KR102630695B1 - 시험용 캐리어 및 전자부품 시험장치 - Google Patents

시험용 캐리어 및 전자부품 시험장치 Download PDF

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Abstract

[과제] DUT의 온도조정의 효율화를 도모할 수 있는 시험용 캐리어를 제공한다.
[해결수단] DUT(90)를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어(1)는 시험용 캐리어(1)의 외부로부터 공급되는 공기가 유통하는 유로(63)를 구비한다.

Description

시험용 캐리어 및 전자부품 시험장치{Carrier for testing and electronic component testing equipment}
본 발명은 반도체집적회로소자 등의 피시험 전자부품(이하, 간단히 'DUT'(Device Under Test)라 함.)의 시험을 행할 때에, DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어 및 전자부품 시험장치에 관한 것이다.
전자부품 시험장치로서 피시험 IC를 가열 및 냉각하는 기구를 구비하고, 피시험 IC의 온도부하 시험을 행하는 것이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조).
일본 특허공개 제2000-162268호 공보
상기 전자부품 시험장치에서는, 피시험 IC에 온풍 또는 냉풍을 직접 불어넣음으로써, 해당 피시험 IC의 온도조정을 실시한다. 상기 시험장치를 이용하여 시험용 캐리어에 수용된 상태의 DUT의 시험을 행하는 경우, DUT에 냉풍을 직접 불어넣을 수 없어 시험용 캐리어가 열저항이 되기 때문에, DUT의 냉각이 불충분하게 되어 DUT가 파손되어 버리는 경우가 있다는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, DUT 온도조정의 효율화를 도모할 수 있는 시험용 캐리어 및 전자부품 시험장치를 제공하는 것이다.
[1] 본 발명에 따른 시험용 캐리어는, DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어로서, 상기 시험용 캐리어의 외부로부터 공급되는 유체가 유통하는 제1 유로를 구비한 시험용 캐리어이다.
[2] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어의 제1 유로는, 상기 시험용 캐리어에 형성된 유통공과, 상기 유통공의 일단과 연통하는 제1 접속구와, 상기 유통공의 타단과 연통하는 제2 접속구를 포함하고, 상기 유체는 상기 제1 접속구로부터 상기 유통공에 공급되고, 상기 제2 접속구로부터 배출되어도 된다.
[3] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 상기 DUT를 유지하는 캐리어 본체와 상기 DUT를 덮는 것과 함께 상기 캐리어 본체에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재를 구비하고, 상기 유통공은 상기 덮개부재의 내부에 형성되고, 상기 제1 접속구 및 상기 제2 접속구는 상기 덮개부재에 설치되어 있어도 된다.
[4] 상기 발명에 있어서, 상기 유체는 상기 시험용 캐리어를 테스트 헤드의 소켓에 누르는 가압수단으로부터 상기 제1 유로에 공급되어도 된다.
[5] 상기 발명에 있어서, 상기 제1 및 상기 제2 접속구는 상기 시험용 캐리어에서 상기 가압수단과 대향하는 위치에 배치되어 있어도 된다.
[6] 상기 발명에 있어서, 상기 캐리어 본체는 상기 DUT의 단자에 대응하도록 설치된 복수의 접촉자와, 상기 접촉자에 전기적으로 접속된 복수의 외부단자와, 상기 접촉자와 상기 외부단자를 유지하는 본체부를 구비하고 있어도 된다.
[7] 상기 발명에 있어서, 상기 덮개부재는 상기 DUT와 접촉하는 접촉면을 갖고, 상기 DUT는 상기 접촉면과 상기 접촉자 사이에 협지(挾持)되어도 된다.
[8] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 상기 DUT를 유지하는 캐리어 본체와, 상기 DUT를 덮는 것과 함께 상기 캐리어 본체에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재를 구비하고, 상기 유통공은 상기 캐리어 본체의 내부에 형성되고, 상기 제1 및 상기 제2 접속구는 상기 캐리어 본체에 설치되어 있어도 된다.
[9] 상기 발명에 있어서, 상기 유체는 상기 DUT를 시험하는 전자부품 시험장치의 테스트 헤드로부터 상기 제1 유로에 공급되어도 된다.
[10] 상기 발명에 있어서, 상기 제1 접속구 및 상기 제2 접속구는 상기 시험용 캐리어에서 상기 테스트 헤드와 대향하는 위치에 배치되어 있어도 된다.
[11] 상기 발명에 있어서, 상기 제1 접속구 및 상기 제2 접속구는 상기 시험용 캐리어에서 상기 테스트 헤드의 소켓과 대향하는 위치에 배치되어 있어도 된다.
[12] 상기 발명에 있어서, 상기 캐리어 본체는 상기 DUT의 단자에 대응하도록 설치된 복수의 접촉자와, 상기 접촉자에 전기적으로 접속된 복수의 외부 단자와, 상기 접촉자와 외부 단자를 유지하는 본체부를 구비하고 있어도 된다.
[13] 상기 발명에 있어서, 상기 덮개부재는 상기 DUT와 접촉하는 접촉면을 갖고, 상기 DUT는 상기 접촉면과 상기 접촉자 사이에 협지되어도 된다.
[14] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 복수의 상기 제1 접속구를 구비하고 있어도 된다.
[15] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 복수의 상기 제2 접속구를 구비하고 있어도 된다.
[16] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 복수의 상기 유통공을 구비하고 있어도 된다.
[17] 본 발명에 따른 전자부품 시험장치는, DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서, 소켓을 갖는 테스트 헤드와 상기 발명에 있어서의 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누르는 가압수단을 구비하며, 상기 유체는 상기 가압수단으로부터 상기 제1 유로에 공급되는 전자부품 시험장치이다.
[18] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어와 접촉함으로써 상기 제1 유로와 연통하는 제3 접속구와, 상기 제3 접속구와 접속하는 제2 유로를 구비하고, 상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서 상기 제2 유로를 경유하여 상기 제1 유로에 상기 유체가 공급되어도 된다.
[19] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 테스트 헤드에 착탈 가능하게 접속되어 상기 테스트 헤드로부터 상기 유체를 수용하는 제4 접속구를 구비하고, 상기 제4 접속구는 상기 제2 유로에 접속되고, 상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서 상기 테스트 헤드로부터 상기 제2 유로를 경유하여 상기 제1 유로에 상기 유체가 공급되어도 된다.
[20] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 테스트 헤드가 갖는 소켓 가이드에 형성된 제1 접속공에 끼워맞춤 가능한 제1 접속핀을 구비하고, 상기 제2 유로의 일부는 상기 제1 접속핀의 내부에 설치되며, 상기 제3 접속구는 상기 제1 접속핀에 형성되어 있어도 된다.
[21] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어와 접촉함으로써 상기 제1 유로와 연통하는 제5 접속구와, 상기 제5 접속구와 연통하는 제3 유로를 구비하고, 상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서 상기 제1 유로에 공급된 상기 유체는 상기 제3 유로에 유통해도 된다.
