JP5161870B2 - ソケットガイド、ソケットユニット、電子部品試験装置およびソケットの温度制御方法 - Google Patents
ソケットガイド、ソケットユニット、電子部品試験装置およびソケットの温度制御方法 Download PDFInfo
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Description
2…ICデバイス(電子部品)
10…電子部品ハンドリング装置(ハンドラ)
70…ソケットユニット
80…ソケット
81…ソケット本体
82…コンタクトピン(接続端子)
83…フローティングプレート(フローティング部材)
84…エア流路
90…ソケットガイド
91…ソケットガイド本体
92a…エア導入路(流路)
921…エア入口(流体入口)
922…エア出口(流体出口)
92b…エア排出路(流路)
93…熱源部
315…コンタクトアーム(被試験電子部品を保持する部材)
図1は本発明の一実施形態に係るハンドラの平面図、図2は同実施形態に係るハンドラの側面部分断面図(図1におけるI−I断面図)、図3は同電子部品試験装置におけるソケットユニットの平面断面図、図4は同電子部品試験装置におけるソケットユニットの側面断面図である。
最初に、ローダ部搬送装置501が、4つの吸着部501dの吸着パッド501eにより、ICデバイス格納部40の供給トレイ用ストッカ401の最上段に位置する供給トレイ上の4つのICデバイスを吸着し、保持する。
以上のようにして、ICデバイスの試験が1回行われる。
Claims (12)
- 被試験電子部品の外部端子と接触し得る接続端子を備えたソケットに隣接して設けられ、被試験電子部品が前記ソケットの所定の位置に装着されるように、前記被試験電子部品を保持する部材をガイドするソケットガイドであって、
前記ソケットガイドを加熱または冷却することのできる熱源を備えるとともに、
前記ソケットに流体を供給することのできる流路が形成されており、
前記流路は、前記流路を通る流体が前記熱源によって所望の温度になるように、蛇行している
ことを特徴とするソケットガイド。 - 前記流路の一端は流体入口となっており、前記流路の他端は前記ソケットに対して開口している流体出口となっていることを特徴とする請求項1に記載のソケットガイド。
- 前記流路として、前記流体を外部から前記ソケットに導入する導入路と、前記流体を前記ソケットから外部に排出する排出路とが形成されていることを請求項1に記載のソケットガイド。
- 被試験電子部品の外部端子と接触し得る接続端子を備えたソケットと、
請求項1〜3のいずれかに記載のソケットガイドと
を備えたことを特徴とするソケットユニット。 - 前記ソケットは、接続端子と、前記接続端子を保持するソケット本体とを備えており、
前記ソケット本体には、前記ソケットガイドの流路に連通し、前記流体を前記接続端子に対して供給することのできる流路が形成されている
ことを特徴とする請求項4に記載のソケットユニット。 - 前記ソケットは、被試験電子部品を位置決めして支持し、前記接続端子が摺動可能に貫通するフローティング部材を前記ソケット本体上に備えており、
前記ソケット本体に形成された流路の一端は、前記ソケット本体と前記フローティング部材との間の空隙に向かって開口している
ことを特徴とする請求項5に記載のソケットユニット。 - テストヘッド上に設けられた請求項1〜3のいずれかに記載のソケットガイドと、
前記ソケットガイドの流路に流体を供給することのできる流体供給装置と
を備えたことを特徴とする電子部品試験装置。 - テストヘッド上に設けられた請求項4〜6のいずれかに記載のソケットユニットと、
前記ソケットユニットにおける前記ソケットガイドの流路に流体を供給することのできる流体供給装置と
を備えたことを特徴とする電子部品試験装置。 - 前記流体供給装置は、熱源を備えていないことを特徴とする請求項7または8に記載の電子部品試験装置。
- 被試験電子部品の外部端子と接触し得る接続端子を備えたソケットの温度制御方法であって、
請求項1〜3のいずれかに記載のソケットガイドを使用し、前記ソケットガイドの流路に流体を供給することを特徴とするソケットの温度制御方法。 - 被試験電子部品の外部端子と接触し得る接続端子を備えたソケットの温度制御方法であって、
請求項4〜6のいずれかに記載のソケットユニットを使用し、前記ソケットユニットにおける前記ソケットガイドの流路に流体を供給することを特徴とするソケットの温度制御方法。 - 前記ソケットガイドの流路に供給する前の流体には、熱を印加しないことを特徴とする請求項10または11に記載のソケットの温度制御方法。
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