JP2011018397A - Nand型フラッシュメモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】誤書き込みを抑制しつつ、書き込み効率を向上することが可能なNAND型フラッシュメモリを提供する。
【解決手段】NAND型フラッシュメモリは、プログラム動作を実行した回数が予め規定された上限回数ではない場合には、プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、プログラム動作およびベリファイ動作を再度実行するものであり、プログラム動作を実行した回数が、該上限回数よりも少なく設定された規定回数になった場合にのみ、中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定する。
【選択図】図8
【解決手段】NAND型フラッシュメモリは、プログラム動作を実行した回数が予め規定された上限回数ではない場合には、プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、プログラム動作およびベリファイ動作を再度実行するものであり、プログラム動作を実行した回数が、該上限回数よりも少なく設定された規定回数になった場合にのみ、中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定する。
【選択図】図8
Description
本発明は、メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリに関するものである。
従来のNAND型フラッシュメモリには、選択されたメモリセルトランジスタの制御ゲートに印加するプログラム電圧Vpgmをプログラムループ毎に段階的に上げながら、プログラム動作とベリファイ動作を繰返すものがある(例えば、特許文献1参照。)。これにより、書き込み特性にバラツキを持つメモリセルトランジスタのしきい値電圧をなるべく同じしきい値電圧に書込む。
この従来のNAND型フラッシュメモリでは、所望のベリファイレベルを越えたメモリセルは書込みを途中でストップ、ベリファイレベル以下のしきい値電圧のメモリセルトランジスタのみ再度書き込みを行う。
ここで、同じプログラム電圧Vpgmを印加しても製造プロセスのバラツキ等により、しきい値電圧の上昇が極端に遅いメモリセルトランジスタが存在する場合がある。
この場合、そのメモリセルトランジスタがベリファイをパスしないため、何度もプログラムループが回ることになる。これにより、書込みパフォーマンスが低下する。
そして、極端な場合、プログラムループが上限回数まで回っても、そのメモリセルトランジスタがベリファイをパスしない場合がある。結果として、歩留りが低下するという問題があった。
一方、従来、プログラムループ毎に、プログラム電圧Vpgmをステップアップするとともに、非選択のメモリセルトランジスタの制御ゲートに印加される中間電圧Vpassをステップアップする方法もある。これにより、選択されたメモリセルトランジスタへの書き込み効率を向上することができる。
しかし、この従来の方法では、中間電圧Vpassが高くなると、非選択のメモリセルトランジスタに誤書き込みされ(しきい値電圧が上昇し)得るという問題があった。
本発明は、誤書き込みを抑制しつつ、書き込み効率を向上することが可能なNAND型フラッシュメモリを提供することを目的とする。
本発明の一態様に係るNAND型フラッシュメモリは、
メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム動作を実行した回数が、前記上限回数よりも少ない回数に設定された規定回数になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定することを特徴とする。
メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム動作を実行した回数が、前記上限回数よりも少ない回数に設定された規定回数になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定することを特徴とする。
本発明の他の態様に係るNAND型フラッシュメモリは、
メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム電圧が、予め規定された規定電圧になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定することを特徴とする。
メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム電圧が、予め規定された規定電圧になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定することを特徴とする。
本発明のNAND型フラッシュメモリによれば、誤書き込みを抑制しつつ、書き込み効率を向上することができる。
以下、本発明に係る各実施例について図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の一態様である実施例1に係るNAND型フラッシュメモリ100の構成の一例を示すブロック図である。また、図2は、図1に示すメモリセルアレイの構成を示す回路図である。
図1に示すように、NAND型フラッシュメモリ100は、メモリセルアレイ1と、ビット線制御回路2と、カラムデコーダ3と、データ入出力バッファ4と、データ入出力端子5と、ロウデコーダ6と、制御回路7と、制御信号入力端子8と、ソース線制御回路9と、ウェル制御回路10と、を備える。
メモリセルアレイ1は、複数のビット線BLと複数のワード線WLと共通ソース線SRCを含む。このメモリセルアレイ1は、例えば、電気的にデータを書き換え可能なメモリセルトランジスタMがマトリクス状に配置されている。
