JP2021514921A - Hfエッチング後に低い粗さを有する無アルカリホウケイ酸塩ガラス - Google Patents
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Abstract
Description
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROは、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3は、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROは、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
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を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3は、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
を含み、ここで、
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3;かつ
0モル%≦R2O≦2モル%
である。これらの組成物において、ガラスのRO含有量は、過剰のAl2O3又は過剰のR2Oという望ましくない影響を与えることなく、エッチング後の表面粗さを下げるのに役立つ。ガラス成分の量を適切に選択することにより、アルカリ酸化物含有量の低いガラスで、驚くほど低いエッチング後表面粗さを達成することができる。
図1は、例となる物品100の断面を示している。物品100は基板110を含む。基板110は、厚さTによって分離された第1の表面112と第2の表面114とを有する。複数のビア124は第1の表面112から第2の表面114まで延在する。すなわち、ビア124は貫通ビアである。
本明細書に記載されるガラス組成物は、通常、SiO2、Al2O3、及びROの組合せを含む、無アルカリホウケイ酸塩ガラスであり、ここで、RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOである。無アルカリとは、ガラスに含まれるアルカリ酸化物(R2O)が多くても少量であることを意味し、R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oである。加えて、本明細書に記載されるガラス組成物は、26.25≦RO+Al2O3−B2O3の条件を満たしている。HF及び同様のエッチング液でエッチングした場合、ガラス組成物は、無アルカリガラス組成物について、特に低いエッチング後の表面粗さを示す。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、P2O5、Na2O、K2O、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、SnO2、As2O3、Sb2O3、R2O、及びROは、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
本明細書に記載されるガラス組成物の実施形態では、SiO2は、組成物の最大の構成要素であり、それ自体、得られるガラスネットワークの主要な構成要素である。SiO2は、ガラスの化学的耐久性、特に、ガラス組成物の酸分解に対する耐性、及びガラス組成物の水中分解に対する耐性を高める。SiO2の含有量が少なすぎると、ガラスの化学的耐久性及び耐薬品性が低下する可能性があり、ガラスが腐食しやすくなりうる。したがって、高いSiO2濃度が一般的に望ましい。しかしながら、SiO2の含有量が高すぎると、高濃度のSiO2がガラスの溶融の困難さを増大させ、これが次にガラスの成形性に悪影響を与えるため、ガラスの成形性が低下する可能性がある。第1の実施形態では、基板110のシリカ含有量は65モル%≦SiO2≦75モル%である。第10の実施形態では、69モル%≦SiO2≦72モル%である。SiO2含有量は、65、66、67、68、69、70、71、72、73、74、又は75モル%、若しくは端点として前述の値のいずれか2つを有する任意の範囲でありうる。
本明細書に記載されるガラス組成物はAl2O3をさらに含む。Al2O3は、ガラス組成物中に存在するアルカリ土類酸化物及びZnO(RO)と組み合わせて、HFなどのエッチング液でエッチングした後のガラス表面に低い表面粗さをもたらす。Al2O3はまた、ガラスの硬度及び損傷耐性も向上させることができる。しかしながら、ガラスの液相粘度は、ガラス組成物中のAl2O3の濃度が増加するにつれて低下する。ガラス組成物中のAl2O3の濃度が高すぎる場合、ガラス組成物の液相粘度が低下し、それにより、フュージョンダウンドロープロセスでの製造中にガラス組成物が結晶化する可能性がある。加えて、過剰のAl2O3を含むことにより、他のすべての望ましいガラス成分を含むと同時に、望ましい高いSiO2含有量を有することが困難になる可能性がある。第1の実施形態では、基板110のAl2O3含有量は、7モル%≦Al2O3≦15モル%である。Al2O3含有量は、7、8、9、10、11、12、13、14又は15モル%、若しくは端点として前述の値のいずれか2つを有する任意の範囲でありうる。