[22] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 제1 유로에 공급된 상기 유체를 상기 제3 유로로부터 상기 가압수단의 외부로 배출해도 된다.
[23] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 테스트 헤드에 착탈 가능하게 접속되어 상기 테스트 헤드로 상기 유체를 배출하는 제6 접속구를 더 구비하고, 상기 제3 유로는 상기 제5 접속구와 상기 제6 접속구를 접속하고, 상기 제1 유로에 공급된 상기 유체는 상기 제3 유로를 경유하여 상기 테스트 헤드로 배출되어도 된다.
[24] 상기 발명에 있어서, 상기 가압수단은 상기 테스트 헤드가 갖는 소켓 가이드에 형성된 제2 접속공에 끼워맞춤 가능한 제2 접속핀을 구비하고, 상기 제3 유로의 일부는 상기 제2 접속핀의 내부에 설치되며, 상기 제6 접속구는 상기 제2 접속핀에 형성되어 있어도 된다.
[25] 본 발명에 따른 전자부품 시험장치는 DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서, 소켓을 갖는 테스트 헤드와 상기 발명에 있어서의 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누르는 가압수단을 구비하고, 상기 유체는 상기 테스트 헤드로부터 상기 제1 유로에 공급되는 전자부품 시험장치이다.
[26] 상기 발명에 있어서, 상기 유체는 상기 테스트 헤드로부터 상기 제1 접속구를 통해 상기 유통공에 공급되고, 상기 제2 접속구로부터 상기 테스트 헤드로 배출되어도 된다.
본 발명에 따른 시험용 캐리어는, 외부로부터 공급되는 유체가 유통하는 제1 유로를 구비하고 있다. 이에 의해, 시험용 캐리어에 수용된 DUT의 근방을 유체가 유통하기 때문에, 열저항의 저감을 도모할 수 있고, DUT의 온도조정의 효율화를 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치의 전체 구성을 나타내는 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 위쪽에서 본 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 단면도이며, 도 2의 V-V선을 따른 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 단면도이며, 도 2의 Ⅵ-Ⅵ선을 따른 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 분해 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 포고핀을 나타내는 단면도이며, 도 7의 Ⅷ부의 확대도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 캐리어 본체의 변형예를 나타내는 분해 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치에 의한 시험의 상태를 나타내는 단면도(①)이며, 도 1의 X부를 나타내는 확대 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치에 의한 시험의 상태를 나타내는 단면도(②)이다.
도 12는 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치의 제1 변형예를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치의 제2 변형예 및 시험용 캐리어의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치의 제3 변형예를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1은 본 실시형태에 따른 전자부품 시험장치의 전체 구성을 나타내는 개략 단면도이다.
본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치(100)는, DUT(90)의 전기적 특성을 시험하는 장치이다. 이 전자부품 시험장치(100)는 DUT를 소켓(320)에 누르는 핸들러(200)를 구비한다. 이 핸들러(200)는 DUT를 소켓(320)에 대하여 기계적으로 위치결정하는 위치결정 기구를 구비하고 있으며, 소위 파인 피치의 DUT를 위한 화상처리를 이용한 고정밀도의 위치결정 기구는 구비하고 있지 않다. 한편, 본 실시형태에서의 DUT(90)는 반도체 웨이퍼가 다이싱되어 형성된 다이이며, 파인 피치의 패드(91)를 갖는다. 이 때문에, 전자부품 시험장치(100)에 의해 DUT(90)의 시험을 행할 때에는 시험용 캐리어(1)가 사용된다.
본 실시형태에서는, 반도체 웨이퍼가 다이싱된 DUT(90)가 형성되면, 우선 캐리어 조립장치(도시하지 않음)를 사용하여 DUT(90)를 시험용 캐리어(1)에 수용한다. 그리고, 시험용 캐리어(1)에 DUT(90)를 수용한 상태로, 이 시험용 캐리어(1)가 디바이스 반송용의 테스트 트레이(도시하지 않음)에 탑재된다. 테스트 트레이에 탑재된 상태의 시험용 캐리어(1)를 전자부품 시험장치(100)의 테스트 헤드(300)의 소켓(320)에 가압하고, 시험용 캐리어(1)를 통해 DUT(90)와 소켓(320)을 전기적으로 접속하여, DUT(90)의 시험을 실행한다. 그리고, 이 시험이 종료되면, 테스트 트레이로부터 시험용 캐리어(1)를 취출한 후, 해당 시험용 캐리어(1)를 분해하여 DUT(90)를 취출한다. 또한, DUT(90)가 취출된 시험용 캐리어(1)는, 다른 DUT(90)의 시험에 재이용된다.
테스트 트레이는 패키징된 기존의 디바이스에 사용되는 것을 유용할 수 있다. 이러한 테스트 트레이는 테두리형상의 프레임과 해당 프레임에 유지된 복수의 인서트(600)(후술 함)를 구비하고 있다. 이 테스트 트레이의 인서트(600)에 시험 용 캐리어(1)를 유지한다. 인서트(600)의 외형은, 기존의 디바이스의 외형에 맞추어 만들어져 있고, 이 인서트(600)를 이용함으로써 시험용 캐리어(1)를 기존의 테스트 트레이에 탑재하여 반송하는 것이 가능하다. 테스트 트레이 및 인서트(600)로서는, 예를 들면, 국제공개 제2003/075024호, 및 국제공개 제2009/069189호 등에 기재된 공지의 것을 사용할 수 있다.
다음으로, 본 실시형태에서의 시험용 캐리어(1)의 구성에 대하여 도 2 내지 도 7을 참조하여 이하에 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 사시도, 도 4는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 분해 사시도, 도 5 및 도 6은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 단면도, 도 7은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 분해 단면도, 도 8은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 포고핀을 나타내는 단면도이다.
본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)는, 도 2 내지 도 7에 나타나는 바와 같이, DUT(90)를 유지하는 캐리어 본체(10)와, 그 DUT(90)를 덮는 것과 함께 캐리어 본체(10)에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재(60)를 구비하고 있다. 이 시험용 캐리어(1)에서는, 캐리어 본체(10)와 덮개부재(60) 사이에 DUT(90)를 끼움으로써, DUT(90)가 시험용 캐리어(1)의 내부에 수용된다. 또한, 이 시험용 캐리어(1)는, 일본 특허공개 제2019-197012호 공보에 기재되어 있는 캐리어의 구성과 기본적으로 동일한 구성을 갖고 있다. 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)가, 본 발명에 있어서의 「시험용 캐리어」의 일례에 해당한다.
캐리어 본체(10)는 본체부(15)와, 본체부(15)에 장착된 통상체(40)를 구비한다. 본 실시형태에 있어서의 캐리어 본체(10)는 본 발명에 있어서의 「캐리어 본체」의 일례에 해당한다.
