JP2017168164A - メモリデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
図1乃至図13を参照して、実施形態に係るメモリデバイスを、説明する。
図1乃至図5を用いて、実施形態のメモリデバイスの構成例を説明する。
ホストデバイス600は、データの書き込み、データの読み出し、及びデータの消去を、ストレージデバイス500に要求する。
メモリコントローラ5は、例えば、プロセッサ(CPU)、DRAM、SRAM及びECC回路などを含む。CPUは、メモリコントローラ5全体の動作を制御する。DRAM及びSRAMは、データ、プログラム(ソフトウェア/ファームウェア)及びストレージデバイス/メモリデバイスの管理情報(管理テーブル)を、一時的に保持する。ECC回路は、メモリデバイス1から読み出されたデータ内の誤りを検出し、検出された誤りを訂正する。
入出力回路17は、コントローラ5からの各種の制御信号及びI/O線IO1〜IO8上の信号のインターフェイス回路として機能する。
電圧生成回路18は、メモリセルアレイ11の動作に用いられる各種の電圧を生成する。
図3及び図4を参照して、本実施形態のフラッシュメモリにおけるメモリセルアレイの内部構成の一例について、説明する。
本実施形態のフラッシュメモリ1は、例えば、3次元構造のメモリセルアレイ11を含む。
ドレイン側セレクトトランジスタST1の他端は、複数のビット線のうちいずれか1つのビット線BL(BL0,BL1,・・・,BL(n−1))に接続される。尚、“n”は、1以上の自然数である。
図4に示されるように、半導体領域(例えば、Si基板)内のp型ウェル領域20上に、複数のNANDストリング111が設けられている。
複数(本例では、4つ)の導電層25は、各NANDストリング111において、同一のドレイン側セレクトゲート線SGDに接続される。4つの導電層25は、実質的に1つのセレクトトランジスタST1のゲート電極として機能する。
複数のNANDストリング111は、D2方向に配列されている。各ストリングユニットSUは、D2方向に並ぶ複数のNANDストリング111の集合である。
図6は、本実施形態のフラッシュメモリのセンスアンプ回路の内部構成の一例を示す等価回路図である。
例えば、高耐圧トランジスタS1は、比較的高い電圧をビット線BLに転送するために、比較的高い絶縁耐性を有する。この結果として、高耐圧トランジスタS1は、比較的高いしきい値電圧を有する。
n型トランジスタS4aの他端は、ノードSRCGNDに接続されている。p型トランジスタS4bの他端は、ノードVDDSAに接続されている。
トランジスタS5の一端は、ノードSCOMに接続されている。トランジスタS5の他端は、ノードSENに接続されている。
ノードSEN及びキャパシタCsenは、容量素子としての機能によって、メモリセルMCのしきい値電圧に対応した信号(電荷)を、保持できる。ノードSENの電位に応じて、トランジスタS8がオン又はオフする。
このように、ノードSENの電位に応じて、バスLBUSの電位が、変化する。この結果として、ノードSENの電位に対応する信号が、バスLBUSに転送される。
トランジスタS9の一端は、ノードSENに接続されている。トランジスタS9の他端は、トランジスタS10の一端に接続されている。制御信号LSLが、トランジスタS9のゲートに、供給される。
トランジスタS10の他端は、ノードVLSAに接続されている。ノードVLSAに、ある電圧値の電圧が印加される。トランジスタS10のゲートは、バスLBUSに接続されている。トランジスタS10は、バスLBUSの電位に応じて、オン又はオフされる。例えば、バスLBUSは、ある大きさの容量を有する。それゆえ、バスLBUSは、容量素子として、信号レベルに対応した量の電荷を保持できる。
このように、バスLBUSの電位に対応した信号が、ノードSEN(ビット線BL)に転送される。
トランジスタS12の一端は、バスLBUSに接続されている。トランジスタS12の他端は、ノードVHLBに接続されている。制御信号LPCが、トランジスタS12のゲートに供給されている。トランジスタS12は、制御信号LPCの信号レベルに応じて、オン又はオフされる。
トランジスタS13の一端は、バスLBUSに接続されている。トランジスタS13の他端は、ノードDBUSに接続されている。制御信号DSWが、トランジスタS13のゲートに、供給される。トランジスタS13は、制御信号DSWの信号レベルに応じて、オン又はオフされる。