本明細書に記載されるガラス組成物は、アルカリ土類酸化物及びZnOをさらに含む。アルカリ土類酸化物には、MgO、CaO、SrO、及びBaOが含まれる。ZnOは、技術的にはアルカリ土類酸化物ではないが、本開示の目的では、ガラス組成物に同様の効果を有すると考えられる。「RO」は、MgO、CaO、SrO、BaO及びZnOを総称するために用いられる。また、ガラス組成物のRO含有量は、モル%でのMgO、CaO、SrO、BaO、及びZnOのガラス含有量の合計である。RO含有量を増加させることは、HFなどのエッチング液でエッチングした後のガラス表面のエッチング後の粗さを低下させる1つの方法である。また、ROの使用は、R2Oの有害な影響を有しない。第1の実施形態では、26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3である。Al2O3の最大量は15モル%であることから、これは、RO含有量が少なくとも11.25モル%であることを意味する。幾つかの実施形態では、パラメータRO+Al2O3−B2O3は、26.25、26.5、26.75、又は27.0モル%以上である。このパラメータにさらに高い値を使用することもできる。しかしながら、27.5モル%よりも高い値では、パラメータが、材料の熱膨張係数(CTE)を一部の用途にとって望ましくない高レベルへと増加させる可能性があると考えられる。
ガラス組成物中のアルカリ酸化物の量は最小限に抑えられる。アルカリ酸化物は、Li2O、Na2O、K2O、Rb2O、及びCs2Oのうちの1つ以上を含みうる。「R2O」は、一般的にアルカリ酸化物を指すために用いられる。また、ガラス組成物のR2O含有量は、モル%でのLi2O、Na2O、K2O、Rb2O、及びCs2Oのガラス含有量の合計である。アルカリ酸化物の含有量を増加させることは、HFなどのエッチング液でエッチングした後のガラス表面のエッチング後の粗さを低下させる1つの方法であり、望ましいことである。しかしながら、アルカリ酸化物は、一部の用途に悪影響を与える可能性がある。例えば、貫通ガラスビア(TGV)を提供するためにガラス基板を使用する場合、アルカリ酸化物の存在により、TGVによって通常接続されるタイプのデバイスが汚染される可能性がある。TGVが有望であることを示す1つのタイプのデバイス、RFアンテナなどのRF(無線周波数)デバイスでは、R2Oの存在は、ガラスの透過率を望ましくなく低下させる。より良好な信号伝達のためには、高い透過率が所望される。第1の実施形態では、R2O含有量は0モル%≦R2O≦2モル%である。R2O含有量は、0モル%≦R2O≦2モル%、0モル%≦R2O≦1モル%、又は0モル%≦R2O≦0.5モル%でありうる。幾つかの実施形態では、ガラス組成物はR2Oを含まない(R2Oはトランプ量でのみ存在しうる)。
ガラス組成物は、酸化リン(P2O5)も含みうる。P2O5の存在は、ガラス組成物中のムライトの結晶化を抑制することにより、ガラス組成物の液相粘度を増加させる。ガラス組成物の液相温度は、Al2O3の量がガラス組成物中のアルカリ酸化物(R2Oモル%)及びアルカリ土類酸化物(ROモル%)の量の合計を2モル%超、又はさらには1モル%超、超過する場合に、急速に上昇する。この問題は、R2Oの量が限られている本明細書に記載される組成物にとって、特に深刻である。Al2O3(モル%)が(R2O(モル%)+RO(モル%))より1モル%を超えて大きい場合に、ガラス組成物中のP2O5の存在が、液相温度を低下させ、したがってガラス組成物の液相粘度を増加させることによって、過剰のAl2O3を相殺する。幾つかの実施形態では、ガラス組成物は、過剰のAl2O3を相殺するのに十分な量のP2O5を有しうる。例えば、幾つかの実施形態では、ガラス組成物は、(Al2O3(モル%)−R2O(モル%)−RO(モル%)−P2O5(モル%))が2以下又はさらには1以下になるように十分な量のP2O5を有しうる。幾つかの実施形態では、ガラス組成物はP2O5を含まない。この場合、Al2O3及びROの量は、液相温度が急激に上昇しないような量でありうる。あるいは、より高い液相温度がその用途にとって許容できる可能性がある。しかしながら、ガラスのP2O5含有量が高すぎる場合には、加熱するとガラスが永久に収縮する、望ましくない圧縮を生じる可能性がある。一部のビア充填プロセスは600℃以上の温度を使用するため、圧縮が深刻な問題になりうる。第2の実施形態では、P2O5含有量は0モル%<P2O5≦2モル%である。P2O5含有量は、0、1、又は2モル%、若しくは端点として前述の値のいずれか2つを有する任意の範囲でありうる。
図3は、物品100を生成し、続いて処理するためのプロセス300のフローチャートを示している。プロセス300は、物品100を生成するために基板にビアを生成するためのステップを含む、プロセス310を含む。プロセス300はまた、物品100をキャリアに結合すること、追加の処理を実行すること、及び物品100をキャリアから剥離することを含む、プロセス350を含む。
