KR101369263B1 - 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버와, 이를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치 - Google Patents

반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버와, 이를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체를 테스트하기 위하여 테스트 보드에 마련된 소켓에 수동/자동 겸용으로 사용 가능한 소켓커버 및 이 소켓커버를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치에 관한 것으로, 본 발명의 소켓커버는, 전체적으로 육면체의 외관을 갖고 하기의 블레이드가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성되어 상기 소켓의 상부에 안착이 가능한 커버몸체(110)와; 상기 커버몸체(110)의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기(121)가 상단에 마련되고 하단에는 상기 소켓과 끼움 고정 가능한 걸림돌기(122)를 갖는 한 쌍의 로커암(120)과; 상기 커버몸체(110)를 종방향으로 관통하여 나사 조립되는 스크류(130)와; 상기 스크류(130) 상단에 고정되어 상기 스크류(130)를 회전 조작하게 되는 핸들부(140)와; 상기 핸들부(140)의 회동축에서 편심되어 상부 면에 돌출 형성되도록 구비되는 최소한 두 개 이상의 고정핀(150)과; 상기 스크류(130) 하단에 자유 회동 가능하게 마련되어 상기 커버몸체(110)의 개구부 내에 수납되며, 테스트 반도체 상부와 접촉이 이루어지는 판상의 블레이드(160)를 포함하여, 수동/자동 겸용으로 소켓커버를 공용화하여 사용이 가능한 효과가 있다.

Description

반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버와, 이를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치{Manual/auto socket cover for testing IC, and automatic handler utilizing the same}
본 발명은 반도체 테스트용 소켓커버에 관한 것으로, 특히 반도체를 테스트하기 위하여 테스트 보드에 마련된 소켓에 수동/자동 겸용으로 사용 가능하여 테스트 반도체를 고정하게 되는 소켓커버와, 이 소켓커버를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체의 테스트는 양산을 목적으로 하는 경우에는 단기에 많은 수량의 반도체를 테스트하기 위하여 자동 핸들러를 사용하여 테스트가 이루어지고 있다.
예를 들어, 공개특허공보 제10-2008-0033014호(공개일자: 2008.04.16)는 테스트 핸들러의 소자 접속 장치를 개시하고 있으며, 푸셔로봇을 이용하여 테스트 보드에 마련된 소켓 내에 반도체를 이송하여 소정 압력으로 가압하여 접속시켜 일련의 테스트를 수행하고, 다시 푸셔로봇이 테스트 완료된 반도체 소자를 언로딩 스택커로 이송하여 트레이에 테스트 결과별로 분류하는 과정을 수행한다.
한편, 양산을 목적으로 하는 경우와는 달리 개발 검증을 하기 위한 경우에는 다량의 반도체를 검사하는 것이 아니기 때문에 수작업에 의해 테스트 반도체를 소켓에 수납 고정하여 테스트를 실시하게 되며, 이때 테스트 반도체와 소켓의 안정적인 접촉을 위하여 소켓 상부에서 테스트 반도체를 적정 압력으로 가압하여 테스트 반도체를 고정할 수 있는 수동 소켓커버가 사용될 수 있다.
예를 들어, 등록특허공보 제10-1042407호(등록일자: 2011.06.10)에는 자동 및 수동 겸용의 메모리 패키지 테스트용 소켓보드 고정지그를 개시하고 있으며, 소켓보드에 실장된 소켓 상부 면에 메모리 패키지를 자동으로 가압 고정하는 자동형 핸들러 푸셔(pusher)를 사용할 수 있음은 물론, 수작업으로 메모리 패키지의 불량률 테스트시 수동형 핸들러 푸셔를 장착하여 사용할 수 있는 고정지그를 제안하고 있다.
이러한 자동 및 수동 겸용의 고정지그는 자동형 핸들러 푸셔와 수동형 핸들러 푸셔를 사용하여 메모리 패키지를 테스트하게 되므로, 수작업에 의한 테스트 시에 소켓커버를 사용하지 않는다.