このメモリセルアレイ1には、ビット線BLの電圧を制御するためのビット線制御回路2と、ワード線WLの電圧を制御するためのロウデコーダ6とが接続されている。上記複数のメモリセルトランジスタMは、複数のブロックに分割されて配置されている。データの消去動作時には、何れかのブロックがロウデコーダ6により選択され、残りのブロックが非選択とされる。
ビット線制御回路2は、メモリセルアレイ1内のビット線BLの電圧をセンス増幅するセンスアンプ(図示せず)と、書き込みを行うためのデータをラッチするためのデータラッチ回路との両方の役割を持つデータ記憶回路(図示せず)とを含む。
このビット線制御回路2は、ビット線BLを介してメモリセルアレイ1中のメモリセルトランジスタMのデータを読み出したり、ビット線BLを介して該メモリセルトランジスタMの状態を検出したり、ビット線BLを介して該メモリセルトランジスタMに書き込み制御電圧を印加して該メモリセルトランジスタMに書き込み(プログラム)を行う。
また、ビット線制御回路2には、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4が接続されている。ビット線制御回路2内の該データ記憶回路は、カラムデコーダ3により選択され、このデータ記憶回路に読み出されたメモリセルトランジスタMのデータは、データ入出力バッファ4を介してデータ入出力端子5から外部へ出力される。
また、外部からデータ入出力端子5に入力された書き込みデータは、データ入出力バッファ4を介して、カラムデコーダ3によって選択された該データ記憶回路に記憶される。
ロウデコーダ6は、メモリセルアレイ1に接続されている。このロウデコーダ6は、メモリセルアレイ1のワード線WLおよびセレクト線SG1、SG2に、読み出し或いは書き込み或いは消去に必要な電圧を、印加する。
ソース線制御回路9は、メモリセルアレイ1に接続されている。このソース線制御回路9は、ソース線SRCの電圧を制御するようになっている。
ウェル制御回路10は、メモリセルアレイ1に接続されている。このウェル制御回路10は、メモリセルトランジスタMが形成される半導体基板(ウェル)の電圧を制御するようになっている。
制御回路7は、メモリセルアレイ1、ビット線制御回路2、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4、ロウデコーダ6、ソース線制御回路9、および、ウェル制御回路10を、制御するようになっている。
ここでは、この制御回路7には、電源電圧を昇圧する昇圧回路(図示せず)が含まれているものとする。制御回路7は、該昇圧回路により電源電圧を必要に応じて昇圧し、ビット線制御回路2、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4、ロウデコーダ6、ソース線制御回路9、および、ウェル制御回路10に、供給するようになっている。
この制御回路7は、外部から制御信号入力端子8を介して入力される制御信号によって制御動作する。すなわち、制御回路7は、該制御信号に応じて、データの書き込み(プログラム)、ベリファイ、読み出し、および消去時に、所定の電圧を発生し、メモリセルアレイ1の各部に供給するとともに、データの書き込み(プログラム)、ベリファイ、読み出し、および消去を制御する。
ここで、図2に示すように、メモリセルアレイ1は、既述のように、複数のNANDセルユニット1a1が接続されて構成されるブロック1aを有する。
1つのNANDセルユニット1a1は、直列接続された例えば64個のメモリセルトランジスタM1、M2、・・・、M64と、メモリセルトランジスタM1に接続された選択ゲートトランジスタS1と、メモリセルトランジスタM64に接続された選択ゲートトランジスタS2とにより、構成されている。
なお、既述のように、簡単のため、メモリセルトランジスタM1、M2、・・・、M64を、単に、メモリセルトランジスタMと表記する場合もある。
第1の選択ゲートトランジスタS1は、ビット線BLに接続されている。また、第2の選択ゲートトランジスタS2は、ソース線SRCに接続されている。
各行に配置されたメモリセルトランジスタM1、M2、・・・、M64の制御ゲートは、ワード線WL1、WL2、・・・、WL64に接続されている。
なお、既述のように、簡単のため、ワード線WL1、WL2、・・・、WL64を、単に、ワード線WLと表記する場合もある。
また、第1の選択ゲートトランジスタS1のゲートは、セレクト線SG1に共通に接続されている。第2の選択ゲートトランジスタS2のゲートは、セレクト線SG2に共通に接続されている。
ここで、図3は、図2に示すメモリセルアレイ1の1つのメモリセルトランジスタMの断面を示す断面図である。なお、以下において、メモリセルトランジスタMは、図2に示すメモリセルトランジスタM1〜M64の何れかに相当する。
図3に示すように、メモリセルトランジスタMは、浮遊ゲートFGと、制御ゲートCG(ワード線WL)と、拡散層42と、を有する。
半導体基板に形成されたウェル(以下、単に半導体基板ともいう)41には、メモリセルトランジスタMのソース・ドレイン領域となる拡散層42が形成されている。また、ウェル41の上にはゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)43を介して浮遊ゲートFGが形成されている。この浮遊ゲートFG上には、ゲート絶縁膜45を介して制御ゲートCG(ワード線WL)が形成されている。
メモリセルトランジスタMは、しきい値電圧に応じてデータを記憶するようになっている。このしきい値電圧は、浮遊ゲートFGに蓄えられる電荷量により決まる。浮遊ゲートFG中の電荷量は、ゲート絶縁膜43を通るトンネル電流で変化させることができる。
すなわち、ウェル41と拡散層(ソース・ドレイン領域)42とに対して、制御ゲートCG(ワード線WL)を十分高い電圧にすると、ゲート絶縁膜43を通して電子が浮遊ゲートFGに注入される。これにより、メモリセルトランジスタMのしきい値電圧が高くなる。
一方、制御ゲートCG(ワード線WL)に対して、ウェル41と拡散層(ソース・ドレイン領域)42とを十分高い電圧にすると、ゲート絶縁膜43を通して電子が浮遊ゲート44から放出される。これにより、メモリセルトランジスタMのしきい値電圧が低くなる。
