JP2012014816A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】メモリセルの閾値電圧分布を狭くした不揮発性半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置のデータ書き込み部は、書き込みループとして、プログラム動作、及び第1のベリファイ動作を順次実行する第1の動作モードと、プログラム動作、第1及び第2のベリファイ動作を順次実行する第2の動作モードとを有し、第1のベリファイ動作では、第1のメモリセルに接続されたビット線及び第1のメモリセルに隣接する第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、第1のメモリセルのデータを検証し、引き続き、第2のベリファイ動作において、第2のメモリセルの書き込みが完了している場合に、第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージすることなく、第1のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、第1のメモリセルのデータを検証する。
【選択図】図4
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置のデータ書き込み部は、書き込みループとして、プログラム動作、及び第1のベリファイ動作を順次実行する第1の動作モードと、プログラム動作、第1及び第2のベリファイ動作を順次実行する第2の動作モードとを有し、第1のベリファイ動作では、第1のメモリセルに接続されたビット線及び第1のメモリセルに隣接する第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、第1のメモリセルのデータを検証し、引き続き、第2のベリファイ動作において、第2のメモリセルの書き込みが完了している場合に、第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージすることなく、第1のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、第1のメモリセルのデータを検証する。
【選択図】図4
Description
実施形態は、不揮発性半導体記憶装置に関する。
電気的書き換えが可能でかつ、高集積化が可能な不揮発性半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリが知られている。NAND型フラッシュメモリでは、複数のメモリセルを隣接するもの同士でソース/ドレイン拡散層を共有する形で直列接続して、NANDストリングを構成する。NANDストリングの両端はそれぞれ、選択ゲートトランジスタを介してビット線及びソース線に接続される。この様なNANDストリングの構成により、NOR型フラッシュメモリに比べて単位セル面積が小さく且つ大容量記憶が可能になる。
NAND型フラッシュメモリのメモリセルは、半導体基板にトンネル絶縁膜を介して形成された電荷蓄積層(浮遊ゲート)とその上にゲート間絶縁膜を介して積層された制御ゲートとを有し、浮遊ゲートの電荷蓄積状態によりデータを不揮発に記憶する。例えば、浮遊ゲートに電子を注入した閾値電圧の高い状態をデータ“0”、浮遊ゲートの電子を放出させた閾値電圧の低い状態をデータ“1”として、2値データの記憶を行う。書き込まれる閾値電圧分布をさらに細分化して、4値、8値等の多値記憶を行うこともできる。
このようなNAND型フラッシュメモリへのデータ書き込みは、通常、電荷蓄積層に電荷を蓄積しデータを記録するプログラム動作と、このプログラム動作によって所望のデータが記録されたかを確認するベリファイ動作からなる。
しかし、近年におけるNAND型フラッシュメモリの微細化に伴い、隣接メモリセル間のカップリングノイズの影響によって、正常なベリファイや、緻密なプログラムが困難となり、メモリセルの閾値電圧分布が広がる傾向にある。これらは、電荷蓄積層がMONOS膜などの絶縁膜で構成されるチャージトラップ型の不揮発性メモリに関しても同様である。
実施形態は、メモリセルの閾値電圧分布を狭くした不揮発性半導体記憶装置を提供することを目的とする。
実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、複数のビット線、前記ビット線に交差する複数のワード線及びソース線、並びに、制御ゲートが前記ワード線に接続された直列接続された複数のメモリセルを含み、両端がそれぞれ前記ビット線及びソース線に接続された複数のNANDストリングを有するメモリセルアレイと、一の前記ワード線に接続された複数の前記メモリセルからなるページ単位でデータを書き込む書き込みループを繰り返し実行するデータ書き込み部とを備え、前記データ書き込み部は、前記書き込みループとして、前記メモリセルにデータを記録するプログラム動作、及び前記メモリセルにデータが記録されたことを検証する第1のベリファイ動作を順次実行する第1の動作モードと、前記プログラム動作、前記第1のベリファイ動作、及び前記メモリセルにデータが記録されたことを検証する第2のベリファイ動作を順次実行する第2の動作モードとを有し、前記第1のベリファイ動作において、前記メモリセルのうち所定の第1のメモリセルに接続されたビット線及び前記第1のメモリセルと同一のページに属し且つ前記第1のメモリセルに隣接する第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、前記第1のメモリセルに接続されたビット線に流れる電流を検知して前記第1のメモリセルのデータを検証し、引き続き、前記第2のベリファイ動作において、前記第2のメモリセルの書き込みが完了している場合に、前記第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージすることなく、前記第1のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、前記第1のメモリセルに接続されたビット線に流れる電流を検知して前記第1のメモリセルのデータを検証することを特徴とする。
以下、図面を参照しながら実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。
[第1の実施形態]
<全体構成>
先ず、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の全体構成について説明する。
<全体構成>
先ず、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の全体構成について説明する。
図1は、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のブロック図である。
このNAND型フラッシュメモリは、NANDチップ10、このNANDチップ10を制御するコントローラ11及び書き込み動作に必要な各種情報を記憶するROMヒューズ12を備えて構成されている。
NANDチップ10を構成するメモリセルアレイ1は、後述するように、複数の浮遊ゲート型メモリセルMCをマトリクス配列して構成される。ロウデコーダ/ワード線ドライバ2a、カラムデコーダ2b、ページバッファ3及び電圧発生回路8は、メモリセルアレイ1に対してページ単位でデータの書き込み及び読み出しを行うデータ書き込み部を構成する。ロウデコーダ/ワード線ドライバ2aは、メモリセルアレイ1のワード線及び選択ゲート線を駆動する。ページバッファ3は、1ページ分のセンスアンプ回路とデータ保持回路を備えて、メモリセルアレイ1のページ単位の読み出し及び書き込みを行う。
ページバッファ3の1ページ分の読み出しデータは、カラムデコーダ2bにより順次カラム選択されて、I/Oバッファ9を介して外部I/O端子に出力される。I/O端子から供給される書き込みデータは、カラムデコーダ2bにより選択されてページバッファ3にロードされる。ページバッファ3には1ページ分の書き込みデータがロードされる。ロウ及びカラムアドレス信号はI/Oバッファ9を介して入力され、それぞれ、ロウデコーダ2a及びカラムデコーダ2bに転送される。ロウアドレスレジスタ5aは、消去動作では、消去ブロックアドレスを保持し、書き込みや読み出し動作ではページアドレスを保持する。カラムアドレスレジスタ5bには、書き込み動作開始前の書き込みデータロードのための先頭カラムアドレスや、読み出し動作のための先頭カラムアドレスが入力される。書き込みイネーブル/WEや読み出しイネーブル/REが、所定の条件でトグルされるまで、カラムアドレスレジスタ5bは入力されたカラムアドレスを保持する。
