 갖고 있으므로 이하에 콘택트유닛(60A)의 구성에 대하여 상세하게 설명하고, 다른 콘택트유닛(60B~60D)의 구성에 대한 설명은 생략한다.

도 11에 도시하는 바와 같이 콘택트유닛(60A)은 액세스부(61)와 열인가부(62)와 압압부(63)와 열제거부(64)를 구비하고 있다.

액세스부(61)에서는 트레이반송유닛(50)에 의해 테스트트레이(110)가 상기 콘택트유닛(60A)으로부터 출납된다. 열인가부(62)에서는 액세스부(61)를 통하여 공급된 테스트트레이(110)에 탑재된 미시험의 DUT(200)에 대하여 소정의 열스트레스를 인가한다. 압압부(63)에서는 DUT(200)가 테스트헤드(5A)의 소켓(6)에 강압되어 테스터(7)에 의해 DUT(200)의 시험이 실행된다. 열제거부(64)에서는 시험이 끝난 DUT(200)로부터 열스트레스가 제거된다.

열인가부(62)와 압압부(63)는 항온조로 구성되는 제1챔버(601)에 설치되어 있다. 상기 제1챔버(601)에는 온도조정장치(621A)(도 3 참조)가 접속되어 있다. 온도조정장치(621A)는 가열장치와 냉각장치를 구비하고 있고, 제1챔버(601)내의 분위기 온도를 조정함으로써 열인가부(62) 및 압압부(63)내에 위치하는 DUT(200)에 고온 또는 저온의 열스트레스를 인가하는 것이 가능해진다. 특별히 한정되지 않지만, 온도조정장치(621A)의 가열장치의 구체예로서는 예를 들어 히터나 온풍공급장치를 예시할 수 있다. 또한 온도조정장치(621A)의 냉각장치의 구체예로서는 예를 들어 액체질소를 공급하는 냉매공급장치를 예시할 수 있다.

전술한 바와 같이 4개의 콘택트유닛(60A~60D)에 온도조정장치(621A~621D)가 개별적으로 접속되어 있기 때문에 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))은 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))과는 독립하여 제1챔버(601)내의 온도환경을 조정하는 것이 가능해진다. 또한 온도조정장치(621B~621D)는 전술한 온도조정장치(621A)와 동일한 구성을 갖고 있다.

또한 전술한 바와 같이 상기 제1챔버(601)에는 개구(63a)가 형성되어 있다. 상기 개구(63a)를 통하여 소켓(6)을 수평방향을 향한 자세로 테스트헤드(5A)의 일부가 압압부(63)내에 들어가 있다. 압압부(63)는 상기 소켓(6)에 대향하도록 설치된 압압장치(631)를 구비하고 있다.

상기 압압장치(631)는 테스트트레이(110)에 지지되어 있는 DUT(200)에 접촉하는 푸셔(632)와 상기 푸셔(632)를 Y방향을 따라 진퇴이동시키는 액추에이터(633)를 구비하고 있다. 특별히 한정되지 않지만, 액추에이터(633)의 일례로서는 볼나사기구를 구비한 모터 등을 예시할 수 있다. 상기 압압장치(631)는 수평방향으로 DUT(200)를 압압함으로써 수직상태의 테스트트레이(110)에 탑재된 상태로 DUT(200)를 소켓(6)에 강압하는 것이 가능해진다.

본 실시형태에서는 이러한 압압장치(631)를 4개의 콘택트유닛(60A~60D)이 개별적으로 구비하고 있기 때문에 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60A))은 다른 콘택트유닛(예를 들어 콘택트유닛(60B~60D))과는 독립하여 DUT(200)를 소켓(6)에 강압하는 것이 가능해진다.

이에 대하여 열제거부(64)는 제1챔버(601)와는 독립된 제2챔버(602)에 설치되어 있고, DUT(200)를 외기에 노출함으로써 상기 DUT(200)로부터 열스트레스를 제거한다. 이 때문에 제2챔버(602)에는 냉각이 가능한 온도조정장치는 접속되어 있지 않다. 또한 제2챔버(602)에 히터 등의 가열장치나 송풍기가 설치되어 있어도 된다.

