JP5259242B2 - 三次元積層不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Description
"Bit Cost Scalable Technology with Punch and Plug Process for Ultra High Density Flash Memory" 2007 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers.p14
本発明の例では、BiCSメモリ特有の構造に起因するリードディスターブ、即ち、選択されたブロック内の非選択のセルユニット内のメモリセルの閾値変動を防止するためのリード手法について提案する。
(1) 基本構造
まず、BiCSメモリの基本構造について説明する。
図1乃至図8のBiCS-NANDフラッシュメモリの基本動作について説明する。
本発明の実施形態について説明する。
図9は、BiCSメモリのブロックレイアウトの第一例を示している。
図13は、ビット線側セレクトゲート線のレイアウトの第一例を示している。図14は、図13をデバイス化にした場合の平面レイアウトを示している。
ドライバの回路例についてBiCS-NANDフラッシュメモリを例に説明する。
A. リードディスターブ
まず、BiCSメモリに特有のリードディスターブについてBiCS-NANDフラッシュメモリを例に説明する。
ブロックBK<i>を選択されたブロックとし、ブロックBK<i-1>, BK<i+1>を非選択のブロックとする。
選択されたワード線WL-selectには、リード電位Vcgrvが印加され、非選択のワード線WL-unselectには、転送電位Vreadが印加される。また、選択されたビット線側セレクトゲート線SGD-selectには、ビット線側セレクトゲートトランジスタをオンにする電位としてVsgd(例えば、約4V)が印加され、非選択のビット線側セレクトゲート線SGD-unselectには、ビット線側セレクトゲートトランジスタをオフにする電位としてVss(例えば、0V)が印加される。さらに、ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタをオンにする電位としてVsgs(例えば、約4V)が印加される。
リードディスターブの発生について具体的に説明する。
同図(a)は、選択されたメモリセルMC-select1, MC-select2を含むNANDセルユニットを示し、同図(b)は、非選択のメモリセルのみを含むNANDセルユニットを示している。同図(b)において、メモリセルX1, X2は、図22及び図23のメモリセルX1, X2に対応している。
上述のリードディスターブを防止するには、リード時に、非選択のセルユニット内のリード電位が与えられるメモリセルのソース及びドレイン間に大きな電位差が発生しないように、動作タイミングを工夫すればよい。
選択されたブロックBK<i>内において、選択されたワード線WL<2>にリード電位Vcgrvを与え、非選択のワード線WL<0>, WL<1>, WL<3>に転送電位Vreadを与える。また、全てのビット線側セレクトゲート線SGDにビット線側セレクトゲートトランジスタをオンにする電位Vsgd(ex. 4V)を与え、全てのソース線側セレクトゲート線SGSにソース線側セレクトゲートトランジスタをオンにする電位Vsgs(ex. 4V)を与える。全てのビット線BL<0>, BL<1>及びソース線SLには接地電位Vssを与える。
選択されたNANDセルユニットNAND-select1, NAND-select2内のビット線側セレクトゲート線SGDにビット線側セレクトゲートトランジスタをオンにする電位Vsgd(ex. 4V)を与え(実線A)、非選択のNANDセルユニットNAND-unselect内のビット線側セレクトゲート線SGDにビット線側セレクトゲートトランジスタをオフにする電位Vss(ex. 0V)を与える(破線B)。さらに、ソース線SLに接地電位Vssを与える。
同図(a)は、選択されたメモリセルMC-select1, MC-select2を含むNANDセルユニットを示し、同図(b)は、非選択のメモリセルのみを含むNANDセルユニットを示している。同図(b)において、メモリセルX1, X2は、図26及び図27のメモリセルX1, X2に対応し、丸数字1〜3は、図25の期間1〜3に対応している。
本発明の例に係わるリード手法においては、図25の動作タイミングに限定されることはなく、以下の場合に有効である。
以上のように、本発明の実施形態によれば、BiCS技術が適用された三次元積層不揮発性半導体メモリのリードディスターブを改善することができる。
本発明の技術は、ビットコストスケーラビリティを実現するため、1つのセルユニットが直列接続された複数のメモリセル(NAND列)から構成されるBiCS-NANDフラッシュメモリに有効であるが、それ以外にも、BiCS技術が適用された三次元積層不揮発性半導体メモリに適用可能である。
本発明によれば、BiCS技術が適用された三次元積層不揮発性半導体メモリのリードディスターブを改善することができる。
Claims (5)
- 半導体基板と、前記半導体基板上において第一方向に並んで配置される第一及び第二ブロックから構成されるメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイの前記第一方向に直交する第二方向の一端に配置される第一ドライバとを具備し、
前記第一及び第二ブロックは、それぞれ、前記半導体基板上に互いに絶縁されてスタックされる3以上の導電層と、前記3以上の導電層上にこれらとは絶縁されて配置されるビット線と、下端が前記半導体基板に接続され、上端が前記ビット線に接続され、前記3以上の導電層を突き抜ける複数の半導体柱とから構成され、
前記3以上の導電層のうち最上層は、前記第二方向に延びる複数の第一セレクトゲート線から構成され、前記3以上の導電層のうち最下層は、第二セレクトゲート線であり、前記3以上の導電層のうち前記最上層及び前記最下層を除く残りの導電層は、ワード線であり、
前記3以上の導電層のうち前記最上層を除く残りの導電層は、前記第一方向の幅が前記複数の第一セレクトゲート線の前記第一方向の幅よりも広いプレート状を有し、
前記複数の第一セレクトゲート線の各々と前記複数の半導体柱及び前記第二セレクトゲート線と前記複数の半導体柱とによりそれぞれセレクトゲートトランジスタが構成され、前記ワード線と前記複数の半導体柱とによりそれぞれメモリセルが構成され、
前記第一ブロックは、リード対象となるメモリセルを含む選択された第一セルユニット及びリード対象となるメモリセルを含まない非選択の第二セルユニットを有し、前記第二セルユニット内の前記リード電位が印加されるメモリセルよりも前記ビット線側に存在するメモリセルのチャネルに接地電位を与えた状態で前記第一ブロック内の前記ワード線にリード電位又はそれよりも高い転送電位を印加し、この後、前記第二セルユニット内の全てのメモリセルを前記ビット線から切断し、前記ビット線をプリチャージ電位にして、前記第一セルユニット内の前記リード対象となるメモリセルに対してリードを実行し、
前記リード時に、前記第二ブロック内の前記ワード線には前記リード電位及び前記転送電位が印加されない
ことを特徴とする三次元積層不揮発性半導体メモリ。 - 前記接地電位は、前記ビット線から、前記第二セルユニット内の前記リード電位が印加されるメモリセルよりも前記ビット線側に存在するメモリセルのチャネルに転送されることを特徴とする請求項1に記載の三次元積層不揮発性半導体メモリ。
- 前記リード電位又は前記転送電位を前記第一ブロック内の前記ワード線に印加するタイミングは、前記第二セルユニット内の全てのメモリセルを前記ビット線から切断するタイミングよりも前であることを特徴とする請求項1又は2に記載の三次元積層不揮発性半導体メモリ。
- 前記プリチャージ電位を前記ビット線に印加するタイミングは、前記第二セルユニット内の全てのメモリセルを前記ビット線から切断するタイミングと同じ又はそれよりも後であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の三次元積層不揮発性半導体メモリ。
- 前記リード電位又は前記転送電位を前記第一ブロック内の前記ワード線に印加した後においても、前記第二セルユニット内の前記リード電位が印加されるメモリセルよりも前記ビット線側に存在するメモリセルのチャネルは、前記接地電位に維持されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の三次元積層不揮発性半導体メモリ。
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