JP2007293936A - データ記憶装置の試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置の大型化を伴うことなく内部の温度調節が容易な試験装置を提供する。
【解決手段】試験装置は、データ記憶装置を収容する部屋と、部屋を含む試験装置内部の流路を流れる気体の流れを調整する調整部と、を有し、調整部は、外気を吸気し若しくは内部の気体を排気する外気口２０３と、流路を通過した気体を再び流路に回帰させる回帰通風口２１３と、外気口２０３および回帰通風口２１３の開口率を変えるシャッタ２０５とを有し、シャッタ２０５は、外気口２０３の開口率が最も低い第１の状態から回帰通風口２１３の開口率が最も低い第２の状態まで変化し、シャッタ２０５が第１の状態から第２の状態に近づくに従って、外気口２０３の開口率が上がると共に回帰通風口２１３の開口率が下がる。
【選択図】図５

Description

本発明はデータ記憶装置の試験装置に関する。

データ記憶装置として、光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータ・システムにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途はその優れた特性により益々拡大している。

ＨＤＤは、データを記憶する磁気ディスクと、磁気ディスクへアクセスするヘッド・スライダとを備えている。ヘッド・スライダは、磁気ディスクとの間のデータ読み出し及び／もしくは書き込みを行うヘッド素子部と、ヘッド素子部がその上に形成されたスライダとを有している。ＨＤＤは、さらに、ヘッド・スライダを磁気ディスク上の所望の位置に移動するアクチュエータを備えている。アクチュエータはボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）によって駆動され、回動軸を中心として回動することによって、回転する磁気ディスク上でヘッド・スライダを半径方向に移動する。これによって、ヘッド素子部が磁気ディスクに形成された所望のトラックにアクセスし、データの読み出し／書き込み処理を行うことができる。

ＨＤＤは、部品を組み立てた後に外部の試験装置に接続して動作試験や各種パラメータの設定、調整等を行う。大量生産に係るＨＤＤでは、一度に大量のＨＤＤを試験装置に接続し、上記の動作試験等を行っている。試験装置は、ＨＤＤを収納し内部の温度を調整可能なチャンバ、チャンバ内部においてＨＤＤを固定するフィクスチャ、ＨＤＤに試験を実行させる試験用コンピュータ及びＨＤＤと試験用コンピュータとを接続するコネクタを有する。ＨＤＤは、試験装置のチャンバに挿入され、コネクタに接続される。

チャンバ内部の温度のコントロールがＨＤＤを試験する際のポイントの１つである。チャンバ内部の温度が適正にコントロールされないと、チャンバ内部の各部で温度に偏りが出てしまい、ＨＤＤの試験が適正に実施されない。また、ＨＤＤの過熱により試験工程においてＨＤＤを破壊してしまう可能性もある。従来技術においては、チャンバ外の空気をチャンバの一側面に設けられた吸気口から取り入れ、その空気を適宜ヒータで過熱し、チャンバ内部で循環させている。また、チャンバ内部を冷却する場合は、吸気口から取り入れた空気を循環させずに、吸気口と対向する側面に設けられた排気口から排気している。

尚、先行文献１においては、恒温槽内の温度分布ができるだけ均一となるようなバーンイン装置が開示されている。しかしながら、先行文献１に記載のバーンイン装置においては、内部で循環する空気の流量を弁で制御しており、内部における流量の低下を伴うため、本発明とはその要旨を異にする。
特開２００５−２５７５６４号公報

チャンバ内部の温度のばらつきは、内部を流れる空気の流量を増やすことや、ヒータを細かく制御することにより解消することができる。これらの目的を達成するための方法としては、チャンバ内に挿入するＨＤＤの数量を制限することや、チャンバを大型化することが考えられる。しかしながら、試験効率を高めて生産性の向上を図るためには、工場内の限られたスペース内で一度に大量のＨＤＤを試験することが求められる。従って、チャンバに挿入するＨＤＤの数量の低下や装置の大型化を伴わない方法で解決することが求められると共に、更なる装置の小型化が求められる。

また、多数の試験装置を工場等に設置する場合において、試験装置の吸気及び排気の方向には、空気の流れ道となるある程度の空間が必要である。従って、試験装置を並べて配置する場合、試験装置の吸気若しくは排気の方向には他の装置を隣接させることができない。また、試験装置を壁に沿って配置する場合は、壁に対向する面以外の面に吸気口及び排気口を設けることが好ましい。

更に、試験装置内を循環することにより暖められた空気を横に排気することにより、工場内の温度が上がってしまうことが考えられる。試験装置内部を冷却する場合、内部を循環させる空気を減らし、外気を吸気することにより冷却するが、試験装置が設置された空間の温度が上がってしまうと、吸気による内部冷却の効率が低下してしまう。

本発明はこのような事情を背景としてなされたものであって、装置の大型化を伴うことなく内部の温度調節が容易な試験装置を提供することである。本発明のもう一つの目的は、内部の温度分布に悪影響を与えることなく試験装置が外部に与える影響を低減し、複数の試験装置を配置する際の不具合を解消することである。

本発明の一態様に係る試験装置は、内部にデータ記憶装置を収容し、その内部の温度を調整しながら前記データ記憶装置を試験するデータ記憶装置の試験装置であって、前記データ記憶装置を収容する部屋と、前記部屋を含む前記試験装置内部の流路を流れる気体の流れを調整する調整部と、を有し、前記調整部は、外気を吸気し若しくは内部の気体を排気する外気口と、前記流路を通過した気体を再び前記流路に回帰させる回帰通風口と、前記外気口および前記回帰通風口の開口率を変えるシャッタと、を有し、前記シャッタは、前記外気口の開口率が最も低い第１の状態から前記回帰通風口の開口率が最も低い第２の状態まで変化し、前記シャッタが前記第１の状態から前記第２の状態に近づくに従って、前記外気口の開口率が上がると共に前記回帰通風口の開口率が下がるものである。これにより、装置の大型化を伴うことなく内部の温度調節が容易な試験装置を提供することができる。

ここで、前記外気口は、前記試験装置内部に外気を吸気する吸気口であり、前記外気口を外気が通過する方向と前記データ記憶装置を前記部屋に挿入する方向とが同じであることが好ましい。これにより、試験装置を配置する際の空気の流れによる不具合を解消することができる。