본체부(15)는 유지판(20)과 인터포저(30)를 구비한다. 본체부(15)는 포고핀(21)(후술 함) 및 외부단자(32)(후술 함)를 캐리어 본체(10)에 유지한다. 본 실시형태에 있어서의 본체부(15)는 본 발명에 있어서의 「본체부」의 일례에 해당한다.
유지판(20)은 복수의 포고핀(21)을 유지한다. 이 포고핀(21)은, DUT(90)의 패드(91)에 대향하도록 피치(P1)(도 4 참조)로 배열되어 있다. 각각의 포고핀(21)은 도 8에 도시된 바와 같이 플런저(22), 고정부(23) 및 코일 스프링(24)을 구비한다. 본 실시형태에 있어서의 포고핀(21)은 본 발명에 있어서의 「접촉자」의 일례에 해당한다.
포고핀(21)은, 유지판(20)의 유지공(20a)에 각각 삽입되어 있다. 그리고, 플런저(22)의 플랜지(22a)가 유지공(20a)의 단차(20b)에 걸림으로써 플런저(22)의 상한 위치가 제한된다. 이 상한 위치에서, 플런저(22)의 선단은 유지공(20a)의 상측의 개구(20c)로부터 돌출되어 있다. 고정부(23)는, 유지공(20a)의 반대측의 개구(20d)에 위치하는 후단부(23a)와, 해당 후단부(23a)로부터 선단(상방)을 향해 연장하는 축부(23b)를 구비하고 있다. 이 축부(23b)가 코일 스프링(24)에 삽입되어 있고, 플런저(22)의 플랜지(22a)와 고정부(23)의 후단부(23a) 사이에 코일 스프링(24)이 개재되어 있다. DUT(90)가 시험용 캐리어(1)에 수용되면, 플런저(22)가 DUT(90)의 패드(91)와 접촉하고, 코일 스프링(24)의 탄성력에 의해 플런저(22)가 패드(91)를 가압하고, DUT(90)는 포고핀(21)에 유지된다.
또한, 이 유지판(20)에는, 해당 유지판(20)을 관통하는 4개의 개구(25)가 형성되어 있다(도 5 참조). 각각의 개구(25)는, DUT(90)의 하면에 직사각형으로 배열된 복수의 범프(92) 중 모서리부에 위치하는 범프(92)에 대향하도록 배치되어 있다.
인터포저(30)는, 유지판(20)의 하면에 겹쳐져 있고, 나사체결 등에 의해 유지판(20)에 고정되어 있다. 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 인터포저(30)는 내부단자(31), 외부단자(32) 및 배선패턴(33)을 갖는다.
내부단자(31)는 인터포저(30)의 상면에 설치되어있다. 이 내부단자(31)는 유지판(20)에 유지된 포고핀(21)에 대향하도록 피치(P1)로 배열되어 있으며, 해당 포고핀(21)의 고정부(23)는 이 내부단자(31)와 접촉하고 있다.
외부단자(32)는 인터포저(30)의 하면에 설치되고, 시험용 캐리어(1)의 외부에 노출되어 있다. 이 외부단자(32)는, DUT(90)의 시험 시에 전자부품 시험장치(100)의 소켓(320)의 접촉자(321)(도 10 내지 도 12 참조)가 전기적으로 접속되는 단자이며, 내부단자(31)의 피치(P1)보다 넓은 피치(P2)(도 3 참조)로 배열되어있다(P2 > P1). 내부단자(31)와 외부단자(32)는 배선패턴(33)에 의해 접속되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 외부단자(32)는 본 발명에 있어서의 「외부단자」의 일례에 해당한다.
또, 도 3에 도시된 바와 같이, 이 인터포저(30)에는 해당 인터포저(30)를 관통하는 4개의 개구(34)가 형성되어 있다. 각각의 개구(34)는 상술한 유지판(20)의 개구(25)와 실질적으로 일치하도록 배치되어 있다. 따라서, 이 개구(25, 34)에 의해 캐리어 본체(10)를 직선상으로 관통하는 제1 관통공(11)이 형성되어 있다. 이 제1 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 일부를 외부에서 볼 수 있다. 이 제1 관통공(11)은 시험용 캐리어(1)의 조립 시에, DUT(90)를 해당 시험용 캐리어(1)에 대하여 고정밀도로 위치결정하기 위해 사용된다.
도 9는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 본체의 변형예를 나타내는 분해 단면도이다.
본 실시형태에서는 DUT(90)의 패드(91)와 접촉하는 접촉자로서 포고핀(21)을 사용하고 있지만, 접촉자로서 포고핀(21) 이외의 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 도 9에 도시된 바와 같이, 캔틸레버형의 프로브 바늘(21B)이 접촉자로서 사용될 수 있다. 이 프로브 바늘(21B)은 인터포저(30) 상에 실장되어 있으며, 해당 인터포저(30)의 내부단자(31)에 전기적으로 접속되어 있다. 또는, 특별히 도시되지는 않았지만, 시험용 캐리어(1)의 접촉자로서 이방도전성 고무시트를 사용한 것이나, 절연막에 범프를 형성한 멤브레인 타입의 것을 사용할 수 있다.
또한, 접촉자로서 포고핀(21)을 사용하는 경우에는, 상술한 바와 같이, 해당 포고핀(21)을 유지하기 위한 유지판(20)을 본체부(15)가 구비하고 있다. 이에 반해, 도 9에 도시된 바와 같이, 접촉자로서 프로브 바늘(21B)을 사용하는 경우에는, 본체부(15)는 인터포저(30)만을 구비하면 된다. 이 변형예에서는, 인터포저(30)가 본 발명에 있어서의 「본체부」의 일례에 해당하고, 프로브 바늘(21B)이 본 발명에 있어서의 「접촉자」의 일례에 해당한다.
도 2 내지 도 6으로 되돌아 가서, 통상체(40)는 유지판(20)의 상면에 설치되어 있으며, 나사체결 등에 의해 유지판(20)에 고정되어 있다. 이 통상체(40)는 DUT(90)의 외형보다 큰 내공(41)을 갖는 각통 형상을 가지고 있어, DUT(90)의 주위를 둘러싸는 것이 가능하다. 이 통상체(40)의 측면에는, 덮개부재(60)의 래치(70)(후술 함)에 대응하도록 오목부(42)가 형성되어 있다. 이 오목부(42)에 래치(70)가 걸림으로써, 캐리어 본체(10)에 덮개부재(60)가 착탈 가능하게 고정된다.
덮개부재(60)는, 판 형상의 본체부(61)와, 본체부(61)로부터 하방을 향해 볼록 형상으로 돌출하는 볼록부(62)와, 본체부(61)의 양단으로부터 하방을 향해 돌출하는 한 쌍의 래치(70)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서의 덮개부재(60)는 본 발명에 있어서의 「덮개부재」의 일례에 해당한다.
