JP5705561B2 - 不揮発性メモリ装置およびその動作方法と、それを含むメモリシステム - Google Patents
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Description
実施形態において、前記消去動作電圧を印加することは、前記第1及び第2ストリングに接続されたワードラインに接地電圧を印加し、前記第1及び第2ストリングに接続された共通ソースラインに消去電圧を印加することを含む。
実施形態において、前記第2ストリングの第2接地選択ラインに第2消去禁止電圧を印加することをさらに含む。
実施形態において、前記第2消去禁止電圧は、前記第2ストリングの第2接地選択ラインに接続された第2接地選択トランジスタのしきい値電圧より高いレベルを有する。
実施形態において、前記第2ストリングのストリング選択ラインに第3消去禁止電圧を印加することをさらに含む。
図1は本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置100を示すブロック図である。図1を参照すると、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置100はメモリセルアレイ110、駆動機120、読み込み及び書き込み回路130、そして制御ロジック140を含む。
例示的に、駆動機120は共通ソースラインCSLを駆動する。例えば、駆動機120は共通ソースラインCSLを駆動する共通ソースライン駆動機125を備える。
各ピラー113の内部層115は絶縁物質から構成される。例えば、各ピラー113の内部層115はシリコン酸化物(Silicon Oxide)からなる。
即ち、メモリブロックBLKiは基板111に垂直方向(第2方向)に延長された複数のNANDストリングNSを含み、一つのビットラインBLに複数のNANDストリングNSが接続されるNANDフラッシュメモリブロック(例えば、電荷捕獲型)として動作する。
共通ソースラインCSLはNANDストリングNSに共通に接続される。例えば、基板111上の活性領域で、第1から第4ドップ領域311〜314が接続される。例えば、第1から第4ドップ領域311〜314はコンタクトを通じて上部層と接続される。上部層で第1から第4ドップ領域311〜314が共通に接続される。
選択ストリングNS11〜NS13の接地選択ラインGSL1はフローティングされる。非選択ストリングNS21〜NS23、NS31〜NS33の接地選択ラインGSL2、GSL3の電圧は接地電圧Vssから第1消去禁止電圧Vm1に制御される。
図10は図9の電圧条件による選択ストリングNS11〜NS13の電圧変化を示すタイミング図である。図11は選択ストリングNS11〜NS13の中のNS12の電圧変化による状態を示す断面図である。図10及び図11を参照すると、第1時間t1で、基板111に消去電圧Versが印加される。基板111及び第2方向のボディ114は同じ型(例えば、p型)にドープされたシリコン物質からなる。従って、消去電圧Versは第2方向のボディ114に印加される。
図17は図6のメモリブロックBLKiの他の実施形態を示す回路図である。図16のメモリブロックBLKi_2と比較すると、メモリブロックBLKi_3の各NANDストリングNSにおいて、ストリング選択ラインSSLは電気的に接続される。
選択ストリングNS11〜NS13の接地選択ラインGSL1は接地電圧Vssからフローティング状態に制御される。非選択ストリングNS21〜NS23、NS31〜NS33の接地選択ラインGSL2、GSL3は接地電圧Vssから第5消去禁止電圧Vm5に制御される。
共通ソースラインCSLはフローティングされる。基板111の電圧はプリ電圧Vpreから消去電圧Versに制御される。
不揮発性メモリ装置1100は図1乃至図27を参照して説明したものと同様に構成され、動作する。
また、図30に図示されているメモリシステム2000は図28のメモリシステム1000に構成しても良い。
上述した本発明の実施形態は、本発明の範囲と技術的思想から外れない限度内で様々に変形可能である。従って、本発明の範囲は実施形態に限らず、後述する特許請求範囲及び均等技術によって決められるべきである。
110 メモリセルアレイ
120 駆動機
121 ワードライン駆動機
123 選択ライン駆動機
125 共通ソースライン駆動機
130 読み込み及び書き込み回路
140 制御ロジック
BLKi メモリブロック
NS NANDストリング
EU 消去単位
Claims (9)
- 不揮発性メモリ装置の動作方法において、
ビットラインに接続された第1ストリングの接地選択ラインをフローティングし、
前記ビットラインに接続された第2ストリングの接地選択ラインに消去禁止電圧を印加し、
前記第1及び第2ストリングに接続されたワードラインに接地電圧を印加し、
前記第1及び第2ストリングに接続された共通ソースラインに消去電圧を印加することを特徴とする動作方法。 - 不揮発性メモリ装置の動作方法において、
ビットラインに接続された第1ストリングの接地選択ラインをフローティングし、
前記ビットラインに接続された第2ストリングの接地選択ラインに消去禁止電圧を印加し、
前記第1及び第2ストリングに接続されたワードラインをフローティングし、
前記第1及び第2ストリングに接続された共通ソースラインにプリ電圧を印加した後、前記共通ソースラインに消去電圧を印加し、
その後、前記ワードラインに接地電圧を印加することを特徴とする動作方法。 - 前記消去禁止電圧は、前記第2ストリングの接地選択ラインに接続された接地選択トランジスタのしきい値電圧より高いことを特徴とする請求項1又は2に記載の動作方法。
- 前記第2ストリングの第2接地選択ラインに第2消去禁止電圧を印加することを特徴とする請求項1又は2に記載の動作方法。
- 前記第2消去禁止電圧は、前記消去禁止電圧より低いレベルを有することを特徴とする請求項4に記載の動作方法。
- 前記第2消去禁止電圧は、前記第2ストリングの第2接地選択ラインに接続された第2接地選択トランジスタのしきい値電圧より高いレベルを有することを特徴とする請求項4に記載の動作方法。
- 前記第2ストリングのストリング選択ラインに第3消去禁止電圧を印加することを特徴とする請求項1又は2に記載の動作方法。
- ビットライン及び共通ソースライン間に接続される第1及び第2ストリングを含むメモリセルアレイと、
前記第1及び第2ストリングに接続されたワードライン、選択ライン、及び前記共通ソースラインに電圧を印加する駆動機と、
前記第1及び第2ストリングのメモリセルにデータを書き込み及び読み出すように構成される読み込み及び書き込み回路を含み、
消去動作の際に、前記駆動機は前記第1ストリングの第1ワードライン及び前記第2ストリングの第2ワードラインに同じ電圧を印加し、前記第1ストリングの接地選択ライン及び前記第2ストリングの接地選択ラインに異なる電圧を印加するように構成されることを特徴とする不揮発性メモリ装置。 - 不揮発性メモリ装置と、
前記不揮発性メモリ装置を制御するコントローラを含み、
前記不揮発性メモリ装置は、
ビットライン及び共通ソースライン間に接続される第1及び第2ストリングを含むメモリセルアレイと、
前記第1及び第2ストリングに接続されたワードライン、選択ライン、及び前記共通ソースラインに電圧を印加する駆動機と、
前記第1及び第2ストリングのメモリセルにデータを書き込み及び読み出すように構成される読み込み及び書き込み回路を含み、
消去動作の際に、前記駆動機は前記第1ストリングの第1ワードライン及び前記第2ストリングの第2ワードラインに同じ電圧を印加し、前記第1ストリングの接地選択ライン及び前記第2ストリングの接地選択ラインに異なる電圧を印加するように構成されることを特徴とするメモリシステム。
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