ステップ312:基板に損傷領域を形成する
ステップ314:損傷領域をエッチングしてビアを形成する。
ステップ310では、損傷領域120が基板100に形成される。損傷領域120は、さまざまな方法で基板110に形成することができる。
ステップ320では、損傷領域120がエッチングされて、ビア124(又は、他の幾何学形状を有するビア、例えば、ビア224)を形成する。エッチングプロセスは、ガラス物品100をエッチング液180の浴に沈めることを含みうる。追加的又は代替的に、エッチング液180をガラス物品100に噴霧してもよい。エッチング液180は、基板110の材料を除去して、損傷領域120を拡大することができる。任意の適切なエッチング液及びエッチング方法を利用することができる。エッチング液の非限定的な例には、硝酸、塩酸、アシル酸、又はリン酸などの強鉱酸;フッ化水素酸、二フッ化アンモニウム、フッ化ナトリウムなどのフッ素含有エッチング液;並びにそれらの混合物が含まれる。幾つかの実施形態では、エッチング液はフッ化水素酸である。
図3はまた、キャリアを使用したエッチング後の処理である、プロセス350も示している。プロセス350は、以下を順番に含む:
ステップ352:物品100をキャリアに結合する
ステップ354:さらなる処理を実行する
ステップ356:物品100をキャリアから剥離する
例えば、基板110は、インターポーザとして使用することが予定されており、追加のインターポーザ特性を付与するために、さらなる処理ステップ(ステップ320)に供することができる。
基板110をキャリアに取り外し可能に結合する1つの例示的な方法は、参照することによってその全体が組み込まれる、米国特許出願公開第2014/0170378号明細書に開示されるものなど、ファンデルワールス結合を使用することによるものである。例えば、ファンデルワールス結合は、キャリアの接着面に物品の表面を配置し、物品の温度を上昇させ、続いて物品を室温に冷却することを含みうる。その結果、物品とキャリアが取り外し可能に結合される。ファンデルワールス結合は、必要に応じて、基板の全領域をキャリア200から一度に又は部分的に剥離することを可能にしつつ(ステップ356)、処理(例えば、高温処理)に耐えることができる結合を形成する能力があるため、下流の処理に有益である。基板110が剥離された後、キャリア200は、さらなる基板を処理するために再利用することができる。
キャリア200は、例えばガラスなどの任意の適切な材料のものでありうる。キャリア200はガラスである必要はなく、代わりに、例えば、セラミック、ガラスセラミック、又は金属でありうる。ガラスでできている場合には、キャリア200は、限定はしないが、アルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、アルミノホウケイ酸塩、ソーダ石灰ケイ酸塩を含む、任意の適切な組成物であってよく、その最終的な用途に応じてアルカリ含有又は無アルカリのいずれかでありうる。キャリア200は、任意の適切な厚さを有しうる。キャリア200は、示されているように1つの層、又は(例えば、積層によって)一緒に結合された複数の層(複数の薄いシートを含む)から作ることができる。キャリア200の熱膨張係数は、基板110の熱膨張係数と実質的に一致し、高温での処理中に基板110の反り又はキャリア200からの基板110の剥離を防止することができる。キャリア200は、その目的がエッチング後の処理中に基板110に支持を提供することであることから、必ずしも基板110と同じエッチングプロセスに曝露されるとは限らない(キャリア200には通常ビアがなく、ビアの生成に用いられるエッチングプロセスに曝露される必要はない)。よって、キャリア200の接着面210は、エッチング液に曝露される基板110の第1の表面112及び第2の表面114のものよりも低い表面粗さ(Ra)を有しうる。
ステップ354のさらなる処理は、基板110へのアルカリ洗浄溶液の適用、基板110のウェットエッチング、基板110の研磨、基板110の金属めっき、ウェットエッチングによる基板110の金属パターン化、堆積による基板110への材料の堆積、及び基板110のアニーリングなどのステップを含みうる。基板110がキャリア200に結合されていない場合には、この頑強なさらなる処理は、基板110を損傷する可能性が高いであろう。しかしながら、基板110はキャリア200に結合されていることから、このさらなる処理が基板110を損傷する可能性ははるかに低い。
剥離は、任意の適切な手段によって達成することができる。例えば、ウェッジを、結合した基板110とキャリア200の外側部分に使用して、剥離を開始し、続いてピーリングすることができる。適切な剥離技術の例は、国際公開第2017/127489号の「Methods for Processing a Substrate(基板の処理方法)」に記載されている。
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3は、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す。