볼록부(62)는 유지판(20)에 유지된 DUT(90)의 상면과 접촉하는 접촉면(621)을 가지고 있으며, 해당 DUT(90)를 가압한다. 또한, 볼록부(62)에 의한 DUT(90)의 가압량은, 캐리어 본체(10)의 통상체(40)가 덮개부재(60)의 본체부(61)에 맞닿음으로써 제한되며, 이 상태에서, DUT(90)의 패드(91)에 대한 포고핀(21)의 가압력이 최적의 값이 되도록 설정되어 있다. 시험용 캐리어(1)에 수용된 DUT(90)는 포고핀(21)과 볼록부(62)에 협지된다. 본 실시형태에 있어서의 볼록부(62)의 접촉면(621)은 본 발명에 있어서의 「접촉면」의 일례에 해당한다.
본체부(61)의 대략 중앙에는 본체부(61) 및 볼록부(62)를 관통하는 제2 관통공(67)이 형성되어 있다. 이 제2 관통공(67)은 캐리어 조립장치(도시하지 않음)에 의한 DUT(90)의 흡착 유지에 사용된다.
본 실시형태에서는, 덮개부재(60)에 유로(63)가 형성되어 있다. 이 유로(63)는 공급구(64), 배기구(65) 및 유통공(66)을 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서의 유로(63)는 본 발명에 있어서의 「제1 유로」의 일례에 해당한다.
공급구(64)는, 덮개부재(60)의 상면에 설치되어 있고, 덮개부재(60)의 상방을 향하여 개구되어 있다. 이 공급구(64)는, DUT(90)의 시험 시에 시험용 캐리어(1)와 핸들러(200)의 푸셔(210)가 접촉함으로써, 푸셔(210)의 캐리어 접속구(230)(후술 함)와 연통한다. 이 공급구(64)로부터, 푸셔(210)를 통하여 공기가 시험용 캐리어(1)의 내부로 들어가, 유통공(66)에 유통한다. 본 실시형태에서는, 덮개부재(60)에 2개의 공급구(64)가 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 공급구(64)는 본 발명에 있어서의 「제1 접속구」의 일례에 해당한다.
배기구(65)는, 덮개부재(60)의 상면에 설치되어 있고, 덮개부재(60)의 상방을 향하여 개구되어 있다. 배기구(65)는, DUT(90)의 시험 시에 시험용 캐리어(1)와 핸들러(200)의 푸셔(210)가 접촉함으로써, 푸셔(210)의 캐리어 접속구(240)(후술 함)와 연통한다. 이 배기구(65)로부터 공기가 시험용 캐리어(1)의 외부로 배출된다. 본 실시형태에서는, 덮개부재(60)에 2개의 배기구(65)가 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 배기구(65)는 본 발명에 있어서의 「제2 접속구」의 일례에 해당한다.
유통공(66)은, 덮개부재(60)의 본체부(61)의 내부에 형성된 구멍이며, 일단이 공급구(64)와 연통하고, 타단이 배기구(65)와 연통하고 있다. 즉, 유통공(66)은, 덮개부재(60)의 내부에 매설된 유로이다. 핸들러(200)의 푸셔(210)로부터 공급된 공기는, 이 유통공(66)을 통과함으로써 시험용 캐리어(1)에 수용된 DUT(90)와 열교환을 행하여, DUT(90)를 냉각한다. 본 실시형태에서는, 하나의 유통공(66)이 하나의 공급구(64)와 하나의 배기구(65)를 접속하고 있고, 덮개부재(60)에는 2개의 유통공(66)이 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 유통공(66)은 본 발명에 있어서의 「유통공」의 일례에 해당한다.
본 실시형태에서는, 덮개부재(60)에 하나의 공급구(64)와 하나의 배기구(65)가 설치되어 있지만, 공급구(64) 및 배기구(65)의 수는 특별히 이에 한정되지 않으며, 복수의 공급구(64)와 복수의 배기구(65)가 덮개부재(60)에 설치될 수 있다. 또한, 공급구(64)의 수와 배기구(65)의 수는 다를 수 있다.
본 실시형태에서는, 유통공(66)이 덮개부재(60)의 본체부(61)의 내부에 형성되어 있지만, 유통공(66)의 배치는 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 유통공(66)은 본체부(61)의 내부 및 볼록부(62)의 내부에 걸쳐 형성되어 있어도 된다. 유통공(66)이 DUT(90)와 접촉하는 볼록부(62)의 내부에 형성되어 있는 경우는, 공기가 DUT(90)의 보다 근방을 유통하기 때문에, 보다 효율적으로 DUT(90)를 냉각할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 유통공(66)이 하나의 공급구(64)와 하나의 배기구(65)를 접속하도록 형성되어 있지만, 유통공(66)의 구성은 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 하나의 유통공(66)에 대하여 복수의 공급구(64)와 복수의 배기구(65)가 접속되어 있어도 된다. 또는, 하나의 공급구(64)에 접속된 유통공(66)이 도중에 분기하여 복수의 배기구(65)에 접속될 수 있다. 또는, 복수의 공급구(64)에 접속된 유통공(66)이 합류하여 하나의 배기구(65)에 접속되어 있어도 된다.
또한, 유통공(66)은, 공급구(64)와 배기구(65)를 접속하도록, 덮개부재(60)를 관통하고 있으면, 그 내부의 크기는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 유통공(66)은 공급구(64) 및 배기구(65)의 내경과 동일한 정도의 내경을 갖는 선형 관통공일 수 있다. 또는, 유동공(66)은 공급구(64) 및 배기구(65)의 내경에 대해 수 배의 큰 폭을 갖는 공간일 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 유통공(66)은, 직선 형상으로 연장되어 있지만, 유통공(66)의 형상은 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 유통공(66)은 구불구불한 형상을 가질 수 있다. 또한, 열교환 효율을 높이기 위해서, 유통공(66) 내에 핀 등의 돌기를 세워도 좋다.
래치(70)는, 본체부(61)의 양단에서 샤프트(71)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있으며, 하방을 향해 각각 연장되어 있다. 각각의 래치(70)는 특별히 도시되지 않은 스프링에 의해 내측을 향해 힘을 가하도록 되어 있다. 각각의 래치(70)의 선단에는 내측을 향해 돌출하는 클로부(72)가 설치되어 있다. 이 클로부(72)가 캐리어 본체(10)의 오목부(42)에 걸림으로써, 덮개부재(60)는 캐리어 본체(10)에 고정된다.
상술한 시험용 캐리어(1)는, 화상처리 장치를 구비한 조립장치를 이용하여 일본 특허공개 제2019-197012호 공보에 기재된 방법에 의해 조립된다.
다음으로, 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치(100)의 구성에 대해 도 1, 도 10 및 도 11을 참조하여 이하에 설명한다.
도 10은 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치에 의한 시험의 상태를 나타내는 단면도(①)이며, 도 1의 X부를 나타내는 확대 단면도이다. 또한, 도 11은 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치에 의한 시험의 상태를 나타내는 단면도(②)이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치(100)는 핸들러(200), 테스트 헤드(300), 테스터(400) 및 공급장치(500)를 구비한다. 상술한 바와 같이, 전자부품 시험장치(100)는 시험용 캐리어(1)에 DUT(90)를 수용한 상태에서 해당 DUT(90)의 시험을 실행한다.
