KR20220094995A

KR20220094995A - 검사용 푸셔장치

Info

Publication number: KR20220094995A
Application number: KR1020200186787A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 엄기수
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2020-12-29
Filing date: 2020-12-29
Publication date: 2022-07-06
Also published as: KR102481438B1

Abstract

본 발명은 검사용 푸셔장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서, 내부에 수용공간이 마련되며 하측으로 개구되며 피검사 디바이스가 안착되는 베이스에 분리가능하게 고정설치되는 하우징; 상기 하우징의 수용공간에서 하우징의 개구를 통과하여 수직방향으로 이동가능하며 하면이 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 푸셔; 및 상기 하우징과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔를 가압할 수 있고, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 링크장치를 포함하되, 상기 링크장치는 푸셔의 하면이 수평상태를 유지하면서 피검사 디바이스에 균일한 압력을 부여하도록 수 있도록 복수개가 하우징에 힌지연결되어 있는 검사용 푸셔장치에 대한 것이다.

Description

검사용 푸셔장치{Pusher apparatus for electrical test}

본 발명은 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 검사 공정에서, 반도체 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 접속시키는 테스트 소켓이 당해 분야에서 사용되고 있다. 테스트 소켓은 검사 장치에 장착되며, 검사되는 반도체 디바이스를 수용한다. 테스트 소켓은 반도체 디바이스와 검사 장치에 접촉된다. 테스트 소켓은 검사 장치의 테스트 신호를 반도체 디바이스에 전달하고, 반도체 디바이스의 응답 신호를 검사 장치에 전달한다.

이러한 전기적 검사를 위하여 반도체 디바이스를 테스트 소켓에 가압접촉시키는 것이 필요한데, 이를 위하여 검사용 푸셔장치가 사용된다.

상기 검사용 푸셔장치(1)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 하우징(2)과, 상기 하우징(2) 내부에 설치되며 반도체 디바이스를 가압하기 위한 푸셔(3)와, 상기 푸셔(3)를 상승 또는 하강하기 위한 링크장치(4)를 포함한다.

상기 링크장치는 하우징(2)의 중앙에 힌지연결되어 있으며 지렛대의 원리로서 하우징(2) 내부에 배치된 푸셔(3)를 수직방향으로 이동시키도록 구성된다. 링크장치(4)는 하우징(2)의 중앙에 배치되며, 링크장치(4)가 작동하면서 푸셔(3)를 승하강시킬 수 있게 된다.

이러한 종래기술은 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 1개의 축을 이용하여 푸셔(3)를 가압하도록 구성되어 있기 때문에 푸셔(3)의 평탄도(편심) 문제가 발생하는 경우가 있다. 즉, 푸셔(3)는 수평하게 하강하면서 피검사 디바이스의 상면에 수평하게 접촉되어야 고른 힘을 피검사 디바이스에 가할 수 있는데, 링크장치(4)가 1개의 축으로 푸셔(3)를 가압하고 있어서 경사진 상태(편심)로 피검사 디바이스에 접촉되는 문제가 발생한다.

또한, 종래기술은 가압과 해제 사이에서만 이동하도록 구성되어 있어서 푸셔(3)에 대한 정밀한 높이조절이 어렵다는 단점이 있다. 특히 반도체 디바이스는 종류별로 다양한 크기와 두께를 가지고 있는데, 링크장치(4)만으로는 이러한 다양한 반도체 디바이스에 적용하기 어렵다는 단점이 있다.

또한, 종래기술은, 하나의 축을 기준으로 링크장치(4)가 작동하고 있어서 축이 없는 부분에서는 피검사 디바이스가 휘어지는 벤딩현상이 발생하는 일이 있다. 피검사 디바이스가 가압과정에서 휘어지게 되면 피검사 디바이스의 모든 단자가 테스트 장치에 균일한 압력으로 접촉될 수 없어 검사의 신뢰성이 떨어지는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 복수의 축을 이용하여 피검사 디바이스에 접촉되어 편심의 우려가 없는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 반도체 디바이스의 두께에 맞게 푸셔의 두께 보정이 가능하여 범용적으로 적용할 수 있는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 가압수단이 하우징에 설치되어 가압과정에서 피검사 디바이스가 휘어지는 것을 방지할 수 있어서 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,

내부에 수용공간이 마련되며 하측으로 개구되며 피검사 디바이스가 안착되는 베이스에 분리가능하게 고정설치되는 하우징;

상기 하우징의 수용공간에서 하우징의 개구를 통과하여 수직방향으로 이동가능하며 하면이 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 푸셔; 및

상기 하우징과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔를 가압할 수 있고, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 링크장치를 포함하되,

상기 링크장치는 푸셔의 하면이 수평상태를 유지하면서 피검사 디바이스에 균일한 압력을 부여하도록 수 있도록 복수개가 하우징에 힌지연결된다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 링크장치는, 한 쌍이 푸셔의 중앙에 대칭적으로 동일간격 이격될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 푸셔의 상측에는 수용공간 내에서 수직방향으로 이동하는 제1인터포저가 배치되고,