본 실시형태에서는 열인가부(62), 액세스부(61) 및 열제거부(64)가 수직방향을 따라 나열되어 있다. 또한 열인가부(62), 압압부(63) 및 열제거부(64)가 수직방향을 따라 나열되어 있다. 특히 열인가부(62)는 액세스부(61)의 하방에 배치되어 있음과 함께 압압부(63)의 하방에 배치되어 있다. 이에 대하여 열제거부(64)는 액세스부(61)의 상방에 배치되어 있음과 함께 압압부(63)의 상방에 배치되어 있다. 따라서 액세스부(61)와 압압부(63)는 열인가부(62)와 열제거부(64)의 사이에 배치되어 있고, 서로 대향하고 있다. 이러한 배치를 채택함으로써 콘택트유닛(60A~60D)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 작게 할 수 있다.

또한 본 실시형태에서는 DUT(200)를 냉각 가능한 열인가부(62)를 콘택트유닛(60A)의 최하부에 배치하고 있다. 이에 의해 열인가부(62)로부터 열제거부(64)로의 냉기의 이동을 억제할 수 있으므로 열인가부(62)에 있어서 DUT(200)에 대하여 열스트레스를 효율적으로 인가할 수 있다. 또한 온도조정장치(621A)의 배관을 콘택트유닛(60A)의 상부까지 끌어올 필요가 없으므로 핸들러(10)의 구조의 간소화를 도모할 수도 있다.

그리고 콘택트유닛(60A)은 제1수직반송장치(65)와 제1수평반송장치(66)와 제2수직반송장치(67)와 제2수평반송장치(68)를 구비하고 있다.

본 실시형태에 있어서의 제1수직반송장치(65)가 본 발명에 있어서의 "제7트레이이동장치"의 일례에 상당하고, 본 실시형태에 있어서의 제1수평반송장치(66)가 본 발명에 있어서의 "제5트레이이동장치"의 일례에 상당하고, 본 실시형태에 있어서의 제2수직반송장치(67)가 본 발명에 있어서의 "제4트레이이동장치"의 일례에 상당하고, 본 실시형태에 있어서의 제2수평반송장치(68)가 본 발명에 있어서의 "제6트레이이동장치"의 일례에 상당한다.

제1수직반송장치(65)는 미시험의 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)를 액세스부(61)로부터 열인가부(62)에 이동시킴과 함께 시험이 끝난 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)를 열제거부(64)로부터 액세스부(61)에 이동시킨다. 상기 제1수직반송장치(65)는 테스트트레이(110)를 수직상태로 -Z방향에 반송한다.

이때 제1수직반송장치(65)는 테스트트레이(110)의 길이방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 이동시킨다. 이에 의해 콘택트유닛(60A~60D)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 한층 더 작게 할 수 있다.

액세스부(61)에는 개구(61a)가 형성되어 있고, 트레이반송유닛(50)은 상기 개구(61a)를 통하여 제1수직반송장치(65)에 테스트트레이(110)를 전달하는 것이 가능해진다. 트레이반송유닛(50)으로부터 개구(61a)를 통하여 미시험의 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)가 액세스부(61)에 공급되면 제1수직반송장치(65)가 상기 테스트트레이(110)를 -Z방향에 이동시켜 열인가부(62)에 공급한다.

제1수평반송장치(66)는 열인가부(62)내에 설치되어 있고, 미시험의 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)를 제1수직반송장치(65)로부터 수취하여 상기 테스트트레이(110)를 +Y방향에 이동시킨다. 상기 제1수평반송장치(66)는 테스트트레이(110)의 법선방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 수직상태로 이동시킨다.

이때 제1수평반송장치(66)는 테스트트레이(110)의 길이방향을 수직방향에 맞춘 상태로 상기 테스트트레이(110)를 이동시킨다. 이에 의해 콘택트유닛(60A~60D)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 한층 더 작게 할 수 있다.