ロジック制御回路6は、チップイネーブル信号/CE、コマンドイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、書き込みイネーブル信号/WE、読み出しイネーブル信号/RE等の制御信号に基づいて、コマンドやアドレスの入力、データの入出力を制御する。読み出し動作や書き込み動作はコマンドで実行される。コマンドを受けて、シーケンス制御回路7は、読み出し動作や、書き込み或いは消去のシーケンス制御を行う。電圧発生回路8は、制御回路7により制御されて、種々の動作に必要な所定の電圧を発生する。
コントローラ11は、NANDチップ10の現在の書込状態に適した条件でデータの書き込み及び読み出しの制御を実行する。なお、後述する読み出し制御の一部をNANDチップ10側で行うようにしても良いことは言うまでもない。
<メモリセルアレイ>
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリセルアレイ1について説明する。
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置のメモリセルアレイ1について説明する。
図2は、メモリセルアレイ1の回路図である。図2の場合、64個の直列接続されたメモリセルMC0〜MC63とその両端に接続された選択ゲートトランジスタS1、S2により、NANDストリング4が構成されている。選択ゲートトランジスタS1のソースは、共通ソース線CELSRCに接続され、選択ゲートトランジスタS2のドレインはビット線BL(BL0〜BLn−1)に接続される。メモリセルMC0〜MC63の制御ゲートはそれぞれワード線WL(WL0〜WL63)に接続され、選択ゲートトランジスタS1、S2のゲートは、選択ゲート線SGS、SGDに接続される。
1つのワード線WLに沿う複数のメモリセルMCの範囲が、一括したデータの読み出し及び書き込みの単位となるページになる。また、ワード線WL方向に並ぶ複数のNANDストリング4の範囲が、データの一括消去の単位となるブロックBLKを構成する。図2では、ビット線BL方向にビット線BLを共有する複数のブロックBLK0〜BLKm−1を配列して、セルアレイ1が構成されている。ワード線WL及び選択ゲート線SGS、SGDは、ロウデコーダ2aにより駆動される。各ビット線BLは、ページバッファ3のセンスアンプ回路S/Aに接続されている。
ここで、このようなNAND型フラッシュメモリのアクセス単位である「ページ」について説明する。以下の説明において、「ページ」とは、異なる2つの意味を有するので注意を要する。
第1は、1つのワード線に沿う一括したデータアクセス単位としての「ページ」であり、本実施形態の場合、ワード線につながる全メモリセルを一括アクセスするABL方式を採用している。
第2は、1つのメモリセルに複数ビットを記憶する場合の記憶データの階層を示す「ページ」で、この場合、L(Lower)ページ、M(Middle)ページ、U(Upper)ページ等と呼ぶ。
<書き込み動作>
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の書き込み動作について説明する。
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の書き込み動作について説明する。
図3は、1セル当たり2ビットを記憶する場合の書き込み動作時のメモリセルの閾値電圧分布の変化を示す図である。
始めに、ステップS101において、ブロック全体に対して一括にデータの消去を実行する。これによって、ブロック内の全てのメモリセルMCの閾値電圧は、最も低いERレベルになる。
続いて、ステップS102において、Lページ書き込みを書き込みデータの下位ビットに基づいて実行する。下位ビットが“1”の場合、メモリセルの閾値電圧はERレベルに維持される。下位ビットが“0”の場合、メモリセルの閾値電圧はERレベルからAレベルとBレベルとの中間レベルであり電圧Vlmよりも高いLMレベルに遷移する。
最後に、ステップS103において、Uページ書き込みを書き込みデータの上位ビットに基づいて実行する。もし、メモリセルの閾値電圧がERレベルならば、上位データが“1”の場合、メモリセルの閾値電圧はERレベルのまま維持する。逆に、上位ビットが“0”の場合、メモリセルの閾値電圧は電圧Va(Va<Vlm)よりも高いAレベルに遷移する。一方、メモリセルの閾値電圧がLMレベルならば、上位ビットが“0”の場合、メモリセルの閾値電圧は電圧Vb(Va<Vb)よりも高いBレベルに遷移する。逆に、上位ビットが“1”の場合、メモリセルの閾値電圧は電圧Vc(Vb<Vc)よりも高いCレベルまで遷移する。
以上のように、メモリセルに対する2ビットデータの書き込みは、Lページ書き込み及びUページ書き込みの2つの書き込みステップによって実現される。各書き込みステップでは、メモリセルにデータを記録するプログラム動作と、メモリセルにデータが記録されたことを確認するベリファイ動作とからなる複数の書き込みループを繰り返し実行する。
次に、本実施形態の書き込みループについて説明するが、その理解を助けるために、参考例を示し、その問題点について説明する。以下において、データを書き込むページ内の所定のメモリセルを「着目セル」、この着目セルと同一ページに属し且つ着目セルに隣接するメモリセルを「隣接セル」と呼ぶ。
図18は、参考例に係る半導体記憶装置における書き込み動作時のメモリセルの電圧印加関係について説明した図である。この図18は、メモリセルのワード線WL方向の断面図になっている。また、データの書き込みは、所定のk−1回目の書き込みループまで進んでおり、着目セル(図18に示す“Victim”)、隣接セル(図18に示す“Aggress”)共に、まだデータは書き込まれていないものとする。
先ず、図18に示すフローを簡単に説明する。
始めに、ステップS001では、k回目の書き込みループのプログラム動作が実行される。これによって、2つの隣接セルはデータの書き込みが完了したものとする。一方、着目セルはデータの書き込みが未完了ながら完了間近になったものとする。
続いて、ステップS002では、k回目の書き込みループのベリファイ動作が実行される。このベリファイ動作は、予めビット線BLをプリチャージした上で実行される。これによって、データの書き込みが完了している2つの隣接セルはベリファイパスする。一方、データの書き込みが完了していない着目セルはベリファイパスしない。
続いて、ステップS003では、k+1回目の書き込みループのプログラム動作が実行される。ここでは、ステップS002でベリファイパスした2つの隣接セルに対するプログラムは禁止される。
続いて、ステップS004では、k+1回目の書き込みループのベリファイ動作が実行される。ここでは、ステップS002で既にベリファイパスしている2つの隣接セルに接続されたビット線BLにはベリファイ動作による消費電流削減のためプリチャージされない(以下において、この動作を「プリチャージセレクト」と呼ぶ)。
以上の書き込み動作によれば、以下のような2つの問題が生じ得る。
第1の問題として、書込み動作時における着目セルの浮遊ゲートと隣接セルのチャネル領域とのカップリングノイズによる書き込み加速が挙げられる。
第1の問題として、書込み動作時における着目セルの浮遊ゲートと隣接セルのチャネル領域とのカップリングノイズによる書き込み加速が挙げられる。
この書き込み加速が特に顕著になるのは、同一の書き込みループにおいて、着目セルが書き込み完了間近であり、且つ、その両側又は片側の隣接セルが書き込み完了した場合である。
図18のステップS001とステップS003とを比較すると、ステップS001の場合、着目セルのチャネル電圧Vchvと隣接セルのチャネル電位Vcha、Vcha´とは例えば0V程度の低い電圧になっている。一方、ステップS003の場合、隣接セルはプログラム禁止の状態になっているため、チャネル電圧Vcha、Vcha´は例えば8V程度の高い電圧になっており、着目セルのチャネル電圧Vchvは例えば0Vの低い電圧になっている。このように、ステップS003の場合、ステップS001の場合よりも隣接セルのチャネル電圧Vcha、Vcha´が高くなる。
近年、NAND型フラッシュメモリは大容量化を低コストで実現するために微細化が進んでいるが、微細化する際に、ワード線の幅、隣接ワード線間のスペース、ビット線の幅、隣接ビット線間のスペースは、それぞれ縮小される。しかし、メモリセル特性の信頼性を維持するには、ゲート絶縁膜の膜厚の薄膜化が非常に困難であり、浮遊ゲートからみた総容量に対して、ゲート容量(浮遊ゲート及びチャネル領域との容量)の占める割合が非常に小さくなってきている。そのため、浮遊状態にある浮遊ゲートの電圧は、隣接セルの各ノードの電圧変動が生じると、その影響で大きく変動してしまう傾向にある。
