KR20070024796A - 프로브카드 세정장치 - Google Patents

Abstract

개시된 프로브카드 세정장치는, 프로브카드의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 프로프팁의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와; 프로브팁의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과; 프로브카드를 장착·고정시키는 프로브카드지그; 및 상부에 프로브카드지그가 설치되며, 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 프로브팁의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 프로브카드지그를 이동시키는 지그스테이지를 포함한다. 상기한 바와 같이 구성된 프로브 세정장치에 의하면, 레이저빔을 통해 프로브팁의 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있기 때문에 테스트시스템의 에러를 최소화할 수 있으며, 프로브팁의 변형과 마모를 방지하여 프로브카드의 수명을 연장시킬 수 있다.

레이저, 프로브카드, 프로브팁, 지그

Description

프로브카드 세정장치{Cleaning apparatus for probe card}

도 1은 일반적인 프로브카드를 나타낸 도면,

도 2a 내지 도 2e는 종래의 프로브카드 세정에 대하여 각각 나타낸 도면들,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브카드 세정장치의 개략적인 도면,

도 4a 내지 도 5는 도 3에 도시된 프로브카드 세정장치에서 프로브카드지그를 나타낸 평면도와 측면도,

도 6은 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

5... 프로브팁 10... 프로브카드

100... 크리닝레이저발생기 200... 모니터유닛

210... 비젼모니터 220... 비젼카메라

300... 프로브카드지그 310... 제1클램프

320... 제2클램프 330... 클램프이송장치

350... 클램프부 400... 지그스테이지

410... 상부스테이지 420... 하부스테이지

500... 프로브카드 세정장치

본 발명은 프로브카드 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 생산공정의 웨이퍼 테스트 공정에서 사용되고 있는 프로브카드의 프로브팁에 부착된 오염물질을 제거할 수 있는 프로브카드 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 프로브카드(Probe card)는, 웨이퍼(Wafer)상의 각 칩을 테스트하기 위한 것으로서, PCB위에 에폭시로 고정시킨 프로브를 테스트하고자하는 칩의 패드(PAD)에 접촉시킨 후 테스트시스템의 전기적 신호를 칩상에 전해주는 것이며, 테스터가 질적인 테스트를 할 수 있도록 테스트의 각 신호 배선과 웨이퍼상의 각 패드를 칩단위로 동시에 접속시켜주는 핵심적인 역할을 수행하며, 이러한 일반적인 프로브카드(10)는 도 1a 내지 도 1b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼상(미도시)의 각 칩과 상호 전기적으로 접촉되어 전기적 상태를 체크할 수 있는 프로브팁(5)을 구비하고 있는 구조로 되어 있다.

한편, 상기한 프로브카드(10)는 웨이퍼상의 각 칩을 테스트하는 공정을 반복시행함에 따라 상기 프로브카드(10)의 프로브팁(5)상에 웨이퍼 패드로부터 발생 되는 금속찌꺼기 등과 같은 오염물질이 부착되는데, 이로 인해 상기 프로브카드(10)는 전기적인 특성 검사시 전기적인 누설 등의 악영향으로 인하여 테스트시스템의 오작동을 야기시키는 문제점이 발생된다.

이에 따라, 상기 프로브카드(10)의 프로브팁(5)에 부착된 오염물질을 주기적으로 제거해야하는 세정작업이 필요하게 되며, 이러한 세정방법으로는 종래에는 아 주 미세한 유리가루 혹은 미세한 모래가루를 접착제와 혼합하여 평판에 도포시켜 제작한 샌드페이퍼(Sand paper)를 프로브팁에 접촉 마찰시킴으로써 오염물질을 제거하는 기계적인 세정방법과, 금속산화제를 혼합한 혼합용제를 제조하여 상기 프로브카드를 일정시간 담가두어 산화시키는 화학적인 세정방법이 있다. 그런데, 상기한 종래의 세정방법은 도 2a 내지 도 2e에 도시된 바와 같이 여러가지 문제점을 내포하고 있다.

이러한 문제점으로는 먼저, 샌드페이퍼(1)를 이용한 기계적인 세정방법으로 할 경우 상기 프로브팁(5) 끝의 수평면이 고르지 않으면(Δ) 도 2a에 도시된 바와 같이 샌드페이퍼(1)에 접촉되지 않은 프로브팁(5)은 세정되지 않고 오히려 오염물질(3)이 누적부착되는 것을 알 수 있다. 이 때문에, 테스트시스템은 에러가 발생하게 되어, 극히 제한적인 세정범위와 사람이 수작업으로 진행해야하는 문제점을 내포하고 있다.