따라서 수작업에 의한 테스트 시에만 필요한 소켓커버는 반도체의 개발 과정에서 제한적으로 사용되어 개발비용을 증가시키는 원인이 된다.
이에 본 발명은 수동 및 자동 겸용으로 반도체 테스트에 사용될 수 있는 소켓커버와, 이를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치를 제안하고자 하는 것이다.
본 발명은 반도체의 수동 검사에 적합하면서 자동푸셔를 사용하지 않으면서도 같은 소켓커버를 자동화 반도체 테스트에 적용하여 사용할 수 있는 수동 및 자동 겸용의 소켓커버와, 이를 이용한 반도체 자동 핸들러 장치를 제공하고자 하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버는, 테스트 반도체가 수납되는 소켓의 상부에 탈부착이 가능한 소켓커버로서, 전체적으로 육면체의 외관을 갖고 하기의 블레이드가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성되어 상기 소켓의 상부에 안착이 가능한 커버몸체와; 상기 커버몸체의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기가 상단에 마련되고 하단에는 상기 소켓과 끼움 고정 가능한 걸림돌기를 갖는 한 쌍의 로커암과; 상기 커버몸체를 종방향으로 관통하여 나사 조립되는 스크류와; 상기 스크류 상단에 고정되어 상기 스크류를 회전 조작하게 되는 핸들부와; 상기 핸들부의 회동축에서 편심되어 상부 면에 돌출 형성되도록 구비되는 최소한 두 개 이상의 고정핀과; 상기 스크류의 축방향과 수직한 평면에서 자유 회동 가능하게 상기 스크류의 하단에 마련되어 상기 커버몸체의 개구부 내에 수납되며, 테스트 반도체 상부와 접촉이 이루어지는 판상의 블레이드에 의해 달성된다.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 로커암은 탄성체에 의해 상기 커버몸체에 지지되어 회전 조작 방향으로 탄성력이 작용하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 로커암은 회동축에 조립된 힌지스프링에 의해 회전 조작 방향으로 탄성력이 작용하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 핸들부는, 상기 커버몸체에 고정되며 상부 면에 제1가이드부재가 마련되는 고정핸들부와; 상기 스크류 상단과 고정되어 상기 고정핸들부 상부 면에서 회동 가능하게 안착 위치하되, 상기 제1가이드부재와 계합되어 회전각을 제한하기 위한 제2가이드부재가 마련되는 가동핸들부를 포함하며, 보다 바람직하게는, 상기 제1가이드부재와 제2가이드부재는 가이드돌기와 이 가이드돌기가 삽입되는 장공의 가이드요홈의 조합인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치는, 검사전 테스트 반도체가 다수 배치되는 제1트레이 블록과; 검사후 테스트 반도체 중에서 양품으로 분류된 반도체가 적재되는 제2트레이 블록과; 검사후 테스트 반도체 중에서 불량으로 분류된 반도체가 적재되는 제3트레이 블록과; 테스트 반도체가 안착되는 다수의 소켓이 마련되어 테스트 반도체의 전기적 특성의 검사가 이루어지는 테스트 보드와; 상기 제1,2,3트레이 블록과 상기 테스트 보드 상부에서 이동 가능하게 마련되는 이송유니트와; 상기 이송유니트에 마련되어 상기 소켓에 테스트 반도체를 로딩/언로딩하는 그립부와; 상기 그립부와 인접하도록 상기 이송유니트에 마련되어 상기 소켓에 안착된 테스트 반도체를 고정하기 위하여 소켓커버를 상기 소켓에 로딩/언로딩하는 소켓커버핸들부를 포함하여 반도체의 전기적 특성을 자동화하여 테스트하기 위한 반도체 자동 핸들러 장치에 있어서, 상기 소켓커버는, 전체적으로 육면체의 외관을 갖고 하기의 블레이드가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성되어 상기 소켓의 상부에 안착이 가능한 커버몸체와; 상기 커버몸체의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기가 상단에 마련되고 하단에는 상기 소켓과 끼움 고정 가능한 걸림돌기를 갖는 한 쌍의 로커암과; 상기 커버몸체를 종방향으로 관통하여 나사 조립되는 스크류와; 상기 스크류 상단에 고정되어 상기 스크류를 회전 조작하게 되는 핸들부와; 상기 핸들부의 회동축에서 편심되어 상부 면에 돌출 형성되도록 구비되는 최소한 두 개 이상의 고정핀과; 상기 스크류 하단에 고정되어 상기 커버몸체의 개구부 내에 수납되며, 테스트 반도체 상부와 접촉이 이루어지는 판상의 블레이드에 의해 달성될 수 있다.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 소켓커버핸들부는, 상기 고정핀과 계합되어 상기 핸들부를 고정하여 정회전 또는 역회전이 가능한 헤드부와; 상기 헤드부의 측하단에 좌우 대칭되게 마련되어 상기 소켓커버의 로커암을 조작하기 위한 클램프를 포함한다.