상기 링크장치는,

하우징이 힌지연결되어 스윙이동하는 핸들바과,

일측은 상기 링크아암에 연결되고 타측은 상기 제1인터포저에 연결되며 핸들바의 스윙이동에 따라서 승하강하는 링크아암을 포함할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 한 쌍의 링크장치 사이에는 푸셔의 중앙을 가압하기 위한 가압수단이 상기 하우징에 힌지연결될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 가압수단은, 하우징에 힌지연결된 상태에서 단부에 제1인터포저와 접촉되는 부분에 캠면이 마련되어 스윙회전에 의하여 제1인터포저를 가압할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 푸셔의 상측에는 링크장치에 연동되어 수용공간 내에서 수직방향으로 이동하는 제1인터포저가 배치되고,

상기 제1인터포저와, 푸셔의 사이에는 푸셔와 제1인터포저 사이의 거리를 조정하기 위한 높이조절수단이 마련될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 높이조절수단은,

수직축에 대하여 회전가능하게 구성되는 조절본체와,

상기 조절본체에 결합되며 제1인터포저에 나사식으로 결합되는 스크류를 포함하고,

상기 조절본체가 회전하면 스크류가 회전하면서 제1인터포저에 대하여 승하강할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 조절본체에는 하우징을 통과하여 상측으로 돌출된 조절봉이 구비될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 높이조절수단과 푸셔사이에는 제2인터포저가 배치되고, 상기 제2인터포저와 상기 푸셔 사이에는 상기 푸셔를 제2인터포저로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 탄성 바이어스 수단이 설치될 수 있다.

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,

상기 하우징의 수용공간에서 하우징의 개구를 통과하여 수직방향으로 이동가능하며 하면이 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 푸셔;

상기 하우징과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔를 가압할 수 있고, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 링크장치; 및

상기 하우징에 힌지연결되고 푸셔의 중앙을 가압하기 위한 가압수단을 포함한다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 링크장치는, 하우징의 양측 가장자리에 서로 대칭적으로 한 쌍이 배치될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 링크장치는, 하우징의 상측으로 돌출된 핸들바를 포함하고, 핸들바가 서로 멀어지거나 근접하게 이동하도록 스윙이동할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

한 쌍의 링크장치는 피검사 디바이스에 가해지는 가압력을 균등하게 분배하도록 구성될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 가압수단은, 상기 하우징의 중앙을 회전중심으로 한 쌍의 링크장치 사이를 스윙이동할 수 있다.

본 발명에서 하우징에 연결된 링크장치는 푸셔가 수평상태를 유지하면서 피검사 디바이스에 균일한 압력을 부여하도록 수 있도록 복수개 마련되어 있어서 푸셔가 균일한 압력으로 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 복수의 링크장치가 푸셔의 중심에 대하여 대칭적으로 하우징에 설치되어 있어서 큰 하중을 각 링크장치가 균등하게 분배하여 적은 힘으로도 큰 가압력을 제공할 수 있는 장점이 있다.

본 발명은 푸셔의 높이를 미세하게 조절하는 높이조절수단을 마련하고 있어서 다양한 두께를 가진 피검사 디바이스를 가압할 수 있어서 범용적으로 사용가능한 장점이 있다.

본 발명은 가압수단이 하우징에 스윙이동가능하게 설치되어 가압과정에서 피검사 디바이스가 휘어지는 것을 방지하여 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래기술의 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 2는 도 1의 측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치의 정면도.
도 4는 도 3의 측면도이고, 도 5는 도 3의 평면도.
도 6은 도 3의 검사용 푸셔장치의 하우징과 하우징 내부에 부품의 분리사시도.
도 7은 도 6의 하우징의 분리사시도.
도 8은 도 6의 하우징 내부 부품의 분리사시도.
도 9는 링크장치가 해제위치에 있을 때의 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 단면도.
도 11은 링크장치가 가압위치에 있을 때의 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 12는 도 11의 ⅩⅡ-ⅩⅡ 단면도.
도 13은 가압수단이 가압위치에 있을 때의 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 14는 도 13의 ⅩⅣ-ⅩⅣ 단면도.
도 15는 본 발명의 검사용 푸셔장치에서 높이조절장치를 작동하는 모습을 나타내는 도면.
도 16은 도 15의 측면도.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 테스트 소켓이 검사 보드에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 검사 장치와 피검사 디바이스 간의 전기적 접속을 위한 검사용 푸셔장치에 관련된다. 실시예들의 검사용 푸셔장치는 피검사 디바이스의 검사 시에 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하는 데에 사용될 수 있다. 일 예로, 검사용 푸셔장치는 피검사 디바이스의 하측에 배치된 테스트 소켓에 가압상태에 접촉하는데에 사용될 수 있다.