상기 제1수평반송장치(66)에 의해 테스트트레이(110)가 열인가부(62)를 통과하는 동안에 상기 테스트트레이(110)에 탑재한 상태로 미시험의 DUT(200)에 고온 또는 저온의 소정의 열스트레스가 인가된다. 본 실시형태에 있어서의 +Y방향이 본 발명에 있어서의 "제2방향"의 일례에 상당한다.

제2수직반송장치(67)는 미시험의 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)를 열인가부(62)로부터 압압부(63)에 이동시킴과 함께 시험이 끝난 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)를 압압부(63)로부터 열제거부(64)에 이동시킨다. 상기 제2수직반송장치(67)는 테스트트레이(110)를 수직상태로 +Z방향에 반송한다.

이때 제2수직반송장치(67)는 테스트트레이(110)의 길이방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 이동시킨다. 이에 의해 콘택트유닛(60A~60D)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 한층 더 작게 할 수 있다.

상기 제2수직반송장치(67)는 미시험의 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)를 제1수평반송장치(66)로부터 수취하면 상기 테스트트레이(110)를 열인가부(62)로부터 압압부(63)에 이동시킨다. 그리고 테스트트레이(110)가 테스트헤드(5A)에 대향하면 압압장치(631)가 +Y방향에 이동하여 테스트트레이(110)에 탑재한 상태로 DUT(200)를 소켓(6)에 압압한다. 이 상태에서 테스터(7)에 의해 상기 DUT(200)의 시험이 실행된다. 시험이 종료되면 제2수직반송장치(67)가 시험이 끝난 DUT(200)를 탑재한 테스트트레이(110)를 +Z방향에 이동시켜 열제거부(64)에 공급한다.

제2수평반송장치(68)는 열제거부(64)내에 설치되어 있고, 시험이 끝난 DUT(200)가 탑재된 테스트트레이(110)를 제2수직반송장치(67)로부터 수취하여 상기 테스트트레이(110)를 도 11 중의 -Y방향에 이동시킨다. 상기 제2수평반송장치(68)는 테스트트레이(110)의 법선방향을 따라 상기 테스트트레이(110)를 수직상태로 이동시킨다.

이때 제2수평반송장치(68)는 테스트트레이(110)의 길이방향을 수직방향에 맞춘 상태로 상기 테스트트레이(110)를 이동시킨다. 이에 의해 콘택트유닛(60A~60D)의 폭을 좁게 할 수 있어 핸들러(10)의 점유면적을 한층 더 작게 할 수 있다.

상기 제2수평반송장치(68)에 의해 테스트트레이(110)가 열제거부(64)를 통과하는 동안에 상기 테스트트레이(110)에 탑재한 상태로 시험이 끝난 DUT(200)로부터 열스트레스가 제거된다. 본 실시형태에 있어서의 -Y방향이 본 발명에 있어서의 "제3방향"의 일례에 상당한다.

테스트트레이(110)가 열제거부(64)를 통과하면 제1수직반송장치(65)가 상기 테스트트레이(110)를 제2수평반송장치(68)로부터 수취하여 상기 테스트트레이(110)를 -Z방향에 이동시켜 액세스부(61)에 반송한다. 액세스부(61)에 되돌아온 테스트트레이(110)는 트레이반송유닛(50)에 의해 개구(61a)를 통하여 콘택트유닛(60A)으로부터 반출된다.

이하에 도 12의 (a) 내지 도 13의 (b)를 참조하면서 콘택트유닛이나 이재(移載)유닛을 증설 또는 감설함으로써 사양이 다른 핸들러를 구성하는 예에 대하여 설명한다.

도 12의 (a)는 1024개의 동시측정수에 대응하도록 구성한 핸들러를 도시한 도면이고, 도 12의 (b)는 768개의 동시측정수에 대응하도록 구성한 핸들러를 도시한 도면이다. 또한 도 13의 (a)는 로더유닛을 2대 구비한 핸들러를 도시한 도면이고, 도 13의 (b)는 언로더유닛을 2대 구비한 핸들러를 도시한 도면이다. 또한 도 13의 (a) 및 도 13의 (b)에서는 테스트헤드(5A~5D)가 콘택트유닛(60A~60D)으로부터 분해되어 있는 상태를 도시하고 있다.