トランジスタQ1の他端は、ノード(グランド端子)Vssに接続されている。トランジスタQ2の他端は、トランジスタQ5を経由して、ノード(電圧端子)VDDSAに接続されている。
2つのトランジスタQ1,Q2のゲートは、互いに接続されている。
2つのトランジスタQ3,Q4のゲートは、互いに接続されている。
このように、4つのトランジスタQ1,Q2,Q3,Q4によって、ラッチDLの実質的なデータ保持部としてのフリップフロップFFが形成される。
これによって、トランジスタQ5,Q6に対する互いに独立な制御信号SLL,LLL,ULL,SLI,LLI,ULIによって、フリップフロップFFに対する電圧VDDSAの供給が、制御される。
図7乃至図13を参照して、実施形態のメモリデバイスの動作例(制御方法)について、説明する。以下では、図7乃至図13に加えて、図1乃至図6も適宜用いて、本実施形態のメモリデバイスの動作例について、説明する。
本実施形態において、実施形態のフラッシュメモリのデータの書き込み(書き込みシーケンス)について、説明する。
ベリファイ動作によって、メモリセルMCのしきい値電圧が、書き込むべきデータに対応した値に達しているか否か検証される。
プリチャージが完了したビット線BLに対して、メモリセルMCのしきい値電圧をセンスするための動作(以下では、センス動作とよばれる)が、実行される。
本実施形態において、ロックアウト処理は、ベリファイ動作において、ベリファイせずともよいメモリセルに接続されたビット線BLにグランド電圧Vssを印加する(ビット線をプリチャージしない)動作のことである。例えば、ベリファイ動作中にベリファイ対象から除外されるメモリセル(ロックアウトされるメモリセル)は、Eレベルのメモリセル及びベリファイパスのメモリセルである。
オーバードライブ動作は、ビット線に充電電流を供給するトランジスタのゲートに、ターゲット電圧よりも高い電圧を印加して、高駆動状態でトランジスタを動作させることによって、ビット線を充電する動作である。オーバードライブ動作によって、ビット線の充電が、高速化される。
オーバードライブ動作は、デベロッピング期間中におけるビット線の充電が開始された時刻からセンス動作前のある時刻までのオーバードライブ期間内に実行される。オーバードライブ期間は、オーバードライブ動作が実行されている期間のことをである。
プリセンス動作は、デベロッピング期間(例えば、オーバードライブ期間)中に実行されるビット線の電流値又は電位のセンス動作のことである。
プリセンス動作の後、本実施形態のフラッシュメモリは、ビット線BL毎のプリセンス動作の結果に応じて、制御期間において、オーバードライブ動作の強度又は期間を、ビット線BL毎に制御する(ステップSTP3)。
センス動作の結果として、選択ワード線WLkに接続されたメモリセルのオン/オフに対応した信号が、検知される。
図10乃至図13を参照して、本実施形態のフラッシュメモリの動作例をより具体的に説明する。尚、ここでは、図10乃至図13に加えて、図1乃至図9も適宜用いて、本実施形態のフラッシュメモリの具体例について説明する。
図1のホストデバイス600は、ストレージデバイス500に対して、データの書き込み要求を送信する。
図2のシーケンサ19は、コマンドに基づいて、書き込み動作を開始する。
(a)プログラム動作
シーケンサ19は、図7の書き込みループにおけるプログラム動作を実行するように、フラッシュメモリ1内の各回路を制御する。
図7に示されるように、時刻T1において、センスアンプユニット131は、書き込みセルに接続されたビット線BLに、電圧Vssを印加する。センスアンプユニット131は、書き込み禁止セルに接続されたビット線BLに、0Vより大きい電圧V1を印加する。
一方、書き込み禁止セルに関して、カットオフされたドレイン側セレクトトランジスタST1によって、書き込み禁止セルに対応するビット線は、半導体ピラー75から電気的に分離される。
時刻T2において、ロウ制御回路12は、選択ワード線以外のワード線(非選択ワード線)otherWLに、非選択電圧(書き込みパス電圧)VPASSを印加する。
また、ロウ制御回路12は、非選択ワード線otherWLに対する電圧VPASSの印加と同時に、書き込みパス電圧VPASSを、選択ワード線WLkに印加する。kは、0以上、n−1以下の整数である。
