JP4862859B2 - ガラス基板 - Google Patents
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Description
(1)ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されていると、熱処理中にアルカリイオンが成膜された半導体物質中に拡散し、膜特性の劣化を招くため、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないこと。
(2)フォトエッチング工程において使用される種々の酸、アルカリ等の薬品によって劣化しないような耐薬品性を有すること。
(3)ガラスの歪点が低いと、成膜等の熱処理工程でガラス基板が熱収縮してパターンずれを起こすため、高い歪点を有すること。
(4)製造工程において、自重によってガラス基板がたわみ、装置と接触してガラス基板が破損するのを防止するために、高い比ヤング率(ヤング率/密度)を有すること。
Claims (7)
- ガラス組成として、質量百分率で、SiO2 50〜70%、Al2O3 10〜20%、B2O3 7〜15%、MgO+CaO 0〜20%、SrO+BaO 0〜6.5%含有し、且つ、3〜100nmの粒子サイズの分相構造を有することを特徴とするガラス基板。
- 3〜50nmの粒子サイズの分相構造を有し、且つ、ディスプレイ用途に用いられることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板。
- 分相構造がガラス基板の製造工程で形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板。
- 分相構造が溶融ガラスの冷却工程で形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガラス基板。
- 分相構造がガラス基板に加工成形した後の熱処理工程で形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガラス基板。
- オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のガラス基板。
- 前記分相構造は、前記ガラス組成を有する基板に580℃〜当該ガラスの徐冷点+60℃の温度で2〜300時間保持する熱処理を施して形成されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス基板。
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