ステップS003の場合、隣接セルのチャネル電圧Vcha、Vcha´がステップS001の場合と比較して高くなることで、着目セルの浮遊ゲートFGの電圧がプログラム動作時に高くなり、着目セルの書き込みが加速される。その結果、着目セルの閾値電圧が想定以上に上昇してしまい、着目セルの閾値電圧分布が広くなってしまう。
第2の問題として、ベリファイ動作における着目セルの浮遊ゲートと隣接セルのチャネル領域とのカップリングノイズによるセル間干渉が挙げられる。
このセル間干渉が特に顕著になるのは、同一の書き込みループにおいて、着目セルが書き込み完了間近であり、且つ、その両側又は片側の隣接セルが書き込み完了した場合である。
図18のステップS002とステップS004とを比較すると、ステップS002の場合、着目セルはステップS001で書込み完了しているためベリファイ動作ではほとんど電流を流さない。したがって、隣接セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vcha、Vcha´は、ビット線BLのプリチャージ電圧に近い高い電圧になる。一方、着目セルはまだ書き込みが完了していないため、着目セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vchvはセルソース及びPウエルの電圧Vsrcに近い低い電圧になる。
ステップS004の場合、ステップS003において、隣接セルが書き込み完了しているため、プリチャージセレクトによって、隣接セルのビット線BLには、セルソース及びPウエルの電圧Vsrcが印加され、隣接セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vcha、Vcha´は、電圧Vsrcに近い低い電圧になる。一方、着目セルはまだ書き込みが完了していないため、着目セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vchvは、ステップS001と同様にセルソース及びPウエルの電圧Vsrcに近い低い電圧になる。その結果、ステップS004の隣接セルの少なくともドレイン電圧(隣接セルの閾値電圧によってはチャネル電圧Vcha、Vcha´も含む)は、ステップS002と比較して低くなり、隣接セルのドレインと着目セルの浮遊ゲートとのカップリングノイズで、着目セルの浮遊ゲートの電圧が低くなる。その結果、着目セルの閾値電圧は実質的に高くなり、書き込みが進んだように見えてしまう。
以上説明した第1の問題によって、プログラム動作時の着目セルは隣接セルからセル間干渉を受ける。更に、プリチャージセレクトを行っている場合には第2の問題によって、ベリファイ動作時の着目セルが隣接セルからセル間干渉を受けて閾値電圧が高く見えてしまう。その結果、メモリセルの閾値電圧分布は広くなってしまう。
そこで、本実施形態では、一部の書き込みループにおいて、2回のベリファイ動作を実行する。その時のメモリセルの電圧印加関係について説明したのが図4となる。
図4に示す書き込みループは、図18のステップS001、S002、S003に相当するステップS151、S152、S153の3つのステップからなる。
つまり、ステップS151に示すプログラム動作では、ワード線WLにプログラム電圧Vpgmが印加されると共に、着目セルのチャネル電圧Vchv及び隣接セルのチャネル電圧Vcha、Vcha´として、例えば、0Vの低い電圧が印加される。なお、第5の実施形態において説明する書き込み速度調整機能を使用する場合、着目セルのチャネル電圧Vchvが1V程度になる場合もある。
続いて、ステップS152に示す1回目のベリファイ動作(第1のベリファイ動作)では、ワード線WLにベリファイ電圧が印加される。この場合、データが書き込まれている隣接セルはほとんど電流を流さないため、隣接セルのチャネル電圧Vcha、Vcha´は、ビット線BLのプリチャージ電圧に近い高い電圧になる。一方、データの書き込みが完了間近の着目セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vchvは、セルソース及びPウエルの電圧Vsrcに近い低い電圧になる。なお、電圧Vsrcは、0Vである場合や1Vである場合等、動作方式によって異なる。
最後に、ステップS153に示す2回目のベリファイ動作(第2のベリファイ動作)では、隣接セルに対しプリチャージセレクトした上で着目セルをベリファイする。その結果、隣接セルのドレイン電圧及びチャネル電圧Vcha、Vcha´は低くなるため、着目セルの閾値電圧が1回目のベリファイ動作よりも高く見える。
このような書き込みループによって、着目セルが書き込み完了間近の場合、1回目のベリファイ動作でベリファイパスしなかった場合でも、2回目のベリファイ動作でベリファイパスすることができる。その結果、以降の書き込みループのプログラム動作時に、着目セルに対するプログラムを禁止できる。そのため、前述の第1の問題である着目セルの書き込み加速を回避でき、着目セルの閾値電圧分布を狭くすることができる。
但し、全ての書き込みループで2回のベリファイ動作を実行することは、書き込み処理の遅延を招くため、一部の書き込みループで実行することが望ましい。具体的には、データの書き込みが完了するメモリセル数がピークに達する書き込みループの前後において2回のベリファイ動作を実行するようにする。
なお、図5〜図9、図12〜図17では、プログラム動作後に1回のみベリファイ動作をする第1の動作モードで実行される書き込みループを“p_v1”、プログラム動作後に2回のベリファイ動作をする第2の動作モードで実行される書き込みループを“p_v12”で表わしている。
次に、書き込みが完了するメモリセル数と書き込みループとの関係について説明する。
図5は、1セル当たり2ビットを記憶するメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置に関する例である。1ページのデータ書き込みは、N回の書き込みループで完了するものとし、Aレベルに遷移させるべきメモリセルMC(A)の多くは、Na〜Na´回目の書き込みループでAレベルに遷移するものとする。同様に、Bレベルに遷移させるべきメモリセルMC(B)の多くは、Nb〜Nb´回目の書き込みループでBレベルに遷移し、Cレベルに遷移させるべきメモリセルMC(C)の多くは、Nc〜Nc´回目の書き込みループでCレベルに遷移するものとする。なお、書き込みループの回数は、1<Na<Na´<Nb<Nb´<Nc<Nc´<Nの関係になっている。
始めに、1〜Na−1回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(1)〜(Na−1)によって、メモリセルMC(A)がAレベルに遷移し得る。しかし、その数は多くないため、プログラム動作の後、1回のベリファイ動作のみ実行する。1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(1)〜(Na−1)は、Aレベルのベリファイ電圧Va、Bレベルのベリファイ電圧Vb、Cレベルのベリファイ電圧Vcと次第に上昇する階段状の波形となる。なお、以降の書き込みループの1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(N)は、このベリファイパルスPv1(1)と同じ波形となる。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(Na)〜(Na´)によって、メモリセルMC(A)の多くがAレベルに遷移する。したがって、ここでは、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。これによって、メモリセルMC(A)の閾値電圧分布を狭くすることができる。2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)と同じである。このように1回目と2回目のベリファイ動作で同じベリファイパルスを用いることで制御回路等を簡素化することができる。以降の書き込みループの2回目のベリファイ動作に用いるベリファイパルスPv2についても1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1と同じである。なお、2回目のベリファイ動作は、上述の通り、隣接セルに対しプリチャージセレクトする。
続いて、Na´+1〜Nb−1回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPv(Na´+1)〜(Nb−1)によって、メモリセルMC(A)、MC(B)がそれぞれA、Bレベルに遷移し得る。しかし、その数は多くないため、プログラム動作の後、1回のベリファイ動作のみ実行する。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(Nb)〜(Nb´)によって、多くのメモリセルMC(B)がBレベルに遷移する。したがって、ここでは、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。その結果、メモリセルMC(B)の閾値電圧分布を狭くすることができる。