また、前記シャッタは、板状の部材であり、その板面に平行な線を軸として回動することにより前記第１の状態から前記第２の状態に変化することが好ましい。これにより、更に、内部の温度調節を用意に行うことができる。

更に、前記外気口と前記回帰通風口とはその開口方向が互いに垂直であることが好ましい。これにより、シャッタが外気口と回帰通風口とのいずれか一方を塞いだ状態において、他方の空気の通り道の障害となることを防ぐことができる。

更にまた、複数の前記調整部を備え、前記複数の調整部の外気口は、前記試験装置内部に外気を吸気する吸気口であり、異なる前記外気口から吸気された気体は、前記部屋に至るまで互いに混ざり合うことなく流れることが好ましい。これにより、試験装置内部の温度を夫々の吸気口から吸気を行うブロック毎に分けて制御することができる。

また、複数の前記調整部の前記シャッタは、夫々独立して制御可能であることが好ましい。これにより、夫々の吸気口から吸気を行うブロックごとの温度制御を更に容易に行うことができる。

また、前記試験装置の上方に向かって開口し、内部の気体を排気する排気口を備える、ことが好ましい。これにより、試験装置が外部に与える温度の影響を低減することができる。尚、この排気口は上記の外気口であっても良いし、上記の外気口と別に設けられても良い。

また、内部の気体を排気する排気口と、前記部屋内に載置された前記データ記憶装置に、前記試験装置内部で循環する気体を噴きつける噴きつけノズルを備え、前記部屋は、前記排気口から遠ざかる方向に複数設けられ、夫々の前記部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積は、その排気口側の隣接部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積以上であり、前記排気口から最も遠い部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積は、最も近い部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積よりも大きいことが好ましい。これにより、排気方向による各データ記憶装置を挿入する部屋毎の排気態様の違いを軽減することができる。

また、内部の気体を排気する排気口と、前記排気口から遠ざかる方向に配列され、前記試験装置内部に外気を吸気するための空気の流れを生成する複数のファンと、を備え、前記複数のファンの各々が生成する流量は、その排気口側の隣接ファンの流量以上であって、前記排気口から最も遠いファンの流量は、最も近いファンの流量よりも多いことが好ましい。これにより、排気方向による各データ記憶装置を挿入する部屋毎の排気態様の違いを軽減することができる。

また、複数の前記部屋と、前記複数の部屋が連通する連通空間と、前記連通空間に隣接して設けられ、前記連通空間の境界に沿って並べて配置され、同一の回転方向を有する複数のファンと、を備え、前記複数のファンの各々が生成する流量は、前記連通空間側における前記ファンの回転方向と反対側の隣接ファンの流量以上であって、前記複数のファンのうち前記回転方向の端に配置されたファンの流量は、前記回転方向と反対側の端に配置されたファンの流量よりも多いことが好ましい。これにより、ファンによる気体の流れのうねりによる気圧差を軽減し、以って試験装置内部の気体の流れをスムーズにすることができる。

本発明の他の態様に係る試験装置は、内部にデータ記憶装置を収容し、その内部の温度を調整しながら前記データ記憶装置を試験するデータ記憶装置の試験装置であって、前記データ記憶装置を収容する部屋と、前記試験装置の上方に向かって開口し、内部の気体を排気する排気口と、前記試験装置において上下位置の異なる箇所に設けられ、前記試験装置の外部の空気を内部に吸気する複数の吸気口と、を備え、夫々の前記吸気口から吸気された気体は、前記部屋に至るまで異なる流路を流れるるものである。これにより、内部の温度分布に悪影響を与えることなく試験装置が外部に与える影響を低減し、複数の試験装置を配置する際の不具合を解消することができる。

ここで、異なる前記吸気口は、その開口率を夫々独立して調整可能であることが好ましい。これにより、上方排気における上部と下部との排気態様の違いを軽減することができる。

本発明によれば、大型化を伴うことなく内部の温度のばらつきを低減可能な試験装置を提供すること若しくは内部の温度分布に悪影響を与えることなく試験装置が外部に与える影響を低減し、複数の試験装置を配置する際の不具合を解消することができる。

以下に、本発明を適用可能な実施の形態を説明する。なお、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本形態は、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）の試験装置に関し、特に試験装置内部を循環する空気の吸排気機構に特徴を有する。

最初に、本形態に係る試験装置において試験されるＨＤＤの全体構成を説明する。図１は、本実施の形態に係るＨＤＤ１００の構成を模式的に示す平面図である。ＨＤＤ１００は、データを記録する記録ディスクとしての磁気ディスク１０１を備えている。磁気ディスク１０１は、磁性層が磁化されることによってデータを記録する不揮発性メモリである。ＨＤＤ１００の各構成要素は、ベース１０２内に収容されている。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐカバー（不図示）とガスケット（不図示）を介して固定されることによってディスクエンクロージャ（筐体）を構成し、ＨＤＤ１００の各構成要素を収容することができる。

ヘッド・スライダ１０５は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行うヘッド素子部と、そのヘッド素子部がその面上に形成されているスライダとを備えている。ヘッド素子部は、磁気ディスク１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスク１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子とを有する

アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５を保持、移動する。アクチュエータ１０６は回動軸１０７に回動自在に保持されており、駆動機構としてのＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９によって駆動される。アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置された長手方向におけるその先端部から、サスペンション１１０、アーム１１１、コイル・サポート１１２及びフラットコイル１１３の順で結合された各構成部材を備えている。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４に固定されたステータ・マグネット（不図示）、及び下側ステータ・マグネット（不図示）から構成されている。

磁気ディスク１０１は、ベース１０２に固定されたスピンドル・モータ（ＳＰＭ）１０３に一体的に保持され、ＳＰＭ１０３により所定の角速度で回転される。磁気ディスク１０１からのデータの読み取り／書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転している磁気ディスク１０１表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ１０５を移動する。磁気ディスク１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。磁気ディスク１０１の回転が停止する等のときには、アクチュエータ１０６はヘッド・スライダ１０５をデータ領域からランプ機構１１５に退避させる。

尚、ヘッド・スライダ１０５がデータ書き込み／読み出し処理を行わない場合に、磁気ディスク１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式に、本発明を適用することも可能である。また、上記の説明では、簡単のために磁気ディスク１０１が一枚構成で、片面記憶のハードディスク・ドライブを説明しているが、ＨＤＤ１００は、１もしくは複数枚の両面記憶磁気ディスクを備えることができる。