전술한 실시형태에서는 1024개의 동시측정수의 테스터(7)에 대응하도록 구성된 핸들러(10)에 대하여 설명하였다. 상기 핸들러(10)는 도 12의 (a)에 도시하는 바와 같이 테스터(7)에 접속된 4개의 테스트헤드(5A~5D)에 대응하기 위해서 4개의 콘택트유닛(60A~60D)을 구비하고 있다.

이에 대하여 테스터(7)의 동시측정수보다 적은 동시측정수의 테스터(7B)에 대응하는 경우에는 전술한 핸들러(10)와는 다른 사양의 핸들러(10B)를 구성한다. 예를 들어 테스터(7B)의 동시측정수는 768개이고, 상기 테스터(7B)에는 3개의 테스트헤드(5A~5C)가 접속되어 있다. 그리고 상기 테스터(7B)에 대응하는 핸들러(10B)는 핸들러(10)로부터 콘택트유닛(60D)을 제거한 구성을 갖고 있다. 즉, 상기 핸들러(10B)는 3개의 콘택트유닛(60A~60C)을 구비하고 있다.

또한 테스터의 동시측정수는 상기에 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 256개나 512개여도 된다. 특별히 한정되지 않지만, 테스터의 동시측정수가 256개이고, 상기 테스터에 1개의 테스트헤드가 접속되어 있는 경우에는 콘택트유닛을 1개만 갖는 핸들러를 구성하면 된다. 한편, 테스터의 동시측정수가 512개이고, 상기 테스터에는 2개의 테스트헤드가 접속되어 있는 경우에는 콘택트유닛을 2개 갖는 핸들러를 구성하면 된다.

또한 특별히 도시하지 않지만, 테스터(7)의 동시측정수보다 많은 동시측정수의 테스터(7)에 대응하는 경우에는 테스트헤드의 증가수에 따라 콘택트유닛이 증설된 핸들러를 구성한다.

또한 예를 들어 DUT(200)의 테스트시간이 짧은 경우에는 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같은 핸들러(10C)를 구성하여도 된다. 상기 핸들러(10C)는 2대의 로더유닛(20A)을 구비하고 있는 점에서 전술한 핸들러(10)와 상이하지만 그 외의 구성은 핸들러(10)와 마찬가지이다.

또한 예를 들어 시험결과의 분류수가 많은 경우에는 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같은 핸들러(10D)를 구성하여도 된다. 상기 핸들러(10D)는 2대의 언로더유닛(20B)을 구비하고 있는 점에서 전술한 핸들러(10)와 상이하지만 그 외의 구성은 핸들러(10)와 마찬가지이다.

이와 같이 본 실시형태에서는 이재(移載)유닛(20A, 20B) 및 콘택트유닛(60A~60D)을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 핸들러(10)가 구성되어 있다. 이에 의해 사용자의 요구에 최적인 유닛을 조합함으로써 핸들러(10)를 구성할 수 있으므로 사용자의 요구에 대하여 핸들러(10)의 사양을 저비용으로 최적화할 수 있다.

또한 이재(移載)유닛(20A, 20B) 및 콘택트유닛(60A~60D)을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 핸들러(10)가 구성되어 있으므로 이상이 발생한 유닛을 새로운 유닛으로 교환함으로써 이상을 해소할 수 있어 핸들러(10)의 메인터넌스성도 향상된다.

또한 본 실시형태에서는 콘택트유닛(60A~60D)을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 핸들러(10)가 구성되어 있으므로 동시측정수에 따라 콘택트유닛(60A~60D)의 수를 최적화할 수 있어 핸들러(10)의 점유공간의 축소를 도모할 수도 있다.

또한 종래의 핸들러는 유닛화되어 있지 않기 때문에 핸들러의 제조공정에 있어서 장치 전체를 작성한 후에만 장치의 조정을 수행할 수 있다. 이에 대하여 본 실시형태에서는 핸들러가 유닛화되어 있기 때문에 유닛마다 조정을 병행하여 실시할 수 있으므로 핸들러의 제조시간을 대폭 단축할 수 있다.