続いて、Nb´+1〜Nc−1回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(Nb´+1)〜(Nc−1)によって、メモリセルMC(B)、MC(C)がそれぞれB、Cレベルに遷移し得る。しかし、その数は多くないため、プログラム動作の後、1回のベリファイ動作のみ実行する。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(Nc)〜(Nc´)によって、多くのメモリセルMC(C)がCレベルに遷移する。したがって、ここでは、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。その結果、メモリセルMC(C)の閾値電圧分布を狭くすることができる。
最後に、Nc´+1〜N回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nc´+1)〜(N)によって、メモリセルMC(C)がCレベルに遷移し得る。しかし、その数は多くないため、プログラム動作の後、1回のベリファイ動作のみ実行する。
このように、本実施形態における書き込み動作は、1又は2以上の連続する書き込みループを第1の動作モードで実行する第1の動作モード期間(図5の場合、1〜Na−1回目の書き込みループの期間など)と、1又は2以上の連続する書き込みループを第2の動作モードで実行する第2の動作モード期間(図5の場合、Na〜Na´回目の書き込みループの期間など)とが、交互に繰り返し実行される。なお、第2の動作モード期間は、1セル当たりN値(Nは2以上の整数)を記憶するメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置の場合、1回からN−1回の範囲で現れる。
以上、本実施形態によれば、上述の書き込みループによって、着目セルが書き込み完了間近の場合、1回目のベリファイ動作でベリファイパスしなかった場合でも、2回目のベリファイ動作でベリファイパスすることができる。その結果、以降の書き込みループのプログラム動作時に、着目セルに対するプログラムを禁止でき、着目セルの閾値電圧分布を狭くすることができる。
[第2の実施形態]
第2の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図6を参照しながら説明する。
第2の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図6を参照しながら説明する。
始めの1〜Na−1回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、B、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Aレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Vaの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)を用いる。このようにB、Cレベルに対するベリファイを省略することで2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続くNa´+1〜Nb−1回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
続くNa´+1〜Nb−1回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Bレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Bレベルのベリファイ電圧Vbの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)を用いる。
続いくNb´+1〜Nc−1回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Cレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Cレベルのベリファイ電圧Vcの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)を用いる。
最後のNc´+1〜N回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の他の例を図7を参照しながら説明する。図7は、メモリセルMC(A)の多くがAレベルに遷移する書き込みループ数、メモリセルMC(B)の多くがBレベルに遷移する書き込みループ数の範囲が重畳している場合の例である。ここでは、書き込みループの回数は、1<Na<Nb<Na´<Nb´<Nc<Nc´<Nの関係になっている。
初めの1〜Na−1回目の書き込みループについては、図6の例と同様であるため省略する。
続くNa〜Nb−1回目の書き込みループについても、図6の例のNa〜Na´回目の書き込みループと同様であるため省略する。
続いて、Nb〜Na´回目の書き込みループでは、プログラム動作時に印加するプログラムパルスPp(Nb)〜(Na´)によって、多くのメモリセルMC(A)、(B)がそれぞれA、Bレベルに遷移する。したがって、ここでは、A、Bレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Va、Bレベルのベリファイ電圧Vbと次第に上昇する階段状の波形となる。
続くNa´+1〜Nb´回目の書き込みループについては、図5の例のNb〜Nb´回目の書き込みループと同様であるため省略する。
以降のNb´+1〜N回目の書き込みループについては、図5の例と同様であるため省略する。
なお、図7の例の場合、Na〜Nb´回目の書き込みループの期間及びNc〜Nc´回目の書き込みループの期間の2回の第2動作モード期間が現れることになる。
以上、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第1の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[第3の実施形態]
第3の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に余計なベリファイを省略するベリファイスキップ機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
第3の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に余計なベリファイを省略するベリファイスキップ機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
図8は、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の動作例であり、書き込みが完了するメモリセル数と書き込みループ及びワード線電圧との関係を示す図である。なお、書き込みループの回数は、1<Na<Nb<Na´<Nb´<Nc<Nc´<Nの関係になっている。
始めに、1〜Na−1回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(1)によって、メモリセルMC(A)はAレベルに遷移し得るものの、B、Cレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、Aレベルのみを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Vaの高さを持つ台形状のベリファイパルスPv1(1)〜(Na−1)を用いる。このようにB、Cレベルに対するベリファイを省略することで1回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Na)〜(Na´)によって、メモリセルMC(A)はA、Bレベルに遷移し得るものの、Cレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、A、Bレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Va、Bレベルのベリファイ電圧Vbと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)と同じである。このように1回目と2回目のベリファイ動作で同じベリファイパルスを用いることで制御回路等を簡素化することができる。
