JP2020190520A - 電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2…ハンドラ
20…アーム
201…吸引配管
21…ヒーター
22…プッシャ
220…本体部
221…吸引配管
222…吸着パッド
223…内部空間
224…放熱フィン
225…ガイドピン
226…第1の接続ピン
226a…第1の接続口
227…通気路
228…第2の接続ピン
228a…第2の接続口
228’…放出口
229…通気路
23…供給装置
24…供給路
3…テストヘッド
31…本体部
32…ソケット
321…接触子
33…ソケットガイド
331…ガイド孔
332…第1の接続孔
333…通気路
334…第2の接続孔
335…通気路
4…テスタ
41…ケーブル
5…DUT
51…入出力端子
Claims (10)
- DUTをテストヘッドのソケットに押圧する移動手段を備えた電子部品ハンドリング装置であって、
前記移動手段は、
前記DUTに接触するプッシャと、
前記プッシャを介して前記DUTを加熱する加熱部と、を備え、
前記プッシャは、
内部空間と、
前記内部空間に連通した第1の流路と、を備えており、
前記テストヘッドから前記第1の流路を介して前記内部空間に流体が供給される電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記プッシャは、前記テストヘッドに着脱可能に接続されて前記テストヘッドから前記流体を受け入れる第1の接続口を備え、
前記第1の流路は、前記第1の接続口と連通している電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記プッシャは、
前記テストヘッドが有するソケットガイドに形成されたガイド孔に嵌合可能なガイドピンと、
前記ソケットガイドに形成された接続孔に嵌合可能な接続ピンと、を備えており、
前記第1の流路の少なくとも一部は、前記接続ピンの内部に設けられ、
前記第1の接続口は、前記接続ピンに形成されている電子部品ハンドリング装置。 - 請求項3に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記ガイドピンと前記ガイド孔の嵌合が前記接続ピンと前記接続孔の嵌合よりも先に開始するように、前記プッシャに接触した前記DUTと前記ソケットを対向させた時の前記ガイドピンと前記ガイド孔の間の距離が、前記接続ピンと前記接続孔の間の距離よりも短い前記電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記プッシャは、前記テストヘッドが有するソケットガイドに形成されたガイド孔に嵌合可能なガイドピンを備えており、
前記第1の流路の少なくとも一部は、前記ガイドピンの内部に設けられており、
前記第1の接続口は、前記ガイドピンに形成されている電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2〜5のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
ソケットと、前記ソケットの周囲に設けられたソケットガイドと、を備えたテストヘッドと、を備えた電子部品試験装置であって、
前記テストヘッドは、前記第1の接続口が着脱可能に接続される第2の接続口を有し、
前記第1の接続口は、前記移動手段によって前記DUTが前記ソケットに押圧される際に、前記第2の接続口に接続される電子部品試験装置。 - 請求項6に記載の電子部品試験装置であって、
前記テストヘッドは、前記第2の接続口と連通している第2の流路を備え、
前記電子部品ハンドリング装置は、
前記流体を供給する供給装置と、
前記供給装置と前記第2の流路とを接続する第3の流路と、を備えた電子部品試験装置。 - 請求項6又は7に記載の電子部品試験装置であって、
前記プッシャは、
前記テストヘッドに着脱可能に接続されて前記テストヘッドへ流体を送る第3の接続口と、
一端が前記内部空間に連通すると共に、他端が前記第3の接続口と連通する第4の流路と、を備え、
前記テストヘッドは、
前記第3の接続口が着脱可能に接続される第4の接続口と、
一端が前記第4の接続口と連通すると共に、他端が大気中に開放された第5の流路と、を備え、
前記第3の接続口は、前記移動手段によって前記DUTが前記ソケットに押圧される際に、前記第4の接続口に接続され、
前記流体は、前記内部空間を通過した後、前記第4及び前記第5の流路を介して大気中に放出される電子部品試験装置。 - 請求項6又は7に記載の電子部品試験装置であって、
前記プッシャは、前記内部空間に連通する一端を有すると共に、大気中に開放された他端を有する第4の流路を備え、
前記流体は、前記内部空間を通過した後、前記第4の流路を経由して大気中に放出される電子部品試験装置。 - 請求項6〜9のいずれか一項に記載の電子部品試験装置であって、
前記流体は、常温の空気である電子部品試験装置。
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