この様に組み立てられたＨＤＤ１００は専用の装置に接続され、出荷前の動作試験や各種パラメータの設定、調整などを行う。図２、図３および図４（ａ）、（ｂ）を用いて、本実施形態に係る試験装置を説明する。図２は、本実施形態に係る試験装置２００を模式的に示す斜視図であり、図３は、本実施形態に係る試験装置２００を模式的に示す正面図である。また、図４（ａ）は、図２、図３に示す切断線ＡＡにおける断面図であり、図４（ｂ）は、図２、図３および図４（ａ）に示す切断線ＢＢにおける断面図である。図２においては、装置の一部を透過させて点線で示している。尚、図２〜図４（ａ）、（ｂ）においては、図示の容易化のために、適宜構成部材を省略して示しており、図２〜図４（ａ）、（ｂ）のいずれかに図示された構成部材は、他の図において図示されていない場合であっても、対応する位置に存在する。

試験装置２００は、チャンバ２０１、ＨＤＤ挿入部２０２、吸気口２０３、排気口２０４、回動式シャッタ２０５、前面空間２０６、背面空間２０７、左右分割壁２０８、ファン２０９、ヒータ２１０、試験用コンピュータ２１１、カバー２１２、回帰通風口２１３、噴きつけノズル２１４および排気シャッタ２１５を有する。チャンバ２０１は、試験装置２００の基体であり、チャンバ２０１の内部にＨＤＤ挿入部２０２や空気の流路等が形成されている。図３に示すように、チャンバ２０１は上下左右に夫々２分割され、ブロック２０１ａ〜２０１ｄの４つの部分に分割されている。

先に、チャンバ２０１内部における気体の流れを簡単に説明する。以下の説明においては、試験装置が大気中に設置されているものとし、チャンバ２０１内部に空気が吸気されて循環する例を説明する。ファン２０９によって吸気口２０３から吸気された空気は、ヒータ２１０によって適宜加熱され、チャンバ２０１の裏側である背面空間２０７に流れこむ。

背面空間２０７に至った空気は、噴きつけノズル２１４を通ってＨＤＤ挿入部２０２に載置されたＨＤＤ１００に噴きつけられる。ＨＤＤ１００に噴きつけられた空気は、ＨＤＤ挿入部２０２から前面空間２０６に流れ、排気される場合は排気口２０４から排気され、チャンバ２０１内部を循環する場合は、回帰通風口２１３を通ってチャンバ２０１内部の吸気口２０３近傍に流れ、再度ファン２０９を通って背面空間２０７に送られる。以下の説明においては、回帰通風口２１３を通って再度ファン２０９による空気の流れに加わる空気の量を回帰量とする。

吸気口２０３は、チャンバ２０１の前面に設けられた開口であり、チャンバ２０１内部に外気を取り入れる。吸気口２０３はブロック２０１ａ〜２０１ｄの夫々に１つずつ形成される。具体的には、吸気口２０３は、チャンバ２０１前面のＨＤＤ１００を挿入するための開口を避けて、チャンバ２０１前面の両端部に形成されており、上下に分割されたブロック２０１ａとブロック２０１ｃおよびブロック２０１ｂとブロック２０１ｄの夫々に設けられている。

吸気口を外気が通過する方向と、ＨＤＤ１００を試験装置２００のＨＤＤ挿入部２０２に挿入する方向とは略同一である。また、ブロック２０１ａとブロック２０１ｂ、ブロック２０１ｃとブロック２０１ｄとは、異なる吸気口２０３から外気を吸気する。尚、吸気口２０３内部における吸気口２０３近傍の空間を吸気空間２０３ａとする。

吸気口２０３の吸気性能を発揮して吸気量を向上するためには、試験装置２００の周囲に他の装置を配置して、吸気口２０３近傍の空気の流れを妨げることは好ましくない。工場内において、試験装置２００の両側面側には、同様の試験装置２００や他の装置が並べられる場合が多く、また、壁に沿って並べられる場合には背面も塞がれることが考えられる。

しかしながら、試験装置２００にＨＤＤ１００を挿入し若しくは取り出すため、必然的に試験装置２００の前面側にはある程度のスペースが設けられる。従って、吸気口２０３を前面側に配置することにより、試験装置２００の工場内における配置に際しての不具合を解消することができる。また、試験装置２００の高さ方向に亘って吸気口２０３を形成することができ、試験装置２００の極端な大型化を伴うことなく、吸気口２０３の開口面積を広く確保することができる。

ファン２０９は、チャンバ２０１内部において吸気空間２０３ａよりも奥に設けられており、回転することによってチャンバ２０１内部および外部における空気の流れを生成する。ファン２０９は、前面空間２０６に隣接して設けられており、上限連通空間２０６との境界となる側壁に沿って複数個並べられている。複数のファン２０９は夫々同一の回転方向を有し、その回転軸と垂直な方向に並べられており、チャンバ２０１内部の空気の流れによって、前面空間２０６内の空気を回帰通風口２１３から吸気空間２０３ａに引き込む。チャンバ２０１外部の空気の流れによって、吸気口２０３から外気を吸気し、排気口２０４からチャンバ２０１内部の空気を排気する。

チャンバ２０１内部の各部の温度は、チャンバ２０１内部の空気がスムーズに流れていれば均一に保たれ、内部の空気がスムーズに流れないと各部の温度に偏りが生じる。従って、チャンバ２０１内部の空気の流れをスムーズにし、各部の温度を均一に保つことが好ましい。以下の説明においては、単位時間当たりに単位面積を通過する空気の量を流量として説明する。吸気口２０３の開口面積を広く確保したことによって、より多くのファン２０９を設置することができるようになり、チャンバ２０１内部を流れる空気の流量を向上することができる。結果的に、チャンバ２０１内部の各部における温度の偏りを低減することができる。

ヒータ２１０は、チャンバ２０１内部における空気の流れにおいて、ファン２０９の後に配置され、ファン２０９によって外部から吸気された空気若しくは、回帰通風口２１３を通って再度チャンバ２０１内を循環する空気を加熱する。ヒータ２１０は、ブロック２０１ａ〜２０１ｄの夫々の流路に１つずつ形成されており、独立して制御することが可能である。