続いて、Na´+1〜Nb−1回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。なお、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPv1(Na´+1)〜(Nb−1)によって、メモリセルMCはA、Bレベルに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作では、ベリファイパルスPv1(Na)と同じベリファイパルスPv1(Na´+1)+(Nb−1)を用いる。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nb)〜(Nb´)によって、メモリセルMC(A)はA、B、Cに遷移し得る。そこで、1回目のベリファイ動作は、A、B、Cの全てのレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Va、Bレベルのベリファイ電圧Vb、Cレベルのベリファイ動作と次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(Nb)〜(Nb´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Nb)〜(Nb´)と同じである。
続いて、Nb´+1〜Nc−1回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nb´+1)〜(Nc−1)によって、メモリセルMCは、B、Cレベルに遷移し得るものの、Aレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、B、Cレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Bレベルのベリファイ電圧Vb、Cレベルのベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nb´+1)〜(Nc−1)を用いる。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nc)〜(Nc´)によって、メモリセルMC(A)はB、Cに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作ではベリファイパルスPv1(Nb´+1)と同じベリファイパルスPv1(Nc)〜(Nc´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Nc)〜(Nc´)と同じである。
最後に、Nc´+1〜N回目の書き込みループでは、図5の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。なお、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPv1(Nc´+1)〜(N)によって、メモリセルMCはCレベルに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作では、ベリファイパルスPv1(Na)と同じベリファイパルスPv1(Nc´+1)+(N)を用いる。
以上、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、第2の実施形態よりも1回目及び2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第1の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[第4の実施形態]
第4の実施形態は、第3の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図9を参照しながら説明する。
第4の実施形態は、第3の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図9を参照しながら説明する。
始めの1〜Na−1回目の書き込みループについては、図8の例と同様であるため省略する。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図8の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Aレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Aレベルのベリファイ電圧Vaの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)を用いる。このようにBレベルに対するベリファイを省略することで2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続くNa´+1〜Nb−1回目の書き込みループについては、図8の例と同様であるため省略する。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図8の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Bレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Bレベルのベリファイ電圧Vbの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)を用いる。
続いくNb´+1〜Nc−1回目の書き込みループについては、図8の例と同様であるため省略する。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図8の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Cレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Cレベルのベリファイ電圧Vcの高さを持つ台形上のベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)を用いる。
最後のNc´+1〜N回目の書き込みループについては、図8の例と同様であるため省略する。
以上、本実施形態によれば、第3の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、第3の実施形態よりも2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第3の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[第5の実施形態]
第5の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に対し、以下に示す書き込み速度調整機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
第5の実施形態は、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に対し、以下に示す書き込み速度調整機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
<書き込み速度調整機能>
先ず、書き込み速度調整機能の概要について説明する。
先ず、書き込み速度調整機能の概要について説明する。
書き込み速度調整機能は、ベリファイ動作によって書き込み完了間近のメモリセルを検知し、以降のプログラム動作の際、書き込み完了間近のメモリセルに対する書き込み速度を低減させる機能である。これによって、メモリセルの閾値電圧分布の広がりを抑制することができる。
図10は、書き込み速度調整機能のフローチャートである。
始めに、ステップS501において、ブロック単位のデータ消去を実行する。これによって、ページ内のメモリセルMCは全てERレベルに遷移する。
続いて、ステップS502において、Lページ書き込みを実行する。これによって、メモリセルMC(B)、(C)は、図3に示すように、LMレベルに遷移する。なお、メモリセルMC(A)は、ERレベルのままである。
続いて、ステップS503において、選択ワード線WLに供給するプログラム電圧Vpgmと、選択ビット線BLに供給する選択ビット線電圧Vsblを初期化する。ここで、選択ビット線電圧Vsblは、例えば、0Vである。
続くステップS504〜S511は、Uページ書き込みとなる。
ステップS504において、プログラム動作を実行する。プログラム動作は、選択ビット線BLに選択ビット線電圧Vsblを供給した状態で、選択ワード線WLにプログラム電圧Vpgmを供給する。これによって、ページ内のメモリセルMCの閾値電圧Vthは正方向に遷移する。