핸들러(200)는 Z축 구동장치(201)와 푸셔(210)를 구비한다. Z축 구동장치(201)는, 상하 구동용의 액추에이터(도시하지 않음)를 구비하고 있어, 상하 방향으로 움직이는 것이 가능하다. 특별히 도시하지 않았지만, 핸들러(200)는 테스트 트레이에 탑재된 복수의 시험용 캐리어(1)의 개수에 대응하는 복수의 푸셔(210)를 구비하고 있으며, 해당 복수의 푸셔(210)가 단일의 Z축 구동장치(201)에 장착되어 있다. 핸들러(200)는, Z축 구동장치(201)가 하강함으로써, 해당 Z축 구동장치(201)에 장착된 푸셔(210)가 시험용 캐리어(1)에 접촉하고, 시험용 캐리어(1)를 테스트 헤드(300)의 소켓(320)(후술 함)에 가압한다. 본 실시형태에 있어서의 푸셔(210)는 본 발명에 있어서의 「가압수단」의 일례에 해당한다.
도 10에 도시한 바와 같이, 푸셔(210)는 매치 플레이트(202)에 형성된 관통공(203)에 삽입되어 있으며, 매치 플레이트(202)에 플로팅 상태(상하로의 상대 이동이 허용되는 상태)로 유지된다. 푸셔(210)는 본체부(215), 제1 접속핀(220), 캐리어 접속구(230, 240) 및 통기로(250, 260)를 구비한다.
제1 접속핀(220)은 푸셔(210)의 본체부(215)로부터 하방으로 연장된다. 제1 접속핀(220)의 하단의 형상은 하방을 향하여 가늘어진다. 제1 접속핀(220)은, DUT(90)의 시험 시에, 푸셔(210)의 하강에 수반하여, 테스트 헤드(300)에 탑재된 인서트(600)의 관통공(601)을 관통하여, 소켓 가이드(330)(후술 함)의 제1 접속공(331)(후술 함)과 착탈 가능하게 끼워맞춤한다. 이에 의해, 인서트(600)에 유지되어 있는 시험용 캐리어(1)가 소켓(320)에 대하여 위치가 결정된다. 본 실시형태에 있어서의 제1 접속핀(220)은 본 발명에 있어서의 「제1 접속핀」의 일례에 해당한다.
또한, 제1 접속핀(220)의 내부에는 통기로(250)의 일부가 형성되어 있고, 해당 제1 접속핀(220)의 선단에는 개구(221)가 형성되어 있다. 통기로(250)는, 푸셔의 하강에 수반하여 제1 접속핀(220)의 하단이 소켓 가이드(330)의 제1 접속공(331)과 접속됨으로써, 소켓 가이드(330) 내부의 통기로(332)(후술 함)와 연통한다. 이에 의해, 테스트 헤드(300)의 소켓 가이드(330)로부터 공급된 공기가 통기로(250)로 유통하는 것이 가능해진다. 본 실시형태에 있어서의 제1 접속핀(220)의 개구(221)는 본 발명에 있어서의 「제4 접속구」의 일례에 해당한다.
캐리어 접속구(230)는, 푸셔(210)의 본체부(215)의 하부에, 시험용 캐리어(1)의 공급구(64)와 대응하도록 형성되어 있다. 캐리어 접속구(230)는, 푸셔(210)가 하강하여 시험용 캐리어(1)에 접촉함으로써, 해당 시험용 캐리어(1)의 공급구(64)와 연통한다. 본 실시형태에 있어서의 캐리어 접속구(230)는 본 발명에 있어서의 「제3 접속구」의 일례에 해당한다.
캐리어 접속구(240)도, 푸셔(210)의 본체부(215)의 하부에, 시험용 캐리어(1)의 배기구(65)와 대응하도록 형성되어 있다. 캐리어 접속구(240)는, 푸셔(210)가 하강하여 시험용 캐리어(1)에 접촉함으로써, 배기구(65)와 연통한다. 본 실시형태에 있어서의 캐리어 접속구(240)는 본 발명에 있어서의 「제5 접속구」의 일례에 해당한다.
통기로(250)는, 상술한 바와 같이, 그 일부가 제1 접속핀(220)의 내부에 형성되어 있으며, 다른 부분이 푸셔(210)의 본체부(215)의 내부에 형성되어 있다. 통기로(250)의 일단은, DUT(90)의 시험 시에 제1 접속핀(220)이 소켓 가이드(330)와 접속함으로써, 소켓 가이드(330)의 통기로(332)와 연통한다. 통기로(250)의 타단은 캐리어 접속구(230)와 연통한다. 소켓 가이드(330)로부터 공급된 공기는 이 통기로(250)를 경유하여 시험용 캐리어(1)에 공급된다. 본 실시형태에 있어서의 통기로(250)는 본 발명에 있어서의 「제2 유로」의 일례에 해당한다.
통기로(260)는, 푸셔(210)의 본체부(215)의 내부에 설치되어 있으며, 일단이 캐리어 접속구(240)에 연통하고, 타단은 푸셔(210)의 외부에 연통한다. 캐리어 접속구(240)는, 푸셔(210)가 하강하여 시험용 캐리어(1)에 접촉함으로써, 해당 시험용 캐리어(1)의 배기구(65)와 연통한다. 한편, 시험용 캐리어(1)로부터 배출된 공기는, 이 통기로(260)를 경유하여 푸셔(210)의 외부로 배출된다. 본 실시형태에 있어서의 통기로(260)는 본 발명에 있어서의 「제3 유로」의 일례에 해당한다.
테스트 헤드(300)는 본체부(310), 소켓(320) 및 소켓 가이드(330)를 구비한다.
본체부(310)는 도 1에 도시한 바와 같이 케이블(401)을 통해 테스터(400)에 접속되어 있으며, DUT(90)의 시험 시에 DUT(90)에 시험신호를 송출한다. 특별히 도시하지 않았지만, 이 본체부(310)에는 소켓(320)과 전기적으로 접속된 핀 일렉트로닉스 카드가 수납되어 있다.
소켓(320)은 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 본체부(310) 상에 설치되어 있다. 이 소켓(320)은 시험용 캐리어(1)의 외부단자(32)에 대응하도록 배치된 접촉자(321)를 갖는다. 이 접촉자(321)로서는, 특별히 한정되지 않지만, 포고핀 또는 이방도전성 고무시트 등을 예시할 수 있다. 테스트 트레이의 인서트(600)에 유지된 시험용 캐리어(1)가 푸셔(210)에 의해 소켓(320)에 가압되고, 시험용 캐리어(1)의 외부단자(32)가 소켓(320)의 접촉자(321)와 접촉함으로써, 시험용 캐리어(1)를 통해 DUT(90)와 소켓(320)은 전기적으로 접속된다. 이 소켓(320)을 통해 본체부(310)로부터 DUT(90)로 시험신호가 송출된다.