또한, 상기 프로브카드(10)의 프로브팁(5)의 끝이 수평면에 대하여 고르게 되어 있다고 하더라도, 샌드페이퍼(1)를 프로브팁(5)의 끝에만 접촉시켜 세정공정을 실시하는 경우에는, 도 2b에 나타난 바와 같이, 프로브팁(5) 끝에서부터 측면으로 오염물질(3)이 밀려 올라가 제거되지 않으며, 이 때문에 프로브팁(5)과 다른 프로브팁(5) 사이에 리크가 생기는 문제점이 발생한다.

뿐만 아니라, 샌드페이퍼(1)를 이용한 기계적인 세정방법은, 도 2c에 나타난 바와 같이 스크래치가 발생한 프로브팁(5) 단부(A)에는 오염물질(3)이 부착되어 2차오염의 발생이 가속화되며, 이로 인해 레지스턴스 에러 발생빈도가 증가하여 크 리닝에 소요되는 로스타임이 증가하고, 세정을 자주 실시해야하거나, 도 2d에 나타난 바와 같이, 상기 프로브팁(5) 끝에 스크래치(B)가 발생하게 되어 상기 프로브팁(5)의 마모(C)가 심하게 발생되어 수명을 단축시키는 문제점을 가지고 있다.

게다가, 상기한 샌드페이퍼(1)를 이용한 기계적인 세정방법은, 상기 프로브팁이 샌드페이퍼(1)의 마찰에 의해 프로브팁(5)의 기구적 정열상태 변화로 발생되는 컨텍불량을 야기시키는 문제점을 가지고 있는데, 이러한 문제점을 2e에 나타내었다.

한편, 또 다른 세정방법인 화학적인 세정방법으로서 금속산화 세정방법은, 상기 혼합용제 내의 프로브팁의 오염상태에 따른 반응제어를 전혀 할 수 없으므로 과잉산화 반응으로 인해 고가의 프로브팁을 과부식에 의해 불량으로 만드는 경우가 발생하며, 특히 부분적인 세정을 할 수 없는 문제점이 발생하여 비효율적일 뿐만 아니라, 또한 산화 반응 때에 발생하는 유해가스로 인한 2차오염의 가속화와 중금속 수질오염발생의 환경적인 문제점도 가지고 있다.

즉, 상기한 바와 같이 종래의 프로브카드 세정장치는, 샌드페이퍼를 이용한 기계적인 방법을 이용한 세정장치의 경우, 프로브카드의 프로브팁에 직접적으로 물리적힘을 가하기 때문에, 마모에 의한 외형변화 및 수명이 단축될 뿐만 아니라 이로 인해 테스트시스템의 컨텍에러를 유발시키며, 오히려 프로브팁사이에 오염물질이 누적부착되는 2차오염이 발생하는 문제점을 가지고 있다.

또한, 종래의 프로브카드 세정장치에서 혼합용제를 이용한 화학적인 방법을 이용한 세정장치의 경우에는, 지나친 세정 즉 과잉산화반응에 의해 프로브팁이 부 식되어 화학적 파손이 야기될 뿐만 아니라 이에 대한 화학적 반응의 제어도 어려워 2차부식 가속화로 제품수명이 단축되는 문제점을 내포하고 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 프로브카드팁의 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 하여 2차오염의 발생을 방지함과 동시에 테스트시스템의 에러를 최소화할 수 있으며, 프로브카드의 수명을 연장시킬 수 있도록 개선된 프로브카드 세정장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브카드 세정장치는, 프로브카드의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 프로브팁의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와; 상기 프로브팁의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과; 상기 프로브카드를 장착·고정시키는 프로브카드지그; 및 상부에 상기 프로브카드지그가 설치되며, 상기 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 상기 프로브팁의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 상기 프로브카드지그를 이동시키는 지그스테이지를 포함한다.

또한, 본 발명의 프로브카드 세정장치는, 입력장치와; 중앙제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기를 조절하는 레이저발생기제어부를 포함하는 제어유닛;을 더 포함한다.

여기서, 상기 제어유닛은, 모니터제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함한다.

또한, 상기 크리닝레이저발생기는, 상기 프로브카드에 대하여 수직하게 이동가능하다.