このように、メモリセルトランジスタMは、浮遊ゲートFGに蓄積する電荷量を制御することにより、記憶するデータを書き換え可能である。
また、図4は、図2に示すメモリセルアレイ1の選択ゲートトランジスタS1、S2の断面を示す断面図である。
図4に示すように、ウェル41には、選択ゲートトランジスタS1、S2のソース・ドレイン領域となる拡散層47が形成されている。また、ウェル41の上にはゲート絶縁膜48を介して制御ゲートSGS、SGDが形成されている。この制御ゲートSGS、SGDは、図2に示すセレクト線SG1、SG2に接続されている。
ここで、図5は、図2に示すNAND型フラッシュメモリ100のNANDセルユニット1a1の直列に接続されたメモリセルトランジスタMの断面を示す断面図である。なお、図5において、図3と同じ符号は、図3と同様の構成を示す。
図5において、左側がビット線BL側であり、右側がソース線SRC側である。既述のように、このNANDセルユニット1a1は、直列接続された複数のメモリセルトランジスタMからなるメモリセル列と、このメモリセル列の両側にそれぞれ接続される選択ゲートトランジスタ(図示せず)とから構成される。
また、既述のように、ビット線BLは、ビット線側の選択ゲートトランジスタを介して該メモリセル列に接続されている。ソース線SRCは、ソース線側の選択ゲートトランジスタを介して該メモリセル列に接続されている。
なお、図5は、NAND型フラッシュメモリ100のプログラム動作時の状態を示している。すなわち、選択されたメモリセルトランジスタM(ここでは例えば1つ)の制御ゲートCG(ワード線WL)には、プログラム電圧Vpgmが印加され、非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCG(ワード線WL)には、中間電圧Vpassが印加される。
また、図6は、図5に示すNANDセルユニット1a1のプログラム動作時における各部分の電位の一例を示す図である。
図6において、ソース電位およびソース線側の選択ゲートトランジスタS2の制御ゲートSGSは、0Vに固定されている。すなわち、ソース線側の選択ゲートトランジスタS2はオフ状態になるように設定されている。
図6に示すように、時間t1において、セレクト線SG1の電位を上昇させることにより、ビット線BL側の選択ゲートトランジスタS1をオンさせる。
次に、時間t2において、ビット線BLの電位を上昇させることにより、各メモリセルトランジスタMのチャネルの電位が上昇する。これにより、ビット線側の選択ゲートトランジスタS1がオフし、チャネルが浮遊状態になる。
この状態で、非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCG(ワード線WL)に、このメモリセルトランジスタMが読み出し電圧よりも高くプログラム電圧Vpgmよりも低い中間電圧Vpassを印加する(時間t3〜t7)。これにより、NANDセルユニット1a1全体においてチャネルの電位が上昇する。
その後、選択されたメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGの電位を上昇させ(時間t4以降)、選択されたメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに、中間電圧Vpassよりも高くメモリセルトランジスタMCに書き込むためのプログラム電圧Vpgmを印加する(時間t5〜t6)。
これにより、選択されたメモリセルトランジスタMの浮遊ゲートFGとチャネルと間の電界が高くなり、負電荷が注入される。すなわち、選択されたメモリセルトランジスタMのしきい値電圧を、より高いしきい値電圧に上昇させる。
なお、中間電圧Vpassはプログラム電圧Vpgmより低いため、非選択のメモリセルトランジスタMのしきい値電圧は基本的には変化しない。なお、本発明においては、後述のように、繰り返されるプログラムロープの或るタイミングで中間電圧Vpassを上昇させる。これにより、ベリファイをパスしない選択されたメモリセルトランジスタMに対して書き込み効率を向上させる。
ここで、図7は、NAND型フラッシュメモリ100のメモリセルトランジスタMのしきい値電圧の分布の一例(8値の場合)を示す図である。この図7に示す場合、消去状態から順に“A”、“B”、“C”、“D”、“E”、“F”、“G”、“H”の8つのデータが割り振られる。
次に、以上のような構成を有するNAND型フラッシュメモリ100のプログラムループの一例について説明する。
図8は、実施例1に係るNAND型フラッシュメモリ100のプログラムループの一例を示すフローチャートである。また、図9は、プログラムループのループ回数nがループ上限回数近傍にある場合のプログラム電圧Vpgmと中間電圧Vpassの波形の一例を示す波形図である。また、図10は、プログラムループのループ回数nがループ上限回数近傍にある場合のプログラム電圧Vpgmと中間電圧Vpassの波形の他の例を示す波形図である。また、図11は、選択されたメモリセルトランジスタM近傍の容量の関係の一例を模式的に示す断面図である。
なお、プログラムループとは、既述のように、プログラム動作とベリファイ動作の繰り返しをいう。このプログラムループの初期状態では、プログラムループのループ回数nは、初期回数“1”に設定されている。また、プログラム電圧Vpgmおよび中間電圧Vpassも予め規定された値に設定されている。
図8に示すように、制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMにデータを記憶するために、選択したメモリセルトランジスタMに対してプログラム動作する(ステップS1)。すなわち、例えば、制御回路7は、既述の図6に示すように、第1、第2の選択ゲートトランジスタS1、S2をオフさせ、非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに所定の中間電圧Vpassを印加するとともに、選択したメモリセルトランジスタM(ここでは、例えば1つ)の制御ゲートCGに中間電圧Vpassよりも高いプログラム電圧Vpgmを印加するように制御する。これにより、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧を上昇させる。