본 발명에서 검사용 푸셔장치에 가압되는 피검사 디바이스는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 상기 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서, 핀, 솔더 볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 검사용 푸셔장치에 적합한 피검사 디바이스는 그 하측에 반구형의 다수의 단자를 가질 수 있다.

검사 장치는 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하도록 구성될 수 있다. 검사 장치는 테스트 소켓이 장착되는 검사 보드를 가진다. 검사 보드는 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자를 가질 수 있다. 피검사 디바이스의 단자는 테스트 소켓를 통해 대응하는 검사 보드의 단자와 전기적으로 접속된다. 즉, 테스트 소켓이 피검사 디바이스의 단자와 이것에 대응하는 검사 보드의 단자를 수직 방향으로 전기적으로 접속시켜, 단자와 검사 보드의 사이에서 전기적 테스트 신호와 응답 신호를 전달한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치(100)는, 하우징(110), 링크장치(120), 가압수단(130), 제1인터포저(140), 높이조절수단(150), 제2인터포저(160) 및 푸셔(170) 및 베이스(180)를 포함한다.

상기 하우징(110)은, 내부에 수용공간이 마련되며 하측으로 개구되며 피검사 디바이스(200)가 안착되는 베이스(180)에 분리가능하게 고정설치되는 것이다. 이러한 하우징(110)은 대략 육면체 형상으로 형성되고 그 중앙에는 수직방향(VD)으로 관통된 중앙구멍(111)이 형성된다.

하우징(110)의 상면에서 중앙구멍(111)의 주변에는 상측으로 돌출된 지지돌기(112)가 각 모서마다 설치되어 있게 된다. 각 지지돌기(112)는 모서리마다 한 쌍의 지지돌기(112)가 형성되어 있으며 한 쌍의 지지돌기(112)는 수평방향 중 제2수평방향(HD2)으로 이격되어 있게 된다. 상기 지지돌기(112)에는 제2수평방향(HD2)으로 관통된 제1핀홀(1121)이 형성되어 있게 되며 이 제1핀홀(1121)에 제1링크 샤프트(1122)가 끼워져서 링크장치(120)가 회전가능하게 하우징(110)에 연결된다.

한 쌍의 지지돌기(112) 사이에는 하우징(110)을 관통하는 제1관통홀(1123)이 형성되고, 제1관통홀(1123)은 하우징(110)의 상면을 관통하여 수용공간에 연통된다.

상기 하우징(110)의 상면에서 제1수평방향의 중간에는 수직방향으로 관통되어 수용공간과 연통되는 제2관통홀(113)이 형성된다. 제2관통홀(113)이 연장되는 내측벽에는 하우징(110)의 측벽으로부터 제2수평방향(HD2)으로 연장되는 제4핀홀(1131)이 형성되어 있다. 제4핀홀(1131)에 제1샤프트(1323)가 끼워져서 가압수단(130)이 하우징(110)에 대하여 스윙운동할 수 있게 한다.

하우징(110)의 상면에서 중앙구멍(111) 주변에는 중앙구멍(111)을 따라서 연장되고 수직방향(VD)으로 관통하여 수용공간에 연통되는 제1장공(114)이 형성된다. 상기 제1장공(114)을 통하여 높이조절수단(150)의 조절봉(1511)이 관통되고 제1장공(114)을 따라서 이동할 수 있게 구성된다.

하우징(110)에서 제2수평방향에서 대향하는 측벽 중 하나에는 베이스(180)에 분리가능하게 결합되도록 하는 래치(115)가 설치되고, 다른 하나에는 베이스(180)에 힌지연결되도록 하는 힌지블록(116)이 설치된다. 하우징(110)은 베이스(180)의 힌지블록(116)에 의하여 베이스(180)의 중앙구멍(111)을 개방하거나 폐쇄하게 되고, 래치(115)에 의하여 패쇄된 상태를 유지하게 된다.

상기 링크장치(120)는, 상기 하우징(110)과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔(170)를 가압할 수 있고, 푸셔(170)가 피검사 디바이스(200)에 대한 가압력을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔(170)가 피검사 디바이스(200)에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 것이다.

링크장치(120)는, 수평방향 중 제1수평방향으로 한 쌍이 서로 이격되어 있으며 푸셔(170)의 중심으로 기준으로 서로 대칭적으로 배치되어 있다.

각각의 링크장치(120)는 핸들바(121)와 링크아암(122)으로 이루어진다.

상기 핸들바(121)는, 제2수평방향으로 연장되는 핸들몸체(1211)와, 상기 핸들몸체(1211)의 양단에서 핸들몸체(1211)와 수직하게 연장되는 연장바(1212)를 포함한다. 상기 연장바(1212)에서 단부는 연장바(1212)의 연장방향과 직각으로 돌출되는 돌출편(1213)이 형성된다.