これによって、選択ワード線WLkに接続されたメモリセルMCに関して、書き込みセルのメモリ膜79内に、電子が注入される。メモリセルMCのしきい値電圧の値が、プログラム電圧VPGMの印加前の値から正の電圧値の方向にシフトされる。
一方、書き込み禁止セルのチャネル領域の電位はブーストアップされる。これによって、書き込み禁止セルのメモリ膜79に対する電子の注入は、防止される。
(b)ベリファイ動作
<時刻T4A>
ソース線ドライバ15は、ベリファイ動作時において、ソース線CELSRCに、ある電圧値を有するソース線電圧を印加する。ウェルドライバ16は、ウェル領域CPWELLに、ある電圧値のウェル電圧を印加する。
ロウ制御回路12は、非選択ワード線otherWLsに、非選択電圧(読み出しパス電圧)VREADを、印加する。非選択ワード線otherWLsに接続されたメモリセルは、オンする。
図10を用いて、本実施形態のフラッシュメモリにおけるAレベルのベリファイ時におけるビット線の制御ついて、説明する。
一方、Bレベルセル及びCレベルセルに対応するセンスアンプユニット131に関して、各センスアンプユニット131は、データラッチDL内(及びデータ保持回路14内)の情報に基づいて、Bレベルセル及びCレベルセルに接続されたビット線BL−B,BL−Cに、グランド電圧Vssを印加する。
<時刻T40〜T42>
図10のタイミングチャート(横軸:時間、縦軸:信号レベル/電位)に示されるように、時刻T40(時刻T4A)において、ビット線制御回路300は、制御信号BLSの信号レベルを、グランド電圧(Lレベル)Vssから電圧値VBLSに変える。これによって、トランジスタS1はオンされる。例えば、電圧値VBLSは、7V程度である。
オン状態のトランジスタS1は、ビット線BL−Aを、ノードBLIに接続する。
例えば、電圧値VBLC1は、0.5V+Vtn+α程度である。電圧値VBLX1は、0.75V+Vtn+α程度である。“Vtn”は、n型トランジスタのしきい値電圧を示す。“α”は、オーバードライブ動作のための補正電圧値(以下では、オーバードライブ電圧とよぶ)を示す。例えば、0.5V+Vtn及び0.75V+Vtnが、各トランジスタS2,S3のターゲット電圧に相当する。
ベリファイ対象のメモリセル(ここでは、Aレベルセル)に対応するセンスアンプユニット131に関して、データラッチDL1は、信号INV−Sにおいて、Lレベルの信号を保持している。それゆえ、n型トランジスタS4aはオフされ、p型トランジスタS4bはオンされる。ノードVDDSAが、オン状態のp型トランジスタS4bを介して、ノードSSRCに電気的に接続される。
この場合、ノードSCOMの電位が、トランジスタS3のゲート電圧に応じた電位にクランプされるように、トランジスタS3は、ノードVDDSAに印加されている電圧(例えば、2.5V)を、ノードSCOMに転送する。
この場合、トランジスタS3は、グランド電圧VssをノードSCOMに転送する。この結果として、グランド電圧Vssが印加されたノードSCOMに接続されたビット線BLは、ロックアウト処理される。
<時刻T43>
制御信号HLL,LPCがHレベルからLレベルに遷移された後、時刻T43において、ビット線制御回路300は、制御信号XXLの信号レベルを、グランド電圧Vssから電圧値VXXL1に変える。制御信号XXL1によって、トランジスタS5は、オンされる。これによって、オーバードライブ期間OD中において、プリセンス動作が、開始される。例えば、電圧値XXL1は、1.0V+Vtn+α程度の値を有する。
<時刻T44>
時刻T44において、ビット線制御回路300は、制御信号XXLの信号レベルを、Lレベルに設定する。Lレベルの信号によって、トランジスタS5はオフされ、ノードSENは、ノードSCOMから電気的に分離される。
<時刻T45>
時刻T45において、ビット線制御回路300は、制御信号STBの信号レベルを、LレベルからHレベルに変える。Hレベルの制御信号STBによって、トランジスタS7は、オンされる。
ここで、プリセンス動作の結果に基づいたノードSENの電位に応じて、トランジスタS8は、オン又はオフされる。