次に、制御回路7が、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が所定のベリファイレベル以上であるか否かをベリファイするベリファイ動作を実行する(ステップS2)。制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が該ベリファイレベル以上である場合には、このベリファイをパス(プログラムが完了)したものとして、プログラムループを終了する。
一方、制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が該ベリファイレベル未満である場合には、プログラムループのループ回数(すなわち、プログラム動作を実行した回数)nが予め規定されたループ上限回数Loopmaxであるか否かを判断する(ステップS3)。なお、このループ上限回数Loopmaxは、例えば、NAND型フラッシュメモリ100の仕様等に応じて設定される。
このステップS3で、制御回路7が、プログラムループのループ回数nがループ上限回数Loopmaxであると判断した場合には、この選択したメモリセルトランジスタMにはプログラム(書き込み)ができないものとして、プログラムループを終了する。
一方、ステップS3で、制御回路7は、プログラムループのループ回数nがループ上限回数Loopmaxでないと判断した場合には、ループ回数nが規定回数naであるか否かを判断する(ステップS4)。
このステップS4で、制御回路7が、プログラムループのループ回数nが規定回数naであると判断した場合には、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させた電圧に設定する(ステップS5)。このステップS5の後、次のステップS6に進む。
なお、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させた後は、中間電圧Vpassは一定に保たれる。
また、この規定回数naは、ループ上限回数Loopmaxよりも少ない回数に設定される。この規定回数naは、ループ上限回数Loopmax近傍の回数、例えば、ループ上限回数Loopmaxより1回少なく(ループ上限回数Loopmax−1回)、またはループ上限回数Loopmaxより2回少なく(ループ上限回数Loopmax−2回)設定される。
一方、ステップS4で、制御回路7が、プログラムループのループ回数nが規定回数naでないと判断した場合には、既述のステップS6に進む。
ステップS6では、制御回路7は、プログラム電圧Vpgmを電位差ΔVpgmだけ上昇させた電圧に設定する。なお、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxに達している場合は、プログラム電圧Vpgmはプログラム上限電圧Vpgmmaxに固定される。なお、このプログラム上限電圧Vpgmmaxは、既述の昇圧回路の能力や、NAND型フラッシュメモリ100のリーク電流等を考慮して設定される。
ここで、選択されたメモリセルトランジスタMの浮遊ゲートFGと、隣接する非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGと、の間の容量は、選択されたメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGと浮遊ゲートFGとの間の容量よりも、小さい。したがって、好ましくは、電位差ΔVpgmは、電位差ΔVpass以下に設定される。これにより、選択されたメモリセルトランジスタMの浮遊ゲートFGのブースト効率の向上を図ることができる。
次に、制御回路7は、ループ回数nを1回加算(1カウントだけ増加)する(ステップS7)。このステップS7の後、ステップS1に戻る。この後、上述のフローと同様のフローが実施される。
このように、以上のフローでは、プログラム動作を実行した回数がループ上限回数Loopmaxではない場合には、プログラム電圧Vpgmを電位差ΔVpgmだけ上昇させるように設定した後、プログラム動作およびベリファイ動作を再度実行する。そして、プログラム動作を実行した回数が、ループ上限回数Loopmaxよりも少なく規定回数naになった場合にのみ、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させ固定する。
ここで、例えば、規定回数naがループ上限回数Loopmax−1回である場合は、図9に示すように、1回のプログラムループ毎に、プログラム電圧Vpgmについては電位差ΔVpgmだけ上昇させる。一方、中間電圧Vpassについては、ループ回数nが規定回数na(Loopmax−1)のときのみ、電位差ΔVpassだけ上昇させる。
また、例えば、規定回数naがループ上限回数Loopmax−2回である場合は、図10に示すように、1回のプログラムループ毎に、プログラム電圧Vpgmについては電位差ΔVpgmだけ上昇させる。一方、中間電圧Vpassについては、ループ回数nが規定回数na(Loopmax−2)のときのみ、電位差ΔVpassだけ上昇させる。
このように、規定回数naは、例えば、ループ上限回数Loopmax−1回またはループ上限回数Loopmax−2回のように、ループ回数nがループ上限回数Loopmaxになる直前に設定される。これにより、プログラムループが終了する直前に、中間電圧Vpassが電位差ΔVpassだけ上昇する。すなわち、プログラムループが終了する直前に、プログラムが困難なメモリセルトランジスタMに対して、ブースト効率を向上させて、プログラムし易くする(図11)。
したがって、本実施例は、中間電圧Vpassを一定に固定する場合と比較して、プログラムが困難なメモリセルトランジスタMがプログラム完了する確率を高くすることができる。