続いて、ステップS505において、メモリセルMCの閾値電圧Vthが電圧Vα´に達したかをベリファイする。この電圧Vα´は、遷移させるべき所望の電圧Vαよりも少しだけ小さい電圧である(以下、「予備ベリファイ電圧」と呼ぶこともある)。例えば、図3の場合、メモリセルMC(A)に対しては、電圧Va(0.4V)よりも0.2Vだけ低い電圧Va´(0.2V)となる。
続いて、ステップS506において、メモリセルMCの閾値電圧Vthが電圧Vαに達したかをベリファイする。メモリセルMC(A)の場合、電圧Vaとなる。
続いて、ステップS507〜S509において、ステップS505、S506の結果に基づいて、次の書き込みループのプログラム動作で用いる選択ビット線電圧Vsblを調整する。メモリセルMCの閾値電圧Vthが電圧Vαよりも大きい場合、もうプログラム動作は必要ないため、選択ビット線電圧Vsblをプログラム禁止電圧(例えば、電源電圧Vdd)に調整する。メモリセルMCの閾値電圧Vthが電圧Vα´より大きく且つ電圧Vα以下の場合、メモリセルMCは書き込み完了間近であるため、選択ビット線電圧Vsblを所定の電圧ΔVsblだけ上昇させる。これによって、次の書き込みループのプログラム動作では、プログラム電圧Vpgmが実質的に電圧ΔVsblだけ低下するため、書き込み速度が低減することになる。メモリセルMCの閾値電圧Vthが電圧Vα´以下の場合、メモリセルMCはまだ書き込み完了間近ではないため、引き続き通常通りのプログラム動作が必要である。そのため、特に選択ビット線電圧Vsblは調整しない。
続いて、ステップS510において、ページ内の全てのメモリセルMCのUページ書き込みが完了したかを判定し、完了している場合、書き込みを終了する。一方、完了していない場合、プログラム電圧Vpgmを所定の電圧ΔVpgmだけ上昇させた後(ステップS511)、再びステップS504に戻り書き込みループを繰り返す。
図11は、図10に示す書き込み速度調整を伴うUページ書き込みにおける、選択ワード線WLの電圧及びメモリセルMCの閾値電圧Vthと選択ビット線BLの電圧との関係を示す図である。図11は、ページ内のある2つのメモリセルMC(A)及びメモリセルMC(C)について例示している。また、メモリセルMC(A)に接続された選択ビット線をBL(A)、メモリセルMC(C)に接続された選択ビット線をBL(C)で表わしている。なお、Lページ書き込み完了時点において、メモリセルMC(A)はERレベル、メモリセルMC(C)はLMレベルに遷移している。
選択ワード線WLに印加されるプログラム電圧は書き込みループが繰り返される毎に上昇していく。それに伴い、メモリセルMC(A)、MC(C)の閾値電圧Vthも正方向に遷移していく。
7回目の書き込みループ終了時点では、メモリセルMC(A)、MC(C)の閾値電圧Vthは共に電圧Va´、Vc´に到達していない。
8回目の書き込みループで、メモリセルMC(A)の閾値電圧Vthが初めて電圧Va´を超える。そのため、9回目以降の書き込みループのプログラム動作では、選択ビット線BL(A)に供給される選択ビット線電圧Vsblが所定の電圧ΔVsblずつ上昇し、それに伴ってメモリセルMC(A)の書き込み速度が低減する。その結果、9回目以降の書き込みループのプログラム動作によって、メモリセルMC(A)の閾値電圧Vthが電圧Vaを過度に超える事態を回避することができる。
11回目の書き込みループで、メモリセルMC(A)の閾値電圧Vthが初めて電圧Vaを超える。ここで、書き込みが完了したことになるため、12回目以降の書き込みループでは、選択ビット線BL(A)にはプログラム禁止電圧Vddが供給され、メモリセルMC(A)に対するプログラム動作が禁止される。
12回目の書き込みループで、メモリセルMC(C)の閾値電圧Vthが初めて電圧Vc´を超える。そのため、13回目以降の書き込みループのプログラム動作では、選択ビット線BL(C)に供給される選択ビット線電圧Vsblは所定の電圧ΔVsblずつ上昇し、それに伴ってメモリセルMC(C)の書き込み速度が低減する。その結果、メモリセルMC(C)の閾値電圧Vthが電圧Vcを過度に超える事態を回避することができる。
以上、書き込み速度調整機能を用いた場合、書き込み完了間近のメモリセルに対しては、書き込み速度を低減した緻密なプログラム動作が実行されるため、メモリセルの閾値電圧分布を狭くすることができる。
<書き込み動作>
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の書き込み動作について図12を参照しながら説明する。図12は、書き込みが完了するメモリセル数と書き込みループ及びワード線電圧との関係の一例を示す図である。
次に、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の書き込み動作について図12を参照しながら説明する。図12は、書き込みが完了するメモリセル数と書き込みループ及びワード線電圧との関係の一例を示す図である。
始めに、1〜Na−1回目の書き込みループでは、図5に示す例と同様、プログラム動作の後、1回のベリファイ動作を実行する。但し、書き込み速度調整機能を用いている関係上、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(1)〜(Na−1)は、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Va、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vb、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vc(Va´<Va<Vb´<Vb<Vc´<Vc)と順次上昇する階段状の波形となる。以降の書き込みループの第1のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(N)は、このベリファイパルスPv1(1)と同じである。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図5に示す例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)と同じである。このように1回目と2回目のベリファイ動作で同じベリファイパルスを用いることで制御回路等を簡素化することができる。以降の書き込みループの2回目のベリファイ動作にも用いるベリファイパルスPv2についても1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1と同じである。
以降のNa+1〜N回目の書き込みループについては、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1及び2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2が異なる点を除いて、図5の例と同様であるため省略する。
以上、本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を有するばかりでなく、書き込み速度調整機能によって、第1の実施形態よりもメモリセルの閾値分布を更に狭くすることができる。
[第6の実施形態]
第6の実施形態は、第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作を変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図13を参照しながら説明する。
第6の実施形態は、第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作を変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図13を参照しながら説明する。
始めの1〜Na−1回目の書き込みループについては、図12の例と同様であるため省略する。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、B、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Aレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Vaと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)を用いる。このようにB、Cレベルに対するベリファイを省略することで2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続くNa´+1〜Nb−1回目の書き込みループについては、図12の例と同様であるため省略する。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Bレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vbと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)を用いる。