연장바(1212)의 단부에는 제2핀홀(1212a)이 형성되고 돌출편(1213)에는 제3핀홀(1213a)이 형성되어 있게 된다. 제2핀홀(1212a)과 제3핀홀(1213a)은 서로 이격되어 있으며 각각은 수평방향 중 제2수평방향으로 관통하도록 구성된다. 제2핀홀(1212a)에는 지지돌기(112)의 제1관통홀(1123)에 삽입되는 제1링크 샤프트(1122)가 끼워지도록 구성되어 핸들바(121)가 하우징(110)에 대하여 스윙이동할 수 있게 구성된다. 제3핀홀(1213a)에는 링크아암(122)의 일단을 통과한 제2링크 샤프트(1213b)가 끼워지도록 구성된다.

상기 링크아암(122)은, 바 형태로 이루어지고 일단에는 제3핀홀(1213a)(1212a)을 통과한 제2링크 샤프트(1213b)가 끼워지는 제1아암홀(미도시)이 형성되고, 제3링크 샤프트(1222)가 끼워지는 제2아암홀(1221)이 형성된다. 제3링크 샤프트(1222)는 제1인터포저(140)를 관통하여 제2아암홀(1221)에 끼워지도록 구성되어 링크아암(122)과 제1인터포저(140)를 서로 연동시킨다.

링크장치(120)는, 핸들바(121)를 하우징(110)에 대하여 스윙이동하도록 구성되며, 핸들바(121)의 회전이동에 따라서 링크아암(122)이 피벗운동하면서 제1인터포저(140)를 수직방향(VD)으로 상승 또는 하강시키도록 구성된다.

핸들바(121)는 한 쌍이 하우징(110)으로부터 돌출되어 있는데, 한 쌍의 핸들바(121)는 서로 멀어지거나 근접하게 이동하도록 스윙이동할 수 있다.

이러한 한 쌍의 링크장치(120)는, 한 쌍의 푸셔(170)의 중앙에 대칭적으로 동일간격 이격되어 있어서 피검사 디바이스(200)를 가압할 때 필요한 힘을 각 링크장치(120)가 균등하게 분산시킬 수 있게 된다. 즉, 하나의 링크장치(120)에는 절반의 힘을 가하게 되고 다른 하나의 링크장치(120)에는 나머지 절반의 힘을 가하게 됨으로서 피검사 디바이스(200)를 가압하는데 필요한 힘이 각 링크장치(120)에 안분됨으로서 작업자가 적은 힘을 가해도 필요한 작업을 수행할 수 있게 된다.

또한 링크장치(120)는 복수개가 하우징(110)에 배치되어 있어서 피검사 디바이스(200)의 상면에 균등한 하중을 가할 수 있게 된다. 즉, 종래와 같이 단일축을 가지는 경우에는 푸셔(170)의 하면이 피검사 디바이스(200)의 상면을 편심으로 가압하는 일이 있으나, 본 발명에서는 링크장치(120)가 복수개가 배치되어 있어서 피검사 디바이스(200)에 접촉시 편심이 발생되는 것을 방지하여 수평하게 피검사 디바이스(200)를 가압할 수 있게 된다.

상기 가압수단(130)은, 상기 한 쌍의 링크장치(120) 사이에는 푸셔(170)의 중앙을 가압하기 위한 가압수단(130)이 상기 하우징(110)에 힌지연결되어 있는 것이다. 이러한 가압수단(130)은 하우징(110)에 힌지연결된 상태에서 단부에 제1인터포저(140)와 접촉되는 부분에 캠면(1322)이 마련되어 스윙회전에 의하여 제1인터포저(140)를 가압할 수 있게 된다.

구체적으로 가압수단(130)은, 제2수평방향으로 연장되는 가압본체(131)와, 상기 가압본체(131)의 양단에서 수직하게 연장되는 가압바(132)를 포함한다.

상기 가압바(132)의 단부측에는 수평방향 중 제2수평방향으로 연장되는 가압홀(1321)이 형성되어 있으며 상기 가압홀(1321)에 하우징(110)에 끼워지는 제1샤프트(1323)가 끼워걸림으로서 가압수단(130)이 하우징(110)에 대하여 스윙이동할 수 있게 된다.

가압바(132)의 단부에는 수용공간 내에 수용된 제1인터포저(140)를 가압하기 위한 캠면(1322)이 형성되어 있게 된다. 캠면(1322)은 가압홀(1321)에서 원주방향으로 반경이 달라지도록 구성되어 잇어서 가압바(132)가 제1샤프트(1323)를 회전축으로 하여 회전하게 되면 캠면(1322)이 회전하면서 제1인터포저(140)를 가압할 수 있도록 구성된다.

가압수단(130)은 제1인터포저(140)의 중앙을 가압하기 때문에, 제1인터포저(140)에 의하여 푸셔(170)의 중앙이 가압되고 이에 따라서 피검사 디바이스(200)의 중앙도 가압하게 된다. 이에 따라서 피검사 디바이스(200)의 중앙이 상방향으로 휘어지는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기 제1인터포저(140)는 하우징(110)의 수용공간 내에 수용되어 상승하강하면서 하부에 배치된 푸셔(170)를 가압하는 것이다.