또한 본 실시형태에서는 핸들러(10)가 복수의 콘택트유닛(60A~60D)을 구비하고 있고, 각각의 콘택트유닛(60A~60D)은 다른 콘택트유닛(60A~60D)과는 독립하여 DUT(200)의 온도를 조정하는 것이 가능함과 함께 테스트헤드(5A~5D)의 소켓(6)에 DUT(200)를 압압하는 것이 가능해진다.

이에 의해 동시측정수를 복수의 단위로 분할하여 각각의 분할단위에 대하여 복수의 콘택트유닛(60A~60D)이 개별적으로 테스트를 실행하는 것이 가능해진다. 이 때문에 로더유닛(20A)에서 테스트트레이 1장당 탑재하는 DUT의 개수가 감소하고, 개개의 콘택트유닛(60A~60D)으로의 이송작업(테스트트레이(110)로의 이재(移載)작업)이 단축되므로 결과적으로 콘택트유닛(60A~60D)의 대기시간을 단축할 수 있다. 또한 동시측정수를 복수의 단위로 분할함으로써 콘택트유닛(60A~60D)내에서 문제가 발생할 확률을 낮게 할 수 있으므로 핸들러(10)의 정지시간을 단축할 수도 있다. 따라서 본 실시형태에서는 핸들러(10)의 가동률의 향상을 도모할 수 있다.

또한 이상 설명한 실시형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 기재된 것이며, 본 발명을 한정하기 위해서 기재된 것은 아니다. 따라서 상기 실시형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.

예를 들어 전술한 실시형태에서는 이재(移載)유닛(20A, 20B)이 증설 또는 감설됨과 함께 콘택트유닛(60A~60D)이 증설 또는 감설되도록 핸들러(10)가 구성되어 있으나, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 이재(移載)유닛(20A, 20B) 또는 콘택트유닛(60A~60D)의 한쪽이 증설 또는 감설되도록 핸들러(10)가 구성되어 있어도 된다.

또한 전술한 실시형태에서는 트레이반송유닛(50)이 테스트트레이(110)를 수직상태로 반송하고 있지만, 트레이반송유닛(50)에 의해 반송되는 테스트트레이(110)의 자세는 특별히 이에 한정되지 않는다.

예를 들어 트레이반송유닛(50)이 테스트트레이(110)를 수평상태로 반송하여도 된다. 구체적으로는 테스트트레이(110)의 주면(主面)(110a)이 수평방향(XY방향)에 대하여 실질적으로 평행한 상태로 상기 테스트트레이(110)를 트레이반송유닛(50)이 이재(移載)유닛(20A, 20B)과 콘택트유닛(60A~60D)의 사이에서 반송하여도 된다.

이 경우에는 트레이이재(移載)유닛(20A, 20B)이 자세변환장치(42)를 구비하고 있지 않고, 수직반송장치(46)가 테스트트레이(110)를 수평상태로 트레이반송유닛(50)에 전달하여도 된다.

또한 상기한 경우에는 콘택트유닛(60A~60D)의 반송장치(65~68)가 수평상태로 테스트트레이(110)를 반송함과 함께 상기 콘택트유닛(60A~60D)의 압압장치(631)가 테스트트레이(110)를 수평으로 한 상태에서 DUT(200)를 소켓(6)을 향하여 수직방향으로 압압하여도 된다.

1: 전자부품 시험장치 5A~5D: 테스트헤드
10, 10B~10D: 핸들러 20A, 20B: 로더유닛, 언로더유닛
30: 트레이격납부 31: 스토커
311: 엘리베어터 32: 트레이이송암
33: 트레이회송암 40A, 40B: 로더부, 언로더부
42: 자세변환장치 43: 수평슬라이드장치
44: 수직슬라이드장치 46: 수직반송장치
50: 트레이반송유닛 55: 트레이지지장치
60A~60D: 콘택트유닛 100: 커스터머트레이
110: 테스트트레이 110b: 제1변
110c: 제2변 200: DUT