続いくNb´+1〜Nc−1回目の書き込みループについては、図12と同様であるため省略する。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Cレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)を用いる。
最後のNc´+1〜N回目の書き込みループについては、図12の例と同様であるため省略する。
以上、本実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、第5の実施形態よりも2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第5の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[第7の実施形態]
第7の実施形態は、第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に余計なベリファイを省略するベリファイスキップ機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
第7の実施形態は、第5の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置に余計なベリファイを省略するベリファイスキップ機能を適用した不揮発性半導体記憶装置である。
図14は、本実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の動作例であり、書き込みが完了するメモリセル数と書き込みループ及びワード線電圧との関係を示す図である。
始めに、1〜Na−1回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(1)によって、メモリセルMC(A)はAレベルに遷移し得るものの、B、Cレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、Aレベルのみを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Vaと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(1)〜(Na−1)を用いる。このようにB、Cレベルに対するベリファイを省略することで1回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Na)〜(Na´)によって、メモリセルMCはA、Bレベルに遷移し得るものの、Cレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、A、Bレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Va、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vbと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Na)〜(Na´)と同じである。このように1回目と2回目のベリファイ動作で同じベリファイパルスを用いることで制御回路等を簡素化することができる。
続いて、Na´+1〜Nb−1回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。なお、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPv1(Na´+1)〜(Nb−1)によって、メモリセルMCはA、Bレベルに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作では、ベリファイパルスPv1(Na)と同じベリファイパルスPv1(Na´+1)+(Nb−1)を用いる。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nb)〜(Nb´)によって、メモリセルMC(A)はA、B、Cに遷移し得る。そこで、1回目のベリファイ動作は、A、B、Cの全てのレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Va、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vb、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(Nb)〜(Nb´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Nb)〜(Nb´)と同じである。
続いて、Nb´+1〜Nc−1回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nb´+1)〜(Nc−1)によって、メモリセルMCは、B、Cレベルに遷移し得るものの、Aレベルには遷移し得ない。そこで、1回目のベリファイ動作は、B、Cレベルを対象として実行する。そのため、1回目のベリファイ動作では、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vb、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nb´+1)〜(Nc−1)を用いる。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、2回のベリファイ動作を実行する。但し、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPp(Nc)〜(Nc´)によって、メモリセルMC(A)はB、Cに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作ではベリファイパルスPv1(Nb´+1)と同じベリファイパルスPv1(Nc)〜(Nc´)を用いる。なお、2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)は、1回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスPv1(Nc)〜(Nc´)と同じである。
最後に、Nc´+1〜N回目の書き込みループでは、図12の例と同様、プログラム動作の後、1回のみベリファイ動作を実行する。なお、プログラム動作時に印加されるプログラムパルスPv1(Nc´+1)〜(N)によって、メモリセルMCはCレベルに遷移し得ることから、1回目のベリファイ動作では、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv1(Nc´+1)〜(N)を用いる。
以上、本実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、第5の実施形態よりも1回目及び2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第5の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[第8の実施形態]
第8の実施形態は、第7の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図15を参照しながら説明する。
第8の実施形態は、第7の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の2回目のベリファイ動作で用いるベリファイパルスを変更した不揮発性半導体記憶装置である。以下、この変更点を中心に図15を参照しながら説明する。
始めの1〜Na−1回目の書き込みループについては、図14の例と同様であるため省略する。
続いて、Na〜Na´回目の書き込みループでは、図14の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Aレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Aレベルの予備ベリファイ電圧Va´、ベリファイ電圧Vaと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Na)〜(Na´)を用いる。このようにBレベルに対するベリファイを省略することで2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。