또한, 상기 모니터유닛은, 상기 프로브카드의 프로브팁의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라와, 상기 비젼카메라와 연결되어 상기 비젼카메라의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터인 것이 바람직하다.

또한, 상기 프로브카드지그는, 대략 '┌'자 형상을 가지는 제1클램프와, 대략 '┙'자 형상을 가지고 상기 제1클램프의 각단부가 슬라이딩결합하여 대략 '□'자를 형성하는 제2클램프를 포함하는 클램프부와, 상기 클램프부의 제1클램프와 제2클램프와 연결되어 상기 제1클램프와 제2클램프를 서로 상대이동가능하게 하는 클램프이송장치를 포함한다.

여기서, 상기 지그스테이지는, 상부에 상기 프로브카드지그가 설치되며, 상기 프로브카드에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지와, 상기 상부스테이지의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지를 포함한다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어나 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각해서 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 개재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브카드 세정장치의 개략적인 도면이며, 도 4a 내지 도5는 도 3에 도시된 프로브카드 세정장치에서 프로브카드지그를 나타낸 평면도와 측면도이고, 도 6은 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면이다.

먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치(500)는, 프로브카드(10)의 상부로부터 레이저빔(110)을 조사하여 프로브팁(5)의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기(100)와, 상기 프로브팁(5)의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛(200)과, 상기 프로브카드(10)를 장착고정시키는 프로브카드지그(300) 및 상기 프로브카드지그(300)가 설치되어 이동시키는 지그스테이지(400)를 포함한다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치(500)는, 입력장치(30)와, 도시되지는 않았지만 중앙제어부와, 이 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치(30)에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기를 조절하는 레이저발생기제어부를 포함하는 제어유닛을 더 포함한다. 이 때, 상기 입력장치(30)는, 도시된 바와 같이 프레임(20)의 일측에 구비되어 외부에서 사용자가 입력할 수 있도록 컨트롤키로 할 수 있으며, 상기 컨트롤키를 통해 상기 중앙제어부로 신호를 전송할 수 있다.

게다가, 상기 제어유닛은, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함한다.

따라서, 상기와 같은 프로브카드 세정장치(500)는, 상기 모니터유닛(200)을 통해 상기 프로브팁의 오염상태를 정확하게 관찰 분석할 수 있으며, 이에 따라 효과적인 세정작업을 실시할 수 있게 된다.

상기한 구조의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상기 크리닝레이저발생기(100)는, 상기 프로브카드(10)의 프로브팁(5)의 오염물질을 제거할 수 있도록 상기 프로브카드(10)의 상부에 위치하여 레이저빔(110)을 조사하며, 이 때 상기 크리닝레이저발생기(100)는 상기 프로브카드(10)에 대하여 수직하게 이동가능하다. 여기서, 상기 크리닝레이저발생기(100)의 수직이동은 외부의 별도 장치나 본 발명의 전체 프레임에 대하여 슬라이드 이동가능한 장치 및 기어 등으로 적용가능하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 모니터유닛(200)은, 상기 프로브카드(10)의 프로브팁(5)의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라(220)와, 상기 비젼카메라(220)와 연결되어 상 기 비젼카메라(220)의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터(210)인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 비젼카메라(220)와 비젼모니터(210)의 위치는 작업환경과 설치공간에 따라 그 위치와 수를 다양하게 변경시킬 수 있다.

한편, 상기 제어유닛은 본 발명의 바람직한 실시예 이외에도 다른 변용예가 가능함은 물론이며, 상기 제어유닛과 비젼모니터와 비젼카메라 및 상기 크리닝레이저발생기의 수직이동을 할 있게 하는 구체적인 구조나 장치는 통상적인 장치이므로 작동과 구조는 생략하기로 한다.

그러므로, 상기한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치(500)는, 상기 모니터유닛(200)과 수직이동이 가능한 크리닝레이저발생기(100)로 인해 상기 프로브팁(5)에 부착된 오염물질을 정확하게 관찰 분석하여, 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있다.

이와 함께, 상기 프로브카드지그(300)는, 제 1클램프(310)와, 이 제1클램프(310)와 연결된 제 2클램프(320)를 포함하는 클램프부(350)와, 이 클램프부(350)와 연결되어 사용자의 조작으로 상기 제1 및 제2클램프(310)(320)를 이동시킬 수 있는 클램프이송장치(330)를 포함하며, 상기 프로브카드지그(300)의 구체적인 구조와 작동은 도 4a 내지 도 5에 나타내었다.