소켓 가이드(330)는 소켓(320)의 주위에 설치되어 있으며, 제1 접속공(331)과 통기로(332)를 구비한다. 이 소켓 가이드(330)는 소켓(320)에 대한 시험용 캐리어(1)의 위치를 결정하는 것과 함께, 소켓(320)에 대한 푸셔(210)의 위치를 결정하기 위한 부재이다.
제1 접속공(331)은 소켓 가이드(330)의 상면에서 제1 접속핀(220)과 대응하는 위치에 설치되어 있다. 이 제1 접속공(331)은 제1 접속핀(220)과 끼워맞춤 가능한 형상을 갖고 있으며, 상방을 향해 개구되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 제1 접속공(331)은 본 발명에 있어서의 「제1 접속공」의 일례에 해당한다.
통기로(332)는 소켓 가이드(330)의 내부에 설치되어 있다. 통기로(332)의 일단은 제1 접속공(331)과 연통한다. 또한, 통기로(332)의 타단은 공급로(501)와 연통한다. 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 접속핀(220)이 제1 접속공(331)과 끼워맞춤함으로써, 통기로(250)와 통기로(332)가 연통한다.
공급장치(500)는, 특별히 도시하지 않았지만, 공기를 공급하는 펌프와, 유량을 조절하는 밸브와, 공기의 온도를 조절하는 온도조절기를 구비하고 있다. 도 1, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 공급장치(500)는 공급로(501)를 통해 소켓 가이드(330)의 통기로(332)에 연통하고 있고, 시험의 조건에 따라 적당한 온도로 조절된 공기를 소켓 가이드(330)에 공급한다. 본 실시형태에서는, 공급장치(500)가 핸들러(200)의 내부에 배치되어 있지만, 특별히 이에 한정되지 않고, 테스트 헤드(300)의 내부 등에 배치되어 있어도 된다.
이하에, 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1) 및 전자부품 시험장치(100)를 이용한 DUT(90)의 시험의 공정에 대해서, 도 10 및 도 11을 참조하면서, 이하에 설명한다.
우선, DUT(90)를 수용한 시험용 캐리어(1)를 테스트 트레이(도시하지 않음)의 인서트(600)에 수용한다. 구체적으로는, 핸들러(200)가 구비하는 픽 앤 플레이스 장치에 의해, 커스터머 트레이(도시하지 않음)로부터 테스트 트레이에 시험용 캐리어(1)를 옮겨 실음으로써, 해당 테스트 트레이의 인서트(600)에 시험용 캐리어(1)가 수용된다. 또한, 커스터머 트레이는, 전 공정으로부터 핸들러(200)에 반송되는 트레이이며, 시험용 캐리어(1)는, 일본 특허공개 제2019-197012호 공보에 기재된 방법으로 조립된 후에, 이 커스터머 트레이에 수용되어 있다.
뒤이어, 핸들러(200)의 반송장치에 의해 테스트 트레이가 테스트 헤드(300)에 대향하는 위치까지 반송된다. 이어서, 도 10에 도시한 바와 같이, Z축 구동장치(201)가 구동하고, 푸셔(210)가 하강하여, 테스트 트레이의 인서트(600)에 유지된 시험용 캐리어(1)를 푸셔(210)가 가압한다.
이 푸셔(210)의 하강에 수반하여, 제1 접속핀(220)이 인서트(600)의 관통공(601)을 관통하여, 소켓 가이드(330)의 제1 접속공(331)에 끼워맞춤한다. 이에 의해, 인서트(600)에 유지되어 있는 시험용 캐리어(1)가 소켓(320)에 대하여 위치가 결정된다. 또한, 푸셔(210)의 제1 접속핀(220) 내에 형성된 통기로(250)와 소켓 가이드(330) 내에 형성된 통기로(332)가 접속된다.
또한, 이 푸셔(210)의 하강에 수반하여, 푸셔(210)는 시험용 캐리어(1)를 소켓(320)에 가압하고, 시험용 캐리어(1)의 외부단자(32)는 소켓(320)의 접촉자(321)와 접촉한다. 또한, 푸셔(210)의 캐리어 접속구(230)가 공급구(64)와 접속함과 함께, 캐리어 접속구(240)는 시험용 캐리어(1)의 배기구(65)와 접속된다.
이어서, 공급장치(500)의 밸브가 열리고, 공급장치(500)로부터 공기의 공급이 개시된다. 이 공기는, 공급로(501), 소켓 가이드(330)의 통기로(332), 푸셔(210)의 통기로(250)를 경유하여 시험용 캐리어(1)의 공급구(64)로부터 유통공(66)에 공급된다.
이 상태에서, 테스터(400)로부터 출력된 시험신호가 소켓(320)의 접촉자(321)를 통해 DUT(90)로 송출되어 DUT(90)의 시험이 수행된다.
유통공(66)에 공급된 공기는, DUT(90)에 통전됨으로써 DUT(90)가 발산한 열(자기발열)을 흡수함으로써, 해당 DUT(90)를 냉각한다. 시험용 캐리어(1)의 유통공(66)을 통과한 공기는, 배기구(65) 및 캐리어 접속구(240)로부터 통기로(260)에 들어가, 푸셔(210)의 외부(예를 들어, 챔버의 내부)로 배출된다.
DUT(90)의 시험이 종료되면, 푸셔(210)가 Z축 구동장치(201)에 의해 상방으로 이동됨으로써, 시험용 캐리어(1)가 수용된 인서트(600)를 유지한 테스트 트레이(도시하지 않음)가 상승한다. 이어서, 핸들러(200)의 반송장치에 의해 테스트 트레이가 테스트 헤드(300)에 대향하는 위치로부터 반출되고, 픽 앤 플레이스 장치에 의해 테스트 트레이로부터 커스터머 트레이로 시험용 캐리어(1)가 옮겨 실어진다. 그리고, 이 시험용 캐리어(1)를 수용한 커스터머 트레이가 핸들러(200)로부터 반출된 후, 해당 시험용 캐리어(1)를 분해하여 DUT(90)를 취출하고, DUT(90)의 시험의 공정을 종료한다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는, DUT(90)의 시험 시에, 시험용 캐리어(1)의 외부로부터 공급된 공기가 시험용 캐리어(1)에 형성된 유로(63)를 유통하기 때문에, 공기가 DUT(90)의 근방을 유통한다. 이에 의해, 공기가 푸셔 내부만을 유통하는 경우에 비해, 시험용 캐리어(1)의 열저항을 저감할 수 있다. 따라서, DUT(90)를 효율적으로 냉각할 수 있고, DUT(90)의 발열에 의한 급격한 온도 상승의 억제를 도모할 수 있다. 나아가서는, DUT(90)의 발열에 의한 DUT(90)의 파손 및 수율 저하의 억제를 도모할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 시험용 캐리어(1)의 내부에 형성된 유로(63)를 공기가 유통하고, DUT(90)에 직접 공기를 불어넣는 일은 없다. 이 때문에, DUT(90)에 직접 공기가 닿음으로써 DUT에 오염이 부착되거나, 공기와의 마찰에 의해 DUT(90)가 대전되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, DUT(90)가 시험용 캐리어(1)에 수용되고, DUT(90)가 시험용 캐리어(1)의 내부 공간에 밀폐된 상태에서 DUT(90)의 시험이 행해진다. 이 때문에, 핸들링하는 환경이 높은 청정도(Class 5~6/클래스 100~1000)를 필요로 하는 베어 다이에 가까운 디바이스 또는 베어 다이 자체를, 청정도가 낮은 환경(Class 7/클래스 10000)에 있는 핸들러를 사용하여 시험할 수 있다.
