JP7143491B1 - 試験用キャリア、及び、電子部品試験装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10…キャリア本体
15…本体部
20…保持板
21…ポゴピン
21B…プローブ針
30…インタポーザ
31…内部端子
32…外部端子
33…配線パターン
40…筒状体
60…蓋部材
61…本体部
62…凸部
621…接触面
63…第1の流路
64…供給口
65…排気口
66…流通孔
70…ラッチ
90…DUT
91…パッド
92…バンプ
100…電子部品試験装置
200…ハンドラ
210…プッシャ
215…本体部
220…第1の接続ピン
221…開口
230,240…キャリア接続口
250,260…通気路
270…第2の接続ピン
271…開口
300…テストヘッド
310…本体部
320…ソケット
321…接触子
322,323…通気路
330…ソケットガイド
331…第1の接続孔
332…通気路
333…第2の接続孔
334…通気路
400…テスタ
500…供給装置
501…供給路
600…インサート
601,602…貫通孔
Claims (12)
- DUTを収容した状態で搬送される試験用キャリアであって、
前記試験用キャリアの外部から供給される流体が流通する第1の流路と、
前記DUTを保持するキャリア本体と、
前記DUTを覆うと共に前記キャリア本体に着脱可能に固定される蓋部材と、を備え、
前記第1の流路は、
前記試験用キャリアに形成された流通孔と、
前記流通孔の一端と連通する第1の接続口と、
前記流通孔の他端と連通する第2の接続口と、を含み、
前記流通孔は、前記蓋部材の内部に形成されており、
前記第1及び前記第2の接続口は、前記蓋部材に設けられており、
前記流体は、前記試験用キャリアをテストヘッドのソケットに押圧する押圧手段から前記第1の流路に供給され、
前記流体は、前記第1の接続口から前記流通孔に供給され、前記第2の接続口から排出される試験用キャリア。 - 請求項1に記載の試験用キャリアであって、
前記第1及び前記第2の接続口は、前記試験用キャリアにおいて前記押圧手段と対向する位置に配置されている試験用キャリア。 - 請求項1又は2に記載の試験用キャリアであって、
前記キャリア本体は、
前記DUTの端子に対応するように設けられた複数の接触子と、
前記接触子に電気的に接続された複数の外部端子と、
前記接触子と前記外部端子を保持する本体部と、を備えた試験用キャリア。 - 請求項3に記載の試験用キャリアであって、
前記蓋部材は、前記DUTに接触する接触面を有しており、
前記DUTは、前記接触面と前記接触子との間に挟持される試験用キャリア。 - DUTを試験する電子部品試験装置であって、
ソケットを有するテストヘッドと、
前記DUTを収容した状態で搬送される試験用キャリアを前記ソケットに押圧する押圧手段と、を備え、
前記試験用キャリアは、前記試験用キャリアの外部から供給される流体が流通する第1の流路を有し、
前記流体は、前記押圧手段から前記第1の流路に供給される電子部品試験装置。 - 請求項5に記載の電子部品試験装置であって、
前記押圧手段は、
前記押圧手段が前記試験用キャリアに接触することで前記第1の流路と連通する第3の接続口と、
前記第3の接続口と接続する第2の流路と、を備え、
前記押圧手段が前記試験用キャリアを前記ソケットに押圧している状態で、前記第2の流路を経由して前記第1の流路に前記流体が供給される電子部品試験装置。 - 請求項6に記載の電子部品試験の装置であって、
前記押圧手段は、
前記テストヘッドに着脱可能に接続されて前記テストヘッドから前記流体を受け入れる第4の接続口を備え、
前記第4の接続口は、前記第2の流路に接続されており、
前記押圧手段が前記試験用キャリアを前記ソケットに押圧している状態で、前記テストヘッドから前記第2の流路を経由して前記第1の流路に前記流体が供給される電子部品試験装置。 - 請求項7に記載の電子部品試験装置であって、
前記押圧手段は、前記テストヘッドが有するソケットガイドに形成された第1の接続孔に嵌合可能な第1の接続ピンを備えており、
前記第2の流路の一部は、前記第1の接続ピンの内部に設けられ、
前記第3の接続口は、前記第1の接続ピンに形成されている電子部品試験装置。 - 請求項5~8のいずれか一項に記載の電子部品試験装置であって、
前記押圧手段は、
前記押圧手段が前記試験用キャリアに接触することで前記第1の流路と連通する第5の接続口と、
前記第5の接続口と連通する第3の流路と、を備え、
前記押圧手段が前記試験用キャリアを前記ソケットに押圧している状態で、前記第1の流路に供給された前記流体は、前記第3の流路に流通する電子部品試験装置。 - 請求項9に記載の電子部品試験装置であって、
前記押圧手段は、前記第1の流路に供給された前記流体を、前記第3の流路から前記押圧手段の外部に排出する電子部品試験装置。 - 請求項10に記載の電子部被試験装置であって、
前記押圧手段は、前記テストヘッドに着脱可能に接続されて前記テストヘッドへ前記流体を排出する第6の接続口をさらに備え、
前記第3の流路は、前記第5の接続口と前記第6の接続口を接続しており、
前記第1の流路に供給された前記流体は、前記第3の流路を経由して前記テストヘッドへ排出される電子部品試験装置。 - 請求項11に記載の電子部品試験装置であって、
前記押圧手段は、前記テストヘッドが有するソケットガイドに形成された第2の接続孔に嵌合可能な第2の接続ピンを備えており、
前記第3の流路の一部は、前記第2の接続ピンの内部に設けられ、
前記第6の接続口は、前記第2の接続ピンに形成されている電子部品試験装置。
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