KR100639436B1 - 번인소켓 세정장치 - Google Patents

Abstract

개시된 번인소켓 세정장치는, 번인소켓의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 번인소켓의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와; 번인소켓의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과; 번인소켓에 대하여 수직으로 승강할 수 있는 승강부와, 대략 '┌'자 형상을 가지고, 승강부와 결합되어 연동하여 승강이동하는 제1클램프와, 대략 '┙'자 형상을 가지고, 제1클램프와 대략 '□'자를 형성하도록 제 1클램프의 각단부와 슬라이딩결합하며, 일측에 구비된 이동부에 의해 제1클램프의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 제2클램프를 포함하여 번인소켓을 제1클램프와 제2클램프의 내측에 장착·고정시키는 번인소켓지그; 및 상부에 번인소켓지그가 설치되며 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 번인소켓의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 번인소켓에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지와, 상부스테이지의 하부에 장착되어 상부스테이지의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지를 포함하는 지그스테이지를 포함한다. 상기한 바와 같이 구성된 번인소켓 세정장치에 의하면, 번인소켓전극에 부착된 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 레이저빔을 통해 소켓하우징의 변형을 주지않고도 번인소켓전극의 오염물질만을 선택하여, 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있어 번인소켓의 수명을 연장시킬 수 있다.

번인소켓, 레이저, 지그

Description

번인소켓 세정장치{Cleaning apparatus for burn-in socket}

도 1은 일반적인 번인소켓을 나타낸 사시도,

도 2는 도 1에 도시된 번인소켓의 전극이 오염된 상태를 나타낸 도면,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 번인소켓 세정장치의 개략적인 도면,

도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 번인소켓지그를 나타낸 평면도와 측면도,

도 6는 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면,

도 7은 다수개의 번인소켓을 장착할 수 있는 번인소켓트레이를 나타낸 사시도,

도 8은 도 7에 도시된 번인소켓트레이를 설치한 지그스테이지를 나타낸 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100... 크리닝레이저발생기 150... 번인소켓 트레이

151... 번인소켓삽입홀 200... 모니터유닛

210... 비젼카메라 220... 비젼모니터

300... 번인소켓지그 310... 승강부

320... 제1클램프 330... 제2클램프

400... 지그스테이지 410... 상부스테이지

420... 하부스테이지 500... 번인소켓 세정장치

본 발명은 번인소켓 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 번인 보드에 구비되어 반도체칩 패키지와 접촉하는 번인소켓의 전극에 부착된 오염물질을 제거할 수 있는 번인소켓 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 번인소켓(Burn-in socket)은, 반도체 집적회로 소자를 제조한 다음 전기적 특성 검사를 하기 전에 소자에 열적, 전기적 스트레스를 가하여 초기 수명 불량을 유도하기 위한 번인검사(Burn-in test)를 실시하여 수명이 짧은 집적회로 소자를 골라내는 작업 중 사용되는 번인 보드에 구비되는 것으로서, 이러한 번인소켓으로서 도 1에 도시된 바와 같은 구조가 일반적으로 채용되었다. 도면을 참조하면, 일반적인 번인소켓(10)은 소켓하우징(6)에 집적회로 소자의 리드와 전기적으로 연결되는 다수개의 번인소켓 전극(5)을 포함한다.

한편, 상기 번인소켓(10)에는 시일이 경과함에 따라 상기 번인소켓 전극(5)의 표면에 도 2에 도시된 바와 같이, 관리할 때 발생하는 먼지나 오염물질이 부착되는데, 이로 인해 상기 번인소켓(10)은 집적회로 소자와의 접촉이 불량하게 되어 번인검사에 악영향을 끼치는 문제점이 발생된다.

이에 따라, 상기 번인소켓 전극(5)에 부착된 오염물질을 제거해야하는 세정작업이 필요하게 되며, 이러한 세정방법으로 종래에는 금속산화제를 혼합한 혼합용 제를 제조하여 상기 번인소켓를 일정시간 담가두어 산화시키는 화학적인 세정방법을 주로 이용하였다.

그런데, 상기한 화학적인 세정방법은, 상기 혼합용제 내의 번인소켓 전극의 오염상태에 따른 반응제어를 전혀 할 수 없으므로 고가의 번인소켓 전극이 과부식에 의해 과잉산화 반응을 하여 화학적 파손이 심각하게 되고, 과크리닝현상으로 인해 소켓하우징의 파손 및 표면형상을 변형시키며, 특히 부분적인 세정을 할 수 없는 문제점이 발생하여 비효율적일 뿐만 아니라, 또한 산화 반응 때에 발생하는 유해가스로 인한 2차오염의 가속화와 중금속 수질오염발생의 환경적인 문제점도 가지고 있다.

