KR100765463B1 - 핸들러의 테스트 트레이 이송방법 - Google Patents
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- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
Abstract
Description
Claims (5)
- 후방에 4개의 테스트 보드들이 좌우 일렬로 각각 수직으로 세워져 배치된 테스트 챔버와, 상기 테스트 챔버를 사이에 두고 상,하부 좌측 영역에 나뉘어 배치된 제1 가열/냉각 챔버 및 제1 제열/제냉 챔버와, 상기 테스트 챔버를 사이에 두고 상,하부 우측영역에 나뉘어 배치된 제2 가열/냉각 챔버 및 제2 제열/제냉 챔버를 구비한 핸들러의 테스트 트레이 이송방법으로서,(a) 상기 챔버들의 전방에 마련된 대기 위치로, 전자부품들이 장착된 테스트 트레이를 좌우에 하나씩 대기시킨 다음, 수직으로 세워서 상기 제1,2 가열/냉각 챔버 내로 하나씩 나눠 급송시키되, 상기 제1,2 가열/냉각 챔버 내에서 4개의 테스트 트레이들이 2개씩 2조를 이루어 배치되게 급송시키는 단계;(b) 상기 제1,2 가열/냉각 챔버 내에서 2조씩 테스트 트레이를 후방으로 이송시킨 다음, 상기 4개의 테스트 보드들과 하나씩 대응된 상태로 테스트가 동시에 수행될 수 있게 상기 테스트 챔버 내로 수직 방향으로 급송시키는 단계;(c) 상기 테스트 챔버 내에서 4개의 테스트 트레이들에 장착된 전자부품들의 테스트가 완료되면, 상기 제1,2 제열/제냉 챔버 내로 2조씩 테스트 트레이를 급송시키는 단계; 및(d) 상기 제1,2 제열/제냉 챔버 내에서 2조씩 테스트 트레이를 전방으로 이송시킨 다음, 수평으로 눕혀서 상기 대기 위치로 환송시키는 단계;를 포함하는 핸들러의 테스트 트레이 이송방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1,2 가열/냉각 챔버는 상기 테스트 챔버의 상,하측 중 어느 한쪽에 배치되고, 상기 제1,2 제열/제냉 챔버는 상기 제1,2 가열/냉각 챔버의 반대쪽에 배치되며,상기 (b) 단계에서는:상기 제1 가열/냉각 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 후방으로 순차적으로 이송시킨 다음, 상기 4개의 테스트 보드들 중 좌측에 위치한 2개의 테스트 보드들에 하나씩 대응되게 상기 테스트 챔버 내로 수직 방향으로 순차적으로 급송시킴과 아울러,상기 제2 가열/냉각 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 후방으로 순차적으로 이송시킨 다음, 상기 4개의 테스트 보드들 중 우측에 위치한 2개의 테스트 보드들에 하나씩 대응되게 상기 테스트 챔버 내로 수직 방향으로 순차적으로 급송시키는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이 이송방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1,2 가열/냉각 챔버 중 하나는 상기 테스트 챔버의 상측에 배치되고, 나머지 하나는 상기 테스트 챔버의 하측에 배치되며,상기 (b) 단계에서는:상기 제1 가열/냉각 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 후방으로 순차적 으로 이송시킨 다음, 상기 4개의 테스트 보드들 중 좌측에 위치한 2개의 테스트 보드들에 하나씩 대응되게 상기 테스트 챔버 내로 수직 방향으로 순차적으로 급송시킴과 아울러,상기 제2 가열/냉각 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 후방으로 순차적으로 이송시킨 다음, 상기 4개의 테스트 보드들 중 우측에 위치한 2개의 테스트 보드들에 하나씩 대응되게 상기 테스트 챔버 내로 수직 방향으로 순차적으로 급송시키는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이 이송방법.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 대기 위치는 상기 테스트 챔버의 전방에 배치되며,상기 대기 위치에서 테스트 트레이를 수직으로 세우는 작업과 수평으로 눕히는 작업을 수행하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이 이송방법.
- 제 4항에 있어서,상기 (b) 단계에서는, 상기 제1,2 가열/냉각 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 한 스텝씩 순차적으로 후방으로 이송시키며,상기 (d) 단계에서는, 상기 제1,2 제열/제냉 챔버 내에서 테스트 트레이들을 조별로 한 스텝씩 순차적으로 전방으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이 이송방법.
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---|---|---|---|
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TW096144200A TWI344189B (en) | 2006-11-22 | 2007-11-21 | Method for transferring test trays in a handler |
US11/943,855 US20080145203A1 (en) | 2006-11-22 | 2007-11-21 | Method of transferring test trays in a handler |
CN2007101948092A CN101246193B (zh) | 2006-11-22 | 2007-11-22 | 用于在处理机中传送测试托盘的方法 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100866645B1 (ko) | 2007-03-30 | 2008-11-03 | 미래산업 주식회사 | 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법 |
KR100898281B1 (ko) | 2007-03-30 | 2009-05-19 | 미래산업 주식회사 | 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법 |
KR101007934B1 (ko) | 2008-12-19 | 2011-01-14 | 세크론 주식회사 | 테스트 트레이 이송 방법 및 장치 |
KR20140078015A (ko) * | 2012-12-14 | 2014-06-25 | 삼성전자주식회사 | 반도체 모듈 검사 시스템 |
KR20220011576A (ko) * | 2020-07-21 | 2022-01-28 | 주식회사 아도반테스토 | 전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000021708A (ko) * | 1998-09-30 | 2000-04-25 | 윤종용 | 테스트 핸들러 |
KR20010098361A (ko) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 박주천 | 테스트 핸들러 |
KR20030029266A (ko) * | 2001-10-05 | 2003-04-14 | (주)테크윙 | 테스트 핸들러 |
KR20070077323A (ko) * | 2006-01-23 | 2007-07-26 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러 |
-
2006
- 2006-11-22 KR KR1020060115701A patent/KR100765463B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000021708A (ko) * | 1998-09-30 | 2000-04-25 | 윤종용 | 테스트 핸들러 |
KR20010098361A (ko) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 박주천 | 테스트 핸들러 |
KR20030029266A (ko) * | 2001-10-05 | 2003-04-14 | (주)테크윙 | 테스트 핸들러 |
KR20070077323A (ko) * | 2006-01-23 | 2007-07-26 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100866645B1 (ko) | 2007-03-30 | 2008-11-03 | 미래산업 주식회사 | 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법 |
KR100898281B1 (ko) | 2007-03-30 | 2009-05-19 | 미래산업 주식회사 | 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법 |
KR101007934B1 (ko) | 2008-12-19 | 2011-01-14 | 세크론 주식회사 | 테스트 트레이 이송 방법 및 장치 |
KR20140078015A (ko) * | 2012-12-14 | 2014-06-25 | 삼성전자주식회사 | 반도체 모듈 검사 시스템 |
KR102021819B1 (ko) * | 2012-12-14 | 2019-09-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 모듈 검사 시스템 |
KR20220011576A (ko) * | 2020-07-21 | 2022-01-28 | 주식회사 아도반테스토 | 전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치 |
US11714124B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-08-01 | Advantest Corporation | Electronic component handling apparatus and electronic component testing apparatus |
KR102642801B1 (ko) * | 2020-07-21 | 2024-02-29 | 주식회사 아도반테스토 | 전자부품 핸들링장치 및 전자부품 시험장치 |
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