먼저 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 대략 '┌'자 형상을 가지는 제1클램프(310)와, 대략 '┙'자 형상을 가지고 상기 제1클램프(310)의 각단부가 슬라이딩결합하여 대략 '□'자를 형성하는 제2클램프(320)를 포함하는 클램프부(350)와, 상기 클램프부(350)의 제1클램프(310)와 제2클램프(320)와 연결된 클램프이송장치(330) 를 포함한다.

구체적으로, 상기 제1클램프(310)는 대략 '┌'자 형상으로 양단측부에는 장공의 제1이동홀(311)이 각각 형성되어 있으며, 상기 제2클램프(320)는 대략 '┙'자 형상으로 장공의 제2이동홀(321)이 각각 형성되어 있다. 이 때, 상기 각각의 제1이동홀(311)과 제2이동홀(321)은 연결축(340)에 동시에 삽입되어, 상기 연결축(340)을 통해 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)는 대략 '□'자를 형성할 수 있도록 연결되어 있다.

게다가, 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)의 각각 절곡된 부분에는 클램프이송장치(330)가 연결되어 있으며, 도 4b에 나타난 바와 같이, 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)는 상기 클램프이송장치(330)에 의해 서로 멀어지게 이동하거나 가까워지도록 서로 상대이동가능하게 되는데, 이러한 상대이동은 상기 장공의 제1이동홀(311)과 제2이동홀(321)을 따라 슬라이딩 이동하게 된다.

도 5는 도 4b에 도시된 프로브카드지그에서 I방향으로 보았을 때의 측면도를 나타낸 도면이다. 여기서, 상기 클램프이송장치(330)는 상기 클램프부(350)의 하부에 위치하는 것이 바람직하며 그 설치위치는 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 클램프이송장치(330)는 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)와 연결된 클램프이동축(331)과, 이 클램프이동축(331)의 단부에 형성된 클램프핸들(332)을 포함한다. 여기서, 상기 클램프이동축(331)의 외주면에는 나사산(333)이 형성되어 있으며, 상기 클램프이동축(331)과 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320) 사이에는 웜기어와 같은 이동수단(미도시)이 개재되고, 이로 인해 사용자는 상기 클램프핸들 (332)을 조작함에 따라 상기 나사산(333)과 이동수단에 의해 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)가 상대이동시킬 수 있다.

여기서, 상기 클램프이송장치(330)에는 사용자가 직접 조작할 수 있도록 할 수 있으며, 모터 등과 연결하여 자동으로도 작동이 가능하다. 또한, 상기 이동수단은 웜기어에 한정되는 것은 아니며, 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)를 상대이동가능한 것이면 그외 다른 변용예도 가능하다.

부가하여, 상기 프로브카드지그(300)에는 상기 프로브카드(10)가 안정적으로 안착이 되어 장착·고정될 수 있도록 다수개의 받침대(360)를 구비할 수 있으며, 상기 받침대(360)는 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)의 양단 내측에 각각 부착될 수도 있으며, 상기 제1클램프(310)와 제2클램프(320)와의 연결 없이 별도로 제작하여 구비될 수 있다.

한편, 도 6은 도 3에 도시된 지그스테이지를 나타낸 도면으로서, 상기 지그스테이지(400)는, 상부에 상기 프로브카드지그(300)가 설치되며, 상기 프로브카드(10)에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지(410)와, 상기 상부스테이지(410)의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지(410)의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지(420)를 포함한다. 여기서, 상기 지그스테이지(400)의 이동에 대한 작동원리는 유압 또는 모터를 동력수단으로 하여 슬라이딩 레일 등을 이용하여 이동할 수 있으며, 이에 대한 구체적인 구조와 작동은 통상적인 것으로서 생략하기로 한다.

덧붙여, 상기 모니터유닛(200)과 크리닝레이저발생기(100)와 지그스테이지 (400)는 각각 연결된 프레임(20)에 의해 지지고정되는 것이 바람직하며, 이러한 프레임(20)은 설치공간과 구조에 따라 다양한 변용예가 가능하다.