本明細書に記載される実施形態は、基板の表面粗さ(Ra)を実質的に増加させることなく、基板にビアを形成することを提供するものであることを理解されたい。ビア形成中に基板の低い表面粗さを保持することにより、基板を、さらなる処理のためにキャリアに取り外し可能に結合することができる。処理後、キャリアをさらなる基板の処理に再利用することができるように、基板をキャリアから取り外すことができる。さらには、貫通ビアは、両端からエッチングすることができるため、略円筒形に生成することができる。
物品において、
ガラス基板であって、
その中に複数のビアを有する第1の表面と、
前記第1の表面に平行な第2の表面と
を含み、
前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方が、0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有するエッチング面である、
ガラス基板を備えており、
該ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROが、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
物品。
前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3が、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
実施形態1に記載の物品。
前記物品が前記ガラス基板である、実施形態1又は2に記載の物品。
前記複数のビアが、前記第1の表面から前記第2の表面まで延びる貫通ビアである、実施形態1〜3のいずれかに記載の物品。
前記複数のビアが、前記第2の表面に達することなく前記第1の表面から前記第2の表面の方へと延びるブラインドビアである、実施形態1〜3のいずれかに記載の物品。
前記物品がキャリアをさらに含み;前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方がエッチングされ、0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有し、かつ前記キャリアに結合される、
実施形態1〜5のいずれかに記載の物品。
前記キャリアが0.2nm〜0.4nmの表面粗さ(Ra)を有する、実施形態6に記載の物品。
前記ガラス基板が150μm以下の厚さを有する、実施形態1〜7のいずれかに記載の物品。
前記ガラス基板が90μm〜110μmの厚さを有する、実施形態1〜8のいずれかに記載の物品。
69モル%≦SiO2≦72モル%である、実施形態1〜9のいずれかに記載の物品。
26.5モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態1〜10のいずれかに記載の物品。
26.75モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態11に記載の物品。
27.0モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態11に記載の物品。
0モル%≦R2O≦1モル%である、実施形態1〜13のいずれかに記載の物品。
0モル%≦R2O≦0.5モル%である、実施形態14に記載の物品。
方法において、
第1の表面及び第2の表面を有するガラス基板に複数のビアを形成する工程であって、前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方をエッチングしてエッチング面を形成することを含む、工程
を含み、
前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROが、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
方法。
前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3が、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
実施形態16に記載の方法。
前記エッチング面が0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有する、実施形態16又は17に記載の方法。
前記エッチングが、フッ化水素酸を含むエッチング液を用いて行われる、実施形態16〜18のいずれかに記載の方法。
前記ガラス基板の前記エッチング面の一方をキャリアに結合させる工程をさらに含む、実施形態16〜19のいずれかに記載の方法。
前記複数のビアが、前記第1の表面から前記第2の表面まで延びる貫通ビアである、実施形態16〜20のいずれかに記載の方法。
前記複数のビアが、前記第2の表面に達することなく前記第1の表面から前記第2の表面の方へと延びるブラインドビアである、実施形態16〜20のいずれかに記載の方法。