이러한 제1인터포저(140)는 전체적으로 사각판의 형태로 이루어져 있으며 그 중앙에는 내주면에 나사산이 형성된 중앙나사공(141)이 마련되어 있게 된다. 제1인터포저(140)의 중앙나사공(141)에는 높이조절수단(150)의 스크류(152)가 나사결합되도록 구성된다.

제1인터포저(140)에서 중앙나사공(141) 주변에는 수평방향 중 제1수평방향으로 대향하는 위치에는 상면과 하면을 각각 연통하는 진입공(142)이 형성되고, 진입공(142)의 내벽면에는 제3링크 샤프트(1222)가 끼워걸릴 수 있는 결합홀(143)이 수평방향 중 제2수평방향으로 형성되어 있게 된다.

제1인터포저(140)에서 제1장공(114)와 대응되는 위치에는 제2장공(144)가 형성되고 제2장공(144)에 조절봉(1511)이 삽입되도록 구성된다.

하우징(110)에 회전가능하게 연결된 핸들바(121)의 스윙이동에 의하여, 링크아암(122)이 제3링크 샤프트(1222)를 회전축으로 하며 회전이동하는 것에 의하여 제1인터포저(140)가 수직방향(VD)으로 상승 또는 하강함으로서 푸셔(170)가 피검사 디바이스(200)를 가압하거나 가압해제할 수 있게 되는 것이다.

상기 높이조절수단(150)은, 상기 제1인터포저(140)와, 푸셔(170)의 사이에 배치되어 푸셔(170)와 제1인터포저(140) 사이의 이격거리를 조정하기 위한 것이다. 구체적으로 제1인터포저(140)는 일정한 스트로크만큼 상승 또는 하강하게 되는데, 피검사 디바이스(200)의 두께를 충분하게 반영하지 못하게 되므로, 범용적으로 푸셔장치(100)를 사용할 수 있도록 하기 위하여 제1인터포저(140)와 푸셔(170) 사이의 이격거리를 조절하기 위하여 높이조절수단(150)이 마련된다.

상기 높이조절수단(150)은, 조절본체(151)와 스크류(152)를 포함한다.

상기 조절본체(151)는, 원판 형태로 이루어지고 중앙에 안착공간이 마련되어 있어서 그 안착공간에 스크류(152)가 안착되어 고정될 수 있게 한다. 이러한 조절본체(151)에는 상면에서 상측으로 돌출되는 조절봉(1511)이 형성되어 있게 된다. 이러한 조절봉(1511)은 하우징(110)의 제1장공(114)을 통과하여 외부로 돌출되도록 구성되며 조절봉(1511)을 제1장공(114)을 따라서 이동함으로서 인터포저와 푸셔(170)사이의 이격거리를 조절하도록 구성한다.

상기 조절본체(151)에서 상면 둘레에는 상기 조절본체(151)의 회전을 용이하게 하기 위한 베어링 볼이 다수 형성될 수 있다.

조절본체(151)의 테두리에는 원주방향을 따라서 복수의 긴홀(1512)이 수직방향으로 관통되어 설치되며, 이 긴홀(1512)을 통과하여 나사가 제1인터포저(140)와 제2인터포저(160)를 서로 결합하도록 구성된다.

상기 스크류(152)는 상기 조절본체(151)의 안착공간에 고정설치되는 것으로서 외주면에 나사산이 형성된 원통형태로 이루어진다. 상기 조절본체(151)가 회전하게 되면 스크류(152)도 회전하게 되는데, 이에 따라서 제1인터포저(140)와 조절본체(151)의 간격이 조절될 수 있도록 구성된다. 즉, 조절본체(151)가 일방향으로 회전하면 제1인터포저(140)에 나사결합된 스크류(152)가 회전하면서 제1인터포저(140)에 대하여 하강하게 되며, 조절본체(151)가 타방향으로 회전하면 제1인터포저(140)에 나사결합된 스크류(152)가 회전하면서 제1인터포저(140)에 대하여 상승하게 되어서 간격조절이 가능하게 된다.

상기 제2인터포저(160)는 조절본체(151)의 하측에 배치되며 제1인터포저(140)로부터 가해진 가압력을 푸셔(170)로 제공하는 것이다. 이러한 제2인터포저(160)는 전체적으로 사각판 형태로 이루지고, 제1인터포저(140)의 나사와 연결되는 제1나사공과, 푸셔(170)와 연결되는 제2나사공이 복수개 형성되어 있게 된다.

상기 푸셔(170)는, 상기 제2인터포저(160)의 하측에 배치되며, 상기 제2인터포저(160)로부터 가압력을 제공받는 것이다.

푸셔(170)는 사각판 형태의 본체부(171)와, 본체의 상면 중앙에서 상측으로 돌출되는 열전달봉(172)과, 본체의 하면에서 돌출되는 가압부(173)를 포함한다.

