JPWO2019209404A5

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Publication number: JPWO2019209404A5
Application number: JP2020553528A
Authority: JP
Publication date: 2023-04-06
Anticipated expiration: 2039-02-26

Description

例示的な試験システムは、デバイス上に配置するための、又は、デバイス上から取り外すためのソケットキャップと係合するように構成されたアクチュエータを備えることができる。アクチュエータは、回転可能なキー要素と、キー要素に対して配列されたツーリングボールと、ブロックと、を備えることができる。ツーリングボールは、ブロックに固定することができる。キー要素は、ブロックを貫通し、ブロックに対して移動可能とすることができる。

ソケットキャップは、キネマティックマウントを備えることができる。キネマティックマウントは、ツーリングボールと係合するように構成され、配列された溝を含む第１の構造物であって、穴を有し、キー要素が穴を貫通することができるように、穴及びキー要素が相補的な形状を有する第１の構造物と、穴を有する第２の構造物であって、キー要素が穴を貫通することができるように、穴及びキー要素が相補的な形状を有し、キー要素が回転して係合するように構成された第２の構造物と、を備えることができる。キネマティックマウントは、第１の構造物及び第２の構造物によって制御可能な少なくとも１つの圧縮ばねを備えることができる。

アクチュエータは、アクチュエータがソケットキャップと係合して、ツーリングボールを溝に押し付け、キー要素に第１の構造物及び第２の構造物を貫通させることと、アクチュエータがキー要素を回転させることと、キー要素が第２の要素と引き合い、一方、ツーリングボールが溝に押し付けられて圧縮ばねを圧縮することと、アクチュエータは、デバイス上にソケットキャップを適所に移動させ、ソケットキャップを試験キャリアに接続させることと、ソケットキャップを試験キャリアに接続した後に続いて、アクチュエータが引っ込むことと、を含む動作を引き起こすように構成、又は動作することができる。

図６を参照すると、いくつかの実装形態では、ソケットキャップ６１は、圧縮ばねを介して試験ソケット内のデバイスに力を加えるキネマティックマウントであるか、又はキネマティックマウントを含むことができる。いくつかの実装形態では、キネマティックマウントは、ソケットキャップの頂部に組み込まれ、エア浮上ベアリングを用いて、キネマティックマウントのドッキングの間、試験キャリアを浮上させる。いくつかの実装形態では、キネマティックマウントは、試験ソケットと、試験ソケットの蓋と、を正確に位置合わせするための純粋に機械的なメカニズムである。いくつかの実装形態では、真空システムが同じエアベアリング内で使用され、キネマティックマウントとの位置合わせの後に続いて、デバイスを試験キャリアに積み込み、試験キャリアから積み下ろす間、試験キャリアを吸着し（例えば、チャックでつかんで）、固定する。いくつかの実装形態では、説明したように、試験キャリアは、２つの試験ソケットを含んでおり、別個のソケットキャップが各試験ソケットに取り付け可能である。いくつかの実装形態では、ソケットキャップは、接続（又はラッチング）プロセス中に浮上しているため、ソケットキャップを試験ソケットに接続する動作が、ソケットキャップを正確に配置する間に、デバイスの位置を妨げることはない。この点に関して、ツーリングボールを任意の高さまで下げ、次に試験キャリアを上方に浮上させて、ツーリングボールが、ソケットキャップをソケットキャップのアクチュエータに位置合わせできるようにしてもよい。いくつかの実装形態では、この浮上により、試験キャリアの垂直方向の許容範囲によって、試験キャリア内の回路基板内の銅トラッキングの、微小歪みによる破損につながるおそれがある過度な下向きの力が、ソケットキャップに、ひいては、試験キャリア内の回路基板に加えられることがないようにしている。いくつかの実装形態では、試験キャリアがその一意的な位置に位置合わせされると、浮上メカニズムに陰圧を印加することにより（例えば、空気を吸引して真空を作り出すことにより）、この位置が保存され、試験キャリアがキャリアシャトルのベースに固定される。

説明したように、ソケットキャップは、試験キャリアの試験ソケット内のデバイスと接触するように、且つ、圧力に応答して、試験キャリア内、及び／又はソケットキャップ内の電気接続にデバイスを電気的に接続させるように構成されている。アクチュエータは、本明細書に記載されるように、ソケットキャップが圧力を加えることが可能になるようにソケットキャップと係合するために、ソケットキャップに対して移動可能とすることができる。アクチュエータは、キー要素及びツーリングボールを含むことができる。図５～図８もまた参照すると、ソケットキャップ６１は、対応するツーリングボールと係合するように構成及び配列された溝６６ａ、６６ｂ、６６ｃ、６６ｄ、６６ｅ、及び６６ｆを有するトッププレート６３を含む。トッププレートは、キー要素が正しい向きにあるときに、キー要素が穴を貫通することができるように、キー要素に対して相補的な形状を有する穴６８を含む。