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 이송유니트는 상기 소켓에 안착되는 테스트 반도체의 영상 이미지를 얻기 위한 비젼유니트를 더 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 테스트용 소켓커버는 반도체를 테스트하기 위하여 테스트 보드에 마련된 소켓에 수동/자동 겸용으로 공용화하여 사용이 가능하며, 그에 따라서 반도체 개발 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치는, 종래의 반도체를 고정하기 위한 푸셔를 배제하면서 수동 소켓커버를 활용하여 반도체 테스트를 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버의 종단면도,
도 3은 본 발명의 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버의 일부 분해 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버에 있어서, 고정핸들부의 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버의 작동예를 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치 전체의 바람직한 실시예를 보여주는 사진,
도 7은 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치에 있어서, 이송유니트에 장착되는 그립부와 소켓커버핸들부를 예시적으로 보여주는 도면.
본 발명의 실시예에서 제시되는 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있다. 또한 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 발명에서 제1 및/또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소들과 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소는 제1구성요소로도 명명될 수 있다.
어떠한 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다거나 "접속되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떠한 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다거나 또는 "직접 접촉되어"있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하기 위한 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는"등의 표현도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서 "포함한다" 또는 "가지다"등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 소켓커버(100)는, 몸체를 구성하는 커버몸체(110), 커버몸체(110)에 회동 가능하게 마련되어 소켓(10)과 고정이 가능한 한 쌍의 로커암(120), 커버몸체(110)에 나사 조립되는 스크류(130)와, 스크류(130) 상단에 고정되는 핸들부(140), 핸들부(140) 상부에 마련되는 다수의 고정핀(150) 및 스크류(130) 하단에 자유 회동 가능하게 마련되는 블레이드(160)를 포함한다.
커버몸체(110)는 소켓(10)의 상부에 안착이 이루어지는 것으로써 전체적으로 육면체의 외관을 가지며, 블레이드(160)가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성된다.
한편, 소켓(10)은 대략 사각형태의 프레임(11)으로써 중앙에 반도체가 수납되는 수납구(12)를 갖는다.
로커암(120)은 커버몸체(110)의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기(121)가 상단에 마련되고 하단에는 소켓(10)과 끼움 고정 가능한 걸림돌기(122)를 갖는다.
바람직하게는, 누름돌기(121)는 로커암(120)의 상단에서 측상방을 지향하도록 마련되며, 걸림돌기(122)는 안쪽으로 절곡 형성되어 소켓(10) 하단에 형성된 걸림턱(13)에 끼워 고정이 이루어질 수 있다.
또한 로커암(120)은 탄성체에 의해 커버몸체(110)에 지지되어 회전 조작 방향으로 탄성력이 작용될 수 있으며, 바람직하게는, 회동축(120a)에 힌지스프링(123)이 조립되어 로커암(120)을 탄성 지지할 수 있다.
힌지스프링(123)에 의해 로커암(120)은 커버몸체(110)와의 회동축(120a)에 탄성 지지되어 회동이 이루어지며, 따라서 외부에서 조작력이 로커암(120)에 작용하지 않는 경우에는 탄성력에 의해 로커암(120)은 록킹(locking) 또는 언록킹(unlocking) 상태에 위치하게 되며, 외부 조작력이 작용하는 경우에만 록킹 또는 언록킹이 이루어질 수 있다.