따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치(500)는, 반도체공정에서 사용되고 있는 다양한 형태의 프로브카드(10)를 그 형태에 대응하여 정확하고 간편하게 장착고정시킬 수 있는 프로브카드지그(300)를 통해 사용자의 작업성을 향상시켰으며, 프로브카드의 프로브팁(5)의 다양한 외형치수와 프로브팁의 갯수, 형태 및 프로브팁의 간극 등에 대하여 그 데이터를 데이터베이스화하여 정확하고 완벽한 부분세정과 전체세정을 도모하며, 이와 더불어 레이저빔(110)을 통해 프로브팁(5)에 부착된 오염물질(3)을 프로브팁의 어떠한 형태의 변형이나 마모 없이 정확하고 완벽하게 원하는 곳의 오염물질을 설정하여 제거할 수 있다.

즉, 상기한 구조의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브카드 세정장치(500)는, 레이저빔이 조사되는 크리닝레이저발생기(100)와, 다양한 구조와 형상의 프로브팁(5)의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛(200)과, 상기 프로브카드(10)를 안정적으로 장착·고정하고, 원하는 위치로 효과적으로 이동시킬 수 있는 프로브카드지그(300)와 지그스테이지(400)를 통해 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있어 테스트시스템의 에러를 최소화할 수 있으며, 프로브카드의 수명을 연장시킬 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명의 프로브카드 세정장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.

첫째, 레이저빔을 통하여 다양한 구조와 형상에 대응하여 프로브팁의 오염물질을 최적의 세정조건으로 완벽한 세정작업을 할 수 있어 테스트시스템의 에러를 최소화할 수 있다.

둘째, 마모나 산화반응에 따른 프로브카드의 훼손을 방지하여 프로브카드의 수명을 연장시킬 수 있다.

셋째, 상기 프로브카드의 완벽한 세정작업에 의해 반도체제품의 품질을 향상시킬 수 있으며, 공장원가를 절감하고 생산성을 향상시킬 수 있기 때문에 경제적이며, 이에 따른 경쟁력을 향상시킬 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (7)

1. 프로브카드의 상부로부터 레이저빔을 조사하여 프로브팁의 오염물질을 제거할 수 있는 크리닝레이저발생기와;

   상기 프로브팁의 오염상태를 관찰할 수 있는 모니터유닛과;

   상기 프로브카드를 장착·고정시키는 프로브카드지그; 및

   상부에 상기 프로브카드지그가 설치되며, 상기 크리닝레이저발생기에서 조사되는 레이저빔이 상기 프로브팁의 원하는 위치에 정확히 조사될 수 있도록 상기 프로브카드지그를 이동시키는 지그스테이지를 구비하는 프로브카드 세정장치.
2. 제 1항에 있어서,

   입력장치와;

   중앙제어부와, 상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상기 크리닝레이저발생기를 조절하는 레이저발생기제어부를 포함하는 제어유닛;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브카드 세정장치.
3. 제 1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 제어유닛은,

   모니터제어부와,

   상기 중앙제어부에 의해 제어되어 상기 입력장치에서 입력된 정보에 따라 상 기 모니터유닛을 조절하는 모니터제어부를 포함하는 프로브카드 세정장치.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 크리닝레이저발생기는,

   상기 프로브카드에 대하여 수직하게 이동가능한 것을 특징으로 하는 프로브카드 세정장치.
5. 제 1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 모니터유닛은,

   상기 프로브카드의 프로브팁의 오염상태를 촬영하는 적어도 하나의 비젼카메라와, 상기 비젼카메라와 연결되어 상기 비젼카메라의 영상신호를 출력하는 적어도 하나의 비젼모니터인 것을 특징으로 하는 프로브카드 세정장치.
6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 프로브카드지그는,

   대략 '┌'자 형상을 가지는 제1클램프와, 대략 '┙'자 형상을 가지고 상기 제1클램프의 각단부가 슬라이딩결합하여 대략 '□'자를 형성하는 제2클램프를 포함하는 클램프부와,

   상기 클램프부의 제1클램프와 제2클램프와 연결되어 상기 제1클램프와 제2클램프를 서로 상대이동가능하게 하는 클램프이송장치를 포함하는 프로브카드 세정장 치.
7. 제 1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 지그스테이지는,

   상부에 상기 프로브카드지그가 설치되며, 상기 프로브카드에 대하여 평행하게 일방향 이동하는 상부스테이지와, 상기 상부스테이지의 하부에 장착되어 상기 상부스테이지의 이동방향에 대하여 수직하게 이동하는 하부스테이지를 포함하는 프로브카드 세정장치.

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