さらに、本実施例では、ループ回数nがループ上限回数Loopmaxになる直前まで、中間電圧Vpassは一定に維持される。これにより、プログラムが容易なメモリセルトランジスタMは早期にプログラムが完了するため、この場合は、中間電圧Vpassを上昇させないので、非選択のメモリセルトランジスタMに対しての誤書き込みを抑制することができる。
すなわち、本実施例は、ブースト効率のみの向上を想定して段階的に中間電圧Vpassを上昇させていく既述の従来技術と比較して、非選択のメモリセルトランジスタMに対する誤書き込みを抑制することができる。
なお、本実施例では、全ての非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ増加させる場合について説明した。
しかし、選択されたメモリセルトランジスタMに隣接する非選択のメモリセルトランジスタMの一方または両方の制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassのみを電位差ΔVpassだけ増加させ、残りの非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassは初期に設定された電圧に固定したままでもよい。
この場合、選択されたメモリセルトランジスタMから離れた非選択のメモリセルトランジスタMの誤書き込みを抑制することができる。
以上のように、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、誤書き込みを抑制しつつ、書き込み効率を向上することができる。
実施例1では、プログラムループのループ回数nが規定回数naであるときに、中間電圧Vpassを上昇させる場合ついて説明した。
本実施例2では、プログラム電圧Vpgmが規定電圧Vaであるときに、中間電圧Vpassを上昇させる場合について述べる。
なお、本実施例2は、実施例1の図1ないし図7に示すNAND型フラッシュメモリ100に、同様に適用される。
ここで、実施例2に係るNAND型フラッシュメモリ100のプログラムループの一例について説明する。
図12は、実施例2に係るNAND型フラッシュメモリ100のプログラムループの一例を示すフローチャートである。また、図13は、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmax近傍に設定されている場合におけるプログラム電圧Vpgmと中間電圧Vpassの波形の一例を示す波形図である。また、図14は、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmax近傍に設定されている場合におけるプログラム電圧Vpgmと中間電圧Vpassの波形の他の例を示す波形図である。
なお、プログラムループとは、既述のように、プログラム動作とベリファイ動作の繰り返しをいう。このプログラムループの初期状態では、プログラムループのループ回数nは、初期回数“1”に設定されている。また、プログラム電圧Vpgmおよび中間電圧Vpassも予め規定された値に設定されている。
図12に示すように、制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMにデータを記憶するために、選択したメモリセルトランジスタMに対してプログラム動作する(ステップS1)。すなわち、例えば、制御回路7は、既述の図6に示すように、第1、第2の選択ゲートトランジスタS1、S2をオフさせ、非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに所定の中間電圧Vpassを印加するとともに、選択したメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに中間電圧Vpassよりも高いプログラム電圧Vpgmを印加するように制御する。これにより、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧を上昇させる。
次に、制御回路7が、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が所定のベリファイレベル以上であるか否かをベリファイするベリファイ動作を実行する(ステップS2)。制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が該ベリファイレベル以上である場合には、このベリファイをパス(プログラムが完了)したものとして、プログラムループを終了する。
一方、制御回路7は、選択したメモリセルトランジスタMのしきい値電圧が該ベリファイレベル未満である場合には、プログラムループのループ回数(すなわち、プログラム動作を実行した回数)nが予め規定されたループ上限回数Loopmaxであるか否かを判断する(ステップS3)。なお、このループ上限回数Loopmaxは、例えば、NAND型フラッシュメモリ100の仕様等に応じて設定される。
このステップS3で、制御回路7が、プログラムループのループ回数nがループ上限回数Loopmaxであると判断した場合には、この選択したメモリセルトランジスタMにはプログラム(書き込み)ができないものとして、プログラムループを終了する。
一方、ステップS3で、制御回路7は、プログラムループのループ回数nがループ上限回数Loopmaxでないと判断した場合には、プログラム電圧Vpgmが規定電圧Vaであるか否かを判断する(ステップS204)。
このステップS204で、制御回路7が、プログラム電圧Vpgmが規定電圧Vaであると判断した場合には、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させた電圧に設定する(ステップS5)。このステップS5の後、次のステップS6に進む。
なお、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させた後は、中間電圧Vpassは一定に保たれる。