스크류(130)는 커버몸체(110)를 종방향으로 관통하여 나사 조립되며, 대략 커버몸체(110)의 중앙부를 관통하여 조립되어 스크류(130)의 회전 방향에 따라서 커버몸체(110)에 대해 상방 또는 하방으로 이동이 가능하다.
핸들부(140)는 스크류(130) 상단과 일체로 고정되어 핸들부(140)의 회작 조작에 의해 스크류(130)가 회전하여 커버몸체(110)에 대해 상방 또는 하방으로 이동이 이루어지며, 핸들부(140) 상부에는 다수의 고정핀(150)이 마련된다.
고정핀(150)은 핸들부(140) 상부에 일체로 돌출 형성되어 제공될 수 있으며, 또는 핸들부(140) 상부 면에 조립공(140a)이 마련되어 조립공(140a) 내에 고정핀(150)이 조립되어 제공될 수도 있을 것이다.
도면부호 140b는 스크류(130)가 조립되는 홀이다.
한편, 고정핀(150)은 핸들부(140)의 회동축에서 편심되되, 회동축에 대해 회전 대칭되도록 배치될 수 있으며, 예를 들어, 4개의 고정핀(150)이 서로 직각을 이루면서 배치될 수가 있을 것이다.
이러한 다수의 고정핀(150)의 회전 대칭된 배치 구조는 추후 설명될 자동화 테스트 공정에서 소켓커버핸들부가 다수의 고정핀(150)과 계합되어 핸들부(140)를 회전 조작하는 경우에 단위 고정핀 당 작용하는 조작력의 크기를 작게 하여 핸들부(140)의 회전 조작이 보다 유연하게 이루어질 수 있을 것이다.
블레이드(160)는 판상 구조로써 스크류(130) 하단에 자유 회동 가능하게 조립되어 커버몸체(110)의 하측 개구부 내에 수납되며, 테스트 과정에서 반도체 상부와 접촉이 이루어진다.
이러한 블레이드(160)는 스크류(130) 하단과 자유 회동 가능하게 조립되므로, 스크류(130)의 승하강에 따라서 커버몸체(110) 내에서 일체로 승하강이 이루어진다.
이와 같이 구성된 본 발명의 소켓커버는 핸들부(140)의 회전 조작에 의해 커버몸체(110) 내에서 스크류(130)가 상하 이동함에 따라서 스크류(130) 하단에 마련된 블레이드(160)의 승강이 이루어져 소켓에 안착된 테스트 반도체의 안정된 접속이 이루어진다.
한편, 바람직하게는 본 발명에 있어서, 핸들부(140)는 커버몸체(110)에 고정되며 상부 면에 제1가이드부재가 마련되는 고정핸들부(141)와; 스크류(130) 상단과 고정되어 고정핸들부(141) 상부 면에서 회동 가능하게 안착 위치하되, 상기 제1가이드부재와 계합되어 회전각을 제한하기 위한 제2가이드부재가 마련되는 가동핸들부를 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 핸들부(140)는 커버몸체(110)에 고정되는 고정핸들부(141)와, 이 고정핸들부(141) 상부 면에 안착되어 스크류(130) 상단과 고정되어 회동 가능한 가동핸들부(142)로 구성된다.
한편, 고정핸들부(141)는 제1가이드부재로써 상부 면에 원호 형상의 장공 형태의 가이드요홈(141a)이 마련되며, 이 가이드요홈(141a)과 대응되어 제2가이드부재로써 가동핸들부(142)의 저면에는 돌출 형성되어 가이드요홈(141a) 내에 삽입되는 가이드돌기(142a)가 마련된다.
이러한 가동핸들부(142)는 고정핸들부(141) 상부에서 조작력에 의해 회전이 이루어지나, 가이드요홈(141a)의 설정 각도(θ) 범위 내에서만 회동이 가능하다.
