JP2008036918A5 - - Google Patents
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- スクリーンマスク上に形成された２箇所以上の任意パターン開口部を位置決め目標とし、基板表面の２箇所以上の任意パターンを使用し、画像処理に基づいて前記基板をスクリーンマスクに位置合わせし、基板面上にスクリーンマスクを介してペーストを塗布するスクリーン印刷装置において、
スクリーンマスク上に形成された前記パターン開口部の一部又は全てからなる第３のパターンおよび基板表面の任意パターンの一部又は全てからなる第１のパターンを各々検出する第１の手段と、前記第１又は第３のパターン各々に対する最終位置決め目標である第２及び第４のパターン各々の重心を各々検出する第２の手段と、前記第１及び第２の手段で検出された第１及び第３のパターン各々のウインドウ中心と上記第２の手段で検出された第２及び第４のパターン各々の重心との偏差を画像計測により演算する演算手段と、前記演算手段の演算結果に基づいてＸＹθテーブル各軸に対する補正係数を算出し登録する補正手段とを備え、生産運転中において第１及び第２の手段により第１〜第４のパターンの中心点を検出後、ＸＹθテーブル位置合わせ量演算を実施する際に、前記補正手段により登録された補正値を加算し、ＸＹθテーブルの各軸の移動量を算出し位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴としたスクリーン印刷装置。 - スクリーンマスク上に形成された２箇所以上に設けたパターン開口部を位置決め目標とし、基板表面の２箇所以上の任意パターンを使用し、画像処理に基づいて前記基板をスクリーンマスクに位置合わせし、基板面上にスクリーンマスクを介してペーストを塗布するスクリーン印刷装置における画像認識位置合わせ方法において、
位置決め目標位置及び被位置決め目標位置をＨ型図形モデルによるパターン形状マッチングにて検出し、位置合わせすることを特徴とした画像認識位置合わせ方法。
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