背面空間２０７は、チャンバ２０１内部における、チャンバ２０１の背面側の空間である。ヒータ２１０によって暖められた空気が次に至る空間が背面空間２０７である。即ち、図４（ａ）に示すように、チャンバ２０１前面の両側端部に形成された吸気口２０３から吸気された空気は、そのままチャンバ２０１内部の両側端部近傍を通り、チャンバ２０１の背面側に回り込む。

吸気口２０３から吸気された空気が背面空間２０７に至るまでの間、チャンバ２０１内部は上下に仕切られており、ブロック２０１ａとブロック２０１ｃ若しくはブロック２０１ｂとブロック２０１ｂとの空気が混ざりあわないようになっている。また、背面空間自体も上下に仕切られている。更に、背面空間２０７は、左右分割壁２０８によって左右に分割されており、ブロック２０１ａとブロック２０１ｂ若しくはブロック２０１ｃとブロック２０１ｄの空気が混ざり合わないようになっている。

噴きつけノズル２１４は、背面空間２０７と夫々のＨＤＤ挿入部２０２とを連通する通気口である。図４（ａ）、（ｂ）に示すように、噴きつけノズル２１４は、夫々のＨＤＤ挿入部２０２に対して１つずつ設けられている。噴きつけノズル２１４は、その開口が、ＨＤＤ挿入部２０２内に載置されるＨＤＤ１００に向かって設けられている。

図３（ｂ）に示すように、噴きつけノズル２１４は、チャンバ２０１の上から下まで、夫々噴きつけノズル２１４ａ〜２１４ｊとして区別され、噴きつけノズル２１４ａ〜２１４ｊに向かって１個ずつその開口寸法が大きくなる。即ち、チャンバ２０１の上側に形成された噴きつけノズル２１４よりも、下側に形成された噴きつけノズル２１４の方がその開口寸法が大きい。これについての効果は後述する。

ＨＤＤ挿入部２０２は試験対象であるＨＤＤ１００を挿入する部屋である。図４（ａ）、（ｂ）に示すように、１つのチャンバ２０１に対して複数の行列に亘ってＨＤＤ挿入部２０２が形成される。また、ＨＤＤ挿入部２０２は、チャンバ２０１の前表面側からＨＤＤを挿入するように形成されている。ここで、ＨＤＤ挿入部２０２の開口は、チャンバ２０１の前表面から奥まって形成されている。ＨＤＤ挿入部２０２の開口とチャンバ２０１の前表面との空間が前面空間２０６である。チャンバ２０１前表面に凹部として形成された前面空間２０６を塞ぐようにカバー２１２が被せられる。即ち、前面空間２０６は、チャンバ２０１の前面側の空間である。

噴きつけノズル２１４からＨＤＤ挿入部２０２内のＨＤＤ１００に噴きつけられた空気が次に至る空間が前面空間２０６である。即ち、チャンバ２０１内の空気は、チャンバ２０１の背面側である背面空間２０７から、ＨＤＤ挿入部２０２を通って前面側に流れる。前面空間２０６も、背面空間２０７と同様に左右分割壁２０８によって左右に区切られている。即ち、ブロック２０１ａとブロック２０１ｂ若しくはブロック２０１ｃとブロック２０１ｄとの空気が混ざり合わないようになっている。しかしながら、前面空間２０６は上下には分割されておらず、ブロック２０１ａとブロック２０１ｃ若しくはブロック２０１ｂとブロック２０１ｄとが連通している。

前面空間２０６の上方には排気口２０４が形成されている。排気口２０４には排気シャッタ２１５が設けられている。図４（ｂ）に示すように排気シャッタ２１５は回動式であり、その角度を調節することによって、排気口２０４を完全に塞いだ状態から排気口２０４が全開の状態まで、排気口２０４の開口率を連続的に変化させることができる。排気口２０４はチャンバ２０１の上面に、上方に向かって開口している。従って、チャンバ２０１から排気される空気は、上方に向かって排気される。また、前面空間２０６は、吸気空間２０３ａと隣接しており、回帰通風口２１３を介して吸気空間２０３ａと連通している。

回帰通風口２１３は、チャンバ２０１内部を一周した空気が、排気口２０４から排気されずに再度チャンバ２０１内部を循環する（回帰する）際に通る通風口である。回帰通風口２１３は、吸気口２０３と同様の高さに配置されている。吸気口２０３、回帰通風口２１３の開口形状は共に略長方形である。回帰通風口２１３と吸気口２０３とは、その長手方向が互いに略平行であって、その開口面が互いに略垂直となるように配置されている。

回帰通風口２１３は吸気空間２０３ａの側壁であって、前面空間２０６側の壁を貫通する開口窓であり、チャンバ２０１の前面、即ち吸気口２０３が形成された面と垂直な壁面を貫通する。従って、回帰通風口２１３と吸気口２０３とは、その開口方向が垂直となる。回帰通風口２１３と吸気口２０３とは吸気空間２０３ａの角部を挟むように形成される。回帰通風口２１３、吸気口２０３は、回動式シャッタ２０５によってその開口を塞がれる。ここで言う開口方向とは、その開口が壁を貫通する方向である。即ち、吸気口２０３の開口方向は、試験装置２００の前面に垂直な方向であり、回帰通風口２１３の開口方向は、前面空間２０６と吸気空間２０３ａとが隣接する方向である。

回動式シャッタ２０５は、吸気口２０３および回帰通風口２１３を完全に塞ぐことができる大きさを有する板状のシャッタである。回動式シャッタ２０５は、その板面に平行な線であって、吸気口２０３と回帰通風口２１３とが挟む吸気空間２０３ａの角部を軸として回動する。換言すると、回動式シャッタ２０５は、吸気口２０３と回帰通風口２１３との間において、吸気口２０３および回帰通風口２１３の長手方向と平行な線を軸として回動する。回動式シャッタ２０５によって吸気量と回帰量とのバランスを変化させ、以ってチャンバ２０１内部の空気の流れを調整しており、吸気口２０３、回動式シャッタ２０５および回帰通風口２１３によって調整部が構成される。

回動式シャッタ２０５は、その板面が吸気口２０３の開口面と略平行な状態から回帰通風口２１３の開口面と略平行な状態まで回動する。即ち、回動式シャッタ２０５は吸気口２０３、回帰通風口２１３のいずれか一方を完全に塞いだ状態から、他方を完全に塞いだ状態まで連続的にその角度を調整可能である。回動式シャッタ２０５は、ブロック２０１ａ〜２０１ｄの吸気口２０３に１つずつ設けられ、夫々を独立して制御することができる。