따라서, 가동핸들부(142)는 일정 각도 범위 내에서만 회동이 가능하며, 이러한 가동핸들부(142)의 제한된 가동각도는 커버몸체(110)에서 상하 이동이 가능한 블레이드(160)의 상하 이동 길이를 제한하게 되어 과다한 가동핸들부(142)의 조작에 의해 테스트 반도체가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
특히 수작업에 의한 반도체 테스트 시에 작업자의 부주의에 의해 테스트 반도체의 파손을 방지할 수 있으며, 적정 범위 내에서 가동핸들부의 조작이 이루어지도록 안내하는 기능을 할 수 있다.
블레이드(160)의 상하 이동 길이는 가이드요홈의 설정 각도(θ)에 의해 결정될 수 있으며, 본 실시예에서는 서로 대칭되도록 2개의 가이드요홈과 가이드돌기를 보여주고 있으나, 1개의 가이드요홈과 가이드돌기 만으로 구성될 수도 있을 것이다.
또한, 본 실시예에서는 고정핸들부(141)에 가이드요홈이 마련되고 가동핸들부(142)에 가이드돌기(142a)가 마련되는 것을 예시하고 있으나, 그 반대로 고정핸들부에 가이드돌기가 마련되고 가동핸들부에 가이드요홈이 마련되어 동일하게 작동이 이루어질 수 있음을 이해하여야 할 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 수동/자동 겸용 소켓커버의 작동예를 설명하기 위한 도면으로, 자동화 테스트 공정에서의 실시예를 보여주고 있다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 반도체자동 핸들러 장치는 소켓커버(100)를 조작하기 위하여 소켓커버핸들부(260)를 포함한다.
소켓커버핸들부(260)는, 소켓커버(100)의 고정핀(150)과 계합되어 핸들부(140)를 고정하여 정회전 또는 역회전이 가능한 헤드부(261)와, 헤드부(260)의 측하단에 좌우 대칭되게 마련되어 상기 소켓커버(100)의 로커암(120)을 조작하기 위한 클램프(262)를 포함한다.
헤드부(261)는 다수의 고정핀(150)과 대응되어 각 고정핀(150)이 삽입 고정되는 계합공이 마련되어 핸들부(140) 상단을 견고히 고정하게 되며, 헤드부(261) 상단의 구동축(261a)에 의해 구동모터(미도시)와 연결되어 정회전 또는 역회전 구동이 이루어져 핸들부(140)의 회전 조작이 이루어져 블레이드(160)를 상하 이동시키게 된다.
클램프(262)는 헤드부(261)와 인접하게 마련되어 수평 방향으로 구동 가능하여 클램프(262)의 수평 이동에 의해 로커암(120)의 누름돌기(121)를 가압하여 소켓커버(100)와 소켓(미도시)의 록킹 또는 언록킹이 이루어진다.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치 전체의 바람직한 실시예를 보여주는 사진이다.
도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 반도체 자동 핸들러 장치는, 테스트 반도체가 적치되는 제1,2,3트레이 블록(210)(220)(230)과, 다소의 소켓이 마련되어 반도체의 테스트가 이루어지는 테스트 보드(240)와, 이송유니트(240)와, 이송유니트(240)에 장착되어 반도체를 소켓에 로딩/언로딩하기 위한 그립부(250), 소켓커버를 소켓에 로딩/언로딩하는 소켓커버핸들부(260)를 포함한다.
각 트레이 블록(210)(220)(230)은 검사전 테스트 반도체가 다수 배치되는 제1트레이 블록(210)과; 검사후 테스트 반도체 중에서 양품으로 분류된 반도체가 적재되는 제2트레이 블록(220)과; 검사후 테스트 반도체 중에서 불량으로 분류된 반도체가 적재되는 제3트레이 블록(230)으로 구분될 수 있다.
테스트 보드(240)는 반도체의 전기적 특성에 대한 테스트가 이루어지는 것으로써, 반도체는 소켓이 로딩되어 테스트가 이루어지며, 테스트가 완료된 반도체는 양품 또는 불량이 확인되면 제2트레이 블록(220) 또는 제3트레이 블록(230)으로 그립부(250)에 의해 이송된다.