푸셔(170)의 본체부(171)에서 열전달봉(172)의 주변부에는 복수의 제3나사공이 형성되어 있게 된다. 상기 제3나사공에는 제2인터포저(160)와 연결되는 체결나사(1711)가 형성되고, 체결나사(1711)의 주변에는 탄성바이어스 수단(1712)이 끼워져 설치된다.

탄성바이어스 수단(1712)은, 푸셔(170)를 제2인터포저(160)로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키고 있으며, 이에 따라서 푸셔(170)가 피검사 디바이스(200)에 접촉되었을 때 탄성을 가지게 함으로서 피검사 디바이스(200)에 강한 충격력이 제공되는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기 베이스(180)는, 하우징(110)의 하부에 설치되는 것으로서, 내부에는 수납홀(181)이 형성되어 있으며, 그 수납홀(181)에 테스트 소켓(미도시)이 삽입되어 배치되고, 베이스(180)의 하부에는 검사장치(미도시)가 설치된다. 베이스(180)의 수납홀(181)에 피검사 디바이스(200)에 삽입된 상태로 푸셔(170)가 수납홀(181) 내에 삽입되어 피검사 디바이스(200)를 가압하게 된다.

베이스(180)는 하우징(110)에 힌지연결되도록 구성되며 래치(115)에 의하여 닫힘위치를 유지하게 한다.

본 발명에서, 도면번호 190로 표시된 부분은 팬장치(190)로서 푸셔(170)로 공기를 제공하기 위하여 제공된다. 이러한 푸셔(170)는 하우징(110)의 상단 중앙에 설치되어 있으며 제1인터포저(140), 푸셔(170), 제2인터포저(160)의 중앙의 구멍을 통과하여 푸셔(170)의 연절단봉에 공기를 제공하도록 구성된다. 저온 또는 고온의 공기가 제공될 수 있으며 필요한 환경에 맞춰서 피검사 디바이스(200)에 대한 검사를 수행할 수 있게 한다.

본 발명에 따른 검사용 푸셔장치(100)의 작동모습을 도 9 내지 도 16을 참조하여 설명한다.

먼저, 도 9 및 도 10은 검사용 푸셔장치(100)가 피검사 디바이스(200)를 가압하지 않는 해제위치를 도시한다. 도 9는 검사용 푸셔장치(100)의 사시도이고, 도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 단면도이다.

해제위치에서, 검사용 푸셔장치(100)는, 한 쌍의 핸들바(121)가 경사진 상태로 세워져 있고, 이때 링크아암(122)은 제1인터포저(140)에 경사진 상태로 놓여져 있게 된다. 또한 가압수단(130)은 단부의 캠면(1322)이 제1인터포저(140)의 상면에 접촉하지 않은 상태에 놓여져 있게 된다.

도 11 및 도 12는 검사용 푸셔장치(100)에서 링크장치(120)가 가압위치에 놓여진 상태를 나타내는 도면이다. 도 11은 검사용 푸셔장치(100)의 사시도이고, 도 12는 도 11의 ⅩⅡ-ⅩⅡ 단면도이다.

피검사 디바이스(200)를 가압하기 위해서는 푸셔(170)를 하강시켜야 하는데, 이를 위하여 링크장치(120)를 작동시킨다. 구체적으로 핸들바(121)를 제1링크 샤프트(1122)를 기준으로 회전시키면 핸들바(121)와 링크연결된 링크아암(122)이 제3링크 샤프트(1222)를 회전축으로 하여 회전하면서 제1인터포저(140)를 하강시킨다.

이때 링크아암(122)은 하우징(110)에 각각 한 쌍이 배치되어 있으므로 제1인터포저(140)의 의 일측과 타측이 동시에 하강되도록 구성된다. 제1인터포저(140)가 하강함에 따라서 높이조절수단(150)과, 제2인터포저(160)가 동시에 하강하게 되고 제2인터포저(160)에 탄력지지된 푸셔(170)도 제2인터포저(160)에 눌려서 하강하게 된다. 피검사 디바이스(200)는 푸셔(170)에 의하여 테스트 소켓에 가압될 수 있게 구성된다.

이에 따라서 푸셔(170)는 수평상태를 유지하면서 피검사 디바이스(200)를 가압할 수 있게 된다.

도 13 및 도 14에서는 가압수단(130)을 추가적으로 회전시켜 한 쌍의 링크장치(120) 사이에 위치한 인터포저의 중앙을 가압하도록 구성된다. 이를 위하여 가압바(132)를 제1샤프트(1323)를 회전축으로 하여 스윙이동시키면 가압바(132)의 단부의 캠면(1322)이 제1인터포저(140)의 상면에 접촉되면서 상기 제1인터포저(140)를 가압하도록 구성된다.