前記キャリアが0.2nm〜0.4nmの表面粗さ(Ra)を有する、実施形態16〜22のいずれかに記載の方法。
前記ガラス基板が、エッチング後に150μm以下の厚さを有する、実施形態16〜23のいずれかに記載の方法。
前記ガラス基板が、エッチング後に90μm〜110μmの厚さを有する、実施形態24に記載の方法。
69モル%≦SiO2≦72モル%である、実施形態16〜25のいずれかに記載の方法。
26.5モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態16〜26のいずれかに記載の方法。
26.75モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態27に記載の方法。
27.0モル%≦RO+Al2O3−B2O3である、実施形態27に記載の方法。
0モル%≦R2O≦1モル%である、実施形態16〜29のいずれかに記載の方法。
0モル%≦R2O≦0.5モル%である、実施形態30に記載の方法。
110 基板
112 第1の表面
114 第2の表面
120 損傷領域
124,224 ビア
200 物品/キャリア
210 接着面
Claims (10)
- 物品において、
ガラス基板であって、
その中に複数のビアを有する第1の表面と、
前記第1の表面に平行な第2の表面と
を含み、
前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方が、0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有するエッチング面である、
ガラス基板を備えており、
該ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROが、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
物品。 - 前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3が、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
請求項1に記載の物品。 - 前記物品が前記ガラス基板である、請求項1又は2に記載の物品。
- 前記複数のビアが、前記第1の表面から前記第2の表面まで延びる貫通ビアである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の物品。
- 前記複数のビアが、前記第2の表面に達することなく前記第1の表面から前記第2の表面の方へと延びるブラインドビアである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の物品。
- 前記物品がキャリアをさらに含み;前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方がエッチングされ、0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有し、かつ前記キャリアに結合される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の物品。
- 前記キャリアが0.2nm〜0.4nmの表面粗さ(Ra)を有する、請求項6に記載の物品。
- 方法において、
第1の表面及び第2の表面を有するガラス基板に複数のビアを形成する工程であって、前記第1の表面及び前記第2の表面のうちの少なくとも一方をエッチングしてエッチング面を形成することを含む、工程
を含み、
前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
を含み、ここで、
RO=MgO+CaO+SrO+BaO+ZnOであり;
R2O=Li2O+Na2O+K2O+Rb2O+Cs2Oであり;
26.25モル%≦RO+Al2O3−B2O3であり;
0モル%≦R2O≦2モル%であり;かつ
SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO、R2O、及びROが、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
方法。 - 前記ガラス基板が、酸化物基準のモルパーセントで、
65モル%≦SiO2≦75モル%;
7モル%≦Al2O3≦15モル%;
0.1モル%≦B2O3≦2モル%;
0モル%<P2O5≦2モル%;
0モル%≦MgO≦6モル%;
0モル%≦ZnO≦4モル%;
0モル%≦CaO≦6モル%;
0モル%≦SrO≦10モル%;
0モル%≦BaO≦10モル%;
0モル%≦SnO2≦0.5モル%;
0モル%≦As2O3≦0.5モル%;
0モル%≦Sb2O3≦0.5モル%;
を含み、ここで、
P2O5、Na2O、K2O、SnO2、As2O3、Sb2O3が、代表的な酸化物成分のモルパーセントを表す、
請求項8に記載の方法。 - 前記エッチング面が0.75nm以下の表面粗さ(Ra)を有する、請求項8又は9に記載の方法。
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