뿐만 아니라, 상기한 바와 같이 종래의 번인소켓 세정장치는, 지나친 세정 즉 과잉산화반응에 의해 번인소켓 전극이 부식되어 화학적 파손 및 형태변형을 야기시킬 뿐만 아니라 이에 대한 화학적 반응의 제어도 어려워 2차부식 가속화로 제품수명이 단축되는 문제점을 내포하고 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 번인소켓팁의 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 지정한 부분을 선택하여 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 하여 2차오염의 발생을 방지함과 동시에 번인검사의 에러를 최소화할 수 있으며, 번인소켓의 수명을 연장시킬 수 있도록 개선된 번인소켓 세정장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예 에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 번인소켓 세정장치는, 번인소켓의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 번인소켓의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와; 상기 번인소켓의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과; 상기 번인소켓에 대하여 수직으로 승강할 수 있는 승강부와, 대략 '┌'자 형상을 가지고, 상기 승강부와 결합되어 연동하여 승강이동하는 제1클램프와, 대략 '┙'자 형상을 가지고, 상기 제1클램프와 대략 '□'자를 형성하도록 상기 제 1클램프의 각단부와 슬라이딩결합하며, 일측에 구비된 이동부에 의해 상기 제1클램프의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 제2클램프를 포함하여 상기 번인소켓을 상기 제1클램프와 제2클램프의 내측에 장착시키는 번인소켓지그; 및 상부에 상기 번인소켓지그가 설치되며 상기 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 상기 번인소켓의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 상기 번인소켓에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지와, 상기 상부스테이지의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지를 포함하는 지그스테이지를 구비할 수 있다.

여기서, 입력장치와; 중앙제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기를 조절하는 레이저발생기제어부를 포함하는 제어유닛;을 더 포함한다.

게다가, 상기 제어유닛은, 모니터제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함한다.

또한, 상기 레이저크리닝발생기는, 상기 번인소켓에 대하여 수직하게 이동가능한 것이 바람직하다.

덧붙여, 상기 모니터유닛은, 상기 번인소켓의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라와, 상기 비젼카메라와 연결되어 상기 비젼카메라의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터인 것이 바람직하다.

부가하여, 본 발명의 번인소켓 세정장치는, 번인소켓지그의 제1클램프와 제2클램프의 내측에 장착되며, 일측면에 다수개의 상기 번인소켓이 장착되는 번인소켓삽입홀이 형성된 번인소켓트레이를 더 구비할 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어나 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각해서 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 개재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예 들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 번인소켓 세정장치의 개략적인 도면이며, 도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 번인소켓지그를 나타낸 평면도와 측면도이고, 도 6은 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면이다.

먼저, 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치(500)는, 번인소켓(10)의 상부로부터 레이저빔(110)을 조사하여 번인소켓(10)의 번인소켓 전극에 부착된 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기(100)와, 상기 번인소켓(10)의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛(200)과, 상기 번인소켓을 장착고정시키는 번인소켓지그(300) 및 이 번인소켓지그(300)가 설치되어 이동시키는 지그스테이지(400)를 포함한다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치(500)는 입력장치(30)와, 도시하지는 않았지만 중앙제어부와, 이 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기(100)를 조절하는 레이저발생기조절부를 포함하는 제어유닛을 더 포함한다. 이 때, 상기 입력장치(30)는 도시된 바와 같이 프레임(20)의 일측에 구비되어 외부에서 사용자가 입력할 수 있도록 컨트롤키로 할 수 있으며, 상기 컨트롤키를 통해 상기 중앙제어부로 신호를 전송할 수 있다.

게다가, 상기 제어유닛은, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함한다.

따라서, 상기와 같은 번인소켓 세정장치(500)는 상기 모니터유닛(200)을 통 해 상기 번인소켓의 번인소켓전극의 오염상태를 정확하게 관찰 분석할 수 있으며, 이에 따라 효과적인 세정작업을 실시할 수 있게 된다.