즉, 제1인터포저(140)와 이격된 가압부(173)의 캠면(1322)은 스윙이동에 의하여 제1인터포저(140)의 상면에 접촉되면서 제1인터포저(140)를 하측으로 가압하도록 구성된다. 이에 따라서 제1인터포저(140)에 연결된 높이조절수단(150), 제2인터포저(160) 및 푸셔(170)는 동시에 하강되도록 구성된다. 이에 따라서 푸셔(170)의 하측에 배치된 피검사 디바이스(200)도 휘어짐이 없이 가압될 수 있게 된다.

도 15 및 도 16은, 높이조절수단(150)을 이용하여 푸셔(170)의 높이를 미세하게 조절하는 것을 도시한다.

먼저, 높이조절을 위해서는 도 15에 도시된 바와 같이 조절봉(1511)을 제2장공(144)을 따라서 소정각도 이동시킨다. 구체적으로 조절봉(1511)을 소정각도 회전시키면 도 16에 도시된 바와 같이, 제1인터포저(140)의 중앙에 나사결합된 스크류(152)가 미세하게 하강하게 되고, 스크류(152)의 회전에 따라서 스크류(152) 연결된 조절본체(151)가 제1인터포저(140)에 대하여 소정간격 이격되도록 구성된다. 조절본체(151)가 미세하게 하강하게 되면, 조절본체(151)의 하측에 배치된 제2인터포저(160), 푸셔(170)도 미세하게 하강하게 되어 피검사 디바이스(200)의 두께에 맞춰서 푸셔(170)의 높이를 조절할 수 있게 된다.

도 16에서는 조절봉(1511)을 제2장공(144) 단부까지 회전시키는 것을 예시하였으나, 조절봉(1511)의 회전각도를 미세하게 조절함으로서 피검사 디바이스(200)의 두께에 맞는 정밀한 가압높이를 조절할 수 있게 된다.

이러한 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는 다음과 같은 작용효과를 가진다.

먼저, 본 발명에서는 링크장치가 복수로 구성되어 있으므로 푸셔가 편심이나 경사상태로 피검사 디바이스에 접촉되지 않고 수평상태를 유지하면서 피검사 디바이스에 접촉되어 가압할 수 있게 된다.

특히, 링크장치가 푸셔의 중앙에 대하여 대칭적인 위치에 배치되는 경우에는 보다 확실한 수평상태를 유지할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 링크장치가 복수로 구비되어 있으므로 하나의 링크장치가 구비된 경우와 대비할 때 각 링크장치가 부담하는 가압력이 크게 감소될 수 있다. 이는 각 핸들바가 부담하는 가압력이 줄어들어 부품의 파손을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 작업자가 각 핸들바를 작동하는 힘도 감소될 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 한 쌍의 링크장치 사이에는 힘이 가해지지 않아서 피검사 디바이스가 링크장치 사이 영역에서 휘어지는 벤딩현상을 방지하기 위하여 추가적으로 가압수단을 마련하였다. 가압수단은 지렛대의 원리를 이용하여 간편하게 제1인터포저를 가압하여 푸셔에 가압력을 제공하는데, 이에 따라서 피검사 디바이스가 상방향으로 휘어지는 것을 방지할 수 있게 된다.

또한 본 발명은 푸셔의 높이를 미세하게 조절하기 위한 높이조절수단을 마련하여 피검사 디바이스의 두께가 상이하여도 피검사 디바이스의 두께에 조절하여 사용할 수 있어서 범용성이 우수하다는 장점이 있다.

특히, 큰 범위에서의 가압력은 링크장치가 지렛대의 원리를 이용한 스윙동작에 의하여 작업이 진행되고, 각 피검사 디바이스의 높이에 따른 미세조절은 별도의 높이조절수단을 이용하여 이루어짐으로서 작업시간이 단축됨은 물론 다양한 피검사 디바이스에 적용할 수 있게 되는 것이다.

이상에서 살펴본 본 발명의 검사용 푸셔장치는 이에 한정되는 것은 아니다.

상술한 실시예에서는 링크장치가 한 쌍이 배치되는 것을 예시하였으나, 이는 하나의 실시예일 뿐, 2개 이상이면 복수개가 설치되는 것도 가능하다. 또한, 각 링크장치가 서로 대칭적으로 푸셔의 중앙에서 동일 간격 이격되어 설치되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상황에 맞게 이격거리를 조절하는 것이 가능하다.

또한, 상술한 실시예에는 가압수단이 링크장치의 중앙에 하나를 배치한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 피검사 디바이스가 가압되었을 때 벤딩이 우려되는 위치하면 설계조건을 반영하여 위치변경이 가능하며, 그 개수도 변형되는 것이 가능하다.

이상에서는 본 발명의 검사용 푸셔장치 및 전기적 검사장치에 대해서 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니며 균등한 범위 내라면 확정해석되는 것이 가능함은 물론이다.