続くNa´+1〜Nb−1回目の書き込みループについては、図14の例と同様であるため省略する。
続いて、Nb〜Nb´回目の書き込みループでは、図14の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、A、Cレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Bレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Bレベルの予備ベリファイ電圧Vb´、ベリファイ電圧Vbと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nb)〜(Nb´)を用いる。
続いくNb´+1〜Nc−1回目の書き込みループについては、図14の例と同様であるため省略する。
続いて、Nc〜Nc´回目の書き込みループでは、図14の例と同様、プログラム動作後に2回のベリファイ動作を実行する。但し、ここでは、Bレベルに遷移するメモリセルMCは多くないため、Cレベルのみを対象とした2回目のベリファイ動作を実行する。そのため、2回目のベリファイ動作では、Cレベルの予備ベリファイ電圧Vc´、ベリファイ電圧Vcと次第に高くなる階段状のベリファイパルスPv2(Nc)〜(Nc´)を用いる。
最後のNc´+1〜N回目の書き込みループについては、図14の例と同様であるため省略する。
以上、本実施形態によれば、第7の実施形態と同様の効果を得られるがかりでなく、第7の実施形態よりも2回目のベリファイ動作の処理時間を短縮することができる。その結果、第7の実施形態よりも書き込み処理を高速化することができる。
[その他]
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
上記いずれの実施形態も2ビット/セルのメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置であってが、これら実施形態は、1セル当たりの記憶ビット数に関係なく適用することができる。
図16は、1ビット/セルのメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置の例である。この例は、N回の書き込みループで書き込みが完了する。この場合、そのうちの、Aレベルに遷移するメモリセル数がピークに達する前後のNa〜Na´回目の書き込みループでは2回のベリファイ動作を実行し、その他の書き込みループでは1回のみベリファイ動作を実行するようにする。これによってAレベルの閾値電圧分布が広がるのを抑制することができる。
図17は、3ビット/セルのメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置の例である。この例も、N回の書き込みループで書き込みが完了する。この場合、そのうちの、Aレベルに遷移するメモリセル数がピークに達する前後のNa〜Na´回目の書き込みループ、Bレベルに遷移するメモリセル数がピークに達する前後のNb〜Nb´回目の書き込みループ、・・・、及びGレベルに遷移するメモリセル数がピークに達する前後のNg〜Ng´回目の書き込みループで2回のベリファイ動作を実行し、その他の書き込みループでは1回のみベリファイ動作を実行するようにする。これによってA、B、〜、Gの各レベルの閾値電圧分布が広がるのを抑制することができる。
同様に、1セル当たり4ビット以上記憶するメモリセルを用いた不揮発性半導体記憶装置であっても、各レベルに遷移するメモリセル数がピークに達する前後の書き込みループ回数において、上記実施形態と同様の2回のベリファイ動作を実行することで、各レベルの閾値電圧分布が広がることを抑制することができる。
1・・・メモリセルアレイ、2a・・・ロウデコーダ/ワード線ドライバ、2b・・・カラムデコーダ、3・・・ページバッファ、4、4´・・・NANDストリング、5a・・・ロウアドレスレジスタ、5b・・・カラムアドレスレジスタ、6・・・ロジック制御回路、7・・・シーケンス制御回路、8・・・電圧発生回路、9・・・I/Oバッファ、11・・・コントローラ、12・・・ROMヒューズ。
Claims (5)
- 複数のビット線、前記ビット線に交差する複数のワード線及びソース線、並びに、制御ゲートが前記ワード線に接続された直列接続された複数のメモリセルを含み、両端がそれぞれ前記ビット線及びソース線に接続された複数のNANDストリングを有するメモリセルアレイと、
一の前記ワード線に接続された複数の前記メモリセルからなるページ単位でデータを書き込む書き込みループを繰り返し実行するデータ書き込み部と
を備え、
前記データ書き込み部は、前記書き込みループとして、
前記メモリセルにデータを記録するプログラム動作、及び前記メモリセルにデータが記録されたことを検証する第1のベリファイ動作を順次実行する第1の動作モードと、
前記プログラム動作、前記第1のベリファイ動作、及び前記メモリセルにデータが記録されたことを検証する第2のベリファイ動作を順次実行する第2の動作モードと
を有し、
前記第1のベリファイ動作において、前記メモリセルのうち所定の第1のメモリセルに接続されたビット線及び前記第1のメモリセルと同一のページに属し且つ前記第1のメモリセルに隣接する第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、前記第1のメモリセルに接続されたビット線に流れる電流を検知して前記第1のメモリセルのデータを検証し、
引き続き、前記第2のベリファイ動作において、前記第2のメモリセルの書き込みが完了している場合に、前記第2のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージすることなく、前記第1のメモリセルに接続されたビット線をプリチャージした上で、前記第1のメモリセルに接続されたビット線に流れる電流を検知して前記第1のメモリセルのデータを検証する
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記データ書き込み部は、繰り返し実行される前記書き込みループのうち、各データにおいて、このデータの書き込みが完了する前記メモリセルが最も多く生じ得る書き込みループにおいて前記第2の動作モードで実行する
ことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリセルは、1つ当たりN値(Nは2以上の整数)を記憶し、
前記データ書き込み部は、1又は2以上の連続する前記書き込みループを前記第1の動作モードで実行する第1の動作モード期間と、1又は2以上の連続する前記書き込みループを前記第2の動作モードで実行する第2の動作モード期間とを交互に繰り返し実行し、
1回のデータ書き込みにおいて、前記第2の動作モード期間は1〜N−1回の範囲で現れる
ことを特徴とする請求項1又は2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリセルは、1つ当たりN値(Nは2以上の整数)を記憶し、
前記データ書き込み部は、第nのデータ(1<n<N)の書き込みが完了する前記メモリセルが最も多く生じ得る書き込みループの第2のベリファイ動作において、前記第nのデータの検証にのみ必要なベリファイパルスを前記ワード線に印加する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第2の動作モードで実行される所定の前記書き込みループにおいて、前記第1のベリファイ動作で必要なベリファイパルスと、前記第2のベリファイ動作で必要なベリファイパルスは実質的に同じである
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の不揮発性半導体記憶装置。
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US8988946B1 (en) * | 2014-07-07 | 2015-03-24 | Sandisk Technologies Inc. | Selective sense amplifier enablement |
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CN109378028B (zh) * | 2018-08-22 | 2020-11-17 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种降低编程干扰的控制方法及装置 |
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Cited By (1)
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