Claims

DUT를 핸들링하는 전자부품 핸들링장치로서,
제1트레이에 상기 DUT를 탑재한 상태에서 테스터에 접속된 테스트헤드에 설치된 소켓에 상기 DUT를 각각 압압하는 복수의 콘택트유닛과,
상기 DUT를 상기 제1트레이에 탑재하거나 또는 상기 제1트레이로부터 상기 DUT를 꺼내는 DUT이재(移載)부를 각각 갖는 복수의 이재(移載)유닛과,
상기 콘택트유닛과 상기 이재(移載)유닛의 사이에서 상기 제1트레이를 반송하는 트레이반송유닛을 구비하고,
상기 전자부품 핸들링장치는 상기 콘택트유닛 및 상기 이재(移載)유닛의 적어도 한쪽을 증설 또는 감설하는 것이 가능하도록 구성되어 있는 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 DUT이재(移載)부는 상기 트레이반송유닛의 상방에 배치되어 있는 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 콘택트유닛은 수평방향에 실질적으로 평행한 제1방향을 따라 나열되고,
상기 복수의 이재(移載)유닛도 상기 제1방향을 따라 나열되어 있고,
상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이를 제1방향을 따라 반송하는 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이를 수직상태로 상기 트레이반송유닛에 전달하는 제1트레이이동장치를 구비한 전자부품 핸들링장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1트레이이동장치는 상기 제1트레이의 길이방향을 따라 상기 제1트레이를 이동시키는 전자부품 핸들링장치.
청구항 4에 있어서,
상기 트레이반송유닛은 상기 제1트레이를 수직상태로 지지하는 것이 가능한 트레이지지장치를 구비한 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이의 자세를 수평상태와 수직상태의 사이에서 변환하는 자세변환장치를 구비한 전자부품 핸들링장치.
청구항 7에 있어서,
상기 자세변환장치는 상기 제1트레이의 제1변의 위치를 수평방향에 있어서 유지한 상태에서 상기 제1변을 상승 또는 하강시키면서 상기 제1트레이에 있어서 상기 제1변에 대향하는 제2변을 수평이동시킴으로써 상기 제1트레이의 자세를 변환하는 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 이재(移載)유닛은 제2트레이를 격납하고 있는 트레이격납부를 구비하고 있고,
상기 DUT이재(移載)부는 상기 제1트레이와 상기 제2트레이의 사이에서 상기 DUT를 옮겨싣는(移載) 전자부품 핸들링장치.
청구항 9에 있어서,
상기 DUT이재(移載)부는 상기 트레이격납부의 상방에 배치되어 있는 전자부품 핸들링장치.
청구항 9에 있어서,
상기 트레이격납부는
상기 제2트레이를 지지하는 복수의 제1지지장치와,
상기 제2트레이를 상기 제1지지장치 사이에서 이동시키는 제2트레이이동장치를 구비한 전자부품 핸들링장치.
청구항 11에 있어서,
서로 인접하는 상기 이재(移載)유닛은 상기 트레이격납부끼리의 사이에 배치되고, 상기 제2트레이를 이동시키는 제3트레이이동장치를 구비하고 있고,
상기 제3트레이이동장치의 동작범위는 서로 인접하는 상기 이재(移載)유닛의 상기 제2트레이이동장치의 양쪽의 동작범위와 수직방향에 있어서 중복되어 있는 전자부품 핸들링장치.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 이재(移載)유닛은
미시험의 상기 DUT를 제2트레이로부터 상기 제1트레이에 옮겨싣는(移載) 로더부를 구비한 로더유닛과,
시험이 끝난 상기 DUT를 상기 제1트레이로부터 상기 제2트레이에 옮겨싣는(移載) 언로더부를 구비한 언로더유닛을 포함하는 전자부품 핸들링장치.
청구항 13에 있어서,
상기 전자부품 핸들링장치가 구비하는 상기 로더유닛의 수는 상기 전자부품 핸들링장치가 구비하는 상기 언로더유닛의 수와 상이한 전자부품 핸들링장치.
DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서,
청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 전자부품 핸들링장치와
상기 콘택트유닛에 장착되는 복수의 테스트헤드와
상기 테스트헤드에 전기적으로 접속된 테스터를 구비한 전자부품 시험장치.