100...푸셔장치 110...하우징
110...중앙구멍 112...지지돌기
1121...제1핀홀 1122...제1링크 샤프트
1123...제1관통홀 113...제2관통홀
1131...제4핀홀 114...장공
115...래치 116...힌지블록
120...링크장치 121...핸들바
1211...핸들몸체 1212...연장바
1212a...제2핀홀 1213...돌출편
1213a...제3핀홀 1213b...제2링크 샤프트
122...링크아암 1221...제2아암홀
1222...제3링크 샤프트 130...가압수단
131...가압본체 132...가압바
1321...가압홀 1322...캠면
1323...제1샤프트 140...제1인터포저
141...중앙나사공 142...진입공
143...결합홀 144...제2장공
150...높이조절수단 151...조절본체
1511...조절봉 1512...긴홀
152...스크류 160...제2인터포저
170...푸셔 171...본체부
1711...체결나사 1712...탄성바이어스 수단
172...열전달봉 173...가압부
180...베이스 181...수납홀
190...팬장치

Claims

전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
내부에 수용공간이 마련되며 하측으로 개구되며 피검사 디바이스가 안착되는 베이스에 분리가능하게 고정설치되는 하우징;
상기 하우징의 수용공간에서 하우징의 개구를 통과하여 수직방향으로 이동가능하며 하면이 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 푸셔; 및
상기 하우징과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔를 가압할 수 있고, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 링크장치를 포함하되,
상기 링크장치는 푸셔의 하면이 수평상태에서 피검사 디바이스에 균일한 압력을 부여하도록 수 있도록 복수개가 하우징에 힌지연결되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제1항에 있어서,
상기 링크장치는, 한 쌍이 푸셔의 중앙에 대칭적으로 동일간격 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제2항에 있어서,
상기 푸셔의 상측에는 수용공간 내에서 수직방향으로 이동하는 제1인터포저가 배치되고,
상기 링크장치는,
하우징이 힌지연결되어 스윙이동하는 핸들바과,
일측은 상기 핸들바에 연결되고 타측은 상기 제1인터포저에 연결되며 핸들바의 스윙이동에 따라서 승하강하는 링크아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제3항에 있어서,
상기 한 쌍의 링크장치 사이에는 푸셔의 중앙을 가압하기 위한 가압수단이 상기 하우징에 힌지연결되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제4항에 있어서,
상기 가압수단은, 하우징에 힌지연결된 상태에서 단부에 제1인터포저와 접촉되는 부분에 캠면이 마련되어 스윙회전에 의하여 제1인터포저를 가압하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제1항에 있어서,
상기 푸셔의 상측에는 링크장치에 연동되어 수용공간 내에서 수직방향으로 이동하는 제1인터포저가 배치되고,
상기 제1인터포저와, 푸셔의 사이에는 푸셔와 제1인터포저 사이의 거리를 조정하기 위한 높이조절수단이 마련된 것을 특징으로 검사용 푸셔장치.
제6항에 있어서,
상기 높이조절수단은,
수직축에 대하여 회전가능하게 구성되는 조절본체와,
상기 조절본체에 결합되며 제1인터포저에 나사식으로 결합되는 스크류를 포함하고,
상기 조절본체가 회전하면 스크류가 회전하면서 제1인터포저에 대하여 승하강하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제7항에 있어서,
상기 조절본체에는 하우징을 통과하여 상측으로 돌출된 조절봉이 구비되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제6항에 있어서,
상기 높이조절수단과 푸셔사이에는 제2인터포저가 배치되고, 상기 제2인터포저와 상기 푸셔 사이에는 상기 푸셔를 제2인터포저로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 탄성 바이어스 수단이 설치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
내부에 수용공간이 마련되며 하측으로 개구되며 피검사 디바이스가 안착되는 베이스에 분리가능하게 고정설치되는 하우징;
상기 하우징의 수용공간에서 하우징의 개구를 통과하여 수직방향으로 이동가능하며 하면이 피검사 디바이스를 가압할 수 있는 푸셔;
상기 하우징과 힌지연결되어 스윙이동하면서 푸셔를 가압할 수 있고, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력 을 해제하게 하는 해제위치와, 푸셔가 피검사 디바이스에 대한 가압력을 부여하게 하는 가압위치 사이를 이동하는 링크장치; 및
상기 하우징에 힌지연결되고 푸셔의 중앙을 가압하기 위한 가압수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제10항에 있어서,
상기 링크장치는, 하우징의 양측 가장자리에 서로 대칭적으로 한 쌍이 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제11항에 있어서,
상기 링크장치는, 하우징의 상측으로 돌출된 핸들바를 포함하고, 핸들바가 서로 멀어지거나 근접하게 이동하도록 스윙이동하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제11항에 있어서,
한 쌍의 링크장치는 피검사 디바이스에 가해지는 가압력을 균등하게 분배하도록 구성된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
제11항에 있어서,
상기 가압수단은, 상기 하우징의 중앙을 회전중심으로 한 쌍의 링크장치 사이를 스윙이동하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.