オン状態のトランジスタS7,S8によって、バスLBUSは、ノードCLKに電気的に接続される。これによって、電流Ixが、バスLBUSからノードCLKに向かって流れる。この結果として、バスLBUSの電位は、ノードCLKの電位程度に設定される。例えば、ノードCLKの電位がグランド電圧Vssである場合、バスLBUSは放電され、バスLBUSの電位はグランド電圧(Lレベル)Vss程度になる。
オフ状態のトランジスタS8によって、バスLBUSは、ノードCLKから電気的に分離される。この場合、バスLBUSは、充電状態(Hレベル)を維持する。
このように、充電中のビット線BL−Aに対するプリセンス動作の結果が、ノードSENからバスLBUSに、転送される。プリセンス動作の結果に応じて、バスLBUSの電位が、Lレベル及びHレベルのうちいずれか一方に、設定される。この結果として、バスLBUSが、ビット線BL−Aのプリセンス動作の結果を保持する。
<時刻T46>
制御信号STBがLレベルに設定された後、ビット線制御回路300は、ノードVLSAの電位を、グランド電圧Vssより高い電圧VLSA(例えば、2.5V程度)に、昇圧する。
このように、トランジスタS3は、オーバードライブ状態から通常の駆動状態になる。
このように、トランジスタS5は、オーバードライブ状態で駆動される。
トランジスタS1,S2は、時刻T40から時刻T45までの期間において、オン状態が維持されている。この時、トランジスタS2は、オーバードライブ状態で動作する。
ここで、トランジスタS10のゲートは、バスLBUSに接続されている。バスLBUSは、プリセンス動作の結果を、電位として保持している。
それゆえ、バスLBUS内に保持されたプリセンス動作の結果に基づいて、トランジスタS10は、オン又はオフされる。
図12Aは、プリセンス動作の結果に応じてバスLBUSの電位がLレベルである場合(例えば、ビット線の充電速度が速い場合)におけるビット線に対する充電電流の経路を示している。
それゆえ、ロックアウトされたメモリセルに対応するビット線において、そのビット線の電位は、グランド電圧Vss程度に設定される。
図12Bは、プリセンス動作の結果に応じてバスLBUSの電位がHレベルである場合(ビット線の充電速度が遅い場合)におけるビット線に対する充電電流の経路を示している。
時刻T47において、ビット線制御回路300は、制御信号BLCの信号レベルを、電圧値VBLC1から電圧値VBLC2(≧Vtn)に下げる。電圧値VBLC2は、電圧値VBLC1からオーバードライブ電圧αを除外した電圧値である。これによって、トランジスタS2のオーバードライブ状態が、停止される。トランジスタS2は、通常状態で動作する。電圧値VBLC2は、例えば、0.5V+Vtn程度である。
それゆえ、速い充電速度のビット線(例えば、オンセルに接続されたビット線)に対するオーバードライブ動作の実効的な期間は、遅い充電速度のビット線(例えば、オフセルに接続されたビット線)に対するオーバードライブ動作の実効的な期間より短くできる。
<時刻T50〜T53>
デベロップメント期間DVL内において、オーバードライブ期間ODの後、AレベルセルMCに対応するビット線BL−Aの電位が、ある電位V2(例えば、0.5V)に収束する。
デベロップメント期間DVLの経過後、ビット線制御回路300は、期間(以下では、センス期間とよぶ)SSにおいて、センス動作を実行する。
それゆえ、ノードSENは、電位VSENP程度に、充電される。
それゆえ、オン状態のトランジスタS1,S2,S5を介して、ノードSENは、ビット線BL−Aに電気的に接続される。
メモリセルMCがオフしている場合、電流は、ビット線BL−A内にほとんど流れない。この場合、ノードSENの電位は、メモリセルMCがオンしている場合におけるノードSENの電位(ここでは、電圧Vss)より高くなる。
ビット線に対するセンス動作の結果は、ノードSEN内に一時的に保持される。
ベリファイレベルVAVの印加によってメモリセルMCがオンされる場合、メモリセルMCは、ベリファイレベルVAV以下のしきい値電圧を有する。この場合において、メモリセルMCにおけるベリファイの結果は、ベリファイフェイル(書き込み未完了)である。ベリファイフェイルのメモリセルMCにおいて、ノードSENの電位はLレベルであり、バスLBUSの電位はHレベルである。
これによって、トランジスタQ7aはオンされ、バスLBUSがノードLAT−Sに電気的に接続される。