図４（ａ）に示すように、回動式シャッタ２０５が吸気口２０３を完全に塞いだ状態においては、回帰通風口２１３が全開の状態となる。即ち、外部からチャンバ２０１内部への吸気は行われない。そして、チャンバ２０１内部の空気を排気口２０４から排気せずに内部で循環させることができる。この時の回帰量は最大となる。逆に、図４（ａ）の点線で示すように、回動式シャッタ２０５が回帰通風口２１３を完全に塞いだ状態においては、吸気口２０３が全開の状態となる。即ち、吸気口２０３からチャンバ２０１外部の空気を吸気し、チャンバ２０１内部を１周した空気を再度チャンバ２０１内部で循環させることなく、排気口２０４から排気することができる。即ち回帰量がゼロになる。

さらに、回動式シャッタ２０５の角度を調節し、吸気口２０３と回帰通風口２１３との間で止めることにより、吸気口２０３と回帰通風口２１３との開口率を連続的に変化させることができる。吸気口２０３の開口率が上がるように回動式シャッタを回動すれば、回帰通風口２１３の開口率が下がることとなり、結果的に吸気量を増やして回帰量を減らすことができる。ここで言う開口率とは、吸気口２０３、回帰通風口２１３の開口を正面から見た状態において、回動式シャッタ２０５が重なっていない部分の面積の、吸気口２０３、回帰通風口２１３の開口全体の面積に対する割合を言う。

逆に、吸気口２０３の開口率が下がるように回動式シャッタを回動すれば、回帰通風口２１３の開口率が上がることとなり、結果的に吸気量を減らして回帰量を増やすことができる。このように、回動式シャッタ２０５の角度を制御するだけで、チャンバ２０１の外気の吸気量と、チャンバ２０１内部で循環させる空気の量とのバランスを一元的および連続的に制御することができる。また、チャンバ２０１内部を循環する空気の流量を変化させることなく、吸気量と回帰量とのバランスのみを変えることができる。

尚、回動式シャッタ２０５は、夫々の吸気口２０３、即ち、ブロック２０１ａ〜２０１ｄの夫々について独立して制御することが可能である。また、回動式シャッタ２０５は、所望の回動角度において停止させることが可能であるが、吸気口２０３側から回帰通風口２１３までの間のいくつかの角度においてのみ停止可能にすることもできる。

各ＨＤＤ挿入部２０２に挿入されたＨＤＤ１００は、試験用コンピュータ２１１に接続される。試験用コンピュータ２１１から、各ＨＤＤ挿入部２０２に挿入されたＨＤＤ１００に対して、試験を行うためのプログラム、コマンド、パラメータ情報等が送信される。試験用コンピュータ２１１から、上記の情報及び命令を受信したＨＤＤ１００は、受信した情報に基づいて試験を実行する。

次に、図５（ａ）〜（ｃ）および図６（ａ）〜（ｃ）を参照して本形態に係る試験装置２００の動作について説明する。図５（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）に対応する試験装置２００の断面図であって、回動式シャッタ２０５の異なる角度における内部の空気の流れの状態を矢印で示している。図６（ａ）〜（ｃ）は、図４（ｂ）に対応する試験装置２００の断面図であって、図５（ａ）〜（ｃ）の夫々の状態に対応した状態を示している。

まず、図５（ａ）に示すように、回動式シャッタ２０５が回帰通風口２１３を完全に塞いだ状態においては、吸気口２０３が完全に開いた状態であり、吸気口２０３から吸気される吸気量が最大となる。従って、より多くの外気をチャンバ２０１内部に吸気することができる。チャンバ２０１内部に吸気された空気は、内部の流路を通って前面空間２０６に至る。回動式シャッタ２０５によって回帰通風口２１３が塞がれているため、前面空間２０６内の空気は、吸気空間２０３ａに戻ることはできず、図６（ａ）に示すように排気口２０４から排気される。図６（ａ）に示すように、吸気口２０３が完全に開いている状態においては、排気シャッタ２１５の板面が排気口２０４の開口面と略垂直となり、排気口２０４は完全に開いている。

チャンバ２０１内部の空気は、チャンバ２０１の上面に形成された排気口２０４から上面に向かって排気される。本形態に係るチャンバ２０１は上下左右に分割され、内部の空気が互いに混ざり合わないようになっているが、前面空間２０６のように少なくとも上下に連通した空間の上方に排気口２０４を形成することにより、上方への排気を可能にしている。

ここで、ブロック２０１ｃ、ブロック２０１ｄを循環して前面空間２０６に至った空気は、排気口２０４から排気されるまでに、ブロック２０１ａ、ブロック２０１ｂを通る必要がある。また、ブロック２０１ａおよびブロック２０１ｂにおいても、上側に形成されたＨＤＤ挿入部２０２を通った空気よりも、下側に形成されたＨＤＤ挿入部２０２を通った空気の方が、排気口２０４に至るまでの流路が長い。これにより、チャンバ２０１内部の上側と下側とで、排気効率に差が出ることが考えられる。

即ち、図３に示すように、内部で流路（本実施形態においては、噴きつけノズル２１４ａ〜２１４ｊおよびＨＤＤ挿入部２０２）が上下方向に積み重ねられたチャンバ２０１において、排気口２０４をチャンバ２０１の上面に形成したことにより、上下の流路において排気の態様に差が出てしまう。これにより、夫々の流路間で流量に差が生じ、結果的に温度差が生じてしまう。

これに対し、本実施形態においては、図４（ｂ）に示すように、噴きつけノズル２１４ａ〜ｊの開口寸法を変えることにより、この課題を解決している。即ち、上側の噴きつけノズル２１４よりも下側の噴きつけノズル２１４の開口寸法を大きくすることにより、背面空間２０７からＨＤＤ挿入部２０２を経て前面空間２０６に至るまでの流路において、上側の流量よりも下側の流量を増やすことができる。これにより、排気口２０４から遠い下側の流路を流れる空気と排気口に近い上側の流路を流れる空気とが同様に排気口２０４から排気されるようにすることができる。