また、この規定電圧Vaは、プログラム電圧Vpgmの予め規定された上限であるプログラム上限電圧Vpgmmax以下の電圧に設定される。規定電圧Vaは、プログラム上限電圧Vpgmmax近傍の電圧、例えば、プログラム上限電圧Vpgmmaxから電位差ΔVpgmを引いた電圧(プログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgm)、またはプログラム上限電圧Vpgmmaxから電位差ΔVpgmの2倍を引いた電圧(プログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgm×2)のように設定される。また、規定電圧Vaは、プログラム上限電圧Vpgmmaxと等しく設定してもよい。
一方、ステップS204で、制御回路7が、プログラム電圧Vpgmが規定電圧Vaでないと判断した場合には、既述のステップS6に進む。
ステップS6では、制御回路7は、プログラム電圧Vpgmを電位差ΔVpgmだけ上昇させた電圧に設定する。なお、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxに達している場合は、プログラム電圧Vpgmはプログラム上限電圧Vpgmmaxに固定される。なお、このプログラム上限電圧Vpgmmaxは、既述の昇圧回路の能力や、NAND型フラッシュメモリ100のリーク電流等を考慮して設定される。
なお、実施例1と同様に、好ましくは、電位差ΔVpgmは、電位差ΔVpass以下に設定される。これにより、選択されたメモリセルトランジスタMの浮遊ゲートFGのブースト効率の向上を図ることができる。
次に、制御回路7は、ループ回数nを1回加算(1カウントだけ増加)する(ステップS7)。このステップS7の後、ステップS1に戻る。この後、上述のフローと同様のフローが実施される。
このように、以上のフローでは、プログラム動作を実行した回数がループ上限回数Loopmaxではない場合には、プログラム電圧Vpgmを電位差ΔVpgmだけ上昇させるように設定した後、プログラム動作およびベリファイ動作を再度実行する。そして、プログラム電圧Vpgmが、予め規定された規定電圧Vaになった場合にのみ、中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ上昇させ固定する。
ここで、例えば、規定電圧Vaがプログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgmである場合は、図13に示すように、1回のプログラムループ毎に、プログラム電圧Vpgmについては電位差ΔVpgmだけ上昇させる。一方、中間電圧Vpassについては、ループ回数nが規定電圧Va(Vpgmmax−ΔVpgm)のときのみ、電位差ΔVpassだけ上昇させる。
また、例えば、規定電圧Vaがプログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgm×2である場合は、図14に示すように、1回のプログラムループ毎に、プログラム電圧Vpgmについては電位差ΔVpgmだけ上昇させる。一方、中間電圧Vpassについては、ループ回数nが規定電圧Va(Vpgmmax−ΔVpgm×2)のときのみ、電位差ΔVpassだけ上昇させる。
このように、例えば、規定電圧Vaは、プログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgm、またはプログラム上限電圧Vpgmmax−電位差ΔVpgm×2のように、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxになる直前に設定される。これにより、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxになる直前に、中間電圧Vpassが電位差ΔVpassだけ上昇する。
すなわち、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxになる直前に、プログラムが困難なメモリセルトランジスタMに対して、ブースト効率を向上させて、プログラムし易くする。
したがって、本実施例は、中間電圧Vpassを一定に固定する場合と比較して、プログラムが困難なメモリセルトランジスタMがプログラム完了する確率を高くすることができる。
さらに、本実施例では、プログラム電圧Vpgmがプログラム上限電圧Vpgmmaxになる直前まで、中間電圧Vpassは一定に維持される。これにより、プログラムが容易なメモリセルトランジスタMは早期にプログラムが完了するため、この場合は、中間電圧Vpassを上昇させないので、非選択のメモリセルトランジスタMに対しての誤書き込みを抑制することができる。
すなわち、本実施例は、ブースト効率のみの向上を想定して段階的に中間電圧Vpassを上昇させていく既述の従来技術と比較して、非選択のメモリセルトランジスタMに対する誤書き込みを抑制することができる。
なお、本実施例では、実施例1と同様に、全ての非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassを電位差ΔVpassだけ増加させる場合について説明した。
しかし、実施例1と同様に、選択されたメモリセルトランジスタMに隣接する非選択のメモリセルトランジスタMの一方または両方の制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassのみを電位差ΔVpassだけ増加させ、残りの非選択のメモリセルトランジスタMの制御ゲートCGに印加する中間電圧Vpassは初期に設定された電圧に固定したままでもよい。
この場合、選択されたメモリセルトランジスタMから離れた非選択のメモリセルトランジスタMの誤書き込みを抑制することができる。
以上のように、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、誤書き込みを抑制しつつ、書き込み効率を向上することができる。
1 メモリセルアレイ
1a ブロック
1a1 NANDセルユニット
2 ビット線制御回路
3 カラムデコーダ
4 データ入出力バッファ
5 データ入出力端子
6 ロウデコーダ
7 制御回路
8 制御信号入力端子
9 ソース線制御回路