アクチュエータ１０７は、回転可能なキー要素１０９と、キー要素に対して配列された１１０、１１１、１１２などのツーリングボールと、ツーリングボールが固定されるブロック１１４と、を含むことができる。キー要素は、ブロック全体にわたって、且つ、ツーリングボールに対して移動可能である。図７及び図８を参照すると、アクチュエータ１０７は、プランジャ１０４の内部のキー要素を移動させるように、且つ、プランジャ１０４の内部のキー要素を回転させるように制御可能である。その一方で、ツーリングボールは溝と係合する。例えば、図７は、溝６８ｃと係合しているツーリングボール１１０を示す。その他のツーリングボール１１１、１１２は、他の溝と係合している。ただし、図７ではそれらのその他の溝は見ることができない。次に、この例では、アクチュエータが制御されて、ツーリングボールを下向きに溝に押し付け、キー要素をプランジャ１０４と一緒に上向きに引き上げる。これにより、ソケットキャップ内の圧縮ばね１０６を圧縮させる。このように圧縮ばねを圧縮させると、かなりの力を加えることなく、試験ソケット内のデバイス上にソケットキャップを正確に配置することができる。ソケットキャップが所定の位置に配置されると、圧縮ばねをリリースすることにより、適切な力を加えることができる。

Claims

試験システムであって、
試験対象のデバイスを受け入れる試験ソケットを含む試験キャリアと、
蓋アセンブリと
を含み、
前記試験ソケットは電気接続部を含み、
前記蓋アセンブリは、
前記デバイスと接触して垂直方向に圧力を加えて、前記デバイスを前記電気接続部に電気的に接続させるソケットキャップと、
表面積を提供するように構成された１つ以上の構造物と
を含み、
前記１つ以上の構造物は、前記ソケットキャップの縁端部に設けられて前記ソケットキャップの上面に対して垂直上方に延在するフィンと前記縁端部に設けられて前記上面に対して垂直下方に延在するフィンとを含む一セットのフィンを含み、
前記蓋アセンブリは前記試験キャリアの中にはめ込まれ、
前記デバイスからの熱が前記ソケットキャップを通して前記１つ以上の構造物へと伝えられて前記表面積から空気中に散逸される、試験システム。
前記一セットのフィンは、前記ソケットキャップを介して前記デバイスに熱的に接続され、
前記一セットのフィンは、前記デバイスから離隔するように延在する、請求項１の試験システム。
前記一セットのフィンは、前記ソケットキャップを介して前記デバイスに熱的に接続され、
前記一セットのフィンは、１つ以上の列に配列される、請求項１の試験システム。
前記１つ以上の構造物及び前記ソケットキャップは、前記蓋アセンブリを含む単一の構造物に一体化される、請求項１の試験システム。
前記一セットのフィンは、前記ソケットキャップを介して前記デバイスに熱的に接続され、
前記一セットのフィンは金属を含む、請求項１の試験システム。
前記一セットのフィンは、前記ソケットキャップを介して前記デバイスに熱的に接続され、
前記一セットのフィンは金属である、請求項１の試験システム。
前記試験キャリアを受け入れる試験スロットをさらに含み、
前記試験スロットは、前記試験キャリアが電気的に接続するインタフェースを含み、
前記試験スロットは、前記蓋アセンブリの上に存在する空気を移動させるように構成されたエアムーバを含む、請求項１の試験システム。
中に存在する空気を一定温度に維持する熱制御チャンバと、
前記試験スロットを保持する試験ラックと
を含み、
前記試験ラックは、前記試験スロットから前記熱制御チャンバの中へと空気を移動させるように構成された１つ以上のエアムーバを含む、請求項７の試験システム。
前記一定温度は、摂氏２０度から摂氏２５度の間にある、請求項８の試験システム。
前記試験ソケットが第１の試験ソケットであり、
前記デバイスが第１のデバイスであり、
前記試験キャリアは、第２の試験対象のデバイスを保持する第２の試験ソケットを含む、請求項１の試験システム。
前記試験キャリアを受け入れる試験スロットと、
前記試験スロットの中へ、及び前記試験スロットの中から外へ、前記試験キャリアを移動させるロボット工学機器と
を含み、
前記試験スロットは、前記試験キャリアが電気的に接続するインタフェースを含む、請求項１の試験システム。