図５（ｂ）に示すように、回動式シャッタ２０５が吸気口２０３と回帰通風口２１３との間に位置した状態においては、図５（ａ）に示す状態よりも吸気口２０３の開口率が下がり、結果的に吸気量が下がる。それに対し、回帰通風口２１３が完全に塞がれた状態ではなくなり、前面空間２０６内の空気が回帰通風口２１３を通って吸気空間２０３ａに流れ込む。

図５（ｂ）に示す状態においては、図６（ｂ）に示すように、排気シャッタ２１５の板面が排気口２０４の開口面に対して所定の角度を有し、排気口２０４の開口率が全開の状態よりも低くなっている。これにより、排気口２０４からの排気量が制限され、回帰通風口２１３を通って吸気空間２０３ａに流れ込み、再度チャンバ２０１内を循環する空気を確保することができる。

図５（ｃ）に示すように、回動式シャッタ２０５が回帰通風口２１３を完全に塞いだ状態においては、回帰通風口２１３が完全に開いた状態であり、吸気量がゼロとなり、回帰量が最大となる。また、図６（ｃ）に示すように、排気口２０４が完全に閉じた状態となる。これにより、チャンバ２０１内部の空気を排気することなく、内部で循環させることができる。即ち、チャンバ２０１外部の空気を吸気せず、ヒータ２１０によって暖められた空気を循環させるため、チャンバ２０１内部の温度を上げることができる。

本形態に係る試験装置２００においては、ヒータ２１０と回動式シャッタ２０５とを制御することにより、チャンバ２０１内部の温度を調節する。ヒータ２１０の制御によるチャンバ２０１内部の温度制御においては、チャンバ２０１内部の温度を上げる場合にはヒータ２１０の温度を上げ、チャンバ２０１内部の温度を下げる場合にはヒータ２１０の温度を下げる若しくはヒータ２１０をオフにする。

回動式シャッタ２０５の制御によりチャンバ２０１内部の温度を制御する場合、チャンバ２０１内部の温度を上げる場合には吸気口２０３の開口率を下げる若しくは吸気口２０３を閉じる。逆に、チャンバ２０１内部の温度を下げる場合には、吸気口２０３の開口率を上げて回帰通風口２１３の開口率を下げる若しくは回帰通風口２１３を閉じる。この時、吸気口２０３の開口率に合わせて排気口２０４の開口率、即ち排気シャッタ２１５の角度も制御する。

実際のチャンバ２０１内部の温度制御においては、ヒータ２１０の制御と回動式シャッタ２０５の角度制御とを組み合わせて行っても良いし、ヒータ２１０の温度は固定しておいて、回動式シャッタ２０５の角度制御のみにより制御しても良い。例えば、チャンバ２０１内部を、試験装置が設置された工場内の温度よりも高い温度に保ちたい場合は、ヒータ２１０の温度を固定しておいて、回動式シャッタ２０５の角度調節により制御する。ヒータ２１０の温度を制御するよりも回動式シャッタ２０５の角度を制御する方が、制御命令に対する迅速なレスポンスが期待できるため好ましい。

暖められたチャンバ２０１内部を冷却する場合は、ヒータ２１０をオフにした上で、回動式シャッタ２０５を図５（ａ）に示す状態にする。これにより、チャンバ２０１内部に吸気される吸気量が最大となり、外気による冷却効率を最大にすることができる。

チャンバ２０１がブロック２０１ａ〜２０１ｄに分割されていることにより、夫々のブロックの温度を独立に制御し、チャンバ２０１全体の温度の偏りを解消することができる。以って、試験装置２００で一度に試験される複数のＨＤＤ１００を、同等の環境で試験することができる。試験対象であるＨＤＤ１００には夫々個体差があり、例えば動作時、試験時の発熱量が異なる。従って、発熱量の高いＨＤＤ１００が多いブロックと発熱量の低いＨＤＤ１００が多いブロックとでは、温度に差が出てしまい、同等の環境で試験を行えなくなってしまう。

本実施形態においては、ブロック２０１ａ〜２０１ｄ内の夫々数箇所に温度センサが設けられ、夫々のブロックごとの平均温度がわかるようになっている。夫々のブロックで温度に差が出てきた場合には、そのブロックのヒータ２１０若しくは回動式シャッタ２０５を制御することにより、ブロックごとに温度を制御することができる。例えば、図５（ｃ）の状態で試験を行っている最中に、ブロック２０１ａの温度が他のブロックに比べて上昇してしまう場合は、ブロック２０１ａの吸気口２０３が開くように回動式シャッタ２０５を制御することによって、ブロック２０１ａの温度のみ制御することができる。

また、ブロック２０１ａとブロック２０１ｃ若しくはブロック２０１ｂとブロック２０１ｄとで吸気口２０３の開口率を変えることにより、主に図５（ａ）に示すように吸気した空気の大部分を排気してチャンバ２０１内部を冷却する場合に、チャンバ２０１内部の空気の流れをスムーズにすることができる。本形態では上述したように、噴出しノズル２１４ａ〜２１４ｊの開口寸法を変えることにより、チャンバ２０１の上側と下側との排気性能の差を解消している。

しかしながら、図５（ａ）に示すように回帰通風口２１３を閉じるように回動式シャッタ２０５を配し、回帰通風口２１３を閉じた状態において、ＨＤＤ挿入部２０２から前面空間２０６に流れ込んだ空気の流量に、排気口２０４の排気性能が追いつかない場合、ブロック２０１ａおよびブロック２０１ｂの空気が、前面空間２０６に滞留し若しくは下方に流れてしまう。この結果、ブロック２０１ｃおよびブロック２０１ｄを流れる空気の排気にとって障害となる。

ブロック２０１ｃおよびブロック２０１ｄの排気性能の低下に伴って吸気性能も下がり、結果的に、ブロック２０１ｃおよびブロック２０１ｄの流量が低下して冷却効率が下がる。これに対し、ブロック２０１ａおよびブロック２０１ｂの回動式シャッタ２０５を、回帰通風口２１３の開口率が上がるように回動させることにより、排気口２０４によって排気されない空気を再度チャンバ２０１内部に回帰させることができる。