상기한 구조의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치(500)를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상기 크리닝레이저발생기(100)는 상기 번인소켓의 번인소켓 전극의 오염물질을 제거할 수 있도록 상기 번인소켓의 상부에 위치하여 레이저빔(110)을 조사하며, 이 때 상기 크리닝레이저발생기(100)는 상기 번인소켓(10)에 대하여 수직하게 이동가능하다. 여기서, 상기 크리닝레이저발생기(100)의 수직이동은 외부의 별도 장치나 본 발명의 전체 프레임(20)에 대하여 슬라이드 이동가능한 장치 및 기어 등으로 적용가능하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 모니터유닛(200)은, 상기 상기 번인소켓(10)의 번인소켓전극의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라(210)와, 상기 비젼카메라(210)와 연결되어 상기 비젼카메라(210)의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터(220)인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 비젼카메라(210)와 비젼모니터(220)의 위치는 작업환경과 설치공간에 따라 그 위치와 수를 다양하게 변경시킬 수 있다.

한편, 상기 제어유닛은 본 발명의 바람직한 실시예 이외에도 다른 변용예가 가능함은 물론이며, 상기 제어유닛과 비젼모니터(220)와 비젼카메라(210) 및 상기 크리닝레이저발생기(100)의 수직이동을 할 수 있게 하는 구체적인 구조나 장치는 통상적인 장치이므로 작동과 구조는 생략하기로 한다.

그러므로, 상기한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세 정장치(500)는, 상기 모니터유닛(200)과 수직이동이 가능한 크리닝레이저발생기(100) 및 레이저발생기조절부에 의해 상기 번인소켓전극에 부착된 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 최적의 세정조건으로 번인소켓의 전극만을 선택하여 그 크기에 대응하여 레이저빔의 크기를 조절하여 조사함으로써 소켓하우징(6; 도 1참조)의 손상을 피할 수 있도록 오염물질만을 정확하게 선택하여 완벽한 세정작업을 할 수 있다.

이와 함께, 상기 번인소켓지그(300)는, 상기 번인소켓(10)에 대하여 수직으로 승강할 수 있는 승강부(310)와, 이 승강부(310)와 결합된 제1클램프(320)와, 이 제1클램프(320)와 연결된 제2클램프(330)를 포함하여 상기 제1클램프(320)와 제2클램프(330)의 내측에 장착·고정시킬 수 있으며, 상기 번인소켓지그(300)의 구체적인 구조와 작동은 도 4 및 도 5에 나타내었다.

먼저 도 4를 참조하면, 대략 '┌'자 형상을 가지고, 상기 승강부(310)의 승강고정축(315)과 고정결합되어 상기 승강부(310)와 연동하여 승강이동하는 제1클램프(320)와, 대략 '┙'자 형상을 가지고, 상기 제1클램프(320)와 대략 '□'자를 형성하도록 상기 제 1클램프(320)의 각단부와 슬라이딩결합하며, 상기 제1클램프(320)의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 제2클램프(330)를 포함한다.

구체적으로, 상기 제1클램프(310)는 대략 '┌'자 형상으로 양단측부에는 장공의 제1슬라이딩홀(325)이 각각 형성되어 있으며, 상기 제2클램프(330)는 대략 '┙'자 형상으로 장공의 제2슬라이딩홀(335)이 각각 형성되어 있다. 이 때, 상기 각각의 제1슬라이딩홀(325)과 제2슬라이딩홀(335)은 연결부재(340)에 동시에 삽입되 어, 상기 연결부재(340)에 의해 상기 제1클램프(320)와 제2클램프(330)는 대략 '□'자를 형성할 수 있도록 연결되어 있다.

부가하여, 상기 제1클램프(320)의 절곡된 부분에는 상기 승강부(310)의 승강고정축(315)과 고정연결되어 상기 승강부(310)의 승강이동에 따라 상기 제1클램프(320)는 연동하여 승강하게 되며, 상기 제2클램프(330)의 절곡된 부분에는 이동부(350)가 구비되어 있으며, 사용자는 직접 상기 이동부(350)를 조작하여 도 4에 도시된 화살표방향으로 슬라이딩이동시킬 수 있는데, 이러한 상기 제2클램프(330)의 이동은 상기 장공의 제1슬라이딩홀(325)과 제2슬라이딩홀(335)을 따라 슬라이딩 이동하게 된다.