前記デバイスの上に前記ソケットキャップを配置するために、又は前記デバイスの上から前記ソケットキャップを取り外すために、前記ソケットキャップと係合するように構成されたアクチュエータをさらに含む、請求項１の試験システム。
前記アクチュエータは、
回転可能なキー要素と、
前記キー要素を取り囲むように配列された複数のツーリングボールと、
ブロックと、
を含み、
前記複数のツーリングボールは前記ブロックに固定され、
前記キー要素は前記ブロックを貫通して前記ブロックに対して移動可能である、請求項１２の試験システム。
前記ソケットキャップはキネマティックマウントを含み、
前記キネマティックマウントは、
前記複数のツーリングボールのそれぞれと係合するようにそれぞれが構成及び配列された複数の溝を含む第１の構造物であって、第１の穴を有し、前記キー要素が前記第１の穴を貫通することができるように、前記第１の穴と前記キー要素とが相補的な形状を有する前記第１の構造物と、
第２の穴を有する第２の構造物であって、前記キー要素が前記第２の穴を貫通することができるように、前記第２の穴と前記キー要素とが相補的な形状を有し、前記キー要素が回転して前記第２の穴に係合するように構成された前記第２の構造物と、
前記第１の構造物と前記第２の構造物との相対的な上下移動によって制御可能な少なくとも１つの圧縮ばねと
を含む、請求項１３の試験システム。
前記アクチュエータは、
前記アクチュエータが前記ソケットキャップと係合して、前記複数のツーリングボールを前記複数の溝に押し付け、前記キー要素に前記第１の構造物及び前記第２の構造物を貫通させることと、
前記アクチュエータが前記キー要素を回転させることと、
前記キー要素が前記第２の構造物に対して引かれる一方、前記複数のツーリングボールが前記複数の溝を押して前記圧縮ばねを圧縮することと、
前記アクチュエータが、前記デバイス上に前記ソケットキャップを移動させて前記ソケットキャップが前記試験キャリアに物理的に接続するようにすることと、
前記ソケットキャップが前記試験キャリアに物理的に接続した後に前記アクチュエータが引っ込むことと、
を含む動作を引き起こすように構成される、請求項１４の試験システム。
試験システムであって、
中に存在する空気を一定温度に維持するアトリウムと、
前記アトリウムから前記空気を受け取るように構成された試験スロットであって、前記アトリウムから前記試験スロットを通して前記空気を移動させるための少なくとも１つのエアムーバを含む試験スロットと、
前記試験スロットの中に挿入するための複数の試験ソケットを有する試験キャリアと
を含み、
前記試験ソケットはそれぞれが試験対象のデバイスを受け入れ、
前記試験キャリアの中に蓋アセンブリがはめ込まれ、
前記蓋アセンブリは、前記デバイスを前記試験ソケットに電気的に接続させるソケットキャップと、前記ソケットキャップを介して前記デバイスに熱的に接続された構造物とを含み、
前記構造物は、前記デバイスからの熱を散逸させる表面積を提供するように構成され、
前記少なくとも１つのエアムーバは、前記構造物を通して前記空気を移動させるように構成され、
前記構造物は、前記ソケットキャップの縁端部に設けられて前記ソケットキャップの上面に対して垂直上方に延在するフィンと垂直下方に延在するフィンとを含む一セットのフィンを含み、
前記デバイスからの熱が前記ソケットキャップを通して前記構造物へと伝えられて前記表面積から空気中に散逸される、試験システム。
前記一セットのフィンは、前記デバイスから離隔するように延在する、請求項１６の試験システム。
前記一セットのフィンは、１つ以上の列に配列される、請求項１６の試験システム。
前記一セットのフィンは、金属を含む、請求項１６の試験システム。
前記一セットのフィンは、金属である、請求項１６の試験システム。
前記構造物及び前記ソケットキャップは、前記試験キャリアのための単一の部品として構成される、請求項１６の試験システム。
前記試験システムは、複数の試験スロットを含み、
前記複数の試験スロットはそれぞれが、別個のキャリアを受け入れるよう構成され、
各キャリアは、１つ以上のデバイスを保持するように構成され、
前記試験システムはさらに、比例、積分、微分係数（ＰＩＤ）コントローラを含む制御システムを含み、
前記ＰＩＤコントローラは、異なるキャリアにおけるデバイスの温度を別々に制御する、請求項１６の試験システム。