これにより、排気口２０４の排気性能を上回る量の空気が、前面空間２０６に滞留し若しくは下方に流れることを防ぐことができ、ブロック２０１ｃおよびブロック２０１ｄの排気の障害となることを防ぐことができる。尚、チャンバ２０１全体の吸気量と排気量とのバランスをとるためには、ブロック２０１ａ、２０１ｂのみならず、ブロック２０１ｃ、２０１ｄの回動式シャッタ２０５を制御して吸気量を制御することも有効である。

本形態に係る試験装置２００は、内部の空気の流れをファン２０９の回転により生成するため空気のうねりが発生する。これにより、チャンバ２０１内部、特に前面空間２０６の各部の気圧に差が生じ、結果的に各部の流量に差が生じてしまう。図７は、試験装置２００の模式正面図に本例における空気のうねりを矢印で示した図である。吸気口２０３内部の矢印は、ファン２０９の回転方向を示す。

図７に示すように、試験装置２００の正面に向かって右側のブロック、即ちブロック２０１ｂ、２０１ｄの前面空間２０６では上側の気圧が高くなり、左側のブロック、即ちブロック２０１ａ、２０１ｃの前面空間２０６では下側の気圧が高くなる。前面空間２０６の気圧が高い部分では、背面空間２０７側からの流量が低下し、その部分のＨＤＤ挿入部２０２に挿入されたＨＤＤ１００に噴きつけられる空気の風量が低下する。結果的に、他の部分との温度が生じてしまう。

これを解消するために、空気のうねりに合わせてファン２０９のサイズまたは回転数若しくはその両方を調整している。即ち、ブロック２０１ｂ、２０１ｄにおいては、上側に設けられたファン２０９ほど流量が増えるようにファンのサイズおよび回転数を調整し、ブロック２０１ａ、２０１ｃにおいては、下側に設けられたファン２０９ほど流量が増えるように調整している。具体的には、ブロック２０１ｂ、２０１ｄにおいては、下側のファン２０９から上側のファン２０９まで１個ずつその流量が徐々に増加し、ブロック２０１ａ、２０１ｃにおいては、上側のファン２０９から下側のファン２０９まで１個ずつその流量が徐々に増加する。

尚、各々のファン２０９が生成する流量は、前面空間２０６側におけるファン２０９の回転方向の反対側に隣接するファン１０９の流量以上であって、その回転方向の端に配置されたファン２０９の流量は、反対側の端に配置されたファン２０９の流量よりも多ければ良い。即ち、図７のブロック２０１ｂ、２０１ｄにおいては、互いに隣接するファン２０９における上側のファン２０９の流量はその下側のファン２０９の流量以上であり、一番上のファン２０９の流量は一番下のファン２０９の流量よりも多ければ良い。また、ブロック２０１ａ、２０１ｃにおいては、下側のファン２０９の流量はその上側のファン２０９の流量以上であり、一番下のファン２０９の流量は一番上のファン２０９の流量よりも多ければ良い。従って、複数のＨＤＤ挿入部２０２毎に噴きつけノズル２１４の開口面積が変化する場合や、ＨＤＤ挿入部２０２のある地点を境に噴きつけノズル２１４の開口面積が変化する場合等も含まれる。

本形態においては、排気口２０４の開口を試験装置２００の上面に形成しており、チャンバ２０１内部の空気は上方に向かって排気される。従って、側方に排気する場合よりもチャンバ２０１の排気が他の試験装置や工場内の温度に与える影響を低減することができる。また、側方に同様の試験装置２００を配置する場合や他の装置を配置する場合に、隣接する装置との間に隙間を設ける必要がなくなる。

上記の説明においては、噴きつけノズル２１４の開口寸法を変えることにより、チャンバ２０１の上側と下側との排気性能の違いを解消していたが、空気のうねりによる気圧差を解消するのと同様に、ファン２０９のサイズや回転数を変えても良い。即ち、上側のファン２０９よりも下側のファン２０９にサイズの大きいファンや回転数の高いファンを用いることにより、チャンバ２０１の下側の流量を上げることができる。これにより、排気口２０４に近い流路と排気口２０４から遠い流路との排気性能の違いを解消することができる。また、空気のうねりによる気圧差に対して、噴きつけノズル２１４の開口寸法を変えることにより対処することもできる。

また、上記の説明においては、噴きつけノズル２１４ａ〜２１４ｊに向かって、１個ずつその開口寸法が大きくなる例を説明したが、少なくとも各々のＨＤＤ挿入部２０２に設けられた噴きつけノズル２１４の開口面積が、排気口２０４側に隣接する、即ち排気口２０４に近い側に隣接するＨＤＤ挿入部２０２に設けられた噴きつけノズルの開口面積以上であれば良く、排気口２０４に最も遠い側のＨＤＤ挿入部２０２に設けられた噴きつけノズル２１４の開口面積が、最も近い側のＨＤＤ挿入部２０２に設けられた噴きつけノズル２１４の開口面積よりも大きければよい。従って、複数のＨＤＤ挿入部２０２毎に噴きつけノズル２１４の開口面積が変化する場合や、ＨＤＤ挿入部２０２のある地点を境に噴きつけノズル２１４の開口面積が変化する場合等も含まれる。尚、これは上記のファンの回転数やファンサイズについても同様である。

上記の説明においては、吸気口２０３の開口面と回帰通風口２１３の開口面とが略直角となるように配置されている例を説明したが、特に略直角となっている必要はなく、回動式シャッタ２０５の角度によって、回帰量と吸気量とのバランスを制御可能であれば、上記と同様の効果を得ることができる。しかしながら、図４（ａ）に示すように、吸気口２０３の開口面と回帰通風口２１３の開口面とを略垂直に配置することにより、どちらか一方を完全に塞いだ状態において、他方の開口方向と回動式シャッタ２０５の板面とが平行に配置され、回動式シャッタ２０５が空気の流れの妨げとなることを回避することができるため好ましい。

上記の説明にておいては、回動式シャッタ２０５が吸気口２０３と回帰通風口２１３との間で動作することにより、吸気量と回帰量とのバランスを制御する例を説明した。しかしながら、排気量と吸気量とは連動して変化するため、排気量と回帰量とを制御するようにしても良い。即ち、チャンバ２０１内外の気体の出入り口となる開口（外気口）と回帰通風口との開口部を、回動式シャッタ２０５を用いて一元的に制御することにより、上記と同等の効果を得ることができる。具体的には、回動式シャッタ２０５が、回帰通風口２１３と排気口２０４との間で動作し、回帰通風口２１３と排気口２０４との開口率のバランスを一元的に制御するようにしても、上記と同様の効果を得ることができる。

