JP2013014843A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 基板上に有機層を形成するための有機層蒸着装置において、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に対して垂直の第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を備え、
   前記基板が前記有機層蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
   前記パターニングスリットシートは、互いに離隔して配される第１整列マーク及び第２整列マークを持ち、
   前記基板は、互いに離隔して配される第１整列パターン及び第２整列パターンを含み、
   前記有機層蒸着装置は、前記第１整列マーク及び前記第１整列パターンを撮影する第１カメラアセンブリーと、前記第２整列マーク及び前記第２整列パターンを撮影する第２カメラアセンブリーと、をさらに備え、
   前記第１カメラアセンブリーにより撮影された前記第１整列パターンの映像が同一であり、前記第２カメラアセンブリーにより撮影された前記第２整列パターンの映像が同一であるように、前記基板の移動速度と前記第１カメラアセンブリー及び前記第２カメラアセンブリーの撮影速度とを同期化することを特徴とする、有機層蒸着装置。
2. 前記第１整列パターンが、前記第１方向に配列された複数の第１マークで形成され、
   前記第２整列パターンが、前記第１方向に配列された複数の第２マークで形成され、
   前記第１整列パターンと前記第２整列パターンとが、前記第２方向に離隔したことを特徴とする、請求項１に記載の有機層蒸着装置。
3. 前記第１マークと前記第２マークとが、形態及び大きさが相等しいことを特徴とする、請求項２に記載の有機層蒸着装置。
4. 前記第１マーク間の間隔と前記第２マーク間の間隔とが、相等しいことを特徴とする、請求項２に記載の有機層蒸着装置。
5. 前記第１マークまたは前記第２マークが、多角形になっていることを特徴とする、請求項２に記載の有機層蒸着装置。
6. 前記基板が等速度で前記第１方向に沿って移動し、前記第１カメラアセンブリーと前記第２カメラアセンブリーのそれぞれが、一定の時間間隔で前記第１整列パターン及び前記第２整列パターンを撮影し、前記第１カメラアセンブリーが、同数の前記第１整列パターンが含まれた映像を撮影し、前記第２カメラアセンブリーが、同数の前記第２整列パターンが含まれた映像を撮影することを特徴とする、請求項１に記載の有機層蒸着装置。
7. 前記第１カメラアセンブリーと前記第２カメラアセンブリーのそれぞれが、前記第１整列マーク及び前記第２整列マークに対応するように、前記基板上に配されることを特徴とする、請求項１に記載の有機層蒸着装置。
8. 前記第１カメラアセンブリー及び前記第２カメラアセンブリーにより撮影された情報を用いて、前記基板と前記パターニングスリットシートとの整列程度を判別する制御部をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の有機層蒸着装置。
9. 前記制御部が、前記第１カメラアセンブリーにより撮影された前記第１整列パターンと前記第１整列マークとの間の第１間隔、及び前記第２カメラアセンブリーにより撮影された前記第２整列パターンと前記第２整列マークとの間の第２間隔を比較して、前記パターニングスリットシートと前記基板との、前記第２方向への整列を判別することを特徴とする、請求項８に記載の有機層蒸着装置。
10. 前記制御部が、前記第１カメラアセンブリーにより撮影された前記第１整列マークと、前記第２カメラアセンブリーにより撮影された前記第２整列マークとを比較して、前記第１方向に対して前記パターニングスリットシートが傾いたかどうかを判別することを特徴とする、請求項８に記載の有機層蒸着装置。
11. 前記制御部が、撮影された前記第１整列マークと撮影された前記第２整列マークとの前記第１方向における位置差を判別し、撮影された前記第１整列マークを基準として撮影された前記第２整列マークが先立っている場合、前記第１方向を基準として前記第１整列マーク方向に傾いたと判別し、撮影された前記第１整列マークを基準として撮影された前記第２整列マークが後にある場合、前記第１方向を基準として撮影された前記第２整列マーク方向に傾いたと判別することを特徴とする、請求項１０に記載の有機層蒸着装置。
12. 前記制御部が、前記第１カメラアセンブリーにより撮影された前記第１整列パターンと、前記第２カメラアセンブリーにより撮影された前記第２整列パターンとを比較して、前記第１方向に対して前記基板が傾いたかどうかを判別することを特徴とする、請求項８に記載の有機層蒸着装置。
13. 前記制御部が、撮影された前記第１整列パターンと撮影された前記第２整列パターンとの前記第１方向における位置差を判別し、撮影された前記第１整列パターンを基準として撮影された前記第２整列パターンが先立っている場合、前記第１方向を基準として前記第１整列パターン方向に傾いたと判別し、撮影された前記第１整列パターンを基準として撮影された前記第２整列パターンが後にある場合、前記第１方向を基準として撮影された前記第２整列パターン方向に傾いたと判別することを特徴とする、請求項１２に記載の有機層蒸着装置。
14. 前記制御部により判別された前記整列程度によって、前記基板または前記パターニングスリットシートを移動させて、前記基板と前記パターニングスリットシートとを整列させることを特徴とする、請求項８に記載の有機層蒸着装置。
15. 前記パターニングスリットシートが、前記第１整列マークから前記第１方向に沿って離隔して配された第３整列マークと、前記第２整列マークから前記第１方向に沿って離隔して配された第４整列マークと、をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の有機層蒸着装置。
16. 前記第１整列マークと前記第３整列マークとの間隔が、前記第２整列マークと前記第４整列マークとの間隔と同一であることを特徴とする、請求項１５に記載の有機層蒸着装置。
17. 前記第１整列マークと前記第２整列マークとが、前記第２方向に互いに離隔しており、前記第３整列マークと前記第４整列マークとが、前記第２方向に互いに離隔していることを特徴とする、請求項１５に記載の有機層蒸着装置。
18. 前記第１整列マークと前記第２整列マークとの間隔が、前記第３整列マークと前記第４整列マークとの間隔と同一であることを特徴とする、請求項１７に記載の有機層蒸着装置。
19. 第３カメラアセンブリー及び第４カメラアセンブリーを備え、前記第３カメラアセンブリー及び前記第４カメラアセンブリーのそれぞれが、前記第３整列マーク及び前記第４整列マークに対応するように前記基板上に配されることを特徴とする、請求項１５に記載の有機層蒸着装置。