여기서, 상기 승강부(310)는, 승강이동할 수 있도록 전자식이나 유압 및 모터를 이용할 수 있으며, 상기 이동부(350)는 사용자가 직접조작할 수 있는 레버나 전자식 또는 모터 및 유압 등의 적용도 가능하지만 이에 한정하는 것은 아니다. 그리고, 상기 연결부재(340)는 상기 제1슬라이딩홀(325)과 상기 제2슬라이딩홀(335)에 삽입되어 상기 제1클램프(320)와 제2클램프(330)가 슬라이딩가능한 구조로 되어 있으며, 이에 대한 구체적인 구조와 작동은 통상적인 것으로 생략하기로 한다.

도 5는 도 4에 도시된 번인소켓지그에서 I방향으로 보았을 때의 측면도를 나타낸 도면이다. 여기서, 상기 번인소켓지그(300)는 상기 승강부(310)의 승강고정축(315)에 제1클램프(320)가 고정연결되어 있으며, 상기 제1클램프(320)는 제2클램프(330)와 연결되어 있어, 상기 승강부(310)의 승강이동에 따라 연동하여 제1클램프(320) 및 제2클램프(330)가 동시에 승강이동할 수 있으며, 뿐만 아니라 도 3에 도 시된 바와 같이 상기 제1클램프(320)와 제2클램프(330)를 서로 멀어지거나 가까워지도록 상대이동시킬 수 있는 구조로 되어 있다. 이 때문에 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치(500)는, 번인소켓(10)의 다양한 크기와 높이에 각각 대응하여 안정적이고 확실하게 번인소켓을 장착고정시킬 수 있다.

한편, 도 6은 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면으로서, 상기 지그스테이지(400)는, 상부에 번인소켓지그(300)가 설치되며, 도면에 나타난 화살표방향으로 상기 번인소켓에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지(410)와, 이 상부스테이지(410)의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지(410)의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지(420)를 포함한다. 이러한 구조의 지그스테이지(400)는, 수평 또는 수직방향으로 방향전환이 가능하기 때문에, 상기 번인소켓의 원하는 위치에 상기 크리닝레이저발생기(100)에서 조사되는 레이저빔(110)이 정확히 조사가 될 수 있다. 여기서, 상기 지그스테이지(400)의 이동에 대한 작동은 유압 또는 모터에 의하여 이동될 수 있으며, 이에 대한 구체적인 구조와 작동은 통상적인 것으로써 생략하기로 한다.

덧붙여, 상기 모니터유닛(200)과 크리닝레이저발생기(100)와 지그스테이지(400)는 각각 연결된 프레임(20)에 의해 지지고정되는 것이 바람직하며, 이러한 프레임(20)은 설치공간과 구조에 따라 다양한 변용예가 가능하다.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치에서 상기 번인소켓지그에 장착·고정될 수 있으며, 다수개의 번인소켓을 장착할 수 있는 번인소켓트레이를 나타낸 사시도이며, 도 8은 도 7에 도시된 번인소켓트레이를 설치한 지 그스테이지를 나타낸 도면이다.

먼저, 도 7을 참조하면, 상기 번인소켓트레이(150)의 일측면에는 다수개의 상기 번인소켓(10)이 장착될 수 있는 다수개의 번인소켓삽입홀(151)이 관통형성되어 있으며, 여기서 상기 번인소켓삽입홀(151)은 다양한 형태와 크기의 번인소켓(10)에 대응하여 그 형상을 달리할 수 있다.

한편, 상기한 구조의 번인소켓트레이(150)는 도 8에 나타난 바와 같이 상기 번인소켓지그(300)의 제1크램프(320)와 제2크램프(330)의 내측에 장착되며, 상기 번인소켓트레이(150)를 통해 다수의 번인소켓(10)을 동시에 작업을 할 수 있어 대량 작업을 용이하게 할 수 있다.

따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치(500)는, 번인소켓지그(300)를 통해 사용자의 작업성을 향상시킬 뿐만 아니라 번인검사에서 사용되고 있는 다양한 형태의 번인소켓(10)을 그 형태에 대응하여, 정확하고 간편하게 장착고정시킬 수 있으며, 번인소켓전극(5)의 다양한 외형치수와 번인소켓전극의 갯수, 형태 및 번인소켓전극의 간극 등에 대하여 그 데이터를 데이터베이스화하여 정확하고 완벽한 부분세정과 전체세정을 도모하며, 이와 더불어 상기 번인소켓전극(5)에 부착된 오염물질(3)을 정확하게 관찰하여, 상기 번인소켓전극(5)의 크기에 대응하여 레이저빔(110)의 크기를 조절하여 레이저빔을 조사할 수 있기 때문에, 소켓하우징의 손상을 최소화함과 동시에 번인소켓전극의 어떠한 형태의 변형이나 마모 없이 정확하고 완벽하게 원하는 곳의 오염물질을 설정하여 제거할 수 있다.