또한, 상술한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 기재된 것이며, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기의 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.
도 12 내지 도 14는 본 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치의 변형예를 나타내는 도면이다.
상술한 실시형태에서는, 시험용 캐리어(1)를 나온 공기가 푸셔(210)로부터 푸셔(210)의 외부로 배출되었지만, 공기를 배출하는 위치는 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 12에 도시된 바와 같이, 푸셔(210)는 제1 접속핀(220)에 더하여 제2 접속핀(270)을 구비하고, 해당 제2 접속핀(270)의 선단에 개구(271)가 형성되어 있어, 소켓 가이드(330)를 경유하여 테스트 헤드(300)의 외부로 공기가 배출되게 되어 있어도 된다. 제2 접속핀(270)은 인서트(600)에 형성된 관통공(602)을 관통하여 테스트 헤드(300)에 형성된 제2 접속공(333)과 끼워맞춤 가능하게 되어 있다. 캐리어 접속구(240)에 연통되어 있는 통기로(260)의 일부는 제2 접속핀(270)의 내부에 형성되어 있다. 도 12의 형태에서는, 푸셔(210)의 하강에 수반하여 제1 접속핀(220)이 제1 접속공(331)과 끼워맞춤함과 함께, 제2 접속핀(270)이 제2 접속공(333)과 끼워맞춤한다. DUT(90)의 시험 시에는, 공급장치(500)로부터 공급된 공기는 통기로(250), 유통공(66) 및 통기로(260)를 경유하여 통기로(334)로부터 테스트 헤드(300)의 외부로 배출된다. 본 변형예에 있어서의 제2 접속핀(270)은 본 발명에 있어서의 「제2 접속핀」의 일례에 해당하고, 본 실시형태에 있어서의 제2 접속핀(270)의 개구(271)는 본 발명에 있어서의 「제6 접속구」에 해당하며, 본 실시형태에 있어서의 제2 접속공(333)은 본 발명에 있어서의 「제2 접속공」의 일례에 해당한다.
또한, 상술한 실시형태에서는, 시험용 캐리어(1)의 덮개부재(60)에 유로(63)가 형성되어 있지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 13에 도시된 바와 같이, 유로(63')는 덮개부재(60) 대신에 캐리어 본체(10)의 내부에 형성되어 있어도 된다. 도 13에 도시된 형태에서는, 유로(63')는 인터포저(30)에 형성되어 있다. 공급구(64') 및 배기구(65')는 인터포저(30)의 하면에 형성되어 있으며, 유통공(66')은 인터포저(30)의 내부에 형성되어 있다. 소켓(320)의 내부에는 소켓 가이드(330)의 통기로(332) 및 인터포저(30)의 유통공(66')에 연통하는 통기로(322)가 형성되어 있다. 또한, 소켓(320)의 내부에는 소켓 가이드(330)의 통기로(334) 및 인터포저(30)의 유통공(66')에 연통하는 통기로(323)가 형성되어 있다. 공급장치(500)로부터 공급된 공기는 통기로(332), 통기로(322), 유로(63'), 통기로(323) 및 통기로(334)를 경유하여 테스트 헤드(300)의 외부로 배출된다.
또한, 유로(63')는 캐리어 본체(10)의 본체부(15)에 형성되어 있다면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 유로(63')는 유지판(20)에만 형성될 수 있다. 또는, 유로(63')는 유지판(20)과 인터포저(30) 모두에 형성될 수 있다.
본 변형예에서는, 푸셔(210)의 내부에 통기로가 형성되어 있지 않고, 푸셔(210)가 통기로를 갖는 접속핀을 구비하고 있지 않다. 이 때문에, 푸셔(210)의 구조를 간소화할 수 있다.
또한, 시험용 캐리어(1)는 덮개부재(60)에 형성된 유로(63)와 캐리어 본체(10)에 형성된 유로(63')를 모두 구비할 수 있다.
또한, 상술한 실시형태에서는, 테스트 헤드(300)로부터 푸셔(210)를 경유하여 시험용 캐리어(1)에 공기가 공급되고 있지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 14에 도시된 바와 같이, 푸셔(210)는 접속핀(220)을 구비하지 않고, 통기로(250)는 푸셔(210)의 본체부(215)의 내부에만 형성될 수 있다. 특별히 도시되지는 않았지만, 통기로(250)는 푸셔(210)의 외부에 배치된 공급장치에 접속되어 있다. 도 14에 도시하는 형태에서는, 공급장치로부터 공급된 공기가, 테스트 헤드(300)를 통하지 않고, 푸셔(210)로부터 시험용 캐리어(1)에 공급된다.
또한, 예를 들면, 상술한 실시형태에서는, DUT(90)의 구체예로서 다이를 예시했지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, DUT(90)는 패키징된 디바이스일 수 있다. 또한, 상술한 실시형태에 있어서의 DUT(90)는, 메모리계의 디바이스이지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, DUT(90)는 SoC(System on a chip) 또는 로직계의 디바이스일 수 있다.
또한, 상술한 실시형태에 있어서의 전자부품 시험장치(100)는, 테스트 트레이에 DUT(90)를 유지한 상태에서 해당 DUT(90)를 소켓(320)에 가압하는 타입의 핸들러(200)를 구비하고 있지만, 핸들러(200)의 구성은 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 핸들러(200)는 DUT를 흡착 유지하는 암에 의해 해당 DUT를 소켓에 가압하는 타입의 핸들러일 수 있다.
또한, 상술한 실시형태에서는, 시험용 캐리어(1)가 공급구(64) 및 배기구(65)를 구비함과 함께, 푸셔(210)도 캐리어 접속구(230, 240)를 구비하고 있지만, 특별히 이에 한정되지 않고, 푸셔(210)가 접속관을 구비하고, 해당 접속관이 끼워맞춤 가능한 공급공을 시험용 캐리어(1)가 구비하고 있어도 된다. 또는, 시험용 캐리어(1)가 접속관을 구비하고, 해당 접속관이 끼워맞춤 가능한 접속공을 푸셔(210)가 구비하고 있어도 된다.