10 ウェル制御回路
100 NAND型フラッシュメモリ
1a ブロック
1a1 NANDセルユニット
2 ビット線制御回路
3 カラムデコーダ
4 データ入出力バッファ
5 データ入出力端子
6 ロウデコーダ
7 制御回路
8 制御信号入力端子
9 ソース線制御回路
10 ウェル制御回路
100 NAND型フラッシュメモリ
Claims (10)
- メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム動作を実行した回数が、前記上限回数よりも少ない回数に設定された規定回数になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定する
ことを特徴とするNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1の電位差は、前記第2の電位差以下であることを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記第2のメモリセルトランジスタに隣接する前記第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに印加する前記中間電圧のみを前記第2の電位だけ上昇させる
ことを特徴とする請求項1または2に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記規定回数は、前記上限回数より1回少なく設定されていることを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記規定回数は、前記上限回数より2回少なく設定されていることを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- メモリセルトランジスタに対してデータが書き込まれるNAND型フラッシュメモリであって、
ビット線に一端が接続された第1の選択ゲートトランジスタと、
ソース線に一端が接続された第2の選択ゲートトランジスタと、
前記第1の選択ゲートトランジスタの他端と前記第2の選択ゲートトランジスタの他端との間で直列に接続され、電圧を制御ゲートに印加して浮遊ゲートの電荷量を制御することによりしきい値電圧を変化させてデータを書き込み可能な複数のメモリセルトランジスタと、を備え、
前記第1の選択ゲートトランジスタと前記第2の選択ゲートトランジスタとをオフさせ、前記メモリセルトランジスタのうち非選択の第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに中間電圧を印加するとともに、前記メモリセルトランジスタのうち選択された第2のメモリセルトランジスタの制御ゲートに、前記中間電圧よりも高いプログラム電圧を印加するプログラム動作を実行し、
前記プログラム動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル以上か否かをベリファイするベリファイ動作を実行し、
前記ベリファイ動作の後、選択された前記第2のメモリセルトランジスタのしきい値電圧がベリファイレベル未満である場合には、前記プログラム動作の回数が予め規定された上限回数であるか否かを判断し、
前記プログラム動作を実行した回数が前記上限回数ではない場合には、前記プログラム電圧を第1の電位差だけ上昇させるように設定した後、前記プログラム動作および前記ベリファイ動作を再度実行するものであり、
前記プログラム電圧が、予め規定された規定電圧になった場合にのみ、前記中間電圧を第2の電位差だけ上昇させ固定する
ことを特徴とするNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1の電位差は、前記第2の電位差以下であることを特徴とする請求項6に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記規定電圧は、前記プログラム電圧の予め規定された上限であるプログラム上限電圧と等しいことを特徴とする請求項6または7に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記規定電圧は、前記プログラム電圧の予め規定された上限であるプログラム上限電圧から前記第1の電位差を引いた電圧であることを特徴とする請求項6または7に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記規定電圧は、前記プログラム電圧の予め規定された上限であるプログラム上限電圧から前記第1の電位差の2倍を引いた電圧であることを特徴とする請求項6または7に記載のNAND型フラッシュメモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009162515A JP2011018397A (ja) | 2009-07-09 | 2009-07-09 | Nand型フラッシュメモリ |
US12/723,112 US20110007572A1 (en) | 2009-07-09 | 2010-03-12 | Nand flash memory |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009162515A JP2011018397A (ja) | 2009-07-09 | 2009-07-09 | Nand型フラッシュメモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011018397A true JP2011018397A (ja) | 2011-01-27 |
Family
ID=43427367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009162515A Abandoned JP2011018397A (ja) | 2009-07-09 | 2009-07-09 | Nand型フラッシュメモリ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110007572A1 (ja) |