フラッシュメモリのベリファイ動作及び読み出し動作時のビット線の充電時において、メモリセルのしきい値電圧、及び、ビット線の充電及び放電に起因した隣り合うビット線間の相互干渉に応じて、ビット線の充電速度が、ビット線毎に異なる場合がある。
この結果として、本実施形態のフラッシュメモリは、メモリセルのしきい値電圧の判定の信頼性を、向上できる。
多値フラッシュメモリの読み出し動作は、以下のような判定レベル(読み出しレベル)を含む。
Claims (5)
- 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルのゲートに接続されたワード線と、
前記複数のメモリセルの一端に接続された複数のビット線と、
前記複数のメモリセルのしきい値電圧の判定動作を制御する制御回路と、
を具備し、
前記複数のメモリセルのうち第1のデータに関連付けられた第1のメモリセルに対する前記判定動作時において、
第1の期間において、前記複数のビット線のうち前記第1のメモリセルに接続された第1のビット線が、第1の電圧を用いて充電され、
前記第1の期間内において、第1のセンス動作が、前記第1のビット線の電流又は電位をセンスするために、実行され、
第2の期間において、前記第1のセンス動作の結果が第1の結果である場合、前記第1のビット線は、前記第1の電圧を用いて充電され、前記第1のセンス動作の結果が第2の結果である場合、前記第1のビット線は前記第1の電圧より小さい第2の電圧を用いて充電され、
第3の期間内において、第2のセンス動作が、充電が完了された前記第1のビット線の電流又は電位をセンスするために、実行される、
メモリデバイス。 - 前記複数のビット線のそれぞれに接続された複数の第1の回路を、
さらに具備し、
前記複数の第1の回路のそれぞれは、
前記複数のビット線のうち1つに接続された第1の端子と、第1の配線に接続された第2の端子と、第1の制御信号が供給される第1のゲートとを有する第1のトランジスタと、
前記第1の配線に接続された第3の端子と、第2の配線に接続された第4の端子と、第2の制御信号が供給される第2のゲートとを有する第2のトランジスタを含み、
前記第1の期間において、前記第1の制御信号の信号レベルは、第1のレベルに設定され、前記第2の制御信号の信号レベルは、第2のレベルに設定され、
前記第2の期間において、前記第1の制御信号の信号レベルは、前記第1のレベル以上の第3のレベルに設定され、前記第2の制御信号の信号レベルは、前記第2のレベルより小さい第4のレベルに設定される、
請求項1に記載のメモリデバイス。 - 前記複数のビット線のそれぞれに接続された複数の第2の回路を、
さらに具備し、
前記第2の回路のそれぞれは、
前記複数のビット線のうち1つに接続された第3の配線と、
第1の素子を介して、前記第3の配線に接続された第4の配線と、
前記第4の配線に接続されたラッチと、
を含み、
前記第1及び第2のセンス動作の結果に対応する信号は、前記第1の素子を介して、前記第3の配線から前記第4の配線又は前記ラッチに転送され、
前記第1のセンス動作の結果に対応する信号は、前記第4の配線内に、保持され、
前記第2のセンス動作の結果に対応する信号は、前記ラッチ内に、保持される、
請求項1又は2に記載のメモリデバイス。 - 前記複数のメモリセルは、第2のデータに関連付けられた第2のメモリセルを含み、
前記第1のデータに関連付けられた第1の判定レベルが前記ワード線に印加されている期間において、前記第1のビット線は充電され、前記第2のメモリセルに接続された第2のビット線は、グランド電位に設定され、
前記ワード線に前記第2のデータに関連付けられた第2の判定レベルが印加されている期間において、前記第1のビット線は、前記グランド電位に設定され、前記第2のビット線は、充電される、
請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のメモリデバイス。 - 前記第1のセンス動作時において、前記第1の結果を示す前記第1のビット線の充電電流の電流値は、前記第2の結果を示す前記第1のビット線の充電電流の電流値より高い、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のメモリデバイス。
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