즉, 상기한 구조의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 번인소켓 세정장치 (500)는, 레이저빔이 조사되는 크리닝레이저발생기(100)와, 번인소켓전극(5)의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛(200)과, 상기 번인소켓(10)을 안정적으로 장착·고정하고, 원하는 위치로 효과적으로 이동시킬 수 있는 번인소켓지그(300)와 지그스테이지(400)를 통해 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있어 번인검사의 에러를 최소화할 수 있으며, 번인소켓의 수명을 연장시킬 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명의 번인소켓 세정장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.

첫째, 번인소켓전극의 크기에 대응하여 그 크기를 조절할 수 있으며, 세정에 최적인 특정 레이저빔을 이용하여 번인소켓 전극의 오염물질만을 국부적 또는 전체적으로 선택하여 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있다.

둘째, 비접촉식 세정방법으로서 레이저빔을 통하여 번인소켓전극의 오염물질을 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있어 소켓하우징의 마모나 화학적 반응손실이 없기 때문에 번인소켓의 수명을 연장시킬 수 있다.

셋째, 상기 번인소켓의 완벽한 세정작업에 의해 검사의 에러를 최소화할 수 있으며, 반도체제품의 품질을 향상시킬 수 있으며, 공장원가를 절감하고 생산성을 향상시킬 수 있기 때문에 경제적이며, 이에 따라 경쟁력을 향상시킬 수 있다.

넷째, 레이저펄스를 이용하여 미세오염물질까지 완벽하게 세정할 수 있으며, 레이저빔의 고온효과로 표면의 유기물을 살균하여 곰팡이에 의한 부식 등도 방지할 수 있고, 순간미세용융현상으로 최적의 접촉저항을 회복할 수 있다.

다섯째, 제1크렘프 및 제2크램프를 구비한 번인소켓지그를 통해 다양한 모양과 구조의 번인소켓을 용이하게 고정시킬 수 있다.

여섯째, 번인소켓 트레이를 통해 다수의 번인소켓에 대하여 동시에 세정작업을 할 수 있기 때문에 대량 작업을 할 수 있어 생산성 및 작업성을 향상시킬 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (6)

1. 번인소켓의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 번인소켓의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와;

   상기 번인소켓의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과;

   상기 번인소켓에 대하여 수직으로 승강할 수 있는 승강부와, 대략 '┌'자 형상을 가지고, 상기 승강부와 결합되어 연동하여 승강이동하는 제1클램프와, 대략 '┙'자 형상을 가지고, 상기 제1클램프와 대략 '□'자를 형성하도록 상기 제 1클램프의 각단부와 슬라이딩결합하며, 일측에 구비된 이동부에 의해 상기 제1클램프의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 제2클램프를 포함하여 상기 번인소켓을 상기 제1클램프와 제2클램프의 내측에 장착시키는 번인소켓지그; 및

   상부에 상기 번인소켓지그가 설치되며 상기 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 상기 번인소켓의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 상기 번인소켓에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지와, 상기 상부스테이지의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지를 포함하는 지그스테이지를 구비하는 것을 특징으로 하는 번인소켓 세정장치.
2. 제 1항에 있어서,

   입력장치와;

   중앙제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기를 조절하는 레이저발생기제어부를 포함하는 제어유닛;을 더 포함하는 번인소켓 세정장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 제어유닛은,

   모니터제어부와,

   상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함하는 번인소켓 세정장치.
4. 제 1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 크리닝레이저발생기는, 상기 번인소켓에 대하여 수직하게 이동가능한 것을 특징으로 하는 번인소켓 세정장치.
5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 모니터유닛은,

   상기 번인소켓의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라와, 상기 비젼카메라와 연결되어 상기 비젼카메라의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터인 것을 특징으로 하는 번인소켓 세정장치.
6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 번인소켓지그의 제1클램프와 제2클램프의 내측에 장착되며, 일측면에 상기 번인소켓이 장착되는 다수개의 번인소켓삽입홀이 형성된 번인소켓트레이를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 번인소켓 세정장치.

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