1 : 시험용 캐리어 10 : 캐리어 본체
15 : 본체부 20 : 유지판
21 : 포고핀 21B : 프로브 바늘
30 : 인터포저 31 : 내부단자
32 : 외부단자 33 : 배선패턴
40 : 통상체 60 : 덮개부재
61 : 본체부 62 : 볼록부
621 : 접촉면 63 : 제1 유로
64 : 공급구 65 : 배기구
66 : 유통공 70 : 래치
90 : DUT 91 : 패드
92 : 범프 100 : 전자부품 시험장치
200 : 핸들러 210 : 푸셔
215 : 본체부 220 : 제1 접속핀
221 : 개구 230, 240 : 캐리어 접속구
250, 260 : 통기로 270 : 제2 접속핀
271 : 개구 300 : 테스트 헤드
310 : 본체부 320 : 소켓
321 : 접촉자 322, 323 : 통기로
330 : 소켓 가이드 331 : 제1 접속공
332 : 통기로 333 : 제2 접속공
334 : 통기로 400 : 테스터
500 : 공급장치 501 : 공급로
600 : 인서트 601, 602 : 관통공

Claims (17)

  1. DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어로서,
    상기 시험용 캐리어의 외부로부터 공급되는 유체가 유통하는 제1 유로와,
    상기 DUT를 유지하는 캐리어 본체와,
    상기 DUT를 덮는 것과 함께 상기 캐리어 본체에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재를 구비하고,
    상기 제1 유로는,
    상기 시험용 캐리어에 형성된 유통공과,
    상기 유통공의 일단과 연통하는 제1 접속구와,
    상기 유통공의 타단과 연통하는 제2 접속구를 포함하고,
    상기 유통공은 상기 덮개부재의 내부에 형성되어 있고,
    상기 제1 및 상기 제2 접속구는, 상기 덮개부재에 설치되어 있으며,
    상기 유체는 상기 제1 접속구로부터 상기 유통공에 공급되고, 상기 제2 접속구로부터 배출되는 시험용 캐리어.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체는, 상기 시험용 캐리어를 테스트 헤드의 소켓에 누르는 가압수단으로부터 상기 제1 유로에 공급되는 시험용 캐리어.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 접속구는, 상기 시험용 캐리어에서 상기 가압수단과 대향하는 위치에 배치되어 있는 시험용 캐리어.
  6. 청구항 1 및 청구항 4 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어 본체는,
    상기 DUT의 단자에 대응하도록 설치된 복수의 접촉자와,
    상기 접촉자에 전기적으로 접속된 복수의 외부단자와,
    상기 접촉자와 상기 외부단자를 유지하는 본체부를 구비한 시험용 캐리어.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 덮개부재는 상기 DUT와 접촉하는 접촉면을 갖고,
    상기 DUT는 상기 접촉면과 상기 접촉자 사이에 협지(挾持)되는 시험용 캐리어.
  8. DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어로서,
    상기 시험용 캐리어의 외부로부터 공급되는 유체가 유통하는 제1 유로를 구비하고,
    상기 제1 유로는,
    상기 시험용 캐리어에 형성된 유통공과,
    상기 유통공의 일단과 연통하는 제1 접속구와,
    상기 유통공의 타단과 연통하는 제2 접속구를 포함하고,
    상기 시험용 캐리어는,
    상기 DUT를 유지하는 캐리어 본체와,
    상기 DUT를 덮는 것과 함께 상기 캐리어 본체에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재를 구비하고,
    상기 유통공은 상기 캐리어 본체의 내부에 형성되어 있고,
    상기 제1 및 상기 제2 접속구는, 상기 캐리어 본체에 설치되어 있으며,
    상기 유체는 상기 제1 접속구로부터 상기 유통공에 공급되고, 상기 제2 접속구로부터 배출되는 시험용 캐리어.
  9. DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서,
    소켓을 갖는 테스트 헤드와,
    청구항 1 및 청구항 4 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누르는 가압수단을 구비하고,
    상기 유체는 상기 가압수단으로부터 상기 제1 유로에 공급되는 전자부품 시험장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 가압수단은,
    상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어와 접촉함으로써 상기 제1 유로와 연통하는 제3 접속구와,
    상기 제3 접속구와 접속하는 제2 유로를 구비하고,
    상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서, 상기 제2 유로를 경유하여 상기 제1 유로에 상기 유체가 공급되는 전자부품 시험장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 가압수단은,
    상기 테스트 헤드에 착탈 가능하게 접속되어 상기 테스트 헤드로부터 상기 유체를 수용하는 제4 접속구를 구비하고,
    상기 제4 접속구는 상기 제2 유로에 접속되고,
    상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서, 상기 테스트 헤드로부터 상기 제2 유로를 경유하여 상기 제1 유로에 상기 유체가 공급되는 전자부품 시험장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 가압수단은, 상기 테스트 헤드가 갖는 소켓 가이드에 형성된 제1 접속공에 끼워맞춤 가능한 제1 접속핀을 구비하고,
    상기 제2 유로의 일부는 상기 제1 접속핀의 내부에 설치되며,
    상기 제4 접속구는 상기 제1 접속핀에 형성되어 있는 전자부품 시험장치.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 가압수단은,
    상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어와 접촉함으로써 상기 제1 유로와 연통하는 제5 접속구와,
    상기 제5 접속구와 연통하는 제3 유로를 구비하고,
    상기 가압수단이 상기 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누른 상태에서, 상기 제1 유로에 공급된 상기 유체는, 상기 제3 유로에 유통하는 전자부품 시험장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 가압수단은 상기 제1 유로에 공급된 상기 유체를 상기 제3 유로로부터 상기 가압수단의 외부로 배출하는 전자부품 시험장치.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 가압수단은, 상기 테스트 헤드에 착탈 가능하게 접속되어 상기 테스트 헤드로 상기 유체를 배출하는 제6 접속구를 더 구비하고,
    상기 제3 유로는, 상기 제5 접속구와 상기 제6 접속구를 접속하고,
    상기 제1 유로에 공급된 상기 유체는 상기 제3 유로를 경유하여 상기 테스트 헤드로 배출되는 전자부품 시험장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 가압수단은, 상기 테스트 헤드가 갖는 소켓 가이드에 형성된 제2 접속공에 끼워맞춤 가능한 제2 접속핀을 구비하고,
    상기 제3 유로의 일부는 상기 제2 접속핀의 내부에 설치되며,
    상기 제6 접속구는 상기 제2 접속핀에 형성되어 있는 전자부품 시험장치.
  17. DUT를 시험하는 전자부품 시험장치로서,
    소켓을 갖는 테스트 헤드와,
    청구항 1 또는 청구항 8에 기재된 시험용 캐리어를 상기 소켓에 누르는 가압수단을 구비하고,
    상기 유체는 상기 테스트 헤드로부터 상기 제1 유로에 공급되는 전자부품 시험장치.
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