이송유니트(240)는 제1,2,3트레이 블록(210)(220)(230)과 테스트 보드(240) 상부에서 이동 가능하게 마련되며, 평면상에서 상하, 좌우로 수평 이동이 가능하게 마련될 수 있다.
그립부(250)는 이송유니트(240)에 장착되며, 이송유니트(240)에 의해 목적 위치에서 상하 구동이 이루어져 각 트레이 블록(210)(220)(230) 또는 테스트 보드(240) 상의 타겟 위치에서 테스트 반도체를 집거나 내려놓는 역할을 하며, 예를 들어 선단부에 진공 흡착단이 마련되어 진공 여부에 따라서 반도체를 집거나 내려놓을 수가 있다.
소켓커버핸들부(260)는 그립부(250)와 인접하도록 이송유니트(240)에 마련되어 본 발명의 소켓커버를 소켓에 로딩/언로딩하는 역할을 하며, 그 구체적인 실시예는 도 5에서 설명하였으며, 도 7은 이송유니트에 장착되는 그립부와 소켓커버핸들부를 예시적으로 보여주고 있다.
한편 도 6에서 도면부호 270은 이송유니트(240)에 장착되어 소켓에 테스트 반도체가 정상적으로 장착이 되었는지를 검사하기 위하여 영상 이미지를 얻기 위한 비젼유니트이며, 비젼유니트(270)에서 검출된 영상 이미지는 제어부(미도)에 의해 전달되며, 제어부는 소켓에 장착된 반도체의 장착 상태를 판단하여 정상적인 장착 여부를 판정하여 비정상적인 장착이 이루어진 경우에는 오류 신호를 발생시켜 경고신호를 외부로 출력하거나 테스트 공정을 중단시킬 수가 있을 것이다.
한편, 이송유니트(240), 그립부(250), 소켓커버핸들부(260)의 제어는 제어부에 의해 자동화되어 제어가 이루어질 수 있을 것이다.
이와 같이 구성된 본 발명의 소켓커버는 반도체의 수동 테스트 공정에서 소켓에 장착되어 반도체의 테스트가 이루어질 수 있으며, 또한 동일한 소켓커버를 이용하여 자동화 공정에서도 효과적으로 사용될 수가 있는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
100 : 소켓커버 110 : 커버몸체
120 : 로커암 130 : 스크류
140 : 핸들부 141 : 고정핸들부
142 : 가동핸들부 150 : 고정핀
160 : 블레이드 210 : 제1트레이 블록
220 : 제2트레이 블록 230 ; 제3트레이 블록
240 : 이송유니트 250 : 그립부
260 : 소켓커버핸들부 270 : 비젼유니트

Claims (10)

  1. 테스트 반도체가 수납되는 소켓의 상부에 탈부착이 가능한 소켓커버로서,
    전체적으로 육면체의 외관을 갖고 하기의 블레이드가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성되어 상기 소켓의 상부에 안착이 가능한 커버몸체와;
    상기 커버몸체의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기가 상단에 마련되고 하단에는 상기 소켓과 끼움 고정 가능한 걸림돌기를 갖는 한 쌍의 로커암과;
    상기 커버몸체를 종방향으로 관통하여 나사 조립되는 스크류와;
    상기 스크류 상단에 고정되어 상기 스크류를 회전 조작하게 되는 핸들부와;
    상기 핸들부의 회동축에서 편심되어 상부 면에 돌출 형성되도록 구비되는 최소한 두 개 이상의 고정핀과;
    상기 스크류의 축방향과 수직한 평면에서 자유 회동 가능하게 상기 스크류의 하단에 마련되어 상기 커버몸체의 개구부 내에 수납되며, 테스트 반도체 상부와 접촉이 이루어지는 판상의 블레이드를 포함하여,
    상기 핸들부의 회전 조작에 의해 상기 블레이드의 승강이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로커암은 탄성체에 의해 상기 커버몸체에 지지되어 회전 조작 방향으로 탄성력이 작용하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로커암은 회동축에 조립된 힌지스프링에 의해 회전 조작 방향으로 탄성력이 작용하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버.