JP (1) | JP2011018397A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013054804A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2013229077A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US8599620B2 (en) | 2011-09-21 | 2013-12-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
JP2014164785A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US8867277B2 (en) | 2012-01-31 | 2014-10-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US9105336B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-08-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010211883A (ja) | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2012069186A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5380508B2 (ja) | 2011-09-27 | 2014-01-08 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2016062623A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US9613713B2 (en) * | 2014-09-16 | 2017-04-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device |
KR102396116B1 (ko) * | 2015-09-25 | 2022-05-10 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
CN111863101B (zh) * | 2019-04-29 | 2022-08-30 | 北京兆易创新科技股份有限公司 | 一种非易失性存储器的编程方法和装置 |
JP2022124738A (ja) * | 2021-02-16 | 2022-08-26 | キオクシア株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその動作方法 |
JP2022144316A (ja) * | 2021-03-18 | 2022-10-03 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6907497B2 (en) * | 2001-12-20 | 2005-06-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
-
2009
- 2009-07-09 JP JP2009162515A patent/JP2011018397A/ja not_active Abandoned
-
2010
- 2010-03-12 US US12/723,112 patent/US20110007572A1/en not_active Abandoned
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013054804A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
US8953371B2 (en) | 2011-09-05 | 2015-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device |
US8599620B2 (en) | 2011-09-21 | 2013-12-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US9105336B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-08-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US9208887B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-12-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US8867277B2 (en) | 2012-01-31 | 2014-10-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
US9224484B2 (en) | 2012-01-31 | 2015-12-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
JP2013229077A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2014164785A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110007572A1 (en) | 2011-01-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110801 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20120517 |