上記の説明においては、回動式シャッタ２０５がその角度によって吸気口２０３および回帰通風口２１３を完全に塞ぐ例を説明した。しかしながら、回動式シャッタ２０５は、必ずしも吸気口２０３および回帰通風口２１３を完全に塞ぐ位置まで回動可能でなくとも良い。即ち、回動式シャッタ２０５は、吸気口２０３の開口率が最も低い状態であって、その開口が完全には塞がれておらず、隙間が開いている状態から、回帰通風口２１３の開口率が最も低い状態であって、その開口が完全には塞がれておらず、隙間が開いている状態まで回動するようにしても良い。また、どちらか一方を完全に塞ぐまで回動可能にすることもできる。

本発明の実施形態における、ハードディスク・ドライブの構成を示す模式平面図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置を模式的に示す斜視図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置を模式的に示す正面図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置を模式的に示す断面図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置および試験装置内部の空気の流れを模式的に示す正面図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置および試験装置内部の空気の流れを模式的に示す正面図である。 本発明の実施形態における、ＨＤＤ試験装置を模式的に示す正面図である。

符号の説明

１００ ＨＤＤ、１０１ 磁気ディスク、１０２ ベース、
１０３ スピンドル・モータ、１０５ ヘッド・スライダ、１０６ アクチュエータ、
１０７ 回動軸、１０９ ボイス・コイル・モータ、１１０ サスペンション、
１１１ アーム、１１２ コイル・サポート、１１３ フラットコイル、
１１４ 上側ステータ・マグネット保持板、１１５ ランプ機構、
２００ 試験装置、２０１ チャンバ、２０１ａ〜２０１ｄ ブロック、
２０２ ＨＤＤ挿入部、２０３ 吸気口、２０３ａ 吸気空間、２０４ 排気口、
２０５ 回動式シャッタ、２０６ 前面空間、２０７ 背面空間、
２０８ 左右分割壁、２０９ ファン、２１０ ヒータ、２１１ 試験用コンピュータ、
２１２ カバー、２１３ 回帰通風口、２１４ 噴きつけノズル、
２１４ａ〜２１４ｊ 噴きつけノズル、２１５ 排気シャッタ、

Claims (12)

1. 内部にデータ記憶装置を収容し、その内部の温度を調整しながら前記データ記憶装置を試験するデータ記憶装置の試験装置であって、
   前記データ記憶装置を収容する部屋と、
   前記部屋を含む前記試験装置内部の流路を流れる気体の流れを調整する調整部と、を有し、
   前記調整部は、
   外気を吸気し若しくは内部の気体を排気する外気口と、
   前記流路を通過した気体を再び前記流路に回帰させる回帰通風口と、
   前記外気口および前記回帰通風口の開口率を変えるシャッタと、を有し、
   前記シャッタは、前記外気口の開口率が最も低い第１の状態から前記回帰通風口の開口率が最も低い第２の状態まで変化し、
   前記シャッタが前記第１の状態から前記第２の状態に近づくに従って、前記外気口の開口率が上がると共に前記回帰通風口の開口率が下がる、試験装置。
2. 前記外気口は、前記試験装置内部に外気を吸気する吸気口であり、
   前記外気口を外気が通過する方向と前記データ記憶装置を前記部屋に挿入する方向とが同じ、請求項１に記載の試験装置。
3. 前記シャッタは、板状の部材であり、その板面に平行な線を軸として回動することにより前記第１の状態から前記第２の状態に変化する、請求項１に記載の試験装置。
4. 前記外気口と前記回帰通風口とはその開口方向が互いに垂直である、請求項１に記載の試験装置。
5. 複数の前記調整部を備え、
   前記複数の調整部の外気口は、前記試験装置内部に外気を吸気する吸気口であり、
   異なる前記外気口から吸気された気体は、前記部屋に至るまで互いに混ざり合うことなく流れる、請求項１に記載の試験装置。
6. 複数の前記調整部の前記シャッタは、夫々独立して制御可能である、請求項５に記載の試験装置。
7. 前記試験装置の上方に向かって開口し、内部の気体を排気する排気口を備える、請求項１に記載の試験装置。
8. 内部の気体を排気する排気口と、
   前記部屋内に載置された前記データ記憶装置に、前記試験装置内部で循環する気体を噴きつける噴きつけノズルを備え、
   前記部屋は、前記排気口から遠ざかる方向に複数設けられ、
   夫々の前記部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積は、その排気口側の隣接部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積以上であり、
   前記排気口から最も遠い部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積は、最も近い部屋に設けられた噴きつけノズルの開口面積よりも大きい、請求項１に記載の試験装置。
9. 内部の気体を排気する排気口と、
   前記排気口から遠ざかる方向に配列され、前記試験装置内部に外気を吸気するための空気の流れを生成する複数のファンと、を備え、
   前記複数のファンの各々が生成する流量は、その排気口側の隣接ファンの流量以上であって、前記排気口から最も遠いファンの流量は、最も近いファンの流量よりも多い、請求項１に記載の試験装置。
10. 複数の前記部屋と、
    前記複数の部屋が連通する連通空間と、
    前記連通空間に隣接して設けられ、前記連通空間の境界に沿って並べて配置され、同一の回転方向を有する複数のファンと、を備え、
    前記複数のファンの各々が生成する流量は、前記連通空間側における前記ファンの回転方向と反対側の隣接ファンの流量以上であって、前記複数のファンのうち前記回転方向の端に配置されたファンの流量は、前記回転方向と反対側の端に配置されたファンの流量よりも多い、請求項１に記載の試験装置。
11. 内部にデータ記憶装置を収容し、その内部の温度を調整しながら前記データ記憶装置を試験するデータ記憶装置の試験装置であって、
    前記データ記憶装置を収容する部屋と、
    前記試験装置の上方に向かって開口し、内部の気体を排気する排気口と、
    前記試験装置において上下位置の異なる箇所に設けられ、前記試験装置の外部の空気を内部に吸気する複数の吸気口と、を備え、
    夫々の前記吸気口から吸気された気体は、前記部屋に至るまで異なる流路を流れる、試験装置。
12. 異なる前記吸気口は、その開口率を夫々独立して調整可能である、請求項１１に記載の試験装置。

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