  4. 제1항에 있어서, 상기 핸들부는,
    상기 커버몸체에 고정되며 상부 면에 제1가이드부재가 마련되는 고정핸들부와;
    상기 스크류 상단과 고정되어 상기 고정핸들부 상부 면에서 회동 가능하게 안착 위치하되, 상기 제1가이드부재와 계합되어 회전각을 제한하기 위한 제2가이드부재가 마련되는 가동핸들부를 포함하는 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1가이드부재와 제2가이드부재는, 가이드돌기와 이 가이드돌기가 삽입되는 장공의 가이드요홈의 조합인 것을 특징으로 하는 반도체 테스트용 수동 및 자동 겸용 소켓커버.
  6. 검사전 테스트 반도체가 다수 배치되는 제1트레이 블록과; 검사후 테스트 반도체 중에서 양품으로 분류된 반도체가 적재되는 제2트레이 블록과; 검사후 테스트 반도체 중에서 불량으로 분류된 반도체가 적재되는 제3트레이 블록과; 테스트 반도체가 안착되는 다수의 소켓이 마련되어 테스트 반도체의 전기적 특성의 검사가 이루어지는 테스트 보드와; 상기 제1,2,3트레이 블록과 상기 테스트 보드 상부에서 이동 가능하게 마련되는 이송유니트와; 상기 이송유니트에 마련되어 상기 소켓에 테스트 반도체를 로딩/언로딩하는 그립부와; 상기 그립부와 인접하도록 상기 이송유니트에 마련되어 상기 소켓에 안착된 테스트 반도체를 고정하기 위하여 소켓커버를 상기 소켓에 로딩/언로딩하는 소켓커버핸들부를 포함하여 반도체의 전기적 특성을 자동화하여 테스트하기 위한 반도체 자동 핸들러 장치에 있어서,
    상기 소켓커버는,
    전체적으로 육면체의 외관을 갖고 하기의 블레이드가 수납되어 상하 방향으로 이동이 가능하도록 하부에 개구부가 형성되어 상기 소켓의 상부에 안착이 가능한 커버몸체와;
    상기 커버몸체의 두 측면에 좌우 대칭되도록 회동 가능하게 마련되며, 누름돌기가 상단에 마련되고 하단에는 상기 소켓과 끼움 고정 가능한 걸림돌기를 갖는 한 쌍의 로커암과;
    상기 커버몸체를 종방향으로 관통하여 나사 조립되는 스크류와;
    상기 스크류 상단에 고정되어 상기 스크류를 회전 조작하게 되는 핸들부와;
    상기 핸들부의 회동축에서 편심되어 상부 면에 돌출 형성되도록 구비되는 최소한 두 개 이상의 고정핀과;
    상기 스크류 하단에 고정되어 상기 커버몸체의 개구부 내에 수납되며, 테스트 반도체 상부와 접촉이 이루어지는 판상의 블레이드를 포함하는 반도체 자동 핸들러 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 핸들부는,
    상기 커버몸체에 고정되며 상부 면에 제1가이드부재가 마련되는 고정핸들부와;
    상기 스크류 상단과 고정되어 상기 고정핸들부 상부 면에서 회동 가능하게 안착 위치하되, 상기 제1가이드부재와 계합되어 회전각을 제한하기 위한 제2가이드부재가 마련되는 가동핸들부를 포함하는 반도체 자동 핸들러 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1가이드부재와 제2가이드부재는, 가이드돌기와 이 가이드돌기가 삽입되는 장공의 가이드요홈의 조합인 것을 특징으로 하는 반도체 자동 핸들러 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 소켓커버핸들부는,
    상기 고정핀과 계합되어 상기 핸들부를 고정하여 정회전 또는 역회전이 가능한 헤드부와;
    상기 헤드부의 측하단에 좌우 대칭되게 마련되어 상기 소켓커버의 로커암을 조작하기 위한 클램프를 포함하는 반도체 자동 테스트 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 이송유니트는 상기 소켓에 안착되는 테스트 반도체의 영상 이미지를 얻기 위한 비젼유니트를 더 포함하는 반도체 자동 핸들러 장치.
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